JP2006198477A - Blade coating method, disk coating method using this and blade coater - Google Patents

Blade coating method, disk coating method using this and blade coater Download PDF

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伸輔 高橋
Takayoshi Ose
隆義 大瀬
Satoshi Matsubaguchi
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blade coating method realizing stable coating of a coating liquid by preventing generation of scattered drop of the coating liquid when an optical disc is left from a mask plate by a simple apparatus constitution, a disc coating method using this and a blade coater, and to realize coating of a coating liquid having a good surface property. <P>SOLUTION: The apparatus is provided with the mask plate 25 having an opening 27; a coating liquid feeding part 41 for feeding the coating liquid 49 onto the mask plate 25 superposed on a flat surface substrate (optical disc) D; a blade 51 relatively moved relative to the mask plate 25 above the mask plate 25; and a mask peeling off means (air cylinder) 23 for leaving the mask plate 25 and the flat surface substrate D after the mask plate 25 is coated with the coating liquid 49. When the mask plate 25 and the flat surface substrate D are left by the mask peeling off means 23, a liquid film breakage means for breaking the liquid film 49A generated between an opening edge 25a of the mask plate 25 and the flat surface substrate D is provided. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、平面基板に対してブレードにより塗布液を塗布するブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法並びにブレード塗布装置に関する。   The present invention relates to a blade coating method for coating a flat substrate with a coating solution using a blade, a disk coating method using the same, and a blade coating apparatus.

液状塗料を被塗布部材の塗布面に安定的に塗布するには、従来より種々の提案がなされている。例えば下記特許文献1に開示される塗布装置では、被塗布体に摺接する側枠と、その間に渡設した二枚のブレードよりなるポケット内に収容した塗布液を走行方向下流側ブレードの下端のギャップから被塗布体上に流出させて塗布するものであって、側枠が摺接する被塗布体上面に潤滑層を形成するための潤滑層形成手段を設けている。これにより、側枠下面の滑り性を改善し、塗布面にブレードの渡設方向に連続する横縞発生の防止を図っている。   Various proposals have heretofore been made in order to stably apply a liquid paint to an application surface of a member to be applied. For example, in the coating apparatus disclosed in Patent Document 1 below, the coating liquid stored in a pocket made up of a side frame that is slidably contacted with an object to be coated and two blades that are interposed between the side frame is provided at the lower end of the blade on the downstream side in the traveling direction. Lubricating layer forming means is provided for forming a lubricating layer on the upper surface of the coated body, which is applied to the coated body by flowing out from the gap onto the coated body. Thereby, the slipperiness of the lower surface of the side frame is improved, and the occurrence of horizontal stripes continuous in the direction in which the blade passes on the coating surface is prevented.

また、下記特許文献2に開示される基板塗布装置では、下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に基板を挟んで送ることにより、基板の下面に塗布液を塗布するものであって、マイクロロッドバーの基板進入側に基板の前縁を下方から支えて基板前縁の撓みを制限する押上げ部材を設けている。これにより、基板の前縁中央付近の塗布厚がその両側より厚くなるのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。また、基板の後縁中央付近が塗布液槽の出口側せきに接触するのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。   In addition, in the substrate coating apparatus disclosed in Patent Document 2 below, the substrate is sandwiched between a microrod bar whose lower part is immersed in a coating solution tank and a nip roller disposed opposite to the microrod bar. Thus, a coating liquid is applied to the lower surface of the substrate, and a push-up member that supports the front edge of the substrate from below and restricts the deflection of the front edge of the substrate is provided on the substrate entrance side of the microrod bar. As a result, the coating thickness in the vicinity of the center of the front edge of the substrate is prevented from becoming thicker than both sides, and coating is performed with a uniform coating thickness. In addition, the vicinity of the center of the rear edge of the substrate is prevented from coming into contact with the cough on the outlet side of the coating solution tank, and coating is performed with a uniform coating thickness.

さらに、下記特許文献3に開示されるロールコータでは、塗布処理すべき薄板を搬送する搬送台と塗布ロールとを設け、塗布ロールの下側に搬送台を移動通過させることにより液剤を薄板の表面に塗布するものであって、搬送台を基盤上面に薄板把持用の把持板を隙間を介在させて配置し、隙間の面方向中間部に薄板の中心を搬送台の移動方向に通る線分に対して線対称に弾性材を配置し、かつ把持板の周縁部を隙間規制手段により隙間を調整可能に規制している。これにより、把持板が塗布ロールを押圧して通過するとき、隙間の範囲内で傾動して接触侵入時の衝撃を緩和するように弾性材の反力(弾性力)を制御し、衝撃振動に伴う塗布ムラを生じないようにしている。   Furthermore, in the roll coater disclosed in Patent Document 3 below, a transport base and a coating roll for transporting a thin plate to be coated are provided, and the liquid agent is moved to the surface of the thin plate by moving the transport base below the coating roll. The carrier plate is placed on the upper surface of the substrate with a grip plate for gripping the thin plate with a gap interposed therebetween, and the center of the thin plate is placed in the middle of the surface direction of the gap in a line segment passing in the moving direction of the carrier table. On the other hand, the elastic material is arranged symmetrically with respect to the line, and the periphery of the gripping plate is regulated by the gap regulating means so that the gap can be adjusted. As a result, when the gripping plate presses and passes the coating roll, the reaction force (elastic force) of the elastic material is controlled so as to relax within the range of the gap and relieve the impact at the time of contact intrusion. The accompanying coating unevenness is prevented.

また、光ディスク等のディスク状記録媒体に塗布液を100μm程度の厚さに塗布して、印刷可能な塗布液層(インク受理層)を形成する従来のディスク塗布装置としては、図12に示すものがある。このディスク塗布装置1は、光ディスクDを吸着載置する吸着台2、光ディスクDを吸着台2と共に上下方向に移動させるエアシリンダ3、円形縁部4aで画成された開口8を有するマスク板(マスク)4、及びマスク板4上を所定の隙間を保ちながら水平駆動されて塗布液6を光ディスクDに塗布し、塗布液層9を形成するブレード5を備えている。   FIG. 12 shows a conventional disk coating apparatus that forms a printable coating liquid layer (ink receiving layer) by coating a coating liquid on a disk-shaped recording medium such as an optical disk to a thickness of about 100 μm. There is. This disk coating apparatus 1 includes a suction plate 2 for sucking and mounting an optical disk D, an air cylinder 3 for moving the optical disk D in the vertical direction together with the suction table 2, and a mask plate having an opening 8 defined by a circular edge 4a ( (Mask) 4 and a blade 5 that forms a coating liquid layer 9 by applying the coating liquid 6 to the optical disc D by being driven horizontally while maintaining a predetermined gap on the mask plate 4.

このようなディスク塗布装置1による塗布液6の塗布は、図12(a)に示すように、吸着台2上に光ディスクDを載置して吸着固定した後、エアシリンダ3を作動して光ディスクDを上昇させ、これによりマスク板4を光ディスクD上に重ね合わる。そして、マスク板4上に塗布液6を供給しながら、マスク板4上方でブレード5を矢印A方向に相対移動することにより、塗布液6をマスク板4の開口8から露出する光ディスクDの塗布面7に塗布する。次いで、図12(b)に示すように、エアシリンダ3を作動して吸着台2を下降(矢印B方向)させてマスク板4から光ディスクDを離反させ、光ディスクD上にマスク板4の開口8に応じた塗布液層9を形成する。
特開昭63−224761号公報 特開平9−10646号公報 特開平10−128221号公報
As shown in FIG. 12A, the application of the coating liquid 6 by the disk coating apparatus 1 is performed by placing the optical disk D on the suction table 2 and fixing it by suction, and then operating the air cylinder 3 to operate the optical disk. D is raised, whereby the mask plate 4 is overlaid on the optical disk D. Then, while supplying the coating liquid 6 onto the mask plate 4, the blade 5 is relatively moved in the direction of arrow A above the mask plate 4, whereby the coating liquid 6 is applied to the optical disk D exposed from the opening 8 of the mask plate 4. Apply to surface 7. Next, as shown in FIG. 12B, the air cylinder 3 is operated to lower the suction table 2 (in the direction of arrow B) to separate the optical disk D from the mask plate 4, and the opening of the mask plate 4 on the optical disk D is opened. A coating liquid layer 9 corresponding to 8 is formed.
JP 63-224761 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-10646 JP-A-10-128221

しかしながら、上記の各塗布装置においては、それぞれ解決すべき課題が残されていた。まず、特許文献1に開示される塗布装置は、簡素な構造での構成が可能となるが、塗布具の一部が被塗布体上に支持され、下流側ブレードと被塗布体との相対的な間隔を維持して塗布を行うため、被塗布体は帯状のものに限られ、ブレードの両端側に未塗布部の生じる欠点があった。
また、特許文献2に開示される基板塗布装置は、基板をニップして下側からマイクロロッドバーで塗布を行うことから、全幅方向での塗布は可能となるものの、被塗布体が帯状や矩形状のものに限られた。そして、液膜の厚みが厚くなると、マイクロロッドバーの下流側でビードが乱れて塗布面にスジの発生する問題があった。
さらに、特許文献3に開示されるロールコータは、ディスク形状となる被塗布体の塗布を可能とし、各塗布体の全面塗布も可能となるが、塗布体のそれぞれを弾性体で支持するため、設備が大がかりとなり、これに加え、液膜厚みが厚くなれば、上記した基板塗布装置と同様に、スジの発生する問題があった。
However, in each of the above-described coating apparatuses, problems to be solved remain. First, the coating apparatus disclosed in Patent Document 1 can be configured with a simple structure, but a part of the applicator is supported on the object to be coated, and the relative relationship between the downstream blade and the object to be coated. In order to perform the coating while maintaining a proper interval, the coated body is limited to a belt-like body, and there is a defect that uncoated portions are formed on both ends of the blade.
In addition, since the substrate coating apparatus disclosed in Patent Document 2 nips a substrate and performs coating with a microrod bar from the lower side, coating in the entire width direction is possible, but the object to be coated is a strip or rectangular shape. Limited to shapes. And when the thickness of the liquid film is increased, there is a problem in that the beads are disturbed on the downstream side of the microrod bar and streaks are generated on the coating surface.
Furthermore, the roll coater disclosed in Patent Document 3 enables the application of a disk-shaped object to be coated, and also allows the entire surface of each coated body to be coated, but in order to support each of the coated bodies with an elastic body, If the equipment becomes large and, in addition to this, the liquid film thickness increases, there is a problem that streaks occur as in the case of the substrate coating apparatus described above.

