JP2006198474A - Blade coating method and disk coating method using this - Google Patents

Blade coating method and disk coating method using this Download PDF

Info

Publication number
JP2006198474A
JP2006198474A JP2005010530A JP2005010530A JP2006198474A JP 2006198474 A JP2006198474 A JP 2006198474A JP 2005010530 A JP2005010530 A JP 2005010530A JP 2005010530 A JP2005010530 A JP 2005010530A JP 2006198474 A JP2006198474 A JP 2006198474A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
blade
coating liquid
mask
mask plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005010530A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinsuke Takahashi
伸輔 高橋
Takayoshi Ose
隆義 大瀬
Satoshi Matsubaguchi
敏 松葉口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2005010530A priority Critical patent/JP2006198474A/en
Publication of JP2006198474A publication Critical patent/JP2006198474A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a blade coating method realizing stable coating of a coating liquid by a simple apparatus constitution, and a disc coating method using this, and to realize formation of a coating liquid layer having a good surface property by preventing dropping of the liquid and generation of a streak on a coating surface. <P>SOLUTION: In the blade coating method, a mask 25 having an opening 27 is superposed on an optical disc D, the coating liquid 49 is fed onto the mask 25, the mask 25 and the optical disc D are left from each other after the mask 25 is coated with the coating liquid 49 by a blade 51 relatively moved relative to the mask 25 above the mask 25 and the coating liquid layer 65 corresponding to the opening 27 of the mask 25 is formed on the optical disc D. A clearance G of the mask 25 and a lower surface 59 of the blade 51 is made to 20 μm-150μm and is made to 10%-50% of film thickness T of the coating liquid layer 65 applied on the optical disc D. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、平面基板に対してブレードにより塗布液を塗布するブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法に関する。   The present invention relates to a blade coating method for coating a flat substrate with a coating solution using a blade, and a disk coating method using the same.

液状塗料を被塗布部材の塗布面に安定的に塗布するには、従来より種々の提案がなされている。例えば下記特許文献1に開示される塗布装置では、被塗布体に摺接する側枠と、その間に渡設した二枚のブレードよりなるポケット内に収容した塗布液を走行方向下流側ブレードの下端のギャップから被塗布体上に流出させて塗布するものであって、側枠が摺接する被塗布体上面に潤滑層を形成するための潤滑層形成手段を設けている。これにより、側枠下面の滑り性を改善し、塗布面にブレードの渡設方向に連続する横縞発生の防止を図っている。   Various proposals have heretofore been made in order to stably apply a liquid paint to an application surface of a member to be applied. For example, in the coating apparatus disclosed in Patent Document 1 below, the coating liquid stored in a pocket made up of a side frame that is slidably contacted with an object to be coated and two blades that are interposed between the side frame is provided at the lower end of the blade on the downstream side in the traveling direction. Lubricating layer forming means is provided for forming a lubricating layer on the upper surface of the coated body, which is applied to the coated body by flowing out from the gap onto the coated body. Thereby, the slipperiness of the lower surface of the side frame is improved, and the occurrence of horizontal stripes continuous in the direction in which the blade passes on the coating surface is prevented.

また、下記特許文献2に開示される基板塗布装置では、下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に基板を挟んで送ることにより、基板の下面に塗布液を塗布するものであって、マイクロロッドバーの基板進入側に基板の前縁を下方から支えて基板前縁の撓みを制限する押上げ部材を設けている。これにより、基板の前縁中央付近の塗布厚がその両側より厚くなるのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。また、基板の後縁中央付近が塗布液槽の出口側せきに接触するのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。   In addition, in the substrate coating apparatus disclosed in Patent Document 2 below, the substrate is sandwiched between a microrod bar whose lower part is immersed in a coating solution tank and a nip roller disposed opposite to the microrod bar. Thus, a coating liquid is applied to the lower surface of the substrate, and a push-up member that supports the front edge of the substrate from below and restricts the deflection of the front edge of the substrate is provided on the substrate entrance side of the microrod bar. As a result, the coating thickness in the vicinity of the center of the front edge of the substrate is prevented from becoming thicker than both sides, and coating is performed with a uniform coating thickness. In addition, the vicinity of the center of the rear edge of the substrate is prevented from coming into contact with the cough on the outlet side of the coating solution tank, and coating is performed with a uniform coating thickness.

さらに、下記特許文献3に開示されるロールコータでは、塗布処理すべき薄板を搬送する搬送台と塗布ロールとを設け、塗布ロールの下側に搬送台を移動通過させることにより液剤を薄板の表面に塗布するものであって、搬送台を基盤上面に薄板把持用の把持板を隙間を介在させて配置し、隙間の面方向中間部に薄板の中心を搬送台の移動方向に通る線分に対して線対称に弾性材を配置し、かつ把持板の周縁部を隙間規制手段により隙間を調整可能に規制している。これにより、把持板が塗布ロールを押圧して通過するとき、隙間の範囲内で傾動して接触侵入時の衝撃を緩和するように弾性材の反力(弾性力)を制御し、衝撃振動に伴う塗布ムラを生じないようにしている。   Furthermore, in the roll coater disclosed in Patent Document 3 below, a transport base and a coating roll for transporting a thin plate to be coated are provided, and the liquid agent is moved to the surface of the thin plate by moving the transport base below the coating roll. The carrier plate is placed on the upper surface of the substrate with a grip plate for gripping the thin plate with a gap interposed therebetween, and the center of the thin plate is placed in the middle of the surface direction of the gap in a line segment passing in the moving direction of the carrier table. On the other hand, the elastic material is arranged symmetrically with respect to the line, and the periphery of the gripping plate is regulated by the gap regulating means so that the gap can be adjusted. As a result, when the gripping plate presses and passes the coating roll, the reaction force (elastic force) of the elastic material is controlled so as to relax within the range of the gap and relieve the impact at the time of contact intrusion. The accompanying coating unevenness is prevented.

