JP2006200629A - 薬液弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ピストン58の上下動に対応して入力ポート63と出力ポート64を連通する弁座65に弁体66を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロック51,52,53,54を取付ねじ55で一体化した薬液弁において、取付ねじ55の周りに設けられ、ボディ53と取付ブロック54との間で弾性変形する封止部材1を設ける。
【選択図】 図1
Description
薬液弁100は、図3及び図4に示すように、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を積層して4本の取付ねじ55を挿通し、図5に示すように、取付ブロック54にインサート成形されたインサート金具56に取付ねじ55の先端部を締結することにより、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を一体化して外観を構成している。薬液弁100は、金属が外部に露出していると、腐食性雰囲気にさらされて腐食する。そのため、薬液弁100は、図3に示すように、取付ねじ55の頭部71を収納するための凹部72をカバー51に形成し、凹部72の開口部にキャップ73を装着して、凹部72を密閉することにより、取付ねじ55の頭部71を腐食性雰囲気から隔離している(例えば、特許文献1参照)。
(1)第1ポートと第2ポートを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロックを取付ねじで一体化する薬液弁において、取付ねじの周りに設けられ、第1ブロックと第2ブロックとの間で弾性変形する封止部材を有することを特徴とする。
本実施の形態の薬液弁50は、半導体製造装置の元弁として使用され、0.7MPa以上の高圧腐食性流体を制御する。薬液弁50は、カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54に4本の取付ねじ55を挿通し、取付ねじ55の先端部をインサート金具56に締結することによりカバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54を一体化し、外観を構成している。カバー51、シリンダ52、ボディ53、取付ブロック54は、耐腐食性を確保するために、PFA(四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)やPP(ポリプロピレン)、PPS(ポリフェニレンサルファイド)などの樹脂を射出成形したものである。
封止部材1は、NBR(ニトリルゴム)、FKM(フッ素ゴム)、FFKM(パーフロロエラストマー)などの弾性材料を略円筒形状に成形したものである。封止部材1は、外周面を段差状に形成されて潰ししろ2とガイド部3とを備える。ボディ53と取付ブロック54との間には、封止部材1を圧縮保持するための段差状の空間が形成され、封止部材1が介在してもボディ53と取付ブロック54とを面接触させられるようになっている。ボディ53には、取付ブロック54に当接する側面から、取付ねじ54を挿通される挿通孔と同軸上に、嵌合凹部4が段差69より大径の円柱状に形成されている。封止部材1の潰ししろ2は、嵌合凹部4より若干大きく形成され、嵌合凹部4の底面と取付ブロック54の側面との間で軸方向に狭持されて弾性変形し、シール力を発揮するようにされている。潰ししろ2には、インサート金具56の端面に突き当たるように段差69に押し込まれて装着されるガイド部3が連続して設けられている。ガイド部3は、段差69より若干大きく形成され、取付ブロック54を逆さにしても封止部材1が脱落しないように取付ブロック54の段差69にガイドされて、組立時における封止部材1の取扱性を良好にしている。封止部材1は、取付ねじ55より小径の貫通孔5が中央に形成され、取付ねじ55をインサート金具56にねじ込むときに貫通孔5の内周面をタッピングされるようになっている。
また、取付ねじ55には、インサート金具56にねじ込む先端部を除いて、耐腐食性材料でコーティングC(図2の点部参照)を施し、腐食を防止している。
50 薬液弁
53 ボディ
54 取付ブロック
55 取付ねじ
56 インサート金具
63 入力ポート
64 出力ポート
65 弁座
66 ダイアフラム
Claims (3)
- 第1ポートと第2ポートを連通する弁座に駆動手段を用いて弁体を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロックを取付ねじで一体化する薬液弁において、
前記取付ねじの周りに設けられ、第1ブロックと第2ブロックとの間で弾性変形する封止部材を有することを特徴とする薬液弁。 - 請求項1に記載する薬液弁において、
前記封止部材は、内径が前記取付ねじの外径より小径な円筒形状をなすことを特徴とする薬液弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する薬液弁において、
前記第1ブロックが前記入力ポートと前記出力ポートを形成されたボディであって、
前記第2ブロックが、前記ボディに積層される取付ブロックであって、
前記取付ブロックにインサート成形され、前記取付ねじが締結されるインサート金具を有し、
前記取付ねじが前記インサート金具に締結される部分を除くねじ部に耐腐食性材料をコーティングされ、
前記封止部材が前記インサート金具の開口部に装着されていることを特徴とする薬液弁。
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