JP2006190982A - 発光素子、発光装置及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】発光素子に含まれる層の結晶化に起因した動作不良の少ない発光素子を提供することを課題とする。
【解決手段】金属酸化物と、金属酸化物に対し電子供与性を示す第1の化合物とを含む層を有する発光素子である。この層には第1の領域と第2の領域が設けられている。第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高い。また、第1の領域と第2の領域とは、交互に設けられている。第1の領域と第2の領域とは、それぞれ、層の厚さ方向に、0.1nm〜10nm、より好ましくは1nm〜5nmの距離を有する。ここで、第1の化合物に対する金属酸化物のモル比(=金属酸化物/第1の化合物)は0.1〜10となるように、第1の化合物および金属酸化物のそれぞれが含まれていることが好ましい。
【選択図】図1

Description

電流励起によって発光する発光素子に関し、特に層の構成に関する。
一対の電極間に発光物質を含む層を有する発光素子は、画素または光源等として用いられ、表示装置または照明装置等の発光装置に設けられている。このような発光装置において、発光素子の信頼性は、発光装置の性能と密接に関わっている。例えば、発光素子の電極間で短絡が生じると、表示画像が乱れたり、または十分な光量の光を照らすことが出来なくなる。
その為、近年、素子不良が少なく、長期間、安定に発光することのできる発光素子の開発が進められている。例えば、特許文献1では、モリブデン酸化物等の仕事関数の高い金属酸化物を陽極に用いることによって、低い駆動電圧で動作する発光素子を作製する技術について開示している。また、長寿命化する効果も得ている。
特開平9−63771号公報
本発明では、発光素子に設けられた層の結晶化に起因した動作不良の少ない発光素子、及びその発光素子を用いた発光装置、電子機器を提供することを課題とする。
本発明の発光素子の一は、金属酸化物と、金属酸化物に対し電子供与性を示す化合物とを含む混合層を有する。この層には第1の領域と第2の領域が設けられている。第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高い。また、第1の領域と第2の領域とは、交互に繰り返し設けられている。第1の領域と第2の領域とは、それぞれ、混合層の厚さ方向に、0.1nm以上10nm以下、より好ましくは1nm以上5nm以下の距離を有する。ここで、金属酸化物に対し電子供与性を示す化合物に対する金属酸化物のモル比(=金属酸化物/化合物)は0.1以上10以下(混合層全体での平均値)となるように、金属酸化物に対し電子供与性を示す化合物および金属酸化物のそれぞれが含まれていることが好ましい。
本発明の発光素子の一は、金属酸化物と、第1の化合物と、第2の化合物とを含む混合層を有する。第1の化合物は、金属酸化物に対し電子供与性を示す。また第2の化合物のLUMO準位は、第1の化合物のLUMO準位よりも低い。この層には第1の領域と第2の領域が設けられている。第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高い。また、第1の領域と第2の領域とは、交互に繰り返し設けられている。第1の領域と第2の領域とは、それぞれ、混合層の厚さ方向に、0.1nm以上10nm以下、より好ましくは1nm以上5nm以下の距離を有する。ここで、第1の化合物に対する金属酸化物のモル比(=金属酸化物/第1の化合物)は0.1以上10以下(混合層全体での平均値)となるように、第1の化合物および金属酸化物のそれぞれが含まれていることが好ましい。
本発明の発光素子の一は、金属原子と、酸素原子と、金属原子に対し電子供与性を示す化合物とを含み、金属原子は酸素原子と結合している複合層を有する。この複合層は第1の領域と第2の領域とを有する。第1の領域と前記第2の領域とは交互に繰り返し設けられており、第1の領域に含まれる金属原子の濃度は、第2の領域に含まれる金属原子の濃度よりも高い。第1の領域および第2の領域は、それぞれ、複合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下、より好ましくは1nm以上5nm以下の距離を有する。ここで、金属原子に対し電子供与性を示す化合物に対する金属原子のモル比(=金属原子/化合物)は0.1以上10以下(複合層全体での平均値)となるように、金属原子に対し電子供与性を示す化合物および金属原子は含まれていることが好ましい。
本発明の発光素子の一は、金属原子と、酸素原子と、第1の化合物と、第2の化合物とを含む複合層を有する。この複合層において、金属原子は酸素原子と結合している。そして、第1の化合物は、金属原子に対し電子供与性を示す。また第2の化合物のLUMO準位は、第1の化合物のLUMO準位よりも低い。この複合層には第1の領域と第2の領域が設けられており、第1の領域に含まれる金属原子の濃度は、第2の領域に含まれる金属原子の濃度よりも高い。また、第1の領域と第2の領域とは、交互に繰り返し設けられている。第1の領域と第2の領域とは、それぞれ、複合層の厚さ方向に、0.1nm以上10nm以下、より好ましくは1nm以上5nm以下の距離を有する。ここで、第1の化合物に対する金属原子のモル比(=金属原子/第1の化合物)は0.1以上10以下(複合層全体での平均値)となるように、第1の化合物および金属原子は含まれていることが好ましい。
本発明を実施することによって、発光素子に設けられた層の結晶化に起因した動作不良の少ない発光素子を得ることができる。また、本発明を実施することによって、素子寿命の長い発光素子を得ることができる。
本発明の実施に用いる発光素子は発光素子に設けられた層の結晶化に起因した動作不良が少ない為、本発明を実施することによって発光素子の欠陥に起因した表示不良等の少ない発光装置を得ることができる。
本発明の実施に用いる発光装置は、結晶化に起因した動作不良が少ない発光素子を用いているため、表示不良等が少ない。その為、本発明を実施することによって発光装置における表示不良に起因した画像の誤認が少なく、表示画像を通して利用者に正確な情報を伝達することができる電子機器を得ることができる。
以下、本発明の一態様について説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
(実施の形態1)
本発明の発光素子の一態様について図1を用いて説明する。
図1(A)には、第1の電極101と第2の電極102との間に発光物質を含む層を有する発光素子が示されている。本形態において、発光物質を含む層は、複数の層が積層して成り、発光層113の他、正孔発生層111、正孔輸送層112、電子輸送層114、電子注入層115が設けられている。発光物質は、特に発光層113に含まれている。第1の電極101の電位が第2の電極102の電位よりも高くなるように第1の電極101と第2の電極102とに電圧を印加したとき、発光層113には、第1の電極101側から正孔が注入され、第2の電極102側から電子が注入される。そして、発光層113に注入された正孔と電子とは再結合する。発光層113には発光物質が含まれており、再結合によって生成された励起エネルギーによって発光物質は励起状態となる。励起状態となった発光物質は、基底状態に戻るときに発光する。
正孔発生層111は、第1の領域111aと第2の領域111bとを有する(図1(B))。第1の領域111aに含まれている金属原子の数は第2の領域111bに含まれている金属原子の数よりも多い。そして、第1の領域111aと第2の領域111bとは交互に繰り返されるようにして設けられている。第1の領域111aと第2の領域111bは、それぞれ、厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有していることが好ましく、1nm以上5nm以下の距離を有していることがより好ましい(つまり、第1の領域111aと隣合う二つの第2の領域111bのうち一方の第2の領域111bと他方の第2の領域111bとの距離dは、0.1nm以上10nm以下であることが好ましく、1nm以上5nm以下であることがより好ましい)。言い換えると、正孔発生層111において金属原子の濃度が高い領域(第1の領域111a)は、0.1nm以上10nm以下(より好ましくは1nm以上5nm以下)の間隔をおいて、周期的に設けられている。このようにして金属原子が分布している正孔発生層111において、金属原子は酸素原子と結合している。なお、第1の領域111aと第2の領域111bとが繰り返し数について特に限定はない。