特開昭63−224761号公報JP 63-224761 A 特開平9−10646号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-10646 特開平10−128221号公報JP-A-10-128221

また、光ディスク等のディスク状記録媒体に塗布液を100μm程度の厚さに塗布して、印刷可能な塗布液層(インク受理層)9を形成する従来のディスク塗布装置1としては、図9に示すものがある。このディスク塗布装置1は、光ディスクDを吸着載置する吸着台2、光ディスクDを吸着台2と共に上下方向に移動させるエアシリンダ3、円形縁部4aで画成された開口8を有するマスク板(マスク)4、及びマスク板4上を所定の隙間を保ちながら水平駆動されて塗布液6を光ディスクDに塗布し、塗布液層9を形成するブレード5を備えたものである。   FIG. 9 shows a conventional disk coating apparatus 1 that forms a printable coating liquid layer (ink receiving layer) 9 by coating a coating liquid on a disk-shaped recording medium such as an optical disk to a thickness of about 100 μm. There is something to show. This disk coating apparatus 1 includes a suction plate 2 for sucking and mounting an optical disk D, an air cylinder 3 for moving the optical disk D in the vertical direction together with the suction table 2, and a mask plate having an opening 8 defined by a circular edge 4a ( (Mask) 4 and a mask plate 4 and a blade 5 that forms a coating liquid layer 9 by applying the coating liquid 6 to the optical disc D by being driven horizontally while maintaining a predetermined gap.

このようなディスク塗布装置1による塗布液6の塗布は、図9(a)に示すように、吸着台2上に光ディスクDを載置して吸着固定した後、エアシリンダ3を作動して光ディスクDを上昇させ、これによりマスク板4を光ディスクD上に重ね合わる。そして、マスク板4上に塗布液6を供給しながら、マスク板4上方でブレード5を矢印A方向に相対移動することにより、塗布液6をマスク板4の開口8から露出する光ディスクDの塗布面7に塗布する。次いで、図9(b)に示すように、エアシリンダ3を作動して吸着台2を下降(矢印B方向)させてマスク板4から光ディスクDを離反させ、光ディスクD上にマスク板4の開口8に応じた塗布液層9を形成する。   As shown in FIG. 9A, the application of the coating liquid 6 by the disk coating apparatus 1 is performed by placing the optical disk D on the suction table 2 and fixing it by suction, and then operating the air cylinder 3 to operate the optical disk. D is raised, whereby the mask plate 4 is overlaid on the optical disk D. Then, while supplying the coating liquid 6 onto the mask plate 4, the blade 5 is relatively moved in the direction of arrow A above the mask plate 4, whereby the coating liquid 6 is applied to the optical disk D exposed from the opening 8 of the mask plate 4. Apply to surface 7. Next, as shown in FIG. 9B, the air cylinder 3 is actuated to lower the suction table 2 (in the direction of arrow B) to separate the optical disk D from the mask plate 4, and the opening of the mask plate 4 on the optical disk D is opened. A coating liquid layer 9 corresponding to 8 is formed.

しかしながら、特許文献1に開示される塗布装置は、簡素な構造での構成が可能となるが、塗布具の一部が被塗布体上に支持され、下流側ブレードと被塗布体との相対的な間隔を維持して塗布を行うため、被塗布体は帯状のものに限られ、ブレードの両端側に未塗布部の生じる欠点があった。   However, although the coating apparatus disclosed in Patent Document 1 can be configured with a simple structure, a part of the coating tool is supported on the coated body, and the relative relationship between the downstream blade and the coated body is determined. In order to perform the coating while maintaining a proper interval, the coated body is limited to a belt-like body, and there is a defect that uncoated portions are formed on both ends of the blade.

また、特許文献2に開示される基板塗布装置は、基板をニップして下側からマイクロロッドバーで塗布を行うことから、全幅方向での塗布は可能となるものの、被塗布体が帯状や矩形状のものに限られた。そして、液膜の厚みが厚くなると、マイクロロッドバーの下流側でビードが乱れて塗布面にスジの発生する問題があった。   In addition, since the substrate coating apparatus disclosed in Patent Document 2 nips a substrate and performs coating with a microrod bar from the lower side, coating in the entire width direction is possible, but the object to be coated is a strip or rectangular shape. Limited to shapes. And when the thickness of the liquid film is increased, there is a problem in that the beads are disturbed on the downstream side of the microrod bar and streaks are generated on the coating surface.

さらに、特許文献3に開示されるロールコータは、ディスク形状となる被塗布体の塗布を可能とし、各塗布体の全面塗布も可能となるが、塗布体のそれぞれを弾性体で支持するため、設備が大がかりとなり、これに加え、液膜厚みが厚くなれば、上記した基板塗布装置と同様に、スジの発生する問題があった。   Furthermore, the roll coater disclosed in Patent Document 3 enables the application of a disk-shaped object to be coated, and also allows the entire surface of each coated body to be coated, but in order to support each of the coated bodies with an elastic body, If the equipment becomes large and, in addition to this, the liquid film thickness increases, there is a problem that streaks occur as in the case of the substrate coating apparatus described above.

このように、従来の技術では、装置が大がかりになることや、特に塗布厚みが厚くなると、ブレードと塗布面との隙間に押し込まれる塗布液の量が多くなり、ブレードに歪みが生じて塗布方向に略平行なスジが発生したり、ブレードが通過した直後の液界面の乱れが顕著となり、上記と同様に塗布方向に略平行なスジが発生し、良好な塗膜面の確保が困難となる欠点があった。   As described above, in the conventional technology, when the apparatus becomes large, or particularly when the coating thickness is increased, the amount of the coating liquid pushed into the gap between the blade and the coating surface increases, and the blade is distorted to cause the coating direction. As shown above, streaks substantially parallel to the coating direction are generated, and it becomes difficult to ensure a good coating surface. There were drawbacks.

