JP2006197743A - アクチュエータおよびこれを用いた撮像系 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明はアクチュエータおよびこれを用いた撮像系に関し、小型化を目的とする。
【解決手段】レンズ1の位置を制御することにより撮像条件を調節する撮像系に用いられるアクチュエータ3を、柱状に形成されたアーム5と、このアーム5の一主面に並設された駆動電極9とを備え、駆動電極9は圧電薄膜8を電極で挟み込んだ構成とし、並設された駆動電極9に印加する制御電圧を制御することにより前記アーム5をその延伸軸10の方向に対して周回運動させる構造とした。
【選択図】図2

Description

本発明は、圧電駆動型のアクチュエータおよびこれを用いた撮像系に関するものである。
ズーム機能付きカメラに代表されるようにレンズ位置を制御することで撮像条件を調節する撮像系においては、フィルムやCCDといった受光面に対するレンズの位置を変えることによりズーム倍率を調節する構造となっている。
そして、レンズの位置を制御するにあたっては、アクチュエータを用いることによりレンズ位置を可変させるものであり、従来このアクチュエータとしては電磁力を用いたモーターが用いられていた。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2003−43338号公報
近年、カメラ付き携帯電話のような小型の撮像系においてもズーム機能などを搭載するようになり、それに用いられるアクチュエータの小型化が課題となっている。
しかしながら、先に述べたようなアクチュエータとしてモーターを用いた構造においてはその小型化が困難なものとなっていた。
そこで、本発明はこのような問題を解決しアクチュエータ及びこれを用いたズーム光学系の小型化を目的とする。
そして、この目的を達成するために本発明は、レンズ位置を制御することで撮像条件を調節する撮像系に用いられるアクチュエータを、柱状に形成されたアームと、このアームの一主面に並設された第1,第2の駆動電極とを備え、前記駆動電極は圧電体薄膜を電極で挟み込んだ構成とし、前記第1,第2の駆動電極に印加する制御電圧を制御することにより前記アームをその延伸軸方向に対して周回運動させる構造としたのである。
このような構成とすることで、レンズ位置を調節するアクチュエータを小型化でき、強いてはこのアクチュエータを用いた撮像系を小型化できるのである。
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。
図1はオートフォーカス機能やズーム機能といったレンズ1の位置を制御することにより撮像条件を調節する撮像系を模式的に示したものであり、基本的構造は物体側から入射された光線をレンズ1により光学的処理を施しフィルムやCCDなどの受光素子2の受光面2aに照射させる構造であり、レンズ1の位置を制御するアクチュエータ3はレンズ1の外周側面を支持する筒状の支持体4の近傍に設けられている。
そしてこのアクチュエータ3は、図2に示されるごとくシリコン(Si)からなる基板を柱状に加工したアーム5の上面に、上面電極6と下面電極7間にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなる圧電薄膜8を介在させた駆動電極9をアーム5の延伸軸10の方向に沿って2本並設した構造となっており、この2本の並設された駆動電極9に印加する制御電圧を制御することにより、延伸軸10の方向に対して破線11で示すように周回運動させることができ、この周回運動するアーム5を部分的に支持体4に当接させることにより、その摩擦抵抗をもってレンズ1の位置を制御するのである。
すなわち、一端が固定されたアーム5に設けられた2本の駆動電極9はそれぞれ制御電圧を印加することにより延伸軸10の方向に対して伸縮するという作用を有しているため、例えば駆動電極9を形成する下面電極7をグランド接続し上面電極6に制御電圧を印加する状態として、図3に示すよう両方の上面電極6に対して正の制御電圧を印加することで両方の駆動電極9が伸び、この伸びによってアーム5の駆動電極9が設けられた側の面が押され矢印12で示されるようにアーム5の開放端側が下方に撓むことになり、これとは逆に両方の上面電極6に負の制御電圧を印加することで両方の駆動電極9が縮み、この縮みによってアーム5の駆動電極9が設けられた側の面が引っ張られ破線の矢印13で示されるようにアーム5の開放端側が上方に撓むことになる。
また、図4に示されるように左側の上面電極6に正の制御電圧を印加し右側の上面電極6に負の制御電圧を印加することにより左側の駆動電極9が伸び右側の駆動電極9が縮むように作用するためアーム5の開放端側は矢印14で示されるよう右側に撓み、これとは逆に右側の上面電極6に正の制御電圧を印加し左側の上面電極6に負の制御電圧を印加することにより、アーム5の開放端側は破線の矢印15で示されるよう左側に撓むことになる。
よって、これらの制御電圧を制御することによって、撓み方向を「・・・→上方→左方→下方→右方→上方→左方→・・・」或いは「・・・→上方→右方→下方→左方→上方→右方→・・・」というように連続的に撓み方向を変えることにより、アーム5全体としての動作は図2の破線11で示されるような延伸軸10を中心とした周回運動を行わせることが出来るのである。
なお、アーム5の両端を固定した場合には、特に図示はしていないがアーム5の中央部分が撓み、この撓み部分において周回運動が起こることとなる。
また、このようなアクチュエータ3であれば先にも述べたように、シリコン基板で形成されたアーム5の一主面に下面電極7、圧電薄膜8、上面電極6を順にスパッタリング加工により蒸着でき、また、アーム5の形状加工や電極パターン加工においてもエッチング加工により形成できるため、シリコンウエハを用いた多数個成形が実現され、これらの微細加工技術によりアクチュエータ3をきわめて小型化できるのである。
そして、このようにアクチュエータ3が小型化できることから、小型化要望の強いカメラ付き携帯電話などに取り入れられる撮像系において有効に活用できるのである。
また、このようにアクチュエータ3の駆動源として圧電薄膜8のように圧電体を利用することにより、従来の電磁力モーターを用いる構成に比べて格段に消費電力を抑制することが出来るため、カメラ付き携帯電話などバッテリーにより使用電力が限られるモバイル用途に用いることがより効果的である。
本発明は、アクチュエータおよびこれを用いた撮像系に関して小型化できるという効果を有し、特にカメラ付き携帯電話などのモバイル用途に有用である。
本発明の一実施形態における撮像系を示す模式図 同撮像系に用いられるアクチュエータの斜視図 同アクチュエータの垂直方向の撓み状態を示す模式図 同アクチュエータの水平方向の撓み状態を示す模式図
符号の説明
1 レンズ
2a 受光面
3 アクチュエータ
4 支持体
5 アーム
8 圧電薄膜
9 駆動電極

Claims (2)

  1. 柱状に形成されたアームと、このアームの一主面に並設された第1,第2の駆動電極とを備え、前記駆動電極は圧電体薄膜を電極で挟み込んだ構成とし、前記第1,第2の駆動電極に印加する制御電圧を制御することにより前記アームをその延伸軸方向に対して周回運動させることを特徴としたアクチュエータ。
  2. レンズ位置を制御することで撮像条件を調節する撮像系において、前記レンズを保持する支持体の側面の近傍に、前記レンズの位置を調整するアクチュエータを配置し、このアクチュエータを、柱状に形成されたアームと、このアームの一主面に並設された第1,第2の駆動電極から形成するとともに、前記駆動電極は圧電体薄膜を電極で挟み込んだ構成とし、前記第1,第2の駆動電極に印加する制御電圧を制御することにより前記アームをその延伸軸方向に対して周回運動させ、この周回運動するアームを前記レンズを保持する支持体の側面に当接させ前記レンズの位置を摺動させることを特徴とする撮像系。
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