このように、従来の技術では、装置が大がかりになることや、特に塗布厚みが厚くなると、ブレードと塗布面との隙間に押し込まれる塗布液の量が多くなり、ブレードに歪みが生じて塗布方向に略平行なスジが発生したり、ブレードが通過した直後の液界面の乱れが顕著となり、上記と同様に塗布方向に略平行なスジが発生し、良好な塗膜面の確保が困難となる欠点があった。   As described above, in the conventional technology, when the apparatus becomes large, or particularly when the coating thickness is increased, the amount of the coating liquid pushed into the gap between the blade and the coating surface increases, and the blade is distorted to cause the coating direction. As shown above, streaks substantially parallel to the coating direction are generated, and it becomes difficult to ensure a good coating surface. There were drawbacks.

また、図12に示す従来のディスク塗布装置1により光ディスクDの塗布面7に塗布液6を塗布すると、図13(a)に示すように、塗布液6はマスク板4の上面及び開口8から露出する光ディスクDの塗布面7に連続して塗布される。マスク板4から光ディスクDを離反させるように吸着台2を下降させると、所定の粘性を有する塗布液6は開口8の円形縁部4aにおいて上下方向に引き伸ばされ(図13(b))、マスク板4と光ディスクDとの間に略円筒形の液膜6Aが形成される(図13(c))。更に、光ディスクDが下降すると、図13(d)に示すように、やがて液膜6Aが破壊して塗布液6が飛滴6Bとなって周囲に飛び散る。飛滴6Bは、光ディスクDの塗布面7に塗布された塗布液層(インク受理層)9上に付着して表面性状を劣化させ、その後の印刷等において不具合を生じる問題があった。   When the coating liquid 6 is applied to the coating surface 7 of the optical disk D by the conventional disk coating apparatus 1 shown in FIG. 12, the coating liquid 6 is applied from the upper surface of the mask plate 4 and the opening 8 as shown in FIG. It is continuously applied to the application surface 7 of the exposed optical disk D. When the suction table 2 is lowered so as to separate the optical disk D from the mask plate 4, the coating liquid 6 having a predetermined viscosity is stretched in the vertical direction at the circular edge 4a of the opening 8 (FIG. 13 (b)). A substantially cylindrical liquid film 6A is formed between the plate 4 and the optical disc D (FIG. 13C). Further, when the optical disk D is lowered, as shown in FIG. 13D, the liquid film 6A is eventually broken and the coating liquid 6 is scattered as splash droplets 6B. The flying droplets 6B adhere to the coating liquid layer (ink receiving layer) 9 applied to the coating surface 7 of the optical disc D, deteriorate the surface properties, and cause problems in subsequent printing.

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、簡素な装置構成で、マスク板から光ディスクを離反させる際に塗布液の飛滴の発生を防止して塗布液の安定した塗布が可能となるブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法並びにブレード塗布装置を提供し、もって、良好な表面性状を有する塗布液の塗布を可能とすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above situation, and a blade capable of stably applying the coating liquid by preventing the occurrence of droplets of the coating liquid when the optical disk is separated from the mask plate with a simple apparatus configuration. It is an object of the present invention to provide a coating method, a disk coating method using the same, and a blade coating apparatus, and thereby to enable coating of a coating solution having good surface properties.

本発明に係る上記目的は、下記構成により達成できる。
(1) 開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、前記マスクと前記平面基板とを離反した直後に、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との間に生じる液膜を破壊することを特徴とするブレード塗布方法。
The above object of the present invention can be achieved by the following configuration.
(1) After a mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating solution is supplied onto the mask, and the coating solution is applied onto the mask by a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating method for separating the mask and the planar substrate to form a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate, immediately after separating the mask and the planar substrate, A blade coating method comprising destroying a liquid film formed between an opening edge of the mask and the planar substrate.

このようなブレード塗布方法によれば、マスクと平面基板とを離反した直後に、双方の間に生じる液膜を破壊することができる。これにより、離反動作に伴って成長する液膜が自然破壊する際に、飛滴を生じて、この飛滴が平面基板に付着することを未然に防止できる。   According to such a blade coating method, immediately after the mask and the flat substrate are separated from each other, the liquid film generated between them can be broken. As a result, when the liquid film that grows with the separation operation spontaneously breaks, it is possible to prevent the droplets from forming and adhering to the flat substrate.

(2) 前記離反動作が、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との離反動作を、前記開口縁部の位置に応じて異なるタイミングで離反を開始させる動作であることを特徴とする(1)記載のブレード塗布方法。   (2) The separation operation is an operation of starting the separation operation between the opening edge portion of the mask and the planar substrate at different timings according to the position of the opening edge portion (1) ) The blade coating method described.

このようなブレード塗布方法によれば、開口縁部の位置に応じて異なるタイミングで離反を開始することにより、液膜の成長が阻止され、液膜の破壊が促される。   According to such a blade coating method, by starting separation at different timings depending on the position of the opening edge, the growth of the liquid film is prevented and the breakage of the liquid film is promoted.

(3) 前記離反動作が、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との離反動作として、前記マスクと前記平面基板との上下方向の相互移動に加えて水平方向の相互移動を含むことを特徴とする(1)又は(2)記載のブレード塗布方法。   (3) The separation operation includes mutual movement in the horizontal direction in addition to the vertical movement between the mask and the planar substrate as the separation operation between the opening edge of the mask and the planar substrate. The blade coating method according to (1) or (2).

このようなブレード塗布方法によれば、マスクと平面基板の上下方向の相互移動に加えて水平方向の相互移動が加わることにより、発生する液膜が伸ばされて、これにより液膜を早期に破壊することができる。   According to such a blade coating method, in addition to the vertical movement of the mask and the flat substrate, the horizontal movement is added, so that the generated liquid film is stretched, thereby breaking the liquid film early. can do.

(4) 前記離反動作のとき、前記液膜に液膜破壊用部材を接触させることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のブレード塗布方法。   (4) The blade coating method according to any one of (1) to (3), wherein a liquid film breaking member is brought into contact with the liquid film during the separation operation.

このようなブレード塗布方法によれば、発生した液膜に液膜破壊用部材を接触させることにより、液膜を確実に破壊することができる。   According to such a blade coating method, the liquid film can be reliably broken by bringing the liquid film breaking member into contact with the generated liquid film.

(5) 開口を有するマスクと、平面基板上に重ね合わせた前記マスク上に塗布液を供給する塗布液供給部と、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードと、前記塗布液を前記マスク上に塗布した後に前記マスクと前記平面基板とを離反させるマスク剥離手段と、を備えたブレード塗布装置であって、前記マスク剥離手段により前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との間に生じる液膜を破壊する液膜破壊手段を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。   (5) A mask having an opening, a coating liquid supply unit that supplies a coating liquid onto the mask superimposed on a flat substrate, a blade that moves relative to the mask above the mask, and the coating liquid A mask coating means for separating the mask and the planar substrate after coating on the mask, and a blade coating device, wherein when the mask and the planar substrate are separated by the mask peeling means, A blade coating apparatus comprising a liquid film breaking means for breaking a liquid film formed between an opening edge of the mask and the planar substrate.

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクと平面基板とを離反させるときに、マスクの開口縁部と平面基板との間に生じる液膜を破壊する液膜破壊手段を備えたので、液膜を液膜破壊手段により任意のタイミングで確実に破壊することができる。またこれにより、液膜が自然破壊する際に生じる飛滴が平面基板に付着することを未然に防止して表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。   In the blade coating apparatus configured as described above, when the mask and the flat substrate are separated from each other, since the liquid coating breaking means for breaking the liquid film generated between the opening edge of the mask and the flat substrate is provided, The liquid film can be reliably broken at an arbitrary timing by the liquid film breaking means. In addition, this makes it possible to prevent the droplets generated when the liquid film spontaneously breaks off from adhering to the flat substrate and form a coating liquid layer having a good surface property.