また、図9に示す従来のディスク塗布装置1にあっては、光ディスクDの塗布面7に塗布液6を比較的厚く塗布するため、ブレード5の下面5aとマスク板4の上面との隙間を広くすると、塗布された塗布液層9に液ダレが生じて均一に塗布することが困難であった。また、マスク板4上に塗布された塗布液6は、光ディスクDの塗布液層9とはならずに廃棄されるこことなるので、塗布液6の無駄が多くなり、塗布液6を効率的に使用することができない問題があった。上記問題を回避するため、ブレード5の下面5aとマスク板4の上面との隙間を狭くすると、塗布液層9にブレード5の塗布方向に略平行なスジが発生し、良好な塗膜面の確保が困難となる欠点があった。   Further, in the conventional disc coating apparatus 1 shown in FIG. 9, since the coating liquid 6 is applied to the coating surface 7 of the optical disc D relatively thickly, a gap between the lower surface 5a of the blade 5 and the upper surface of the mask plate 4 is formed. If it is widened, it will be difficult to apply uniformly because liquid sagging occurs in the applied coating liquid layer 9. In addition, since the coating liquid 6 applied on the mask plate 4 is discarded instead of the coating liquid layer 9 of the optical disc D, the coating liquid 6 is wasted and the coating liquid 6 is efficiently used. There was a problem that could not be used. In order to avoid the above problem, when the gap between the lower surface 5a of the blade 5 and the upper surface of the mask plate 4 is narrowed, streaks substantially parallel to the coating direction of the blade 5 are generated in the coating liquid layer 9, and a good coating surface is obtained. There was a drawback that it was difficult to ensure.

本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、簡素な装置構成で、塗布液の安定した塗布が可能となるブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法を提供し、もって、液ダレや塗布面でのスジの発生を防止して良好な表面性状を有する塗布液層の形成を可能とすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above situation, and provides a blade coating method and a disk coating method using the blade coating method that enable stable coating of a coating solution with a simple apparatus configuration. An object of the present invention is to prevent formation of streaks on the surface and to form a coating liquid layer having good surface properties.

本発明に係る上記目的は、下記構成により達成できる。
(1) 開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、前記マスクと前記ブレードの下面との隙間を、20μm〜150μmとしたことを特徴とするブレード塗布方法。
The above object of the present invention can be achieved by the following configuration.
(1) After a mask having an opening is overlaid on a flat substrate, a coating solution is supplied onto the mask, and the coating solution is applied onto the mask by a blade that moves relative to the mask above the mask. A blade coating method for forming a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate by separating the mask and the planar substrate, wherein a gap between the mask and the lower surface of the blade is 20 μm. A blade coating method characterized by a thickness of ˜150 μm.

このようなブレード塗布方法によれば、マスクとブレードの下面との隙間を、20μm〜150μmとしたので、塗布液層の液ダレやスジ発生が防止されて、塗布液層の表面性状を平坦、且つ厚みを均一にすることができる。これにより、表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。更に、無駄になる塗布液を最小限に抑制して、塗布液を有効に使用することができる。   According to such a blade coating method, since the gap between the mask and the lower surface of the blade is set to 20 μm to 150 μm, dripping or streaking of the coating liquid layer is prevented, and the surface property of the coating liquid layer is flat. In addition, the thickness can be made uniform. Thereby, a coating liquid layer having a good surface property can be formed. Furthermore, it is possible to effectively use the coating liquid while minimizing the wasteful coating liquid.

(2) (1)に記載のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも1層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。   (2) A disk coating method, wherein at least one layer of a printing surface of a disk-shaped recording medium is formed by the blade coating method according to (1).

このようなディスク塗布方法によれば、大面積の塗布が可能な塗布装置を用いてディスク状記録媒体の印刷面のうち少なくとも1層を形成することにより、均一で高品位な塗布液層を形成することができる。これにより、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を、必要十分なインク受理能力を持たせた厚みで形成可能となる。   According to such a disk coating method, a uniform and high-quality coating liquid layer is formed by forming at least one layer of the printing surface of the disk-shaped recording medium using a coating apparatus capable of coating a large area. can do. Accordingly, for example, a printing layer (ink receiving layer) for performing printing using an ink jet printer can be formed with a thickness having a necessary and sufficient ink receiving capability.

本発明のブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法によれば、塗布液層の液ダレやスジ発生を未然に防止して、表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。更に、平面基板に塗布されずに無駄になる塗布液を最小限に抑制して、塗布液を有効に使用することができる。また、これによりディスク状記録媒体の印刷面に均一で高品位な塗布液層を形成することができる。   According to the blade coating method and the disk coating method using the blade coating method of the present invention, it is possible to prevent the coating liquid layer from dripping and streaking and to form a coating liquid layer having a good surface property. Furthermore, the coating liquid that is not applied to the flat substrate and is wasted can be suppressed to a minimum, and the coating liquid can be used effectively. This also makes it possible to form a uniform and high-quality coating solution layer on the printing surface of the disk-shaped recording medium.

以下、本発明に係るブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法を達成するのに好適なブレード塗布装置について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明に係る塗布装置の概略を表す構成図、図2は図1に示した塗布装置の外観の概略を表した斜視図、図3は図1に示した塗布装置の要部側面図である。
A blade coating apparatus suitable for achieving the blade coating method and the disk coating method using the same according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of a coating apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an outline of the appearance of the coating apparatus shown in FIG. 1, and FIG. FIG.

本実施の形態によるブレード塗布装置100は、例えば平面基板の一例であるディスク状記録媒体、例えば光ディスクDを被塗布部材とする液膜の塗布に用いられる。
まず、ブレード塗布装置100の構成について説明する。
図1に示すように、ブレード塗布装置100の塗布部11には、光ディスクDが吸着載置可能となる円形状の吸着台13が設けられる。この吸着台13の上面には複数の吸着孔15が開口されて、各吸着孔15には吸引路17を介して真空ポンプ19が接続される。吸着台13は、真空ポンプ19が作動することで吸着孔15を介して光ディスクDを上面に吸着保持することができる。
The blade coating apparatus 100 according to the present embodiment is used for coating a liquid film using, for example, a disk-shaped recording medium that is an example of a flat substrate, for example, an optical disk D as a member to be coated.
First, the configuration of the blade coating apparatus 100 will be described.
As shown in FIG. 1, the applicator 11 of the blade applicator 100 is provided with a circular suction table 13 on which the optical disk D can be sucked and placed. A plurality of suction holes 15 are opened on the upper surface of the suction table 13, and a vacuum pump 19 is connected to each suction hole 15 via a suction path 17. The suction table 13 can hold the optical disk D on the upper surface through the suction holes 15 by operating the vacuum pump 19.