ここで、金属原子は、バナジウム、モリブデン、レニウム、ルテニウム等の元素周期表の4族〜8族に属する金属原子であることが好ましい。元素周期表の4族〜8族に属する金属原子としては、他に、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、タンタル、クロム、タングステン、マンガン、オスミウム等が挙げられる。
正孔発生層111には、第1の化合物が含まれている。第1の化合物は、金属原子と酸素原子とが結合した構造を含む化合物(このような化合物として、例えば、モリブデン酸化物、バナジウム酸化物、レニウム酸化物、ルテニウム酸化物等の元素周期表の4族〜8族に属する金属の酸化物が挙げられる。)に対し、電子供与性を示す。なお、電子供与性を示すことによって電荷移動錯体が生成される場合もある。
本発明の実施に用いることができる第1の化合物の例として、トリフェニルアミン構造を含む芳香族アミン系の化合物が挙げられる。芳香族アミン系の化合物の具体例として、4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:NPB)、4,4’−ビス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:TPD)、4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、4,4’−ビス{N−[4−(N,N−ジ−m−トリルアミノ)フェニル]−N−フェニルアミノ}ビフェニル(略称:DNTPD)、1,3,5−トリス[N,N−ジ(m−トリル)アミノ]ベンゼン(略称:m−MTDAB)、4,4’,4’’−トリス(N−カルバゾリル)トリフェニルアミン(略称:TCTA)が挙げられる。これらは、電子よりも正孔の移動度が高く、電子の移動度に対する正孔の移動度の比の値(=正孔移動度/電子移動度)が100よりも大きい物質、所謂モノポーラ性の物質であり、モノポーラ性の物質の中でも特に正孔輸送性の高い物質である。ここに示したモノポーラ性の物質の他、2,3−ビス(4−ジフェニルアミノフェニル)キノキサリン(略称:TPAQn)等の、バイポーラ性の物質を用いても構わない。ここで、バイポーラ性の物質とは、電子または正孔のいずれか一方のキャリアの移動度と他方のキャリアの移動度とを比較したときに、一方のキャリアの移動度に対する他方のキャリアの移動度の比の値が100以下、好ましくは10以下である物質をいう。
また、正孔発生層111には、さらに、第2の化合物が含まれていることが好ましい。第2の化合物は、第1の化合物よりも最低空分子軌道(LUMO)準位が低い化合物であることが好ましい。このように、第2の化合物をさらに含むことによって、発生したキャリアに起因した第1の化合物の劣化を防ぎ、発光素子の素子寿命を延ばすことができる。第2の化合物の具体例としては、ルブレン、銅フタロシアニン、4−ジシアノメチレン−2−イソプロピル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCJTI)、4−ジシアノメチレン−2−tert−ブチル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCJTB)、N,N’−ジメチルキナクリドン(略称:DMQd)、N,N’−ジフェニルキナクリドン(略称:DPQd)、クマリン6等が挙げられる。
また、正孔発生層111において、第1の化合物に対する金属原子のモル比(=金属原子/第1の化合物)は0.1以上10以下、より好ましくは0.5以上5以下となるように、第1の化合物および金属原子は含まれていることが好ましい。また、正孔発生層111において、第1の化合物に対する第2の化合物のモル比(=第2の化合物/第1の化合物)は、0.005以上0.1以下、より好ましくは0.01以上0.08以下であることが好ましい(ここで述べているモル比は、正孔発生層111全体での平均値である)。
以上のような構成を有する正孔発生層111は、正孔を発生することができる。従って、第1の電極101からの正孔の注入が行われ難い場合でも、正孔発生層111を設けることによって、発光層113へ安定して正孔を輸送することができる。また、以上のような構成を有する正孔発生層111は、結晶化し難く、安定性が良い。
発光層113は、発光物質を含んでいる。ここで、発光物質とは、発光効率が良好で、所望の波長の発光をし得る物質である。発光層113は、発光物質のみから形成された層であってもよいが、濃度消光を生じる場合は、発光物質の有するエネルギーギャップよりも大きいエネルギーギャップを有する物質からなる層中に、発光物質が分散するように混合された層であることが好ましい。発光層113に発光物質を分散して含ませることで、発光が濃度に起因して消光してしまうことを防ぐことができる。ここで、エネルギーギャップとはLUMO準位とHOMO準位との間のエネルギーギャップをいう。
発光物質について特に限定はなく、発光効率が良好で、所望の発光波長の発光をし得る物質を用いればよい。例えば、赤色系の発光を得たいときには、4−ジシアノメチレン−2−イソプロピル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCJTI)、4−ジシアノメチレン−2−メチル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCJT)、4−ジシアノメチレン−2−tert−ブチル−6−[2−(1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]−4H−ピラン(略称:DCJTB)やペリフランテン、2,5−ジシアノ−1,4−ビス[2−(10−メトキシ−1,1,7,7−テトラメチルジュロリジン−9−イル)エテニル]ベンゼン等、600nmから680nmに発光スペクトルのピークを有する発光を呈する物質を発光物質として用いることができる。また緑色系の発光を得たいときは、N,N’−ジメチルキナクリドン(略称:DMQd)、クマリン6やクマリン545T、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)等、500nmから550nmに発光スペクトルのピークを有する発光を呈する物質を発光物質として用いることができる。また、青色系の発光を得たいときは、9,10−ビス(2−ナフチル)−tert−ブチルアントラセン(略称:t−BuDNA)、9,9’−ビアントリル、9,10−ジフェニルアントラセン(略称:DPA)、9,10−ビス(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−ガリウム(略称:BGaq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)等、420nmから500nmに発光スペクトルのピークを有する発光を呈する物質を発光物質として用いることができる。以上のように、蛍光を発光する物質の他、ビス[2−(3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)ピコリナート(略称:Ir(CFppy)(pic))、ビス[2−(4,6−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:FIr(acac))、ビス[2−(4,6−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)ピコリナート(略称:FIr(pic))、トリス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(略称:Ir(ppy))等の燐光を発光する物質も発光物質として用いることができる。
