JP2006205107A - 液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液体を吐出バルブから吐き出す液体吐出装置において、液体中に混入している気泡を除去する。
【解決手段】 吐出バルブ(2)と、液体(3)を収容するタンク(10)と、タンク内の液体を吐出バルブに導く管路(4)とを備える液体吐出装置において、管路の途中の吐出バルブに近接した位置に中空容器からなる気泡溜め(30)を配置する。そして、気泡溜めの天井には廃液回収タンク(11)に続く廃気管(44)が接続され、廃気管の途中に廃気弁(46)が設けられる。
【選択図】 図1
【解決手段】 吐出バルブ(2)と、液体(3)を収容するタンク(10)と、タンク内の液体を吐出バルブに導く管路(4)とを備える液体吐出装置において、管路の途中の吐出バルブに近接した位置に中空容器からなる気泡溜め(30)を配置する。そして、気泡溜めの天井には廃液回収タンク(11)に続く廃気管(44)が接続され、廃気管の途中に廃気弁(46)が設けられる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、CD−Rの等の光ディスクのダイ層をスピンコーターで形成する際等において、ダイ液(溶媒中に色素が分散している低粘度液体)等をノズルから光ディスクに向けて吐き出す液体吐出装置に関する。
CD−Rは、透明樹脂(PC)製のディスク基板Wのグルーブ形成面側にダイ層、金または銀等のスパッタ層、オーバーコート層が順次積層一体化された構造を有している。ディスク基板Wにダイ層を形成するには、スピンコーターを備えたダイ液吐出装置を使用する。
このようなダイ液吐出装置は、後記特許文献1に開示されており、これを図2に示す。このダイ液吐出装置のスピンコーター1は、ダイコーターハウス1a内に設けられた回転テーブル1bと、ダイ液3を吐き出す吐出バルブ2とを備えている。ディスク基板Wを回転テーブル1b上に載置固定して、回転テーブル1bを低速回転させながら、ディスク基板Wのグルーブ形成面側に向けて、ダイ液3を吐出バルブ2から吐出させる。規定量を吐出させた後、回転テーブル1bを高速回転させると、ダイ液3は遠心力でディスク基板Wの外周方向に飛ばされて、膜形成に必要なダイ液3がディスク基板Wの表面に堆積して均一なダイ層が形成される。コーターハウス1a内に飛散した余剰のダイ液3は、廃液回収タンク11に回収される。
そして、このダイ液吐出装置において、タンク10内のダイ液3を吐出バルブ2に供給するためには、ポンプ方式が広く用いられている。ポンプ方式とは、図2に示すように、タンク10内のダイ液3をポンプ20によって、ダイ液3を管路4を経て吐出バルブ2に供給するものである。このポンプ方式以外にも、タンク10内へ図示しないボンベ内に蓄えられた加圧気体(空気又は窒素)を圧送して、ダイ液3をタンク10から押出して管路4を経て吐出バルブ2に供給ようにした加圧気体方式も広く用いられている。
吐出バルブ2は、エアによって作動する図示しない開閉弁によってダイ液の供給をオンオフできるととともに、図示しない走行機構により、ディスク基板Wの上を半径方向に走行できるように構成されており、走行及び開閉弁の開閉タイミングを適切に制御することによって、ディスク基板Wのグルーブ形成面に対して適正量のダイ液3を均一に吐出しできるようになっている。
しかしながら、前記したポンプ方式のダイ液吐出装置では、ダイ液3中に空気やその他の気体が溶けていると、ポンプ20によるキャビテーションによりダイ液3中に気泡が発生し易く、この気泡が混じったダイ液3を吐出バルブ2から吐き出すと、ダイ液3がディスク基板Wのグルーブ形成面に広く飛散して、ディスク基板Wが不良品を生ずるという問題があった。加圧タンク方式のダイ液吐出装置でも、加圧気体が高圧のためダイ液3中に溶け込み易く、この溶け込んだ気体が気泡となり易く、同様な問題があった。
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであり、液体を吐出バルブから吐き出す液体吐出装置において、液体中に混入している気泡を除去することを課題とする。
前記課題を達成するために、請求項1に係る発明は、吐出バルブと、液体を収容するタンクと、該タンク内の液体を前記吐出バルブに導く管路とを備える液体吐出装置において、前記管路の途中の前記吐出バルブに近接した位置に中空容器からなる気泡溜めを配置したことを特徴とする。
請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明において、前記気泡溜めの天井には廃液回収タンクに続く廃気管が接続されたことを特徴とする。
請求項1に係る発明によれば、タンク内の液体を管路と気泡溜めを経て吐出バルブに供給するとき、種々の理由によって液体内に発生した気泡は、吐出バルブに近接した気泡溜めまで来ると、液体の流速が遅くなるため、液体内を上昇して気泡溜めの上部に気泡が溜まり、吐出バルブには気泡をほとんど含まない液体が供給される。このため、吐出バルブからは気泡をほとんど含まない液体が所望の吹き付け面に向けて吐出されるので、液体が吹き付け面上に広く飛散して、吹き付け面が不良となるという問題がなくなる。
請求項2に係る発明によれば、さらに、気泡溜めの天井には廃液回収タンクに続く廃気管が接続されたから、気泡溜めに気泡が溜まってきたときに、液体吐出装置の運転を続けながら、気泡を廃液回収タンクに導いて、気泡中のダイを確実に回収して環境汚染を起こさない。
次に、本発明の実施の形態を、実施例に基づいて説明する。
図1は、CD−R用のディスク基板Wにおけるダイ層の形成に用いるダイ液吐出装置に対して、本発明を適用した一実施例を示す。
ディスク基板Wにダイ層を形成するには、従来と同じく、スピンコーター1を備えるダイ液吐出装置を使用する。本発明のダイ液吐出装置は、ダイ液3を吐出バルブ2から吐出させるために、図2に示した従来のポンプ方式と同じく、タンク10内のダイ液3をポンプ20で管路4を経て吐出バルブ2へ供給している。ただし、このダイ液吐出装置は、図1に示したように、管路4の途中に中空容器からなる気泡溜め30を配置していることで、従来のダイ液吐出装置と相違している。そこで、この気泡溜め30を有するダイ液吐出装置について、以下に詳細に説明する。