また、吸着台13は、昇降軸21によって下面中央が上下方向に移動自在に支持される。この昇降軸21の上下移動は、マスク剥離手段の一例であるエアシリンダ23の駆動によりなされる。
そして、吸着台13の上方にはマスク板(マスク)25が設けられ、マスク板25は光ディスクDの塗布面57を露出させる開口27を有している。吸着台13に載置された光ディスクDは、エアシリンダ23の駆動によって昇降軸21が上昇して、上限位置に到達したときに、外周縁がマスク板25の開口周縁部25aによって覆われる。
Further, the suction table 13 is supported by the lifting shaft 21 so that the center of the lower surface is movable in the vertical direction. The vertical movement of the elevating shaft 21 is performed by driving an air cylinder 23 which is an example of a mask peeling means.
A mask plate (mask) 25 is provided above the suction table 13, and the mask plate 25 has an opening 27 for exposing the application surface 57 of the optical disk D. The optical disk D placed on the suction table 13 is covered with the opening peripheral edge 25 a of the mask plate 25 when the elevating shaft 21 is raised by driving the air cylinder 23 and reaches the upper limit position.

また、塗布部11には、光ディスクDの中央部上方に、マスクキャップ着脱手段29が具備される。マスクキャップ着脱手段29は、キャップ吸着ノズル31と、真空ポンプ33と、昇降手段35とからなる。マスクキャップ着脱手段29は、真空ポンプ33の駆動によってキャップ吸着ノズル31の下端に、マスクキャップ37を吸着保持する。この状態で昇降手段35が駆動されることで、キャップ吸着ノズル31が下降して、光ディスクDの中央部の穴にマスクキャップ37が挿着されるようになっている。なお、マスクキャップ(センターキャップ)は、これに限らず、他の機械的手段で脱着してもよい。例えば、マスクキャップ37の下方から突き上げてマスク板25から浮き上がらせ、マスクキャップ37を、その側方からすくい取る等の方法がある。   The coating unit 11 is provided with a mask cap attaching / detaching means 29 above the center of the optical disc D. The mask cap attaching / detaching means 29 includes a cap suction nozzle 31, a vacuum pump 33, and an elevating means 35. The mask cap attaching / detaching means 29 sucks and holds the mask cap 37 at the lower end of the cap suction nozzle 31 by driving the vacuum pump 33. When the elevating means 35 is driven in this state, the cap suction nozzle 31 is lowered, and the mask cap 37 is inserted into the hole in the center of the optical disc D. The mask cap (center cap) is not limited to this, and may be detached by other mechanical means. For example, there is a method in which the mask cap 37 is pushed up from below and lifted from the mask plate 25, and the mask cap 37 is scooped from the side.

開口27より外側のマスク板25の上方には塗布液供給手段41が設けられている。塗布液供給手段41は、塗布液供給ノズル43と、塗布液供給装置45と、ノズル昇降装置47とからなる。塗布液供給手段41は、塗布液供給装置45から供給される塗布液49を、塗布液供給ノズル43からマスク板25上に滴下供給する。この際、塗布液供給ノズル43は、塗布液49を滴下供給するときだけノズル昇降装置47によってマスク板25の近傍高さに移動し、通常は塗布工程に支障とならない位置まで上昇して待機状態とされる。
ここで、塗布液49は、例えば、液粘度が150cP〜800cPのものが利用でき、特に、200cP〜600cPの塗布液49が好適に用いられる。
A coating liquid supply means 41 is provided above the mask plate 25 outside the opening 27. The coating liquid supply means 41 includes a coating liquid supply nozzle 43, a coating liquid supply device 45, and a nozzle lifting / lowering device 47. The coating solution supply means 41 supplies the coating solution 49 supplied from the coating solution supply device 45 dropwise onto the mask plate 25 from the coating solution supply nozzle 43. At this time, the coating liquid supply nozzle 43 is moved to the height near the mask plate 25 by the nozzle lifting / lowering device 47 only when the coating liquid 49 is dropped and supplied, and normally rises to a position where it does not interfere with the coating process and is in a standby state It is said.
Here, as the coating liquid 49, for example, one having a liquid viscosity of 150 cP to 800 cP can be used, and in particular, the coating liquid 49 of 200 cP to 600 cP is preferably used.

塗布液供給手段41によってマスク板25上に供給された塗布液49のさらに外側には、ブレード51が待機状態で配置される。ブレード51は、移動手段53によってマスク板25上を所定の隙間Gを保ちながら水平駆動され、前側面55で塗布液49を押しながら、図2に示すように、マスク板25の開口27によって露出された光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布するように移動する。
なお、図3に示すように、ブレード51の下面59とマスク板25との隙間Gは、20μm〜150μmに設定されている。
A blade 51 is arranged in a standby state further outside the coating liquid 49 supplied onto the mask plate 25 by the coating liquid supply means 41. The blade 51 is horizontally driven on the mask plate 25 while maintaining a predetermined gap G by the moving means 53, and is exposed through the opening 27 of the mask plate 25 as shown in FIG. It moves so that the coating liquid 49 may be apply | coated to the application | coating surface 57 of the optical disk D made.
As shown in FIG. 3, the gap G between the lower surface 59 of the blade 51 and the mask plate 25 is set to 20 μm to 150 μm.

