JP2006205055A - チップ部材とその部分的親水化方法 - Google Patents
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Abstract
微小領域を部分的に親水化処理する。
【解決手段】
平坦な基板1上に一対の櫛歯状電極2が互いに噛み合うように配置されており、その上を覆って誘電体層3が被覆されている。誘電体層3上には電極2の領域を一部に含むように流路5が形成されている。このチップ部材の流路を分析や反応に使用するに先立ち、一対の櫛歯状電極2間に所定の高周波電圧を印加すると、流路5内で電極2が存在する領域には沿面放電が生じてその部分にプラズマが発生し、その部分の表面が親水化処理される。
【選択図】図1
Description
その1つの方法は、押出成形機の金型から押し出されたプラスチック製チューブをプラズマ処理装置の電極内に搬送し、チューブ内にグロー放電安定化ガスと処理ガスの混合ガスを流し、電極に電圧を印加することによりチューブ内面をプラズマ処理する方法である(特許文献2参照。)。
本発明のチップ部材は、基板と、その基板に形成された流路と、その流路の少なくとも一部分に誘電体層を介して配置され、プラズマ発生用の高周波電圧が印加される一対の電極とを備えている。
ていてもよい。
印加する高周波電圧の周波数は特に限定されるものではないが、1KHzから3GHzの範囲が適当である。1KHz未満になると放電による処理効率が低下する。高周波側は特に制限はないが、あまりに高周波数になると電源装置が複雑化する。
気中グロー放電によるプラズマ処理では、プラズマによる表面処理の効果が対象物全体に及んでしまうが,本発明では電極の作る空間的に限定された領域にプラズマを発生させるため、対象物の目的の領域のみにプラズマ処理を施すことができる。
一般に、プラズマ処理による親水化は安定性が悪く、時間の経過とともに処理の効果が失われる。そこで、本発明を対象となる流路等の使用直前に適用すれば、「その場」での親水化処理が行なえ、経時変化による親水化効果の喪失という問題もなくなる。
図1に一実施例のチップ部材を示す。平坦な石英ガラスなどのガラス基板1上に銅やアルミニウム膜による一対の櫛歯状電極2がパターン化されて形成されている。一対の櫛歯状電極2は櫛歯部分が互いに噛み合うように配置されている。
このプラズマ処理は大気圧下の空気中で行なうことができるが、雰囲気を反応性ガス又は不活性ガスとしてもよい。
(A)と(B)は電極をもつ基板を製作する工程である。いずれも左側が平面図、右側がそのX−X' 線位置での断面図である。
(A)に示されるように、平坦な基板1上に蒸着などにより電極となる金属膜を成膜する。その金属膜に対して、フォトリソグラフィーとエッチング技術を用いてパターン化して一対の櫛歯状電極2を形成する。
その後、(B)に示されるように、電極9が形成された基板8の表面上にスパッタリング法などにより誘電体層3成膜する。
(C)に示されるように、平坦なガラス基板などの基板11上にレジスト層を形成し、フォトリソグラフィー技術によりパターン化して微小流路のレジストによる鋳型12を形成する。
次に、(E)に示されるように、誘電体4を鋳型12から取り外すことにより高分子製の微小流路5を形成する。
この実施例では、電極をもつ基板と流路が一体になって作られているが、本発明はそれのみに限定されるものではない。電極を持つ親水化処理部材を、流路が形成された基板とは別個に形成しておき、その親水化処理部材上に流路が形成された基板を一時的に配置して電極に電圧を印加することにより部分親水化処理を行なうことができる。このように親水化処理部材を別途形成することにより、1つの親水化処理部材を用いて多数の流路部材の部分親水化を行なうことも可能になる。
また、電極形状も櫛歯状以外に、スパイラル状など、放電を生じさせることのできるものであれば、使用することができる。
2 電極
3 誘電体層
4 誘電体
5 流路
6 電源
7 親水化を受ける領域
11 ガラス基板
12 フォトレジスト
16 流路入り口
17 プラズマにより親水化された領域
18 水と空気の境界面
Claims (7)
- 基板に形成された流路の少なくとも一部に対して誘電体層を介して一対の電極を配置し、前記電極間に高周波電圧を印加して前記流路内で前記電極と対向する部分に沿面放電させ、生じるプラズマにより前記流路内を選択的に親水化処理する部分的親水化方法。
- 前記電極と流路は同一基板に形成されている請求項1に記載の部分的親水化方法。
- 前記電極は前記流路とは別の基板上に形成されている請求項1に記載の部分的親水化方法。
- 印加する高周波電圧の周波数が1KHzから3GHzの範囲にある請求項1から3のいずれかに記載の部分的親水化方法。
- 基板と、
前記基板に形成された流路と、
前記流路の少なくとも一部分に誘電体層を介して配置され、プラズマ発生用の高周波電圧が印加される一対の電極と、を備えたチップ部材。 - 前記流路と電極は同じ基板に形成されている請求項5に記載のチップ部材。
- 前記流路と電極はそれぞれ異なる基板に形成され、重ね合わせて使用される請求項5に記載のチップ部材。
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WO2019207960A1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 信越化学工業株式会社 | 親水性シリコーン樹脂製マイクロ流路 |
Citations (2)
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JP2002267677A (ja) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Jun Kikuchi | 血液分析装置ならびに血液分析装置の製造方法 |
WO2004074846A1 (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-02 | Japan Science And Technology Agency | 血液分析装置及び血液分析方法 |
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- 2005-01-27 JP JP2005020373A patent/JP4577027B2/ja active Active
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KR20210005867A (ko) | 2018-04-27 | 2021-01-15 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 친수성 실리콘수지제 마이크로유로 |
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