このダイ液吐出装置は、鉛直中空管32を備え、鉛直中空管32の回りにスピンコーター1を複数個備えている。鉛直中空管32の上端にはアーム34が鉛直中空管32回りに回転可能に支持されている。アーム34は、図示しないアクチュエータによって回転するようになっている。アーム34の先端には吐出バルブ2が固定されている。そして、タンク10と吐出バルブ2とを接続する管路4の途中には、吐出バルブ2近接させて気泡溜め30を配置している。
この気泡溜め30は、アーム34の根元に突設されたブラケット36に固定されており、アーム34に沿った円筒状で横長の形状をしており、一端側下面に鉛直中空管32から真っ直ぐ上方へ突出した管路4が接続される口金38が設けられ、他端側端面に吐出バルブ2に接続する管路4を接続する口金40が設けられる。また、この気泡溜め30の天井にも、口金42が設けられており、この口金42に廃液回収タンク11(図2参照)へ接続された廃気管44が接続される。廃気管44の途中の適宜位置には廃気弁46が設けられている。
なお、部品の配置の都合によって、気泡溜め30をアーム34の中央付近に設置した場合にも、管路4を気泡溜め30に接続し易いように、気泡溜め30の一端側端面も口金48を設けてもおき、通常は口金48をキャップ(図示省略)で封鎖しておいてもよい。
さて、このダイ液吐出装置において、タンク10(図2参照)内のダイ液3をポンプ20(図2参照)で管路4と気泡溜め30を経て吐出バルブ2に供給するとき、種々の理由によってダイ液3内に発生した気泡50は、吐出バルブ2に近接した気泡溜め30まで来ると、ダイ液3の流速が遅くなるため、ダイ液3内を上昇して気泡溜め30の上部に気泡50が溜まり、吐出バルブ2には気泡50をほとんど含まないダイ液3が供給される。このため、吐出バルブ2からは気泡50をほとんど含まないダイ液3がディスク基板W上に向けて吐出されるので、ダイ液3がディスク基板Wの上の広い面に飛散して、ディスク基板Wが不良品となるという問題が発生しなくなる。
また、このダイ液吐出装置を使用しながら、気泡溜め30内に気泡50及び気泡50から出た気体が溜まってきたときは、廃気弁46を開いて、気泡50及び気体を気泡溜め30から排出する。そして、気泡50は廃気管44によって廃液回収タンク11に送られ、気泡50に含まれるダイ液を回収するので、環境を汚染することもない。
さらに、この気泡溜め30は、円筒状であるから製造し易く、しかも、アーム34に沿って横長であるからスペースを取らないようになっている。
その他、このダイ液吐出装置においては、アーム34を鉛直中空管32回りに回転させることにより、鉛直中空管32の回りに配置した複数のスピンコーター1に順次効率的にダイ液3を供給できるので、ディスク基板Wのダイ層の形成の量産性が良い。
ところで、本発明は、前記実施例に限るものではなく、種々の変形が可能である。
たとえば、前記実施例のダイ液吐出装置においてはポンプ方式でダイ液3を吐出バルブ2に供給したが、加圧気体方式でダイ液3を吐出バルブ2供給してもよい。
また、前記実施例の気泡溜め30は横長の円筒状にしたが、他の部品の配置の都合によっては、気泡溜め30の形状は、ダイ液3の流速を遅くして上部に気泡50を溜めることができるような形状であれば、適宜形状を選択できることは言うまでもない。
さらに、前記実施例では、CD−R等のディスク基板W上にダイ層を形成する際のダイ液3の吐出について説明したが、本発明は、ダイ液3の吐出しに限らず、低粘度の液体を吐出す液体吐出装置に広く適用できることは言うまでもない。
2 吐出バルブ
3 ダイ液(液体)
4 管路
10 タンク
11 廃液回収タンク
30 気泡溜め
44 廃気管
50 気泡
3 ダイ液(液体)
4 管路
10 タンク
11 廃液回収タンク
30 気泡溜め
44 廃気管
50 気泡
Claims (2)
- 吐出バルブと、液体を収容するタンクと、該タンク内の液体を前記吐出バルブに導く管路とを備える液体吐出装置において、前記管路の途中の前記吐出バルブに近接した位置に中空容器からなる気泡溜めを配置したことを特徴とする液体吐出装置。
- 前記気泡溜めの天井には廃液回収タンクに続く廃気管が接続されたことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005022782A JP2006205107A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 液体吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005022782A JP2006205107A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 液体吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=36962490
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005022782A Pending JP2006205107A (ja) | 2005-01-31 | 2005-01-31 | 液体吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006205107A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61245528A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Toshiba Mach Co Ltd | 感光剤塗布装置 |
JPH0577932U (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-22 | 沖電気工業株式会社 | レジスト液供給装置 |
JPH10172943A (ja) * | 1996-12-05 | 1998-06-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2001259547A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-25 | Daiwa Can Co Ltd | 薬液スプレー装置 |
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2005
- 2005-01-31 JP JP2005022782A patent/JP2006205107A/ja active Pending
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