ブレード51は、図1の紙面垂直方向に長尺に形成されたステンレス材等の金属材料からなり、ブレード51長手方向に垂直方向の断面形状が、略台形形状に形成されている。また、ブレード51の下面59とマスク板25との間には隙間(ギャップ)Gが形成され、塗布液49はブレード51の前側面55により流れが案内されるに伴い押圧されることで、このギャップGに押し込まれる。そして、塗布面57に対面するブレード51の下面59を通過することで塗布液49がマスク板25の開口27内に充填される。その結果、塗布面57に塗布液49が平坦に塗布されるようになる。   The blade 51 is made of a metal material such as a stainless steel material that is elongated in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, and the cross-sectional shape perpendicular to the longitudinal direction of the blade 51 is formed in a substantially trapezoidal shape. Further, a gap (gap) G is formed between the lower surface 59 of the blade 51 and the mask plate 25, and the coating liquid 49 is pressed as the flow is guided by the front side surface 55 of the blade 51. It is pushed into the gap G. Then, the coating liquid 49 is filled in the opening 27 of the mask plate 25 by passing through the lower surface 59 of the blade 51 facing the coating surface 57. As a result, the coating liquid 49 is applied to the coating surface 57 flatly.

上記した真空ポンプ19、エアシリンダ23、真空ポンプ33、昇降手段35、塗布液供給装置45、ノズル昇降装置47、移動手段53は、それぞれが制御部63によって動作が制御される。   The operations of the vacuum pump 19, the air cylinder 23, the vacuum pump 33, the lifting / lowering means 35, the coating liquid supply device 45, the nozzle lifting / lowering device 47, and the moving means 53 are controlled by the control unit 63.

また、マスク板25の開口27は、ブレード51の長手方向に沿って連続する少なくとも50mmを超える開口を有することで、詳細を後述する本発明に係るブレード塗布による均一塗布性の効果が顕著となる。本実施の形態においては、開口27が直径120mm程度の円形状に形成される。   Further, the opening 27 of the mask plate 25 has an opening exceeding at least 50 mm continuous along the longitudinal direction of the blade 51, so that the effect of uniform application by the blade application according to the present invention, which will be described in detail later, becomes remarkable. . In the present embodiment, the opening 27 is formed in a circular shape having a diameter of about 120 mm.

本実施の形態によるブレード塗布装置100においては、塗布時における塗布液層65の膜厚Tが、少なくとも100μm以上で塗布される。このような100μm以上の厚みの塗布である場合、薄膜の塗布の場合と比較して、塗布液層65の表面性状は塗布面57の表面に倣う傾向が低くなり、ブレード51の形状が大きな影響を及ぼすことになる。つまり、塗布面57の凹凸に影響されにくく、ブレード51による塗布液49の圧力、ブレード51形状による塗布液49の濡れ上がり性等が、塗布液層65の表面性状を決定する主要因となる。   In the blade coating apparatus 100 according to this embodiment, the coating liquid layer 65 is coated with a film thickness T of at least 100 μm at the time of coating. In the case of such coating having a thickness of 100 μm or more, the surface property of the coating liquid layer 65 is less likely to follow the surface of the coating surface 57 and the shape of the blade 51 is greatly affected as compared with the case of coating a thin film. Will be affected. That is, the surface of the coating liquid layer 65 is determined by the pressure of the coating liquid 49 by the blade 51 and the wettability of the coating liquid 49 by the blade 51 shape.

本ブレード塗布装置100は、ディスク状記録媒体(光ディスク)の記録層の少なくとも1層を形成するディスク塗布装置として使用する場合、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層(インク受理層)を形成することができる。このディスク塗布装置によれば、印刷層への印刷の際、良好な色再現性が確保できるように、必要十分な厚みの印刷層を形成することができる。実際には、塗布液層が塗布時150μm程度の厚みであると、乾燥後の目減り時において30μm程度の塗膜が形成され、この30μm程度のインク受理層が良好な色再現性を可能にする。   When this blade coating apparatus 100 is used as a disk coating apparatus for forming at least one recording layer of a disk-shaped recording medium (optical disk), for example, a printing layer (ink receiving layer) for performing printing using an inkjet printer. Can be formed. According to this disk coating apparatus, it is possible to form a printing layer having a necessary and sufficient thickness so that good color reproducibility can be ensured when printing on the printing layer. Actually, when the coating liquid layer has a thickness of about 150 μm at the time of coating, a coating film of about 30 μm is formed when the coating is reduced after drying, and the ink receiving layer of about 30 μm enables good color reproducibility. .

次に、このブレード塗布装置100を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図4は本発明に係る塗布方法の手順を(a)〜(c)で表した説明図、図5は本発明に係る塗布方法の手順を(d)〜(g)で表した説明図、図6は塗布の完了した被塗布部材の平面図である。
Next, a coating solution coating method using the blade coating apparatus 100 will be described.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (a) to (c), and FIG. 5 is an explanatory diagram showing the procedure of the coating method according to the present invention as (d) to (g). FIG. 6 is a plan view of a member to be coated after coating.

まず、制御部63の指令により、図4(a)に示すように、昇降軸21の下降位置において、吸着台13上に光ディスクDが吸着され、図4(b)に示すように、エアシリンダ23の駆動によって吸着台13が上昇して光ディスクDがマスク板25の開口周縁部25aに当接する。次いで、図4(c)に示すように、マスクキャップ着脱手段29の駆動により、マスクキャップ37が光ディスクDの中央穴に挿着される。   First, as shown in FIG. 4A, the optical disk D is adsorbed on the adsorption table 13 at the lowered position of the elevating shaft 21, as shown in FIG. 4A, and an air cylinder is obtained as shown in FIG. The suction table 13 is lifted by the drive of 23 and the optical disk D comes into contact with the opening peripheral edge 25 a of the mask plate 25. Next, as shown in FIG. 4C, the mask cap 37 is inserted into the center hole of the optical disc D by driving the mask cap attaching / detaching means 29.