(6) 前記液膜破壊手段が、前記マスク剥離手段が前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスクと前記平面基板とを相互に傾斜させた状態で離反させる傾斜離反機構を含み、前記マスクと前記平面基板とを傾斜させた状態で離反させることを特徴とする(5)記載のブレード塗布装置。   (6) The liquid film breaking means includes an inclination separation mechanism that separates the mask and the planar substrate in a state of being inclined with respect to each other when the mask peeling means separates the mask and the planar substrate. The blade coating apparatus according to (5), wherein the mask and the planar substrate are separated from each other in an inclined state.

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクと平面基板とを離反させる際、傾斜離反機構によりマスクと平面基板とを相対的に傾斜させた状態で離反させるようにしたので、マスクと平面基板との間に生じる液膜が成長する前に、マスクの開口縁部の一点で液膜の破壊を発生させると共に、該破壊を開口縁部に沿って進行させて液膜を確実に破壊することができる。   In the blade coating apparatus configured in this way, when the mask and the flat substrate are separated from each other, the mask and the flat substrate are separated in a relatively inclined state by the inclination separation mechanism. Before the liquid film generated between the substrate and the substrate grows, the liquid film is broken at one point on the opening edge of the mask and the breakage proceeds along the opening edge to reliably break the liquid film. be able to.

(7) 前記液膜破壊手段が、前記マスク剥離手段が前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスク剥離手段の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構を含み、前記マスクと前記平面基板とを相対回転させつつ離反させることを特徴とする(5)記載のブレード塗布装置。   (7) The liquid film breaking means includes a rotation conversion mechanism that converts a linear motion of the mask peeling means into a rotational movement when the mask peeling means separates the mask and the planar substrate, The blade coating apparatus according to (5), wherein the flat substrate is separated from the flat substrate while being relatively rotated.

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクと平面基板とを離反させる際、回転変換機構によりマスク剥離手段の直線運動を回転運動に変換して、マスクと平面基板との上下方向の相互移動に加えて水平方向の相互移動を与えて離反させるようにしたので、液膜発生の初期に、液膜を確実に破壊することができる。   In the blade coating apparatus configured as described above, when the mask and the flat substrate are separated from each other, the linear motion of the mask peeling means is converted into the rotational motion by the rotation conversion mechanism, and the mask and the flat substrate are moved in the vertical direction. Since the horizontal movement is given in addition to the movement to separate the liquid film, the liquid film can be reliably destroyed at the initial stage of the liquid film generation.

(8) 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口外側から内側に突出自在に配設された液膜破壊用部材を含み、前記マスクと前記平面基板とを離反するときに該液膜破壊用部材をマスク開口内側に突出させて前記液膜に接触させることを特徴とする(5)記載のブレード塗布装置。   (8) The liquid film breaking means includes a liquid film breaking member disposed so as to protrude inward from the outside of the opening of the mask, and the liquid film breaking means is used when the mask and the flat substrate are separated from each other. The blade coating apparatus according to (5), wherein a member is protruded inside the mask opening and brought into contact with the liquid film.

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクと平面基板とを離反するときに、液膜破壊用部材をマスク開口内側に突出させて液膜に接触させるようにしたので、液膜が成長する前に液膜を確実に破壊することができる。   In the blade coating apparatus configured as described above, when the mask and the flat substrate are separated from each other, the liquid film breaking member is protruded inside the mask opening to come into contact with the liquid film, so that the liquid film grows. The liquid film can be reliably destroyed before

(9) 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に形成した切り欠きを含むことを特徴とする(5)記載のブレード塗布装置。   (9) The blade coating apparatus according to (5), wherein the liquid film breaking means includes a notch formed in at least one position of the opening edge of the mask.

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に切り欠きを形成したので、マスクと平面基板とを離反すると、該切り欠きから液膜の破壊が発生して、液膜発生の初期段階で該液膜を破壊することができる。   In the blade coating apparatus configured in this way, a notch is formed in at least one portion of the opening edge of the mask. Therefore, when the mask and the flat substrate are separated from each other, the liquid film is broken from the notch. The liquid film can be destroyed at the initial stage of liquid film generation.

(10) 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に形成した周囲と異なる濡れ性を有する濡れ性不連続部を含むことを特徴とする(5)記載のブレード塗布装置。   (10) The blade coating apparatus according to (5), wherein the liquid film breaking means includes a wettability discontinuous portion having a wettability different from the periphery formed at at least one position of the opening edge of the mask. .

このように構成されたブレード塗布装置においては、マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に周囲と異なる濡れ性を有する濡れ性不連続部を形成したので、液膜が成長する前に該濡れ性不連続部で液膜の破壊を発生させ、これにより液膜を確実に破壊することができる。   In the blade coating apparatus configured as described above, since the wettability discontinuity having different wettability from the surroundings is formed at least at one position of the opening edge of the mask, the wettability is not improved before the liquid film grows. The liquid film is broken at the continuous portion, whereby the liquid film can be reliably broken.

(11) (1)〜(4)記載のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも1層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。   (11) A disk coating method, wherein at least one layer of a printing surface of a disk-shaped recording medium is formed by the blade coating method described in (1) to (4).

このようなディスク塗布方法によれば、大面積の塗布が可能な塗布装置を用いてディスク状記録媒体の印刷面のうち少なくとも1層を形成することにより、均一で高品位な塗布液層を形成することができる。これにより、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を、必要十分なインク受理能力を持たせた厚みで形成可能となる。   According to such a disk coating method, a uniform and high-quality coating liquid layer is formed by forming at least one layer of the printing surface of the disk-shaped recording medium using a coating apparatus capable of coating a large area. can do. Accordingly, for example, a printing layer (ink receiving layer) for performing printing using an ink jet printer can be formed with a thickness having a necessary and sufficient ink receiving capability.

本発明のブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法並びにブレード塗布装置によれば、マスクと平面基板とを離反するときに、マスクと平面基板との間に生じる液膜が十分に成長する前に破壊することができる。これにより、成長した液膜が自然破壊する際に生じる飛滴が平面基板に付着して、塗布液層の表面性状を劣化させることを未然に防止できる。また、これによりディスク状記録媒体の印刷面に均一で高品位な塗布液層を形成することができる。   According to the blade coating method and the disk coating method and blade coating apparatus using the blade coating method of the present invention, when the mask and the flat substrate are separated from each other, before the liquid film generated between the mask and the flat substrate is sufficiently grown. Can be destroyed. As a result, it is possible to prevent the droplets generated when the grown liquid film spontaneously breaks down from adhering to the flat substrate and deteriorating the surface properties of the coating liquid layer. This also makes it possible to form a uniform and high-quality coating solution layer on the printing surface of the disk-shaped recording medium.

以下、本発明に係るブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法並びにブレード塗布装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
(第1実施形態)
図1は本発明に係るブレード塗布装置の概略を表す構成図、図2は図1に示したブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。
Preferred embodiments of a blade coating method, a disk coating method using the same, and a blade coating apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a blade coating apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the appearance of the blade coating apparatus shown in FIG.

本実施の形態によるブレード塗布装置100は、例えば平面基板の一例であるディスク状記録媒体(光ディスク)Dを被塗布部材とする液膜の塗布に用いられる。
まず、ブレード塗布装置100の基本構成について説明する。
図1に示すように、ブレード塗布装置100の塗布部11には、光ディスクDが吸着載置可能となる円形状の吸着台13が設けられる。この吸着台13の上面には複数の吸着孔15が開口されて、各吸着孔15には吸引路17を介して真空ポンプ19が接続される。 吸着台13は、真空ポンプ19が作動することで吸着孔15を介して光ディスクDを上面に吸着保持することができる。
The blade coating apparatus 100 according to the present embodiment is used for coating a liquid film using, for example, a disk-shaped recording medium (optical disk) D, which is an example of a flat substrate, as a member to be coated.
First, the basic configuration of the blade coating apparatus 100 will be described.
As shown in FIG. 1, the applicator 11 of the blade applicator 100 is provided with a circular suction table 13 on which the optical disk D can be sucked and placed. A plurality of suction holes 15 are opened on the upper surface of the suction table 13, and a vacuum pump 19 is connected to each suction hole 15 via a suction path 17. The suction table 13 can hold the optical disk D on the upper surface through the suction holes 15 by operating the vacuum pump 19.

また、吸着台13は、昇降軸21によって下面中央が上下方向に移動自在に支持される。この昇降軸21の上下移動は、マスク剥離手段の一例であるエアシリンダ23の駆動によりなされる。
そして、吸着台13の上方にはマスク板(マスク)25が設けられ、マスク板25は光ディスクDの塗布面57を露出させる開口27を有している。吸着台13に載置された光ディスクDは、エアシリンダ23の駆動によって昇降軸21が上昇して、上限位置に到達したときに、外周縁がマスク板25の開口縁部25aによって覆われる。
Further, the suction table 13 is supported by the lifting shaft 21 so that the center of the lower surface is movable in the vertical direction. The vertical movement of the elevating shaft 21 is performed by driving an air cylinder 23 which is an example of a mask peeling means.
A mask plate (mask) 25 is provided above the suction table 13, and the mask plate 25 has an opening 27 for exposing the application surface 57 of the optical disk D. The optical disk D placed on the suction table 13 is covered with the opening edge 25 a of the mask plate 25 when the elevating shaft 21 is raised by driving the air cylinder 23 and reaches the upper limit position.