また、発光物質と共に発光層113に含まれ、発光物質を分散状態にするために用いられる物質について特に限定はなく、発光物質として用いる物質のエネルギーギャップ等を勘案して適宜選択すればよい。例えば、9,10−ジ(2−ナフチル)−2−tert−ブチルアントラセン(略称:t−BuDNA)等のアントラセン誘導体、または4,4’−ビス(N−カルバゾリル)ビフェニル(略称:CBP)等のカルバゾール誘導体、2,3−ビス(4−ジフェニルアミノフェニル)キノキサリン(略称:TPAQn)、2,3−ビス{4−[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]フェニル}−ジベンゾ[f,h]キノキサリン(略称:NPADiBzQn)等のキノキサリン誘導体の他、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ピリジナト]亜鉛(略称:Znpp)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:ZnBOX)等の金属錯体等を発光物質と共に用いることができる。
発光層113と正孔発生層111との間には、図1に示すように正孔輸送層112を設けることが好ましい。正孔輸送層112は、正孔を輸送する機能を有する層であり、第1の電極101側から注入された正孔を発光層113へ輸送する機能を有する。このように正孔輸送層112を設けることによって、正孔発生層111と発光層113との距離を離すことができ、その結果、正孔発生層111に含まれている金属に起因して発光が消光することを防ぐことができる。正孔輸送層112は、正孔輸送性の高い物質を用いて形成することが好ましく、特に1×10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質を用いて形成することが好ましい。正孔輸送性の高い物質としては、NPB、TPD、TDATA、MTDATA、DNTPD、m−MTDAB、TCTA等が挙げられるが、この他のものを用いてもよい。
発光層113と第2の電極102との間には、図1に示すように電子輸送層114を設けることが好ましい。電子輸送層114は、電子を輸送する機能を有する層であり、本形態の発光素子においては、第2の電極102側から注入された電子を発光層113へ輸送する機能を有する。電子輸送層114を設けることによって、第2の電極102と発光層113との距離を離すことができ、その結果、第2の電極102に含まれている金属に起因して発光が消光することを防ぐことができる。また、電子注入層115に金属が含まれている場合も同様に、電子輸送層114を設けて電子注入層115と発光層113との距離を離すことによって、金属に起因した消光を防ぐことが出来る。電子輸送層114は、電子輸送性の高い物質を用いて形成することが好ましく、特に1×10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質を用いて形成することが好ましい。なお、電子輸送性の高い物質とは、正孔よりも電子の移動度が高く、正孔の移動度に対する電子の移動度の比の値(=電子移動度/正孔移動度)が100よりも大きい物質をいう。電子輸送層114を形成するのに用いることができる物質の具体例としては、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]−キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−4−フェニルフェノラト−アルミニウム(略称:BAlq)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX))、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(BTZ))等の金属錯体の他、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(略称:p−EtTAZ)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)、4,4−ビス(5−メチルベンズオキサゾル−2−イル)スチルベン(BzOs)等が挙げられる。
なお、正孔輸送層112と電子輸送層114とは、それぞれ、上記に示したようなモノポーラ性の物質の他、バイポーラ性の物質、例えばTPAQn等を用いて形成してもよい。バイポーラ性の物質の中でも特に、正孔及び電子の移動度が1×10−6cm/Vs以上の物質を用いることが好ましい。また同一のバイポーラ性の物質を用いて、正孔輸送層112と電子輸送層114とを形成しても構わない。
また、電子輸送層114と第2の電極102との間には、電子注入層115を設けてもよい。電子注入層115は、第2の電極102から電子輸送層114へ電子の注入を補助する機能を有する層である。電子注入層115を設けることによって、第2の電極102と電子輸送層114との間の電子親和力の差が緩和され、電子が注入され易くなる。電子注入層115は、電子輸送層114を形成している物質よりも電子親和力が大きく第2の電極102を形成している物質よりも電子親和力が小さい物質、または電子輸送層114と第2の電極102との間に1〜2nmの薄膜として設けたときにエネルギーバンドが曲がるような物質を用いて形成することが好ましい。電子注入層115を形成するのに用いることのできる物質の例として、アルカリ金属またはアルカリ土類金属、アルカリ金属のフッ化物、アルカリ土類金属のフッ化物、アルカリ金属の酸化物、アルカリ土類金属の酸化物等の無機物が挙げられる。より具体的には、酸化リチウム、酸化マグネシウム、フッ化リチウム、フッ化カルシウム等が挙げられる。また、無機物の他、BPhen、BCP、BCP、p−EtTAZ、TAZ、BzOs等の電子輸送層114を形成するのに用いることのできる物質も、これらの物質の中から電子輸送層114の形成に用いる物質よりも電子親和力が大きい物質を選択することによって、電子注入層115を形成する物質として用いることができる。つまり、電子注入層115における電子親和力が電子輸送層114における電子親和力よりも大きくなるような物質を選択することによって、電子注入層115を形成することができる。
また、電子注入層に換えて、電子発生層を設けてもよい。電子発生層は、アルカリ金属またはアルカリ土類金属、アルカリ金属のフッ化物、アルカリ土類金属のフッ化物、アルカリ金属の酸化物、アルカリ土類金属の酸化物等の電子供与性を有する物質と、電子受容性の高い物質とを混合することで形成することができる。
第1の電極101はインジウム錫酸化物、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛を含む酸化インジウムの他、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、窒化タンタル等の仕事関数の高い物質を用いて形成してもよいし、アルミニウム、マグネシウム等の仕事関数の低い物質を用いて形成してもよい。このように、本形態の発光素子では、物質の仕事関数に依らずに第1の電極101を形成することができる。これは、第1の電極101と発光層113との間に正孔発生層111が設けられている為である。
また、第2の電極102は、仕事関数の低い材料、例えばアルミニウムまたはマグネシウム、銀とマグネシウムとの合金等を用いて形成することが好ましいが、電子注入層115に換えて電子発生層を設ける場合は、特に仕事関数について制限はない。例えば、インジウム錫酸化物、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化亜鉛を含む酸化インジウムの他、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、窒化タンタル等の仕事関数の高い物質を用いて形成してもよい。
