JP2006179581A - 固体撮像素子およびその製造方法 - Google Patents

固体撮像素子およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006179581A
JP2006179581A JP2004369493A JP2004369493A JP2006179581A JP 2006179581 A JP2006179581 A JP 2006179581A JP 2004369493 A JP2004369493 A JP 2004369493A JP 2004369493 A JP2004369493 A JP 2004369493A JP 2006179581 A JP2006179581 A JP 2006179581A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
charge transfer
imaging device
state imaging
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Abandoned
Application number
JP2004369493A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshisuke Abe
善亮 阿部
Sadaji Yasuumi
貞二 安海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Fujifilm Microdevices Co Ltd
Original Assignee
Fujifilm Microdevices Co Ltd
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Microdevices Co Ltd, Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fujifilm Microdevices Co Ltd
Priority to JP2004369493A priority Critical patent/JP2006179581A/ja
Publication of JP2006179581A publication Critical patent/JP2006179581A/ja
Abandoned legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

【課題】 薄型化を維持しつつ、必要以上に露光時の重ね合わせ精度を必要としないで遮光膜を高精度に規定することの可能な固体撮像素子を提供。
【解決手段】 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記光電変換部を被覆する反射防止膜と、受光領域を除く前記光電変換部と前記電荷転送電極とを覆うように形成された遮光膜とを具備した固体撮像素子において、前記反射防止膜は、前記電荷転送電極上面に重ならないように形成されたことを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、固体撮像素子およびその製造方法にかかり、特に固体撮像素子の光電変換部の受光領域を規定する遮光膜の高精度化構造に関する。
エリアセンサ等に用いられるCCDを用いた固体撮像素子は、フォトダイオードなどの光電変換部と、この光電変換部からの信号電荷を転送するための電荷転送電極を備えた電荷転送部とを有する。電荷転送電極は、半導体基板に形成された電荷転送路上に複数個隣接して配置され、順次駆動される。
近年、CCDの高画素化に伴い、固体撮像素子においては、高解像度化、高感度化への要求は高まる一方であり、ギガピクセル以上まで撮像画素数の増加が進んでいる。特に固体撮像素子の横方向シュリンクが顕著となっている。
しかしながら、縦方向のシュリンクに対しては鈍化しており、縦横比(アスペクト比)は増加傾向にある。アスペクト比の増加は電荷転送電極を覆う遮光膜での反射光および散乱光を生じ易く、CCDにおける光入射角に対するマージンを減少させることになり、光路設計に困難が伴うことになる。
このように微細化が進むと、遮光膜をパターニングする際、下地の凹凸が大きいためハレーションでセンサ開口面積が変動し、感度やスミアに悪影響を及ぼすことがあった。
そこで、この問題を解決するため、表面の凹凸を低減するとともに斜め方向からの光の入射を防止すべく、種々の提案がなされている。
その1つに、電荷転送電極を形成した後、層間絶縁膜を形成しこの層間絶縁膜に溝を設け、この溝に遮光膜を充填することにより、光電変換部を規定するようにした構造が提案されている(特許文献1)。
しかしながら、このような構造では、十分に薄型化することが出来ないという問題があった。
また、水素終端処理による暗時出力低減のために、反射防止膜の形状を、島状、あるいはストライプ状に形成する必要があり、微細な固体撮像素子では露光時の重ね合わせ精度の確保や、電荷転送電極からのハレーションに起因する形状不良が問題となっている。
特開2000−340783号公報
このように、従来の固体撮像素子では、微細化が進むにつれて、フォトリソグラフィ工程においては、下地の凹凸に起因するハレーションによって、受光部を規定する開口面積が変動し、感度やスミア特性に悪影響を及ぼすという問題があった。