また、塗布部11には、光ディスクDの中央部上方に、マスクキャップ着脱手段29が具備される。マスクキャップ着脱手段29は、キャップ吸着ノズル31と、真空ポンプ33と、昇降手段35とからなる。マスクキャップ着脱手段29は、真空ポンプ33の駆動によってキャップ吸着ノズル31の下端に、マスクキャップ37を吸着保持する。この状態で昇降手段35が駆動されることで、キャップ吸着ノズル31が下降して、光ディスクDの中央部の穴にマスクキャップ37が挿着されるようになっている。なお、マスクキャップ(センターキャップ)は、これに限らず、他の機械的手段で脱着してもよい。例えば、マスクキャップ37の下方から突き上げてマスク板25から浮き上がらせ、マスクキャップ37を、その側方からすくい取る等の方法がある。   The coating unit 11 is provided with a mask cap attaching / detaching means 29 above the center of the optical disc D. The mask cap attaching / detaching means 29 includes a cap suction nozzle 31, a vacuum pump 33, and an elevating means 35. The mask cap attaching / detaching means 29 sucks and holds the mask cap 37 at the lower end of the cap suction nozzle 31 by driving the vacuum pump 33. When the elevating means 35 is driven in this state, the cap suction nozzle 31 is lowered, and the mask cap 37 is inserted into the hole in the center of the optical disc D. The mask cap (center cap) is not limited to this, and may be detached by other mechanical means. For example, there is a method in which the mask cap 37 is pushed up from below and lifted from the mask plate 25, and the mask cap 37 is scooped from the side.

開口27より外側のマスク板25の上方には塗布液供給手段41が設けられている。塗布液供給手段41は、塗布液供給ノズル43と、塗布液供給装置45と、ノズル昇降装置47とからなる。塗布液供給手段41は、塗布液供給装置45から供給される塗布液49を、塗布液供給ノズル43からマスク板25上に滴下供給する。この際、塗布液供給ノズル43は、塗布液49を滴下供給するときだけノズル昇降装置47によってマスク板25の近傍高さに移動し、通常は塗布工程に支障とならない位置まで上昇して待機状態とされる。
ここで、塗布液49は、例えば、液粘度が150cP〜800cPのものが利用でき、特に、200cP〜600cPの塗布液49が好適に用いられる。なお、ここでいう液粘度は、25℃の環境下でB型粘度計(ビスメトロン)により測定した値である。
A coating liquid supply means 41 is provided above the mask plate 25 outside the opening 27. The coating liquid supply means 41 includes a coating liquid supply nozzle 43, a coating liquid supply device 45, and a nozzle lifting / lowering device 47. The coating solution supply means 41 supplies the coating solution 49 supplied from the coating solution supply device 45 dropwise onto the mask plate 25 from the coating solution supply nozzle 43. At this time, the coating liquid supply nozzle 43 is moved to the height near the mask plate 25 by the nozzle lifting / lowering device 47 only when the coating liquid 49 is dropped and supplied, and normally rises to a position where it does not interfere with the coating process and is in a standby state It is said.
Here, as the coating liquid 49, for example, one having a liquid viscosity of 150 cP to 800 cP can be used, and in particular, the coating liquid 49 of 200 cP to 600 cP is preferably used. In addition, the liquid viscosity here is a value measured with a B-type viscometer (bismetholone) in an environment of 25 ° C.

塗布液供給手段41によってマスク板25上に供給された塗布液49のさらに外側には、ブレード51が待機状態で配置される。ブレード51は、移動手段53によってマスク板25上を所定の隙間Gを保ちながら水平駆動され、前側面55で塗布液49を押しながら、図2に示すように、マスク板25の開口27によって露出された光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布するように移動する。   A blade 51 is arranged in a standby state further outside the coating liquid 49 supplied onto the mask plate 25 by the coating liquid supply means 41. The blade 51 is horizontally driven on the mask plate 25 while maintaining a predetermined gap G by the moving means 53, and is exposed through the opening 27 of the mask plate 25 as shown in FIG. It moves so that the coating liquid 49 may be apply | coated to the application | coating surface 57 of the optical disk D made.

ブレード51は、図1の紙面垂直方向に長尺に形成されたステンレス材等の金属材料からなり、ブレード51長手方向に垂直方向の断面形状が、略台形形状に形成されている。 また、ブレード51の下面とマスク板25との間には隙間(ギャップ)Gが形成され、塗布液49はブレード51の前側面55により流れが案内されるに伴い押圧されることで、このギャップGに押し込まれる。そして、塗布面57に対面するブレード51の下面(押圧面59)を通過することで塗布液49がマスク板25の開口27内に充填される。その結果、塗布面57に塗布液49が平坦に塗布されるようになる。   The blade 51 is made of a metal material such as a stainless steel material that is elongated in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, and the cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the blade 51 is formed in a substantially trapezoidal shape. In addition, a gap (gap) G is formed between the lower surface of the blade 51 and the mask plate 25, and the coating liquid 49 is pressed as the flow is guided by the front side surface 55 of the blade 51. Pushed into G. Then, the coating liquid 49 is filled in the opening 27 of the mask plate 25 by passing through the lower surface (pressing surface 59) of the blade 51 facing the coating surface 57. As a result, the coating liquid 49 is applied to the coating surface 57 flatly.

上記した真空ポンプ19、エアシリンダ23、真空ポンプ33、昇降手段35、塗布液供給装置45、ノズル昇降装置47、移動手段53は、それぞれが制御部63によって動作が制御される。   The operations of the vacuum pump 19, the air cylinder 23, the vacuum pump 33, the lifting / lowering means 35, the coating liquid supply device 45, the nozzle lifting / lowering device 47, and the moving means 53 are controlled by the control unit 63.

また、マスク板25の開口27は、ブレード51の長手方向に沿って連続する少なくとも50mmを超える開口を有することで、詳細を後述する本発明に係るブレード塗布による均一塗布性の効果が顕著となる。本実施の形態においては、開口27が直径120mm程度の円形状に形成される。   Further, the opening 27 of the mask plate 25 has an opening exceeding at least 50 mm continuous along the longitudinal direction of the blade 51, so that the effect of uniform application by the blade application according to the present invention, which will be described in detail later, becomes remarkable. . In the present embodiment, the opening 27 is formed in a circular shape having a diameter of about 120 mm.

本実施の形態によるブレード塗布装置100においては、塗布時における塗布液層の膜厚が、少なくとも100μm以上で塗布される。このような100μm以上の厚みの塗布である場合、薄膜の塗布の場合と比較して、塗布液層の表面性状は塗布面57の表面に倣う傾向が低くなり、ブレード51の形状が大きな影響を及ぼすことになる。つまり、塗布面57の凹凸に影響されにくく、ブレード51による塗布液49の圧力、ブレード51形状による塗布液49の濡れ上がり性等が、塗布液層の表面性状を決定する主要因となる。   In the blade coating apparatus 100 according to the present embodiment, the coating liquid layer is coated at a thickness of at least 100 μm or more during coating. In the case of such a coating having a thickness of 100 μm or more, the surface property of the coating liquid layer is less likely to follow the surface of the coating surface 57 than in the case of thin film coating, and the shape of the blade 51 has a great influence. Will be affected. That is, the surface of the coating liquid layer is determined by the pressure of the coating liquid 49 by the blade 51, the wettability of the coating liquid 49 by the shape of the blade 51, and the like.

本ブレード塗布装置100は、ディスク状記録媒体の記録層の少なくとも1層を形成するディスク塗布装置として使用する場合、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を形成することができる。このディスク塗布装置によれば、印刷層への印刷の際、良好な色再現性が確保できるように、必要十分な厚みの印刷層を形成することができる。実際には、塗布液層が塗布時100μm程度の厚みであると、乾燥後の目減り時において30μm程度の塗膜が形成され、この30μm程度のインク受理層が良好な色再現性を可能にする。   When this blade coating apparatus 100 is used as a disk coating apparatus for forming at least one recording layer of a disk-shaped recording medium, it forms a printing layer (ink receiving layer) for printing using, for example, an ink jet printer. be able to. According to this disk coating apparatus, it is possible to form a printing layer having a necessary and sufficient thickness so that good color reproducibility can be ensured when printing on the printing layer. Actually, when the coating liquid layer has a thickness of about 100 μm at the time of coating, a coating film of about 30 μm is formed at the time of reduction after drying, and the ink receiving layer of about 30 μm enables good color reproducibility. .

次に、このブレード塗布装置100を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図3は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(c)で表した説明図、図4は本発明に係る塗布方法の手順を(d)〜(g)で表した説明図、図5は塗布の完了した被塗布部材の平面図である。
まず、制御部63の指令により、図3(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着され、図3(b)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口縁部25aに当接する。次いで、図3(c)に示すように、マスクキャップ着脱手段29の駆動により、マスクキャップ37が光ディスクDの中央穴に挿着される。
Next, a coating solution coating method using the blade coating apparatus 100 will be described.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention in (a) to (c), FIG. 4 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method in accordance with the present invention with (d) to (g), FIG. 5 is a plan view of a member to be coated after coating.
First, as shown in FIG. 3A, the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating shaft 21, as shown in FIG. 3A, and an air cylinder is obtained as shown in FIG. The suction table 13 is lifted by the driving of 23 and the optical disk D comes into contact with the opening edge 25 a of the mask plate 25. Next, as shown in FIG. 3C, the mask cap 37 is inserted into the central hole of the optical disc D by driving the mask cap attaching / detaching means 29.