また、発光層113と電子輸送層114との間には、図2に示すように、正孔阻止層117を設けてもよい。正孔阻止層117を設けることによって、正孔が、発光層113を突き抜けて第2の電極102の方に流れていくのを防ぐことができ、キャリアの再結合効率を高めることができる。また、発光層113で生成された励起エネルギーが電子輸送層114等、他の層へ移動してしまうことを防ぐことができる。正孔阻止層117は、BAlq、OXD−7、TAZ、BPhen等の電子輸送層114を形成するのに用いることのできる物質の中から、特に、発光層113を形成するのに用いる物質よりもイオン化ポテンシャルが大きい物質を選択することによって、形成することができる。同様に、発光層113と正孔輸送層112との間にも、発光層113を突き抜けて第1の電極101の方に電子が流れていくのを阻止するための層を設けても構わない。
なお、正孔輸送層112、電子輸送層114、電子注入層115を設けるか否かについては発明の実施者が適宜選択すればよく、例えば、正孔輸送層112、電子輸送層114等を設けなくても金属に起因した消光等の不具合が生じない場合等は、必ずしもこれらの層を設ける必要がない。
以上に述べた本発明の発光素子は、正孔発生層111の厚さに依存した駆動電圧の変化が少ない。その為、正孔発生層111の厚さを変えることによって発光層113と第1の電極101との間の距離を調整することが容易にできる。つまり、効率よく外部に発光を取り出せるような長さとなるように、あるいは外部に取り出された発光の色純度が良くなる長さとなるように、発光した光が通る光路の長さ(光路長)を調節することが容易である。また、正孔発生層111の厚さを厚くすることによって第1の電極101の表面の凹凸を緩和し、電極間の短絡を防ぐことを容易にできる。
(実施の形態2)
本発明の発光素子は、発光素子に設けられた層に含まれる化合物の結晶化に起因した動作不良を低減できるものである。また、正孔発生層の厚さを厚くすることによって電極間の短絡を防ぐことができるものである。また、正孔発生層の厚さを変えることで光路長を調整し、発光の外部取り出し効率を高めたり、色純度の良い発光を得ることができるものである。その為、本発明の発光素子を画素として用いることで、発光素子の動作不良に起因した表示欠陥の少ない良好な発光装置を得ることができる。また、本発明の発光素子を画素として用いることで、表示色が良好な画像を提供できる発光装置を得ることができる。また、本発明の発光素子を光源として用いることで、発光素子の動作不良に起因した不具合が少なく良好に照明することができる発光装置を得ることができる。
本形態では、表示機能を有する発光装置の回路構成および駆動方法について図3〜6を用いて説明する。
図3は本発明を適用した発光装置を上面からみた模式図である。図3において、基板6500上には、画素部6511と、ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とが設けられている。ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とは、それぞれ、配線群を介して、外部入力端子であるFPC(フレキシブルプリントサーキット)6503と接続している。そして、ソース信号線駆動回路6512と、書込用ゲート信号線駆動回路6513と、消去用ゲート信号線駆動回路6514とは、それぞれ、FPC6503からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。またFPC6503にはプリント配線基盤(PWB)6504が取り付けられている。なお、それぞれの駆動回路部は、上記のように必ずしも画素部6511と同一基板上に設けられている必要はなく、例えば、配線パターンが形成されたFPC上にICチップを実装したもの(TCP)等を利用し、基板外部に設けられていてもよい。
画素部6511には、列方向に延びた複数のソース信号線が行方向に並んで配列している。また、電流供給線が行方向に並んで配列している。また、画素部6511には、行方向に延びた複数のゲート信号線が列方向に並んで配列している。また画素部6511には、発光素子を含む一組の回路が複数配列している。
図4は、一画素を動作するための回路を表した図である。図4に示す回路には、第1のトランジスタ901と第2のトランジスタ902と発光素子903とが含まれている。
第1のトランジスタ901と、第2のトランジスタ902とは、それぞれ、ゲート電極と、ドレイン領域と、ソース領域とを含む三端子の素子であり、ドレイン領域とソース領域の間にチャネル領域を有する。ここで、ソース領域とドレイン領域とは、トランジスタの構造や動作条件等によって変わるため、いずれがソース領域またはドレイン領域であるかを限定することが困難である。そこで、本形態においては、ソースまたはドレインとして機能する領域を、それぞれトランジスタの第1電極、トランジスタの第2電極と表記する。
ゲート信号線911と、書込用ゲート信号線駆動回路913とはスイッチ918によって電気的に接続または非接続の状態になるように設けられている。また、ゲート信号線911と、消去用ゲート信号線駆動回路914とはスイッチ919によって電気的に接続または非接続の状態になるように設けられている。また、ソース信号線912は、スイッチ920によってソース信号線駆動回路915または電源916のいずれかに電気的に接続するように設けられている。そして、第1のトランジスタ901のゲートはゲート信号線911に電気的に接続している。また、第1のトランジスタの第1電極はソース信号線912に電気的に接続し、第2電極は第2のトランジスタ902のゲート電極と電気的に接続している。第2のトランジスタ902の第1電極は電流供給線917と電気的に接続し、第2電極は発光素子903に含まれる一の電極と電気的に接続している。なお、スイッチ918は、書込用ゲート信号線駆動回路913に含まれていてもよい。またスイッチ919についても消去用ゲート信号線駆動回路914の中に含まれていてもよい。また、スイッチ920についてもソース信号線駆動回路915の中に含まれていてもよい。
また画素部におけるトランジスタや発光素子等の配置について特に限定はないが、例えば図5の上面図に表すように配置することができる。図5において、第1のトランジスタ1001の第1電極はソース信号線1004に接続し、第2の電極は第2のトランジスタ1002のゲート電極に接続している。また第2トランジスタの第1電極は電流供給線1005に接続し、第2電極は発光素子の電極1006に接続している。ゲート信号線1003の一部は第1のトランジスタ1001のゲート電極として機能する。
次に、駆動方法について説明する。図6は時間経過に伴ったフレームの動作について説明する図である。図6において、横方向は時間経過を表し、縦方向はゲート信号線の走査段数を表している。
本発明の発光装置を用いて画像表示を行うとき、表示期間においては、画面の書き換え動作と表示動作とが繰り返し行われる。この書き換え回数について特に限定はないが、画像をみる人がちらつき(フリッカ)を感じないように少なくとも1秒間に60回程度とすることが好ましい。ここで、一画面(1フレーム)の書き換え動作と表示動作を行う期間を1フレーム期間という。
1フレームは、図6に示すように、書き込み期間501a、502a、503a、504aと保持期間501b、502b、503b、504bとを含む4つのサブフレーム501、502、503、504に時分割されている。発光するための信号を与えられた発光素子は、保持期間において発光状態となっている。各々のサブフレームにおける保持期間の長さの比は、第1のサブフレーム501:第2のサブフレーム502:第3のサブフレーム503:第4のサブフレーム504=2:2:2:2=8:4:2:1となっている。これによって4ビット階調を表現することができる。但し、ビット数及び階調数はここに記すものに限定されず、例えば8つのサブフレームを設け8ビット階調を行えるようにしてもよい。