そして、図5(d)に示すように、塗布液供給手段41によりマスク板25上に滴下された塗布液49を、ブレード51が移動手段53によって図中右方から左方に移動する。すると、図5(e)に示すように、ブレード51が光ディスクDの塗布面57を塗布液49と共に通過して、光ディスクDの塗布面57に所定厚の塗布液層65が形成される。
光ディスクDに塗布される塗布液層65の膜厚Tは、ブレード51の下面59と光ディスクDの塗布面57との垂直距離、換言すれば、マスク板25の厚さtが一定である場合、ブレード51の下面59とマスク板25との隙間Gにより決まる。
Then, as shown in FIG. 5 (d), the blade 51 moves the coating liquid 49 dropped on the mask plate 25 by the coating liquid supply means 41 from the right to the left in the figure by the moving means 53. Then, as shown in FIG. 5 (e), the blade 51 passes through the coating surface 57 of the optical disk D together with the coating liquid 49, and a coating liquid layer 65 having a predetermined thickness is formed on the coating surface 57 of the optical disk D.
The film thickness T of the coating liquid layer 65 applied to the optical disk D is a vertical distance between the lower surface 59 of the blade 51 and the coating surface 57 of the optical disk D, in other words, when the thickness t of the mask plate 25 is constant. It is determined by the gap G between the lower surface 59 of the blade 51 and the mask plate 25.

次いで、図5(f)に示すように、マスクキャップ着脱手段29が駆動され、マスクキャップ37が光ディスクDから脱着される。これにより、光ディスクDの中央部には塗布液49の塗布されない円形段部69が形成されることとなる。次いで、エアシリンダ23の駆動によって、図5(g)に示すように、吸着台13が下降することによりマスク板25の開口周縁部25aから光ディスクDが下方へと離反する。   Next, as shown in FIG. 5 (f), the mask cap attaching / detaching means 29 is driven, and the mask cap 37 is detached from the optical disk D. As a result, a circular step 69 to which the coating liquid 49 is not applied is formed at the center of the optical disc D. Next, when the air cylinder 23 is driven, the optical disk D is separated downward from the opening peripheral edge 25a of the mask plate 25 as the suction table 13 is lowered as shown in FIG.

これにより、塗布面57に塗布された塗布液49は、マスク板25上の塗布液49と剪断により分離される。この結果、光ディスクDの外周縁にはマスク板25に覆われていたことで、塗布液49の塗布されていない図6に示す非塗布部71が形成されることとなる。
なお、マスク板25の開口形状を適宜変更することによって、塗布部の形状は自由に設定できる。
As a result, the coating liquid 49 applied to the coating surface 57 is separated from the coating liquid 49 on the mask plate 25 by shearing. As a result, since the outer peripheral edge of the optical disk D is covered with the mask plate 25, the non-application part 71 shown in FIG. 6 where the application liquid 49 is not applied is formed.
Note that the shape of the application part can be freely set by appropriately changing the opening shape of the mask plate 25.

このようにして塗布液49の塗布が完了した光ディスクDは、図示は省略するが、吸着台13から取り外され、次工程の塗布液49の乾燥工程へと移送される。   The optical disk D in which the application of the coating liquid 49 has been completed in this manner is omitted from the drawing table 13 and is transferred to the drying process of the coating liquid 49 in the next process, although not shown.

なお、本実施形態では、光ディスクの印刷面の塗布に本ブレード塗布装置を用いているが、対象物はこれに限らず、厚膜を形成するものであれば、種々の対象物に塗布することができる。   In this embodiment, the blade coating apparatus is used for coating the printing surface of the optical disk. However, the object is not limited to this, and any object that forms a thick film may be coated. Can do.

また、上記のブレード塗布装置100においては、ブレード51をステンレス材により形成したが、本発明はこれに限らず、例えば樹脂材料や硬質ゴムであってもよい。
図7に、弾性を有する材料である硬質ゴムからなるブレード81を具備するブレード塗布装置200を示した。ブレード81は、マスク板25に弾性的に当接しており、移動手段53によって水平駆動されてマスク板25に摺接しながら図中右方から左方に移動して光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布する。
なお、その他の部分については、上記のブレード塗布装置100と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化または省略する。
In the blade coating apparatus 100 described above, the blade 51 is formed of a stainless material. However, the present invention is not limited to this, and may be a resin material or hard rubber, for example.
FIG. 7 shows a blade coating apparatus 200 including a blade 81 made of hard rubber, which is an elastic material. The blade 81 is in elastic contact with the mask plate 25 and is horizontally driven by the moving means 53 to move from the right to the left in the figure while sliding on the mask plate 25 to apply to the coating surface 57 of the optical disc D. Liquid 49 is applied.
Since the other parts are the same as those of the blade coating apparatus 100 described above, the same parts are denoted by the same reference numerals or the corresponding reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

このブレード塗布装置200によれば、ブレード81はマスク板25に摺接しながら水平移動するので、マスク板25上の塗布液49はブレード81によってかきとられ、マスク板25上には塗布されない。従って、無駄になる塗布液49の量を最少量とすることができ、塗布液49を有効に使用することができる。   According to this blade coating apparatus 200, the blade 81 moves horizontally while being in sliding contact with the mask plate 25, so that the coating liquid 49 on the mask plate 25 is scraped by the blade 81 and is not applied onto the mask plate 25. Therefore, the amount of the coating liquid 49 that is wasted can be minimized, and the coating liquid 49 can be used effectively.