そして、図4(d)に示すように、塗布液供給手段41によりマスク板25上に滴下された塗布液49を、ブレード51が移動手段53によって図中右方から左方に移動する。 すると、図4(e)に示すように、ブレード51が光ディスクDの塗布面57を塗布液49と共に通過して、光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層が形成される。
なお、塗布液49としては、光ディスクDにインク受理層を形成するための塗布液49である表1に示す組成物が例示される。
Then, as shown in FIG. 4D, the blade 51 moves the coating liquid 49 dropped on the mask plate 25 by the coating liquid supply means 41 from the right to the left in the figure by the moving means 53. Then, as shown in FIG. 4 (e), the blade 51 passes through the coating surface 57 of the optical disk D together with the coating liquid 49, and a coating liquid layer having a predetermined thickness is formed on the coating surface 57 of the optical disk D.
Examples of the coating liquid 49 include the compositions shown in Table 1 which are the coating liquid 49 for forming an ink receiving layer on the optical disc D.

Figure 2006198477
Figure 2006198477

次いで、図4(f)に示すように、マスクキャップ着脱手段29が駆動され、マスクキャップ37が光ディスクDから脱着される。これにより、光ディスクDの中央部には塗布液49の塗布されない円形段部69が形成されることとなる。次いで、エアシリンダ23の駆動によって、図4(g)に示すように、吸着台13が下降することによりマスク板25の開口縁部25aから光ディスクDが下方へと離反される。これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。この結果、光ディスクDの外周縁にはマスク板25に覆われていたことで、塗布液49の塗布されていない図5に示す非塗布部71が形成されることとなる。
なお、マスク板25の開口形状を適宜変更することによって、塗布部の形状は自由に設定できる。
Next, as shown in FIG. 4 (f), the mask cap attaching / detaching means 29 is driven, and the mask cap 37 is detached from the optical disc D. As a result, a circular step 69 to which the coating liquid 49 is not applied is formed at the center of the optical disc D. Next, by driving the air cylinder 23, as shown in FIG. 4G, the suction table 13 is lowered to separate the optical disc D from the opening edge 25a of the mask plate 25 downward. As a result, the coating liquid 49 applied to the coating surface 57 is separated from the coating liquid 49 on the mask plate 25 by shearing. As a result, the outer peripheral edge of the optical disk D is covered with the mask plate 25, so that the non-application part 71 shown in FIG. 5 where the application liquid 49 is not applied is formed.
Note that the shape of the application part can be freely set by appropriately changing the opening shape of the mask plate 25.

このようにして塗布液49の塗布が完了した光ディスクDは、図示は省略するが、吸着台13から取り外され、次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。   The optical disk D in which the application of the coating liquid 49 has been completed in this manner is omitted from the drawing table 13 and is transferred to the drying process of the coating liquid 49 in the next process, although not shown.

なお、上記のブレード塗布装置100においては、ブレード51をステンレス材により形成したが、本発明はこれに限らず、例えば樹脂材料や硬質ゴムであってもよい。また、本実施形態では、光ディスクの印刷面の塗布に本ブレード塗布装置を用いているが、対象物はこれに限らず、厚膜を形成するものであれば、種々の対象物に塗布することができる。   In the blade coating apparatus 100 described above, the blade 51 is formed of a stainless material. However, the present invention is not limited to this, and may be, for example, a resin material or hard rubber. In this embodiment, the blade coating apparatus is used for coating the printing surface of the optical disc. However, the object is not limited to this, and any object that forms a thick film may be coated. Can do.

マスク板25から光ディスクDが離反する過程を詳述すると、図4(g)で示すように、マスク板25から光ディスクDが下方へと離反して塗布面57に塗布された塗布液49とマスク板25上の塗布液49とが剪断により分離される際、塗布液49は所定の粘度を有するので、塗布液49が分離方向(図においては上下方向)に引き伸ばされる。これによりマスク板25の開口縁部25aに沿って一時的に液膜が形成され、やがて該液膜が破断する過程を経てマスク板25と光ディスクDとが分離する。成長した液膜が自然破壊すると、塗布液が飛滴となって周囲に飛び散り、光ディスクDに塗布された塗布液層に付着して塗布液層の表面性状を劣化させる場合がある。このような不具合を防止するため、液膜が大きく成長する以前の液膜発生初期において、液膜を破壊しておくことが肝要である。   The process of separating the optical disk D from the mask plate 25 will be described in detail. As shown in FIG. 4G, the optical liquid D is separated downward from the mask plate 25 and applied to the coating surface 57 and the mask. When the coating solution 49 on the plate 25 is separated by shearing, the coating solution 49 has a predetermined viscosity, so that the coating solution 49 is stretched in the separation direction (vertical direction in the drawing). As a result, a liquid film is temporarily formed along the opening edge 25a of the mask plate 25, and the mask plate 25 and the optical disc D are separated through a process of breaking the liquid film. When the grown liquid film spontaneously breaks down, the coating liquid may be scattered as droplets and may adhere to the coating liquid layer applied to the optical disc D and deteriorate the surface properties of the coating liquid layer. In order to prevent such a problem, it is important to destroy the liquid film at the initial stage of the liquid film generation before the liquid film grows greatly.

以下に液膜破壊手段を具体的に説明する。
図6は、本発明の第1実施形態のブレード塗布装置によりマスク板から光ディスクが離反する過程の各状態を(a)〜(d)で表した要部縦断面図である。
図6に示すように、第1実施形態のブレード塗布装置100は、液膜破壊手段の一例である傾斜離反機構71を備えている。傾斜離反機構71は、弾性押圧部材73と、一対のストッパ75(75A,75B)とを具備する。弾性押圧部材73は、光ディスクDが最上位置に達したとき、マスク板25を光ディスクDに弾性的に押圧するためのものであって、マスク板25の上方且つブレード51の作動範囲外の機枠77下面に配設されている。弾性押圧部材73は、図において上下方向に弾性変形可能とされたコイルバネ79を有する。ストッパ75は、第1ストッパ75A及び第2ストッパ75Bとからなり、機枠77の左右の側壁にそれぞれ対向して固定されている。また、第1ストッパ75Aは、第2ストッパ75Bより、距離ΔHだけ上方に配設されている。
The liquid film breaking means will be specifically described below.
FIG. 6 is a vertical cross-sectional view of the main part showing each state of the process in which the optical disk is separated from the mask plate by the blade coating apparatus according to the first embodiment of the present invention, as shown in (a) to (d).
As shown in FIG. 6, the blade coating apparatus 100 of the first embodiment includes an inclined separation mechanism 71 that is an example of a liquid film breaking unit. The inclination separation mechanism 71 includes an elastic pressing member 73 and a pair of stoppers 75 (75A, 75B). The elastic pressing member 73 is for elastically pressing the mask plate 25 against the optical disc D when the optical disc D reaches the uppermost position, and is a machine frame above the mask plate 25 and outside the operating range of the blade 51. 77 is disposed on the lower surface. The elastic pressing member 73 has a coil spring 79 that can be elastically deformed in the vertical direction in the drawing. The stopper 75 includes a first stopper 75 </ b> A and a second stopper 75 </ b> B, and is fixed to the left and right side walls of the machine frame 77 so as to face each other. Further, the first stopper 75A is disposed above the second stopper 75B by a distance ΔH.

このようなブレード塗布装置100を用いた塗布液の塗布方法、特に、マスク板25と光ディスクDとの離反作用について説明する。
図6(a)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇すると、光ディスクDがマスク板25に当接し、更にマスク板25を押し上げながら上昇する。やがてマスク板25は、弾性押圧部材73であるコイルバネ79からの弾性反発力により押圧されて、光ディスクDに安定して位置決めされる。ここで、塗布液供給手段41によりマスク板25上に滴下された塗布液49を、ブレード51によって光ディスクDの塗布面57に塗布して所定厚の塗布液層を形成する。
A coating liquid coating method using such a blade coating apparatus 100, particularly, a separation action between the mask plate 25 and the optical disk D will be described.
As shown in FIG. 6A, when the suction table 13 is raised by driving the air cylinder 23, the optical disk D comes into contact with the mask plate 25, and further rises while pushing up the mask plate 25. Eventually, the mask plate 25 is pressed by the elastic repulsive force from the coil spring 79 which is the elastic pressing member 73, and is stably positioned on the optical disk D. Here, the coating liquid 49 dropped onto the mask plate 25 by the coating liquid supply means 41 is applied to the coating surface 57 of the optical disc D by the blade 51 to form a coating liquid layer having a predetermined thickness.