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、薄型化を維持しつつ、必要以上に露光時の重ね合わせ精度を必要としないで遮光膜を高精度に規定することの可能な固体撮像素子を提供することを目的とする。
そこで本発明の固体撮像素子は、光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、前記光電変換部を被覆する反射防止膜と、受光領域を除く前記光電変換部と前記電荷転送電極とを覆うように形成された遮光膜とを具備した固体撮像素子において、前記反射防止膜は、前記電荷転送電極上面に重ならないように形成されたことを特徴とする。
この構成によれば、この反射防止膜は、フォトダイオード領域のみ、あるいはフォトダイオード領域と側壁とを含む領域に形成されており、加工端が電荷転送電極側壁の絶縁膜に当接するように形成されており、電荷転送電極上に重なる部分がないためパターン精度が向上する。従って、遮光膜パターンの開口面積を大きくとることができ、感度の向上を図ることが出来る。すなわち遮光膜のパターニングのためのフォトリソグラフィ工程において、電荷転送電極上に凹凸がないためパターン精度の向上をはかることができる。また、ハレーションによるパターン精度の劣化を招くこともない。また光電変換部に開口を有し、前記電荷転送部を覆う反射防止膜の側壁を含む表面を覆うように遮光膜が精度よく形成されるため、斜め方向からの光の入射を阻止し、高感度で安定なスミア特性をもつ固体撮像素子を形成することが可能となる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記反射防止膜が、前記電荷転送電極の側壁全体を覆うように形成されるものを含む。
この構成により、窒化シリコンなどの絶縁膜で形成される反射防止膜が電荷伝送電極の側壁全体を覆うため、耐圧の向上をはかることができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記反射防止膜が、前記電荷転送電極の側壁の底部のみを覆うように形成されるものを含む。
この構成により、遮光膜の開口を十分に大きくとることができ、感度の向上をはかることができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記反射防止膜のエッジ(加工端)が電極側壁の中間部に形成されるものを含む。
この構成により、基板表面における電荷転送電極の絶縁を十分にとることができるとともに、上部では電荷転送電極の側壁は反射防止膜で被覆されていないため、反射防止膜の膜厚分の開口面積を大きくとることができる。
また、本発明の固体撮像素子は、前記反射防止膜は窒化シリコン膜であるものを含む。
窒化シリコン膜は、緻密で絶縁性も高く、また電極間絶縁膜あるいは側壁絶縁膜が酸化シリコン膜で形成されている場合には側壁が酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の2層構造となるため、絶縁性も向上する。
また、本発明の固体撮像素子は、前記遮光膜はタングステン膜であるものを含む。
この構成により、遮光性が向上し、明暗比の向上を図ることができる。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、半導体基板表面に光電変換部を形成する工程と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送するように、前記光電変換部に近接して配される電荷転送電極を含む電荷転送部を形成する工程と、前記光電変換部および前記電荷転送部の形成された前記半導体基板に反射防止膜を形成する工程と、前記光電変換部の受光領域を覆うとともに電荷転送電極上に重ならないようにレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記反射防止膜をエッチングする工程と、前記レジストパターンをアッシングする工程と、遮光膜のパターンを形成する工程とを含む。
この構成により、遮光膜のパターニングのためのフォトリソグラフィ工程において、電荷転送電極上に凹凸がないためパターン精度の向上をはかることができ、遮光膜パターンの開口面積を大きくとることができ、感度の向上を図ることが出来る。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、前記レジストパターンを形成する工程は、 前記光電変換部の受光領域よりも小さめのレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンを溶融し、平坦化する熱工程とを含む。
この構成により、パターン精度を必要とすることなく、リフロー(溶融)によって容易に形成することができる。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁全体を覆うようにする工程であるものを含む。
この構成により、電荷転送電極の側壁全体を覆う反射防止膜パターンが容易に形成可能である。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁の底部のみを覆うように形成される工程であるものを含む。