1フレームにおける動作について説明する。まず、サブフレーム501において、1行目から最終行まで順に書き込み動作が行われる。従って、行によって書き込み期間の開始時間が異なる。書き込み期間501aが終了した行から順に保持期間501bへと移る。当該保持期間において、発光するための信号を与えられている発光素子は発光状態となっている。また、保持期間501bが終了した行から順に次のサブフレーム502へ移り、サブフレーム501の場合と同様に1行目から最終行まで順に書き込み動作が行われる。以上のような動作を繰り返し、サブフレーム504の保持期間504b迄終了する。サブフレーム504における動作を終了したら次のフレームへ移る。このように、各サブフレームにおいて発光した時間の積算時間が、1フレームにおける各々の発光素子の発光時間となる。この発光時間を発光素子ごとに変えて一画素内で様々に組み合わせることによって、明度および色度の異なる様々な表示色を形成することができる。
サブフレーム504のように、最終行目までの書込が終了する前に、既に書込を終え、保持期間に移行した行における保持期間を強制的に終了させたいときは、保持期間504bの後に消去期間504cを設け、強制的に非発光の状態となるように制御することが好ましい。そして、強制的に非発光状態にした行については、一定期間、非発光の状態を保つ(この期間を非発光期間504dとする。)。そして、最終行目の書込期間504aが終了したら直ちに、一行目から順に次のサブフレーム(またはフレーム)の書込期間に移行する。これによって、サブフレーム504の書き込み期間504aと、その次のサブフレームの書き込み期間とが重畳することを防ぐことができる。
なお、本形態では、サブフレーム501〜504は保持期間の長いものから順に並んでいるが、必ずしも本形態のような並びにする必要はなく、例えば保持期間の短いものから順に並べられていてもよいし、または保持期間の長いものと短いものとがランダムに並んでいてもよい。また、サブフレームは、さらに複数のフレームに分割されていてもよい。つまり、同じ映像信号を与えている期間、ゲート信号線の走査を複数回行ってもよい。
ここで、書込期間および消去期間における、図4で示す回路の動作について説明する。
まず書込期間における動作について説明する。書込期間において、n行目(nは自然数)のゲート信号線911は、スイッチ918を介して書込用ゲート信号線駆動回路913と電気的に接続し、消去用ゲート信号線駆動回路914とは非接続である。また、ソース信号線912はスイッチ920を介してソース信号線駆動回路915と電気的に接続している。ここで、n行目(nは自然数)のゲート信号線911に接続した第1のトランジスタ901のゲートに信号が入力され、第1のトランジスタ901はオンとなる。そして、この時、1列目から最終列目迄のソース信号線912に同時に映像信号が入力される。なお、各列のソース信号線912から入力される映像信号は互いに独立したものである。ソース信号線912から入力された映像信号は、各々のソース信号線に接続した第1のトランジスタ901を介して第2のトランジスタ902のゲート電極に入力される。この時第2のトランジスタ902に入力された信号によって、電流供給線917から発光素子903へ供給される電流値が決まる。そして、その電流値に依存して発光素子903は発光または非発光が決まる。例えば、第2のトランジスタ902がPチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にLow Levelの信号が入力されることによって発光素子903が発光する。一方、第2のトランジスタ902がNチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にHigh Levelの信号が入力されることによって発光素子903が発光する。
次に消去期間における動作について説明する。消去期間において、n行目(nは自然数)のゲート信号線911は、スイッチ919を介して消去用ゲート信号線駆動回路914と電気的に接続し、書込用ゲート信号線駆動回路913とは非接続である。また、ソース信号線912はスイッチ920を介して電源916と電気的に接続している。ここで、n行目のゲート信号線911に接続した第1のトランジスタ901のゲートに信号が入力され、第1のトランジスタ901はオンとなる。そして、この時、1列目から最終列目迄のソース信号線912に同時に消去信号が入力される。ソース信号線912から入力された消去信号は、各々のソース信号線に接続した第1のトランジスタ901を介して第2のトランジスタ902のゲート電極に入力される。この時第2のトランジスタ902に入力された信号によって、電流供給線917から発光素子903への電流の供給が阻止される。そして、発光素子903は強制的に非発光となる。例えば、第2のトランジスタ902がPチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にHigh Levelの信号が入力されることによって発光素子903は非発光となる。一方、第2のトランジスタ902がNチャネル型である場合は、第2のトランジスタ902のゲート電極にLow Levelの信号が入力されることによって発光素子903は非発光となる。
なお、消去期間では、n行目(nは自然数)については、以上に説明したような動作によって消去する為の信号を入力する。しかし、前述のように、n行目が消去期間であると共に、他の行(m行目(mは自然数)とする。)については書込期間となる場合がある。このような場合、同じ列のソース信号線を利用してn行目には消去の為の信号を、m行目には書込の為の信号を入力する必要があるため、以下に説明するような動作させることが好ましい。
先に説明した消去期間における動作によって、n行目の発光素子903が非発光となった後、直ちに、ゲート信号線911と消去用ゲート信号線駆動回路914とを非接続の状態とすると共に、スイッチ920を切り替えてソース信号線912とソース信号線駆動回路915と接続させる。そして、ソース信号線912とソース信号線駆動回路915とを接続させる共に、ゲート信号線911と書込用ゲート信号線駆動回路913とを接続させる。そして、書込用ゲート信号線駆動回路913からm行目のゲート信号線911に選択的に信号が入力され、第1のトランジスタ901がオンすると共に、ソース信号線駆動回路915からは、1列目から最終列目迄のソース信号線912に書込の為の信号が入力される。この信号によって、m行目の発光素子903は、発光または非発光となる。
以上のようにしてm行目について書込期間を終えたら、直ちに、n+1行目の消去期間に移行する。その為に、ゲート信号線911と書込用ゲート信号線駆動回路913を非接続とすると共に、スイッチ920を切り替えてソース信号線912を電源916と接続する。また、ゲート信号線911と書込用ゲート信号線駆動回路913を非接続とすると共に、ゲート信号線911については、消去用ゲート信号線駆動回路914と接続状態にする。そして、消去用ゲート信号線駆動回路914からn+1行目のゲート信号線911に選択的に信号を入力して第1のトランジスタ901に信号をオンする共に、電源916から消去信号が入力される。このようにして、n+1行目の消去期間を終えたら、直ちに、m+1行目の書込期間に移行する。以下、同様に、消去期間と書込期間とを繰り返し、最終行目の消去期間まで動作させればよい。
なお、本形態では、n行目の消去期間とn+1行目の消去期間との間にm行目の書込期間を設ける態様について説明したが、これに限らず、n−1行目の消去期間とn行目の消去期間との間にm行目の書込期間を設けてもよい。
また、本形態では、サブフレーム504のように非発光期間504dを設けるときにおいて、消去用ゲート信号線駆動回路914と或る一のゲート信号線とを非接続状態にすると共に、書込用ゲート信号線駆動回路913と他のゲート信号線911とを接続状態にする動作を繰り返している。このような動作は、特に非発光期間を設けないフレームにおいて行っても構わない。
(実施の形態3)
本発明の発光素子を含む発光装置の一態様について、図7の断面図を用いて説明する。