次いで、図6(b)に示すように、吸着台13が下降すると、弾性押圧部材73により下方に押圧されているマスク板25は、光ディスクDと共に下降し、やがて、マスク板25が第1ストッパ75Aに当接する。これにより、マスク板25は、第1ストッパ75A側端部の下降が阻止される。更に、光ディスクDが吸着台13と共に下降すると、図6(c)に示すように、マスク板25が傾斜して第1ストッパ75A側においてマスク板25と光ディスクDとの離反が開始される。該離反は、光ディスクDの下降と共にマスク板25の開口縁部25aに沿って進行し、やがて、マスク板25の第2ストッパ75B側端部が第2ストッパ75Bに当接して、マスク板25の下降が阻止される。このとき、離反部分(開口縁部25a)に塗布された塗布液49は、上下方向に引き伸ばされて液膜49Aが形成される。該液膜49Aは、光ディスクDの下降に伴ってマスク板25の開口縁部25aに沿って第1ストッパ75A側から第2ストッパ75B側へと成長する。   Next, as shown in FIG. 6B, when the suction table 13 is lowered, the mask plate 25 pressed downward by the elastic pressing member 73 is lowered together with the optical disk D, and the mask plate 25 is eventually moved to the first stopper. It contacts 75A. Thereby, the mask plate 25 is prevented from descending at the first stopper 75A side end. Further, when the optical disk D is lowered together with the suction table 13, as shown in FIG. 6C, the mask plate 25 is inclined and separation between the mask plate 25 and the optical disk D is started on the first stopper 75A side. The separation proceeds along the opening edge 25a of the mask plate 25 as the optical disk D descends, and eventually the second stopper 75B side end of the mask plate 25 comes into contact with the second stopper 75B, and the mask plate 25 Lowering is prevented. At this time, the coating liquid 49 applied to the separated portion (opening edge 25a) is stretched in the vertical direction to form a liquid film 49A. The liquid film 49A grows from the first stopper 75A side to the second stopper 75B side along the opening edge 25a of the mask plate 25 as the optical disk D is lowered.

マスク板25が傾斜することにより、他の部分の液膜49Aに比較して大きく引き伸ばされている第1ストッパ75A側に形成された液膜49Aは、速やかに自然破壊される。 これにより、他の部分の液膜49Aは、この破壊点が起点となって、成長する以前に次々と破壊し、図6(d)に示すように、マスク板4から光ディスクDが離反する。従って、液膜49Aの破壊に伴う塗布液49の飛滴の発生が防止される。   As the mask plate 25 is tilted, the liquid film 49A formed on the first stopper 75A side that is greatly stretched compared to the liquid film 49A in other portions is quickly and naturally destroyed. As a result, the liquid film 49A in the other part starts from this breaking point and breaks one after another before growing, and the optical disk D separates from the mask plate 4 as shown in FIG. 6 (d). Therefore, the generation of flying droplets of the coating liquid 49 accompanying the destruction of the liquid film 49A is prevented.

なお、光ディスクDに対するマスク板25の傾斜は、第2ストッパ75B側においてマスク板25から光ディスクDが離反する直前における第1ストッパ75A側開口縁部25aのマスク板25と光ディスクDとの距離tを、1mm〜5mm、特に約3mmとするのが飛滴を発生させることなく液膜49Aを破壊する上で効果的であった(図6(c)参照)。   The inclination of the mask plate 25 with respect to the optical disc D is the distance t between the mask plate 25 and the optical disc D at the opening edge 25a on the first stopper 75A side immediately before the optical disc D is separated from the mask plate 25 on the second stopper 75B side. 1 mm to 5 mm, particularly about 3 mm, was effective in destroying the liquid film 49A without generating flying droplets (see FIG. 6C).

以上説明したように、本実施形態のブレード塗布装置100によれば、マスク板25と平面基板である光ディスクDとを離反させるときに、マスク板25の開口縁部25aと光ディスクDとの間に生じる液膜49Aを破壊する液膜破壊手段を備えたので、液膜49Aを液膜破壊手段により任意のタイミングで確実に破壊することができる。またこれにより、液膜49Aが自然破壊する際に生じる飛滴が光ディスクDに付着することを未然に防止して表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。   As described above, according to the blade coating apparatus 100 of the present embodiment, when the mask plate 25 and the optical disk D, which is a flat substrate, are separated, the gap between the opening edge 25a of the mask plate 25 and the optical disk D is set. Since the liquid film destruction means for destroying the generated liquid film 49A is provided, the liquid film 49A can be reliably broken at an arbitrary timing by the liquid film destruction means. In addition, this makes it possible to prevent the droplets generated when the liquid film 49A spontaneously breaks off from adhering to the optical disc D and form a coating liquid layer having a good surface property.

また、本実施形態のブレード塗布装置100によれば、マスク板25と光ディスクDとを離反させる際、傾斜離反機構71によりマスク板25と光ディスクDとを傾斜させた状態で離反させるようにしたので、マスク板25と光ディスクDとの間に生じる液膜49Aが成長する前に、マスク板25の開口縁部25aの一点で液膜49Aの破壊を発生させると共に、該破壊を開口縁部25aに沿って進行させて液膜49Aを確実に破壊することができる。   Further, according to the blade coating apparatus 100 of the present embodiment, when the mask plate 25 and the optical disk D are separated from each other, the inclination separation mechanism 71 separates the mask plate 25 and the optical disk D while being inclined. Before the liquid film 49A generated between the mask plate 25 and the optical disk D grows, the liquid film 49A is broken at one point of the opening edge 25a of the mask plate 25, and the breakage is caused in the opening edge 25a. The liquid film 49A can be reliably broken by proceeding along the direction.

つまり、本実施形態のブレード塗布方法は、開口27を有するマスク25を光ディスクD上に重ね合わせ、マスク25上に塗布液49を供給し、マスク25上方で該マスク25に対して相対移動するブレード51により塗布液49をマスク25上に塗布した後、マスク25と光ディスクDとを離反させ、光ディスクD上にマスク25の開口27に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、マスク25と光ディスクDとを離反した直後に、マスク25の開口縁部25aと光ディスクDとの間に生じる液膜49Aを破壊するものである。   That is, in the blade coating method of this embodiment, the mask 25 having the opening 27 is superposed on the optical disc D, the coating liquid 49 is supplied onto the mask 25, and the blade moves relative to the mask 25 above the mask 25. A blade coating method in which a coating liquid 49 is applied onto a mask 25 by 51 and then the mask 25 and the optical disk D are separated from each other to form a coating liquid layer corresponding to the opening 27 of the mask 25 on the optical disk D. Immediately after separating the optical disc 25 and the optical disc D, the liquid film 49A generated between the opening edge 25a of the mask 25 and the optical disc D is destroyed.

また、マスク25の開口縁部25aと光ディスクDとの離反動作を、開口縁部25aの位置に応じて異なるタイミングで離反を開始させる動作としている。   The separation operation between the opening edge 25a of the mask 25 and the optical disc D is an operation for starting the separation at different timings depending on the position of the opening edge 25a.

(第2実施形態)
図7は、本発明の第2実施形態のブレード塗布装置の要部側面図である。以降の説明においては、基本構成となるブレード塗布装置100と同様の部材に対しては、同一符号を付与することでその説明を省略、或いは簡略化する。 図7に示すように、第2実施形態のブレード塗布装置200は、前述の傾斜離反機構71とは異なる液膜破壊手段を備えている。
(Second Embodiment)
FIG. 7 is a side view of an essential part of the blade coating apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the following description, the same reference numerals are given to the same members as those of the blade coating apparatus 100 as the basic configuration, and the description thereof is omitted or simplified. As shown in FIG. 7, the blade coating apparatus 200 according to the second embodiment includes a liquid film breaking unit different from the above-described inclined separation mechanism 71.

即ち、エアシリンダ23と吸着台13とを連結する昇降軸21の途中に回転変換機構である溝カム81と、回転自在継手83とを具備する。溝カム81は、略円筒形本体の外周面に2本の螺旋溝81aが形成されている。螺旋溝81aのリードは、溝カム81の軸方向長さ50mmに対して180°回転するように設定されている。昇降軸21に固定された溝カム81の螺旋溝81aには、それぞれ機枠(図示せず)に固定されたピン85の先端部のカムフォロアが嵌合している。これにより、溝カム81が上下方向に直線移動すると、溝カム81、即ち、吸着台13が回動する。   That is, a groove cam 81 that is a rotation conversion mechanism and a rotatable joint 83 are provided in the middle of the elevating shaft 21 that connects the air cylinder 23 and the suction table 13. The groove cam 81 has two spiral grooves 81a formed on the outer peripheral surface of the substantially cylindrical body. The lead of the spiral groove 81a is set to rotate 180 ° with respect to the axial length of the groove cam 81 of 50 mm. A cam follower at the tip of a pin 85 fixed to a machine frame (not shown) is fitted in the spiral groove 81a of the groove cam 81 fixed to the elevating shaft 21. Thereby, when the groove cam 81 moves linearly in the vertical direction, the groove cam 81, that is, the suction table 13 rotates.

回転自在継手83は、溝カム81よりエアシリンダ23側の昇降軸21に配設された自在継手であり、エアシリンダ23のピストン87と昇降軸21とを、回転自在且つ軸方向には一体として作動するように連結する。これにより、エアシリンダ23を駆動してピストン87を上下方向に移動すると、吸着台13は、上下移動しつつ回転するように構成されている。   The rotatable universal joint 83 is a universal joint disposed on the lifting shaft 21 on the air cylinder 23 side of the groove cam 81, and the piston 87 and the lifting shaft 21 of the air cylinder 23 are rotatable and integrated in the axial direction. Connect to operate. Thus, when the air cylinder 23 is driven to move the piston 87 in the vertical direction, the suction table 13 is configured to rotate while moving up and down.