また、塗布液49を再利用して無駄なく有効利用可能とした他のブレード塗布装置300を図8に示した。
このブレード塗布装置300では、開口27より外側のマスク板25の上方に塗布液供給手段41が設けられている。塗布液供給手段41は、塗布液供給ノズル43と、塗布液供給装置45と、塗布液タンク83と、補充用塗布液タンク85とを備える。塗布液タンク83は、塗布液供給装置45及び補充用塗布液タンク85とパイプ等の供給路87を介して接続されている。塗布液供給装置45は、塗布液タンク83から供給される塗布液49を塗布液供給ノズル43からマスク板25上に滴下供給する。塗布液タンク83内の塗布液49の残量が少なくなると、補充用塗布液タンク85から塗布液タンク83へ塗布液49が補充される。
FIG. 8 shows another blade coating apparatus 300 that can reuse the coating liquid 49 and effectively use it without waste.
In the blade coating device 300, a coating solution supply unit 41 is provided above the mask plate 25 outside the opening 27. The coating liquid supply means 41 includes a coating liquid supply nozzle 43, a coating liquid supply device 45, a coating liquid tank 83, and a supplementary coating liquid tank 85. The coating liquid tank 83 is connected to the coating liquid supply device 45 and the replenishment coating liquid tank 85 via a supply path 87 such as a pipe. The coating solution supply device 45 supplies the coating solution 49 supplied from the coating solution tank 83 dropwise onto the mask plate 25 from the coating solution supply nozzle 43. When the remaining amount of the coating liquid 49 in the coating liquid tank 83 decreases, the coating liquid 49 is replenished from the replenishing coating liquid tank 85 to the coating liquid tank 83.

また、ブレード塗布装置300は、更に塗布液回収手段95を備える。塗布液回収手段95は、マスク板25に設けられた塗布液回収用の開口89と、開口89の下方に配設された塗布液回収部91と、塗布液改質部93とからなる。塗布液回収部91、塗布液改質部93及び塗布液タンク83は、パイプ等の供給路97を介して接続されている。   The blade coating apparatus 300 further includes a coating liquid collecting unit 95. The coating liquid recovery means 95 includes a coating liquid recovery opening 89 provided in the mask plate 25, a coating liquid recovery part 91 disposed below the opening 89, and a coating liquid reforming part 93. The coating solution recovery unit 91, the coating solution reforming unit 93, and the coating solution tank 83 are connected via a supply path 97 such as a pipe.

開口89は、ブレード51の作動終端側においてマスク板25に形成された、例えば、ブレード51の長さ(図において紙面と直角方向長さ)より長い長辺を有する矩形穴である。塗布液回収部91は、開口89から滴下する塗布液49を受けて回収する容器であり、塗布液改質部93は、塗布液回収部91で回収された塗布液49を濾過して塗布液49に混入する不純物を除去し、また必要に応じて不足成分を加えて、新しい塗布液49と同質となるように改質して塗布液タンク83に供給する。
なお、その他の部分については、上記のブレード塗布装置100と同様であるので、同一部分には同一符合または相当符合を付して説明を簡略化または省略する。
The opening 89 is a rectangular hole formed in the mask plate 25 on the operation end side of the blade 51, for example, having a long side longer than the length of the blade 51 (length in the direction perpendicular to the paper surface in the drawing). The coating liquid recovery unit 91 is a container that receives and recovers the coating liquid 49 dripped from the opening 89, and the coating liquid modification unit 93 filters the coating liquid 49 recovered by the coating liquid recovery unit 91 to apply the coating liquid Impurities mixed in 49 are removed, and if necessary, a deficient component is added to modify the same so as to have the same quality as the new coating liquid 49, and then supplied to the coating liquid tank 83.
Since the other parts are the same as those of the blade coating apparatus 100 described above, the same parts are denoted by the same reference numerals or the corresponding reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

ブレード51は、マスク板25上を図中右方から左方に水平移動することにより、マスク板25の開口27によって露出された光ディスクDの塗布面57に塗布液49を塗布する。ブレード51がマスク板25に形成された開口89の位置に達すると、塗布されずに残っている塗布液49は、開口89から滴下して塗布液回収部91に回収される。回収された塗布液49は、塗布液改質部93により改質されて塗布液タンク83に戻され、再び塗布液供給ノズル43からマスク板25上に滴下供給されて再使用される。
このように、塗布されずに残った塗布液49は、循環して再使用されるので、無駄になる塗布液49はなく、すべての塗布液49が有効に利用される。
The blade 51 applies the application liquid 49 to the application surface 57 of the optical disc D exposed by the opening 27 of the mask plate 25 by horizontally moving on the mask plate 25 from the right to the left in the drawing. When the blade 51 reaches the position of the opening 89 formed in the mask plate 25, the coating liquid 49 remaining without being applied is dropped from the opening 89 and collected by the coating liquid collection unit 91. The recovered coating liquid 49 is reformed by the coating liquid reforming unit 93 and returned to the coating liquid tank 83, and is again dropped from the coating liquid supply nozzle 43 onto the mask plate 25 and reused.
Thus, since the coating liquid 49 remaining without being applied is circulated and reused, there is no useless coating liquid 49 and all the coating liquids 49 are used effectively.

次に、上記の実施形態と同様の構成のブレード塗布装置によって光ディスクに塗布液を塗布した実施例、及び比較例を説明する。
実施例及び比較例ともに、図3に示すマスク板の厚みt、ブレードの下面とマスク板との隙間Gを種々変更しながら、塗布液を光ディスクの表面に塗布した。塗布液には、光ディスクに受理層を形成するための表1に示す素材からなるものを用いた。なお、塗布液の液粘度は、25℃でB型粘度計(ビスメトロン)により測定した結果、500cPであった。
Next, an example in which a coating solution is applied to an optical disk by a blade coating apparatus having the same configuration as that of the above embodiment and a comparative example will be described.
In both the example and the comparative example, the coating liquid was applied to the surface of the optical disk while variously changing the thickness t of the mask plate and the gap G between the lower surface of the blade and the mask plate shown in FIG. As the coating solution, a coating solution made of a material shown in Table 1 for forming a receiving layer on an optical disk was used. The liquid viscosity of the coating liquid was 500 cP as a result of measurement with a B-type viscometer (bismetholone) at 25 ° C.

Figure 2006198474
Figure 2006198474

各塗布条件における評価結果を表2に示す。   Table 2 shows the evaluation results under each coating condition.