図7において、点線で囲まれているのは、本発明の発光素子12を駆動するために設けられているトランジスタ11である。発光素子12は、第1の電極13と第2の電極14との間に正孔発生層と電子発生層と発光物質を含む層とが積層された層15を有する本発明の発光素子である。トランジスタ11のドレインと第1の電極13とは、第1層間絶縁膜16(16a、16b、16c)を貫通している配線17によって電気的に接続されている。また、発光素子12は、隔壁層18によって、隣接して設けられている別の発光素子と分離されている。このような構成を有する本発明の発光装置は、本形態において、基板10上に設けられている。
なお、図7に示されたトランジスタ11は、半導体層を中心として基板と逆側にゲート電極が設けられたトップゲート型のものである。但し、トランジスタ11の構造については、特に限定はなく、例えばボトムゲート型のものでもよい。またボトムゲートの場合には、チャネルを形成する半導体層の上に保護膜が形成されたもの(チャネル保護型)でもよいし、或いはチャネルを形成する半導体層の一部が凹状になったもの(チャネルエッチ型)でもよい。
また、トランジスタ11を構成する半導体層は、結晶性、非結晶性のいずれのものでもよい。また、セミアモルファス等でもよい。
なお、セミアモルファス半導体とは、次のようなものである。非晶質と結晶構造(単結晶、多結晶を含む)の中間的な構造を有し、自由エネルギー的に安定な第3の状態を有する半導体であって、短距離秩序を持ち格子歪みを有する結晶質な領域を含んでいるものである。また少なくとも膜中の一部の領域には、0.5〜20nmの結晶粒を含んでいる。ラマンスペクトルが520cm−1よりも低波数側にシフトしている。X線回折ではSi結晶格子に由来するとされる(111)、(220)の回折ピークが観測される。未結合手(ダングリングボンド)を終端するために水素またはハロゲンを少なくとも1原子%またはそれ以上含ませている。所謂微結晶半導体(マイクロクリスタル半導体)とも言われている。SiH、Si、SiHCl、SiHCl、SiCl、SiFのいずれかをグロー放電分解(プラズマCVD)して形成する。これらの気体をH、又は、HとHe、Ar、Kr、Neから選ばれた一種または複数種の希ガス元素で希釈しても良い。希釈率は2〜1000倍の範囲、圧力は概略0.1Pa〜133Paの範囲、電源周波数は1MHz〜120MHz、好ましくは13MHz〜60MHz、基板加熱温度は300℃以下でよく、好ましくは100〜250℃、膜中の不純物元素として、酸素、窒素、炭素などの大気成分の不純物は1×1020/cm以下とすることが望ましく、特に、酸素濃度は5×1019/cm以下、好ましくは1×1019/cm以下とする。なお、セミアモルファス半導体を用いたTFT(薄膜トランジスタ)の移動度はおよそ1〜10m/Vsecとなる。
また、半導体層が結晶性のものの具体例としては、単結晶または多結晶性の珪素、或いはシリコンゲルマニウム等から成るものが挙げられる。これらはレーザー結晶化によって形成されたものでもよいし、例えばニッケル等を用いた固相成長法による結晶化によって形成されたものでもよい。
なお、半導体層が非晶質の物質、例えばアモルファスシリコンで形成される場合には、トランジスタ11およびその他のトランジスタ(発光素子を駆動するための回路を構成するトランジスタ)は全てNチャネル型トランジスタで構成された回路を有する発光装置であることが好ましい。それ以外については、Nチャネル型またはPチャネル型のいずれか一のトランジスタで構成された回路を有する発光装置でもよいし、両方のトランジスタで構成された回路を有する発光装置でもよい。
さらに、第1層間絶縁膜16は、図7(A)、(C)に示すように多層でもよいし、または単層でもよい。なお、16aは酸化珪素や窒化珪素のような無機物から成り、16bはアクリルやシロキサン(シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成され、水素、またはアルキル基等の有機基を置換基として有する化合物。)、塗布成膜可能な酸化珪素等の自己平坦性を有する物質から成る。さらに、16cはアルゴン(Ar)を含む窒化珪素膜から成る。なお、各層を構成する物質については、特に限定はなく、ここに述べたもの以外のものを用いてもよい。また、これら以外の物質から成る層をさらに組み合わせてもよい。このように、第1層間絶縁膜16は、無機物または有機物の両方を用いて形成されたものでもよいし、または無機物と有機物のいずれか一で形成されたものでもよい。
隔壁層18は、エッジ部において、曲率半径が連続的に変化する形状であることが好ましい。また隔壁層18は、アクリルやシロキサン、レジスト、酸化珪素等を用いて形成される。なお隔壁層18は、無機物と有機物のいずれか一で形成されたものでもよいし、または両方を用いて形成されたものでもよい。
なお、図7(A)、(C)では、第1層間絶縁膜16のみがトランジスタ11と発光素子12の間に設けられた構成であるが、図7(B)のように、第1層間絶縁膜16(16a、16b)の他、第2層間絶縁膜19(19a、19b)が設けられた構成のものであってもよい。図7(B)に示す発光装置においては、第1の電極13は第2層間絶縁膜19を貫通し、配線17と接続している。
第2層間絶縁膜19は、第1層間絶縁膜16と同様に、多層でもよいし、または単層でもよい。19aはアクリルやシロキサン、塗布成膜可能な酸化珪素等の自己平坦性を有する物質から成る。さらに、19bはアルゴン(Ar)を含む窒化珪素膜から成る。なお、各層を構成する物質については、特に限定はなく、ここに述べたもの以外のものを用いてもよい。また、これら以外の物質から成る層をさらに組み合わせてもよい。このように、第2層間絶縁膜19は、無機物または有機物の両方を用いて形成されたものでもよいし、または無機物と有機物のいずれか一で形成されたものでもよい。
発光素子12において、第1の電極13および第2の電極14がいずれも透光性を有する物質で構成されている場合、図7(A)の白抜きの矢印で表されるように、第1の電極13側と第2の電極14側の両方から発光を取り出すことができる。また、第2の電極14のみが透光性を有する物質で構成されている場合、図7(B)の白抜きの矢印で表されるように、第2の電極14側のみから発光を取り出すことができる。この場合、第1の電極13は反射率の高い材料で構成されているか、または反射率の高い材料から成る膜(反射膜)が第1の電極13の下方に設けられていることが好ましい。また、第1の電極13のみが透光性を有する物質で構成されている場合、図7(C)の白抜きの矢印で表されるように、第1の電極13側のみから発光を取り出すことができる。この場合、第2の電極14は反射率の高い材料で構成されているか、または反射膜が第2の電極14の上方に設けられていることが好ましい。
また、発光素子12は、第1の電極13の電位よりも第2の電極14の電位が高くなるように電圧を印加したときに動作するように層15が積層されたものであってもよいし、或いは、第1の電極13の電位よりも第2の電極14の電位が低くなるように電圧を印加したときに動作するように層15が積層されたものであってもよい。前者の場合、トランジスタ11はNチャネル型トランジスタであり、後者の場合、トランジスタ11はPチャネル型トランジスタである。
以上のように、本実施の形態では、トランジスタによって発光素子の駆動を制御するアクティブ型の発光装置について説明したが、この他、トランジスタ等の駆動用の素子を特に設けずに発光素子を駆動させるパッシブ型の発光装置であってもよい。図8には本発明を適用して作製したパッシブ型の発光装置の斜視図を示す。図8において、基板951上には、電極952と電極956との間には発光物質を含む層及び電子発生層、正孔発生層が順に積層した層955が設けられている。電極952の端部は絶縁層953で覆われている。そして、絶縁層953上には隔壁層954が設けられている。隔壁層954の側壁は、基板面に近くなるに伴って、一方の側壁と他方の側壁との間隔が狭くなっていくような傾斜を有する。つまり、隔壁層954の短辺方向の断面は、台形状であり、底辺(絶縁層953の面方向と同様の方向を向き、絶縁層953と接する辺)の方が上辺(絶縁層953の面方向と同様の方向を向き、絶縁層953と接しない辺)よりも短い。このように、隔壁層954を設けることで、静電気等に起因した発光素子の不良を防ぐことが出来る。また、パッシブ型の発光装置においても、低駆動電圧で動作する本発明の発光素子を含むことによって、低消費電力で駆動させることができる。