このようなブレード塗布装置200を用いたマスク板25と光ディスクDとの離反作用について説明する。
図7に示すように、光ディスクDに塗布液49を塗布した後、エアシリンダ23を駆動してピストン87を下方(矢印C方向)に移動すると、吸着台13は、溝カム81の作用により矢印R方向に回転しながら下降する。これにより、マスク板25及び光ディスクDに塗布された塗布液49は、マスク板25の開口縁部25aに沿う部分が上下方向及び回転方向に同時に引き伸ばされて、液膜49Aが成長する以前にマスク板25と光ディスクDの離反初期において破壊する。
A separation action between the mask plate 25 and the optical disk D using the blade coating apparatus 200 will be described.
As shown in FIG. 7, after the coating liquid 49 is applied to the optical disk D, the air cylinder 23 is driven to move the piston 87 downward (in the direction of arrow C). It descends while rotating in the R direction. As a result, the coating liquid 49 applied to the mask plate 25 and the optical disk D is masked before the liquid film 49A grows because the portion along the opening edge 25a of the mask plate 25 is stretched simultaneously in the vertical direction and the rotational direction. The plate 25 and the optical disc D are destroyed at the initial separation stage.

本実施形態のブレード塗布装置200によれば、マスク25と平面基板Dの上下方向の相互移動に加えて水平方向の相互移動が加わることにより、発生する液膜49Aが伸ばされて、これにより液膜49Aを早期に破壊することができる   According to the blade coating apparatus 200 of the present embodiment, the generated liquid film 49A is stretched by the horizontal movement in addition to the vertical movement of the mask 25 and the flat substrate D, thereby extending the liquid film 49A. Film 49A can be destroyed early

(第3実施形態)
図8は本発明の第3実施形態のブレード塗布装置の要部平面図、図9は図8に示すブレード塗布装置の要部縦断面図である。
図8及び図9に示すように、第3実施形態のブレード塗布装置300は、マスク板25の下方に液膜破壊手段91が配設されている。液膜破壊手段91は、電動モータ95と、電動モータ95の回転軸97に固定された液膜破壊用部材である回転アーム93とを具備している。そして、マスク板25から光ディスクDを僅かに下降させたとき、電動モータ95を駆動してマスク板25と光ディスクDの間に形成された隙間に回転アーム93をマスク25の開口27の外側から内側に突出させて液膜49Aに接触させる。これにより、マスク板25と光ディスクDの間に形成された液膜49Aは、強制的に破壊される。
(Third embodiment)
FIG. 8 is a plan view of an essential part of a blade coating apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a longitudinal sectional view of the essential part of the blade coating apparatus shown in FIG.
As shown in FIGS. 8 and 9, in the blade coating apparatus 300 of the third embodiment, a liquid film breaking means 91 is disposed below the mask plate 25. The liquid film breaking means 91 includes an electric motor 95 and a rotating arm 93 that is a liquid film breaking member fixed to the rotating shaft 97 of the electric motor 95. When the optical disk D is slightly lowered from the mask plate 25, the electric motor 95 is driven so that the rotary arm 93 is inserted into the gap formed between the mask plate 25 and the optical disk D from the outside of the opening 27 of the mask 25. Projecting into contact with the liquid film 49A. As a result, the liquid film 49A formed between the mask plate 25 and the optical disk D is forcibly destroyed.

本実施形態のブレード塗布装置300によれば、マスク25と平面基板(光ディスク)Dとを離反するときに、液膜破壊用部材(回転アーム)93をマスク25の開口27の内側に突出させて液膜49Aに接触させるようにしたので、液膜49Aが成長する前に液膜49Aを確実に破壊することができる。   According to the blade coating apparatus 300 of this embodiment, when the mask 25 and the flat substrate (optical disk) D are separated from each other, the liquid film breaking member (rotating arm) 93 is protruded inside the opening 27 of the mask 25. Since the liquid film 49A is brought into contact with the liquid film 49A, the liquid film 49A can be reliably destroyed before the liquid film 49A grows.

なお、液膜破壊用部材は、回転アームのように機械部品を液膜49Aに接触させて破壊するものに限定されず、例えば、空気等の流体を液膜49Aに向けて噴出させて液膜49Aを破壊するようにしてもよい。   The member for breaking the liquid film is not limited to a member that breaks the mechanical part by contacting the liquid film 49A such as a rotating arm. For example, a liquid film is ejected toward the liquid film 49A by ejecting a fluid such as air. 49A may be destroyed.

(第4実施形態)
図10は、本発明の第4実施形態のブレード塗布装置に用いられるマスク板の平面図である。
図10に示すように、第4実施形態のブレード塗布装置400のマスク板25は、開口縁部25aの一部が略V字形に切り欠かれて形成された切欠25b、25bが設けられている。このようなマスク板25を用いて光ディスクDに塗布液49を塗布した後、マスク板25と光ディスクDとを離反させると、切欠25b、25b近傍に形成される液膜49Aは、他の部位(即ち、円弧部)の液膜49Aと比較して大きく引き伸ばされてアンバランスが生じ、切欠25b、25b近傍に塗布された液膜49Aから破壊が発生する。該破壊は、マスク板25の開口縁部25aに沿って進行し、液膜49Aが成長する前に破壊することができる。
(Fourth embodiment)
FIG. 10 is a plan view of a mask plate used in the blade coating apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 10, the mask plate 25 of the blade coating apparatus 400 of the fourth embodiment is provided with cutouts 25b and 25b formed by cutting a part of the opening edge 25a into a substantially V shape. . When the coating liquid 49 is applied to the optical disc D using such a mask plate 25 and then the mask plate 25 and the optical disc D are separated from each other, the liquid film 49A formed in the vicinity of the notches 25b and 25b has other parts ( That is, it is greatly stretched compared with the liquid film 49A in the arc portion) to cause imbalance, and breakage occurs from the liquid film 49A applied in the vicinity of the notches 25b and 25b. The destruction proceeds along the opening edge 25a of the mask plate 25 and can be destroyed before the liquid film 49A grows.

本実施形態のブレード塗布装置400によれば、マスク25の開口縁部25aの少なくとも1箇所に切り欠き25b、25bを形成したので、マスク25と光ディスクDとを離反させると、該切り欠き25b、25bから液膜49Aの破壊が発生し、早期に該液膜49Aを破壊することができる。なお、切り欠き25b、25bは2つに限らず、任意の数を設けることができる。また、切り欠きに限らず、突起であってもよい。   According to the blade coating apparatus 400 of the present embodiment, the notches 25b and 25b are formed in at least one position of the opening edge 25a of the mask 25. Therefore, when the mask 25 and the optical disc D are separated, the notches 25b and 25b The liquid film 49A is broken from 25b, and the liquid film 49A can be broken at an early stage. In addition, the notches 25b and 25b are not limited to two, and an arbitrary number can be provided. Moreover, not only a notch but a protrusion may be sufficient.

(第5実施形態)
図11は、本発明の第5実施形態のブレード塗布装置に用いられるマスク板の要部拡大斜視図である。
図11に示すように、第5実施形態のブレード塗布装置500に用いられるマスク板25は、開口27を画成する開口縁部25aの大部分に濡れ性の小さな材料である、例えばフッ素系樹脂がコーティングされており、これにより、該塗布部に濡れ性の小さなコーティング部25cが形成されている。開口縁部25aの残りの部分には、フッ素系樹脂がコーティングされていない、換言すれば、大きな濡れ性を有する非コーティング部25dが形成されている。従って、濡れ性が異なるコーティング部25cと非コーティング部25dとの境界には、濡れ性不連続部25eが形成されている。
(Fifth embodiment)
FIG. 11 is an enlarged perspective view of a main part of a mask plate used in the blade coating apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 11, the mask plate 25 used in the blade coating apparatus 500 according to the fifth embodiment is made of a material having low wettability at most of the opening edge 25 a that defines the opening 27, for example, a fluorine resin. As a result, a coating portion 25c having low wettability is formed on the application portion. The remaining portion of the opening edge portion 25a is not coated with a fluorine-based resin, in other words, an uncoated portion 25d having high wettability is formed. Accordingly, the wettability discontinuous portion 25e is formed at the boundary between the coating portion 25c and the non-coating portion 25d having different wettability.

このようなマスク板25を用いて光ディスクDに塗布液49を塗布した後、マスク板25と光ディスクDとを離反させると、マスク板25と光ディスクDとの間に形成された液膜49Aは、濡れ性不連続部25eにおいて生じるアンバランスにより破壊が生じ、該破壊はマスク板25の開口縁部25aに沿って進行し、液膜49Aが成長する前に破壊することができる。   When the coating liquid 49 is applied to the optical disc D using such a mask plate 25 and then the mask plate 25 and the optical disc D are separated, the liquid film 49A formed between the mask plate 25 and the optical disc D is Breakage occurs due to imbalance occurring in the wettability discontinuity 25e, and the breakage proceeds along the opening edge 25a of the mask plate 25, and can be broken before the liquid film 49A grows.