Figure 2006198474
Figure 2006198474

表2に示すように、ブレード下面とマスク板の隙間Gが、150μm以上になると塗布液層に液ダレが生じ、また20μm以下になると塗布液層にスジが発生して表面性状の良好な塗布液層が得られなかった。一方、ブレード下面とマスク板の隙間Gが、20μm〜150μmの条件においては、表面性状の良好な塗布が可能であることが確認された。
従って、本発明の有効性が実証された。
As shown in Table 2, when the gap G between the lower surface of the blade and the mask plate is 150 μm or more, dripping occurs in the coating liquid layer, and when it is 20 μm or less, streaks occur in the coating liquid layer and the coating has good surface properties A liquid layer was not obtained. On the other hand, when the gap G between the lower surface of the blade and the mask plate was 20 μm to 150 μm, it was confirmed that coating with good surface properties was possible.
Therefore, the effectiveness of the present invention was demonstrated.

なお、本発明に係るブレード塗布装置は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良等が可能である。   Note that the blade coating apparatus according to the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately modified and improved.

本発明に係る塗布装置の概略構成を表す構成図である。It is a block diagram showing schematic structure of the coating device which concerns on this invention. 図1に示した塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。It is the perspective view showing the outline of the external appearance of the coating device shown in FIG. 図1に示した塗布装置の要部側面図である。It is a principal part side view of the coating device shown in FIG. 本発明に係る塗布方法の基本手順を(a)〜(c)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the basic procedure of the coating method which concerns on this invention by (a)-(c). 本発明に係る塗布方法の基本手順を(d)〜(g)で表した説明図である。It is explanatory drawing which represented the basic procedure of the coating method which concerns on this invention by (d)-(g). 塗布の完了した被塗布部材の平面図である。It is a top view of the to-be-coated member which application was completed. 硬質ゴムのブレードを備えた他の実施形態の塗布装置の要部側面図である。It is a principal part side view of the coating device of other embodiment provided with the braid | blade of the hard rubber. 塗布液回収手段を備えた更に他の実施形態の塗布装置の要部側面図である。It is a principal part side view of the coating device of further another embodiment provided with the coating liquid collection | recovery means. 従来のディスク塗布装置により塗布液を塗布する状態を示し、(a)はブレードにより光ディスクに塗布液が塗布された状態を示す斜視図、(b)はマスク板から光ディスクが離反した状態を示す斜視図である。A state in which a coating liquid is applied by a conventional disk coating apparatus is shown, (a) is a perspective view showing a state in which the coating liquid is applied to the optical disk by a blade, and (b) is a perspective view showing a state in which the optical disk is separated from the mask plate. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

100 ブレード塗布装置
25 マスク板(マスク)
27 開口
49 塗布液
51 ブレード
59 ブレードの下面
65 塗布液層
D 光ディスク(ディスク状記録媒体、平面基板)
G ブレードの下面とマスク板との隙間
T 塗布液層の厚さ
100 Blade coating device 25 Mask plate (mask)
27 Opening 49 Coating liquid 51 Blade 59 Lower surface of blade 65 Coating liquid layer D Optical disc (disc-shaped recording medium, flat substrate)
G Gap between the lower surface of the blade and the mask plate T Thickness of the coating liquid layer

Claims (2)

開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、
前記マスクと前記ブレードの下面との隙間を、20μm〜150μmとしたことを特徴とするブレード塗布方法。
A mask having an opening is superposed on a flat substrate, a coating liquid is supplied onto the mask, and the coating liquid is coated on the mask by a blade that moves relative to the mask above the mask, and then the mask. And a blade coating method of forming a coating liquid layer corresponding to the opening of the mask on the planar substrate,
A blade coating method, wherein a gap between the mask and the lower surface of the blade is 20 μm to 150 μm.
請求項1のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも1層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。   A disk coating method comprising forming at least one layer of a printing surface of a disk-shaped recording medium by the blade coating method according to claim 1.
JP2005010530A 2005-01-18 2005-01-18 Blade coating method and disk coating method using this Pending JP2006198474A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005010530A JP2006198474A (en) 2005-01-18 2005-01-18 Blade coating method and disk coating method using this

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005010530A JP2006198474A (en) 2005-01-18 2005-01-18 Blade coating method and disk coating method using this

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006198474A true JP2006198474A (en) 2006-08-03

Family

ID=36956936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005010530A Pending JP2006198474A (en) 2005-01-18 2005-01-18 Blade coating method and disk coating method using this

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006198474A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5442054B2 (en) Coating apparatus and coating method
JP2767796B2 (en) Ink jet printer
US20090246384A1 (en) Apparatuses and methods for coating patterned films using the same
JP2006346915A (en) Scraper of screen process printing machine
JP2006198474A (en) Blade coating method and disk coating method using this
JP2006198475A (en) Blade coating method and disk coating method using this
JP2006076141A (en) Screen printing method, screen printing equipment and squeegee
JP4057841B2 (en) Coating apparatus and coating method
US9199268B2 (en) Curtain coating method and curtain coating device
JP2002361149A (en) Method and apparatus for cleaning die for application and method and apparatus for producing color filter
JP2008192901A (en) Pattern-modifying apparatus and coating unit used therefor
JP2006198479A (en) Blade coater and disk coating apparatus using the same
JP2006198477A (en) Blade coating method, disk coating method using this and blade coater
JP3182815U (en) Coating nozzle cleaning device
JP3267822B2 (en) Applicator for coating liquid on substrate
US20060182890A1 (en) Blade coating method and apparatus
JP7137239B2 (en) Coating device and coating method
JP3720906B2 (en) Substrate holding member and coating apparatus
JP4993495B2 (en) Pattern correction method and pattern correction apparatus
WO2011033863A1 (en) Coating apparatus and coating method
JP2005296797A (en) Coating header, thin film forming apparatus provided with the same, and reverse printing device
JPH10156248A (en) Coating apparatus
JP2006205010A (en) Blade coater and printing surface coater for disk
JP2006231235A (en) Blade coating method
JP2006228382A (en) Conveying device of substrate with coated film

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Effective date: 20061124

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712