(実施の形態4)
本発明の発光素子を画素として用いた発光装置は、発光素子の動作不良に起因した表示欠陥が少なく良好に表示動作する。その為、このような発光装置を表示部に適用することによって、表示欠陥に起因した表示画像の誤認等が少ない電子機器を得ることができる。また、本発明の発光素子を光源として用いた発光装置は、発光素子の動作不良に起因した不具合が少なく良好に照明することができる。その為、このような発光装置をバックライト等の照明部として用いることによって、このように本発明の発光装置を実装することによって、発光素子の不具合に起因して局所的に暗部が形成されるような動作不良が低減され、良好に表示することができる。
本発明を適用した発光装置を実装した電子機器の一実施例を図9に示す。
図9(A)は、本発明を適用して作製したパーソナルコンピュータであり、本体5521、筐体5522、表示部5523、キーボード5524などによって構成されている。本発明の発光素子を画素として用いた発光装置を表示部として組み込むことでパーソナルコンピュータを完成できる。また、本発明の発光素子を光源として用いた発光装置を、バックライトとして組み込んでもパーソナルコンピュータを完成させることができる。具体的には、パーソナルコンピュータの表示部に、図10に示すように、筐体5511と筐体5514とに液晶装置5512と、本発明の発光素子が少なくとも一設けられた発光装置5513とを嵌め込むことで、本発明の発光素子を光源として用いたパーソナルコンピュータを完成できる。液晶装置5512には外部入力端子5515が装着されており、発光装置5513には、外部入力端子5516が装着されている。また、発光装置5513において、本発明の発光素子は、複数配列されていてもよいし、またはひとつの発光素子が基板の大部分を覆うように設けられていてもよい。発光装置5513において、発光素子からの発光色について特に限定はなく、白色であっても良いし、若しくは赤色、青色、緑色等でもよい。
図9(B)は、本発明を適用して作製した電話機であり、本体5552には表示部5551と、音声出力部5554、音声入力部5555、操作スイッチ5556、5557、アンテナ5553等によって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことで電話機を完成できる。
図9(C)は、本発明を適用して作製したテレビ受像機であり、表示部5531、筐体5532、スピーカー5533などによって構成されている。本発明の発光素子を有する発光装置を表示部として組み込むことでテレビ受像機を完成できる。
以上のように本発明の発光装置は、各種電子機器の表示部として用いるのに非常に適している。なお、電子機器は、本形態で述べたものに限定されるものではなく、ナビゲーション装置等、その他の電子機器であってもよい。
本発明の実施に用いる層に関し、透過型電子顕微鏡を用いて観察した結果について説明する。
シリコンウエハ700上に、三酸化モリブデンと、DNTPDと、ルブレンとを原料として、共蒸着法によって、シリコンウエハの上に第1の層701を形成し、観察に用いる試料を作製した(図11)。第1の層701の厚さは200nmとなるようにした。ここで、共蒸着法とは、一つの処理室内に設けられた複数の蒸着源からそれぞれ原料を気化させ、被処理物上に堆積させる蒸着法をいう。なお、処理室内の圧力は1×10−4Paとなるように調節した。また、抵抗加熱法によってそれぞれの原料を加熱し、気化させた。
なお、上記のように形成した第1の層701において、三酸化モリブデン、DNTPD、ルブレンは、それぞれ、DNTPDに対するモリブデン原子(=モリブデン原子/DNTPD)のモル比が3、DNTPDに対するルブレンのモル比(=ルブレン/DNTPD)が0.01として含まれるように蒸着速度を調節した。
以上のようにして作製した試料の断面を透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察した。なお、観察の際、プラチナから成る第2の層702で第1の層701を覆った。図12に、観察して得られた像(倍率:100万倍)を示す。図12から、第1の層701には、色の濃い第1の領域711と色の薄い第2の領域712とが交互に存在することが分かる。つまり、モリブデンの濃度が高い領域とモリブデンの濃度の低い領域とが交互に存在していることが分かった。なお、モリブデンの濃度が高い第1の領域711は、層の厚さ方向に、凡そ3nmの距離を有し、モリブデンの濃度が低い第2の領域712は、層の厚さ方向に、凡そ3nmの距離を有していることが図12から分かる。
本発明の発光素子の一態様について説明する図。 本発明の発光素子の一態様について説明する図。 本発明の発光装置の一態様について説明する上面図。 本発明の発光装置に設けられた画素を駆動する為の回路の一態様について説明する図。 本発明の発光装置に含まれる画素部の一態様について説明する図。 本発明の発光装置に含まれる画素を駆動するための駆動方法について説明するフレーム図。 本発明の発光装置の断面の一態様について説明する図。 本発明の発光装置の一態様について説明する斜視図。 本発明を適用した電子機器の一態様について説明する図。 本発明を適用した照明装置について説明する図。 実施例1の作製方法について説明する図。 透過型電子顕微鏡を用いた観察によって得られた像。
符号の説明
101 第1の電極
102 第2の電極
111 正孔発生層
112 正孔輸送層
113 発光層
114 電子輸送層
115 電子注入層
117 正孔阻止層
700 シリコンウエハ
701 第1の層
702 第2の層
6500 基板
6503 FPC(フレキシブルプリントサーキット)
6504 プリント配線基盤(PWB)
6511 画素部
6512 ソース信号線駆動回路
6513 書込用ゲート信号線駆動回路
6514 消去用ゲート信号線駆動回路
901 第1のトランジスタ
902 第2のトランジスタ
903 発光素子
911 ゲート信号線
912 ソース信号線
913 書込用ゲート信号線駆動回路
914 消去用ゲート信号線駆動回路
915 ソース信号線駆動回路
916 電源
917 電流供給線
918 スイッチ
919 スイッチ
920 スイッチ
951 基板
952 電極
953 絶縁層
954 隔壁層
955 層
956 電極
1001 第1のトランジスタ
1002 第2のトランジスタ
1003 ゲート信号線
1004 ソース信号線
1005 電流供給線
1006 電極
501 サブフレーム
502 サブフレーム
503 サブフレーム
504 サブフレーム
501a 書込期間
501b 保持期間
502a 書込期間
502b 保持期間
503a 書込期間
503b 保持期間
504a 書込期間
504b 保持期間
504c 消去期間
504d 非発光期間
10 基板
11 トランジスタ
12 発光素子
13 第1の電極
14 第2の電極
15 層
16 層間絶縁膜
17 配線
18 隔壁層
19 層間絶縁膜
5511 筐体
5512 液晶装置
5513 発光装置
5514 筐体
5521 本体
5522 筐体
5523 表示部
5524 キーボード
5551 表示部
5552 本体
5553 アンテナ
5554 音声出力部
5555 音声入力部
5556 操作スイッチ
5531 表示部
5532 筐体
5533 スピーカー

Claims (15)

  1. 一対の電極間に、
    金属酸化物と、前記金属酸化物に対し電子供与性を示す化合物とを含む混合層
    を有し、
    前記混合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記混合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、前記第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高く、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは、それぞれ、前記混合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有する
