JP2006189915A - 分類装置及び分類方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査画像より欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段101と、前記欠陥領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段104と、正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段105と、確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段107と、を備える。
【選択図】 図1
Description
第2の方法では、図4の(B)に示すような良品ウェハ画像134(または良品となる一定区画の画像)を保持しておき、この画像と、図4の(A)に示すような検査画像133(または処理対象画像内の対応区画)を位置合わせし、重なり合う画素間の輝度差を求めて差分画像135(図4の(C))を作成し、この差分画像135を用いて上記第1の方法と同様の閾値処理により欠陥領域を抽出する。なお、領域の抽出方法は、分類の対象に応じて変更されるものであり、本発明の内容を限定するものではない。
Claims (7)
- 画像より領域を抽出する領域抽出手段と、
前記領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段と、
正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段と、
確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段と、
を備えることを特徴とする分類装置。 - 前記分類手段は、確信レベルに応じた重みを教師データに設定して分類を行うことを特徴とする請求項1記載の分類装置。
- 画像より分類対象の領域を抽出する領域抽出手段と、
前記領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び2次候補となる2次候補カテゴリを入力する操作手段と、
正解カテゴリ及び2次候補カテゴリの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段と、
前記教師データを用いて分類を行う分類手段と、
を備えることを特徴とする分類装置。 - 前記分類手段は、正解カテゴリと2次候補カテゴリの情報を持つ教師データを、特徴量空間において同一の位置に存在する2つの教師データとみなして分類を行うことを特徴とする請求項3記載の分類装置。
- 前記2つの教師データは、異なる重みが設定されることを特徴とする請求項4記載の分類装置。
- 前記分類装置は、特徴量空間内における分類対象領域のデータ近傍に位置する複数の教師データを基に分類を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の分類装置。
- 前記分類装置は、特徴量空間内における同一カテゴリの教師データ分布を代表するデータと分類対象領域のデータとの距離を基に分類を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の分類装置。
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