本実施形態のブレード塗布装置500によれば、マスク25の開口縁部25aの少なくとも1箇所に周囲と異なる濡れ性を有する濡れ性不連続部25eを形成したので、液膜49Aが成長する前に該濡れ性不連続部25eで液膜49Aの破壊を発生させ、これにより液膜49Aを確実に破壊することができる。   According to the blade coating apparatus 500 of the present embodiment, since the wettability discontinuous portion 25e having wettability different from the surroundings is formed at least at one position of the opening edge portion 25a of the mask 25, before the liquid film 49A grows. The liquid film 49A is broken by the wettability discontinuous portion 25e, whereby the liquid film 49A can be reliably broken.

なお、以上説明したの本発明に係るブレード塗布装置は、前述した各実施形態の構成に限定されるものではなく、適宜、変形や改良等が可能である。   Note that the blade coating apparatus according to the present invention described above is not limited to the configuration of each of the embodiments described above, and can be appropriately modified and improved.

本発明に係るブレード塗布装置の概略基本構成を表す構成図である。1 is a configuration diagram illustrating a schematic basic configuration of a blade coating apparatus according to the present invention. 図1に示したブレード塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。It is the perspective view showing the outline of the external appearance of the blade coating device shown in FIG. 本発明に係るブレード塗布方法の基本手順を(a)〜(c)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the basic procedure of the blade application | coating method which concerns on this invention with (a)-(c). 本発明に係るブレード塗布方法の基本手順を(d)〜(g)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the basic procedure of the blade coating method which concerns on this invention with (d)-(g). 塗布の完了した被塗布部材の平面図である。It is a top view of the to-be-coated member which application was completed. 第1実施形態のブレード塗布装置によりマスク板から光ディスクが離反する過程の各状態を(a)〜(d)で表した要部縦断面図である。It is the principal part longitudinal cross-sectional view which represented each state of the process in which the optical disk leaves | separates from a mask board with the blade coating device of 1st Embodiment by (a)-(d). 第2実施形態のブレード塗布装置の要部側面図である。It is a principal part side view of the braid | blade coating device of 2nd Embodiment. 第3実施形態のブレード塗布装置の要部平面図である。It is a principal part top view of the blade coating device of 3rd Embodiment. 図8に示したブレード塗布装置の要部縦断面図である。It is a principal part longitudinal cross-sectional view of the blade coating device shown in FIG. 第4実施形態のブレード塗布装置に用いられるマスク板の平面図である。It is a top view of the mask board used for the blade coating apparatus of 4th Embodiment. 第5実施形態のブレード塗布装置に用いられるマスク板の要部破断斜視図である。It is a principal part fracture perspective view of the mask board used for the blade coating device of 5th Embodiment. 従来のディスク塗布装置により塗布液を塗布する状態を示し、(a)はブレードにより光ディスクに塗布液が塗布された状態を示す斜視図、(b)はマスク板から光ディスクが離反した状態を示す斜視図である。A state in which a coating liquid is applied by a conventional disk coating apparatus is shown, (a) is a perspective view showing a state in which the coating liquid is applied to the optical disk by a blade, and (b) is a perspective view showing a state in which the optical disk is separated from the mask plate. FIG. マスク板から光ディスクが離反する過程の各状態を(a)〜(d)で表した従来技術の説明図である。It is explanatory drawing of the prior art which represented each state of the process in which an optical disk leaves | separates from a mask board with (a)-(d).

符号の説明Explanation of symbols

23 エアシリンダ(マスク剥離手段)
25 マスク板(マスク)
25a 開口縁部
25b 切り欠き
25e 濡れ性不連続部
27 開口
41 塗布液供給部
49 塗布液(塗布液層)
49A 液膜
51 ブレード
71 傾斜離反機構(液膜破壊手段)
81 溝カム(回転変換機構)
91 液膜破壊手段
93 回転アーム(液膜破壊用部材)
100,200,300,400,500 ブレード塗布装置
D 光ディスク(平面基板)
23 Air cylinder (mask stripping means)
25 Mask plate (mask)
25a Opening edge 25b Notch 25e Wetting discontinuity 27 Opening 41 Application liquid supply part 49 Application liquid (application liquid layer)
49A Liquid film 51 Blade 71 Inclination separation mechanism (liquid film breaking means)
81 groove cam (rotation conversion mechanism)
91 Liquid film breaking means 93 Rotating arm (Liquid film breaking member)
100, 200, 300, 400, 500 Blade coating device D Optical disk (planar substrate)

Claims (11)

開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、
前記マスクと前記平面基板とを離反した直後に、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との間に生じる液膜を破壊することを特徴とするブレード塗布方法。
A mask having an opening is superposed on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask by a blade that moves relative to the mask above the mask, and then the mask. And a blade coating method of forming a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate,
Immediately after separating the mask and the planar substrate, a blade coating method destroys a liquid film formed between the opening edge of the mask and the planar substrate.
前記離反動作が、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との離反動作を、前記開口縁部の位置に応じて異なるタイミングで離反を開始させる動作であることを特徴とする請求項1記載のブレード塗布方法。   2. The separation operation according to claim 1, wherein the separation operation is an operation for starting the separation operation between the opening edge portion of the mask and the planar substrate at a different timing depending on the position of the opening edge portion. Blade application method. 前記離反動作が、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との離反動作として、前記マスクと前記平面基板との上下方向の相互移動に加えて水平方向の相互移動を含むことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のブレード塗布方法。   The separation operation includes a horizontal movement in addition to a vertical movement between the mask and the planar substrate as a separation operation between the opening edge of the mask and the planar substrate. The blade coating method according to claim 1 or 2. 前記離反動作のとき、前記液膜に液膜破壊用部材を接触させることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項記載のブレード塗布方法。   The blade coating method according to claim 1, wherein a liquid film breaking member is brought into contact with the liquid film during the separation operation. 開口を有するマスクと、
平面基板上に重ね合わせた前記マスク上に塗布液を供給する塗布液供給部と、
前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードと、
前記塗布液を前記マスク上に塗布した後に前記マスクと前記平面基板とを離反させるマスク剥離手段と、を備えたブレード塗布装置であって、
前記マスク剥離手段により前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスクの開口縁部と前記平面基板との間に生じる液膜を破壊する液膜破壊手段を備えたことを特徴とするブレード塗布装置。
A mask having an opening;
A coating liquid supply unit for supplying a coating liquid onto the mask superimposed on a flat substrate;
A blade that moves relative to the mask above the mask;
A mask coating device comprising: a mask peeling means for separating the mask and the planar substrate after coating the coating liquid on the mask,
When the mask and the flat substrate are separated from each other by the mask peeling means, a liquid film breaking means for breaking a liquid film generated between the opening edge of the mask and the flat substrate is provided. Blade coating device.
前記液膜破壊手段が、前記マスク剥離手段が前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスクと前記平面基板とを相互に傾斜させた状態で離反させる傾斜離反機構を含み、前記マスクと前記平面基板とを傾斜させた状態で離反させることを特徴とする請求項5記載のブレード塗布装置。   The liquid film breaking means includes an inclination separation mechanism that separates the mask and the planar substrate in a state of being inclined with respect to each other when the mask peeling means separates the mask and the planar substrate. 6. The blade coating apparatus according to claim 5, wherein the flat substrate is separated from the flat substrate in an inclined state. 前記液膜破壊手段が、前記マスク剥離手段が前記マスクと前記平面基板とを離反させるときに、前記マスク剥離手段の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構を含み、前記マスクと前記平面基板とを相対回転させつつ離反させることを特徴とする請求項5記載のブレード塗布装置。   The liquid film breaking means includes a rotation conversion mechanism that converts a linear motion of the mask peeling means into a rotational movement when the mask peeling means separates the mask and the flat substrate, and the mask and the flat substrate The blade coating apparatus according to claim 5, wherein the blade coating device is separated while being relatively rotated. 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口外側から内側に突出自在に配設された液膜破壊用部材を含み、前記マスクと前記平面基板とを離反するときに該液膜破壊用部材をマスク開口内側に突出させて前記液膜に接触させることを特徴とする請求項5記載のブレード塗布装置。   The liquid film breaking means includes a liquid film breaking member disposed so as to protrude inward from the outside of the mask opening, and the liquid film breaking member is masked when the mask and the planar substrate are separated from each other. 6. The blade coating apparatus according to claim 5, wherein the blade coating apparatus projects inward of the opening and contacts the liquid film. 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に形成した切り欠きを含むことを特徴とする請求項5記載のブレード塗布装置。   6. The blade coating apparatus according to claim 5, wherein the liquid film breaking means includes a notch formed in at least one position of the opening edge of the mask. 前記液膜破壊手段が、前記マスクの開口縁部の少なくとも1箇所に形成した周囲と異なる濡れ性を有する濡れ性不連続部を含むことを特徴とする請求項5記載のブレード塗布装置。   6. The blade coating apparatus according to claim 5, wherein the liquid film breaking means includes a wettability discontinuity portion having a wettability different from a periphery formed at at least one position of an opening edge portion of the mask. 請求項1〜請求項4記載のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも1層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。   A disk coating method comprising forming at least one layer of a printing surface of a disk-shaped recording medium by the blade coating method according to claim 1.
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