    ことを特徴とする発光素子。
  2. 一対の電極間に、
    金属酸化物と、前記金属酸化物に対し電子供与性を示す化合物とを含む混合層
    を有し、
    前記混合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記混合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、前記第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高く、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは、それぞれ、前記混合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有し、
    前記混合層において、前記化合物に対する前記金属酸化物のモル比は0.1〜10である
    ことを特徴とする発光素子。
  3. 前記化合物は、芳香族アミン系の化合物であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の発光素子。
  4. 一対の電極間に、
    金属酸化物と、
    前記金属酸化物に対し電子供与性を示す第1の化合物と、
    前記第1の化合物よりもLUMO準位が低く、HOMO準位が高い第2の化合物と、を含む混合層
    を有し、
    前記混合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記混合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、前記第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高く、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは、それぞれ、前記混合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有する
    ことを特徴とする発光素子。
  5. 一対の電極間に、
    金属酸化物と、
    前記金属酸化物に対し電子供与性を示す第1の化合物と、
    前記第1の化合物よりもLUMO準位が低く、HOMO準位が高い第2の化合物とを含む混合層
    を有し、
    前記混合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記混合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる金属酸化物の濃度は、前記第2の領域に含まれる金属酸化物の濃度よりも高く、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは、それぞれ、前記混合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有し、
    前記混合層において、前記第1の化合物に対する前記金属酸化物のモル比は0.1以上10以下である
    ことを特徴とする発光素子。
  6. 前記第1の化合物は、芳香族アミン系の化合物であることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の発光素子。
  7. 前記金属酸化物は、4族〜8族に属する金属原子を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の発光素子。
  8. 一対の電極間に、
    金属原子と、酸素原子と、前記金属原子に対し電子供与性を示す化合物とを含み、
    前記金属原子は前記酸素原子と結合している
    複合層を有し、
    前記複合層は第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記複合層において、前記第1の領域と前記第2の領域とは前記複合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる前記金属原子の濃度は、前記第2の領域に含まれる前記金属原子の濃度よりも高く、
    前記第1の領域および前記第2の領域は、それぞれ、前記複合層の厚さ方向に0.1nm〜10nmの距離を有する
    ことを特徴とする発光素子。
  9. 一対の電極間に、
    金属原子と、酸素原子と、前記金属原子に対し電子供与性を示す化合物とを含み、
    前記金属原子は前記酸素原子と結合している
    複合層を有し、
    前記複合層は第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記複合層において、前記第1の領域と前記第2の領域とは前記複合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる前記金属原子の濃度は、前記第2の領域に含まれる前記金属原子の濃度よりも高く、
    前記第1の領域および前記第2の領域は、それぞれ、前記複合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有し、
    前記複合層において、前記化合物に対する前記金属原子のモル比は0.1以上10以下である
    ことを特徴とする発光素子。
  10. 前記化合物は、芳香族アミン系の化合物であることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の発光素子。
  11. 一対の電極間に、
    金属元素と、酸素元素と、前記金属元素に対し電子供与性を示す第1の化合物と、
    前記第1の化合物よりもLUMO準位が低く、HOMO準位が高い第2の化合物と、を含む複合層
    を有し、
    前記複合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記複合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる前記金属原子の濃度は、前記第2の領域に含まれる前記金属原子の濃度よりも高く、
    前記第1の領域および前記第2の領域は、それぞれ、前記複合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有する
    ことを特徴とする発光素子。
  12. 一対の電極間に、
    金属元素と、酸素元素と、前記金属元素に対し電子供与性を示す第1の化合物と、
    前記第1の化合物よりもLUMO準位が低く、HOMO準位が高い第2の化合物と、を含む複合層
    を有し、
    前記複合層は、第1の領域と第2の領域とを有し、
    前記第1の領域と前記第2の領域とは前記複合層の厚さ方向に交互に設けられ、
    前記第1の領域に含まれる前記金属原子の濃度は、前記第2の領域に含まれる前記金属原子の濃度よりも高く、
    前記第1の領域および前記第2の領域は、それぞれ、前記複合層の厚さ方向に0.1nm以上10nm以下の距離を有し、
    前記複合層において、前記第1の化合物に対する前記金属原子のモル比は0.1以上10以下である
    ことを特徴とする発光素子。
  13. 前記第2の化合物は、芳香族アミン系の化合物であることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の発光素子。
  14. 前記金属原子は、4族〜8族に属する原子であることを特徴とする請求項8乃至請求項13のいずれか一項に記載の発光素子。
  15. 請求項1乃至請求項14のいずれか一項に記載の発光素子を画素として用いていることを特徴とする電子機器。
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