この構成により、レジストの供給量の調整によって容易に精度のよい反射防止膜のパターニングが可能となる。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンのエッジが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁の中間部に形成される工程であるものを含む。
また、本発明の固体撮像素子の製造方法は、前記レジストパターンを形成する工程は、 前記電荷転送電極上にかからないようにレジスト供給量を制御し、凹部にのみ選択的にレジストを塗布するスピンコート工程を含む。
この構成により、フォトリソグラフィ工程を要することなく、スピンコート工程によって容易に必要なレジストパターンを形成することができる。
本発明の固体撮像素子によれば、表面の凹凸が低減され、フォトグラフィ工程における精度が向上するため、重ね合わせ精度の高い高価な露光装置が不要となり、製造コストの低減を図ることができる。
また本発明の固体撮像素子の製造方法によれば、微細化に際しても遮光膜のパターニング精度が向上するため、信頼性の向上をはかることができる。
例えば、小さめのレジストパターンを形成しておき、流動化により平坦化することにより、レジストパターン形成時にハレーションがあっても熱処理によりレジストパターンの平坦化をはかることができるため、光電変換部を良好に覆うように反射防止膜を形成することができ、反射防止効果の向上をはかることができ、高感度で安定なスミア特性をもつ固体撮像素子を形成することが可能となる。
以下本発明の実施の形態について図面を参照しつ説明する。
(実施の形態1)
この固体撮像素子は、図1および図2に示すように、光電変換部30と、前記光電変換部30で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部40と、前記光電変換部を被覆する反射防止膜5と、受光領域を除く前記光電変換部と前記電荷転送電極とを覆うように形成されたタングステン薄膜からなる遮光膜6とを具備した固体撮像素子において、前記反射防止膜のエッジが、電荷転送電極の側壁の中間部に位置するように形成されたことを特徴とする。
なお、図1は断面概要図、図2は平面概要図である。図1は図2のA−A断面図である。シリコン基板1には、複数のフォトダイオード領域(光電変換部)30が形成され、フォトダイオード領域30で検出した信号電荷を転送するための電荷転送部40が、フォトダイオード領域30の間に形成される。なお、シリコン基板1内に形成される素子領域については省略した。
電荷転送電極によって転送される信号電荷が移動する電荷転送チャネルは、図2では図示していないが、電荷転送部40が延在する方向と交差する方向に、形成される。
なお、図2においては、電極間絶縁膜の内、フォトダイオード領域30と電荷転送部40との境界近傍に形成されるものの記載を省略してある。
また図1に示すように、シリコン基板1内には、フォトダイオード領域30、電荷転送チャネル、チャネルストップ領域(図示せず)、電荷読み出し領域(図示せず)が形成され、シリコン基板1表面には、ゲート酸化膜2が形成される。ゲート酸化膜2表面には、酸化シリコン膜からなる電極間絶縁膜4と電荷転送電極3(第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aからなる第1の電極、第2層ドープトアモルファスシリコン膜3bからなる第2の電極)が形成され、単層電極構造を構成している。
ここで反射防止膜は膜厚30nmの窒化シリコン膜で構成され、この光電変換部の開口を規定するように反射膜上に形成されたタングステン薄膜からなる遮光膜6が形成されている。なおこの反射防止膜5と遮光膜6との間には、図示しないがTEOS膜や、チタンナイトライドTiNなどの密着性層などを介在させるようにしている。
電荷転送部40は、上述したとおりであるが、前記遮光膜6の上層には、図示しないが、中間層が形成され、この中間層の上方には、さらにカラーフィルタ、マイクロレンズが設けられる。また、カラーフィルタとマイクロレンズとの間には、必要に応じて絶縁性の透明樹脂等からなる平坦化層が充填されていてもよい。
また、この例では、いわゆるハニカム構造の固体撮像素子を示しているが、正方格子型の固体撮像素子にも適用可能であることはいうまでもない。
この構成によれば、反射防止膜の加工端が電荷転送電極側壁の絶縁膜に当接するように形成されており、遮光膜のパターニングのためのフォトリソグラフィ工程において、電荷転送電極上に凹凸がないためパターン精度の向上をはかることができる。また、ハレーションによるパターン精度の劣化を招くこともない。また光電変換部に開口を有し、前記電荷転送部を覆う反射防止膜の側壁を含む表面を覆うように遮光膜が形成されるため、斜め方向からの光の入射を阻止し、高感度で安定なスミア特性をもつ固体撮像素子を形成することが可能となる。
次にこの固体撮像素子の製造工程について図3乃至図5を参照しつつ詳細に説明する。
まず、通常の方法で単層電極構造の電荷転送電極を形成する。すなわち不純物濃度1.0×1016cm−3程度のn型のシリコン基板1表面に、膜厚25nmの酸化シリコン膜と、膜厚50nmの窒化シリコン膜と、膜厚10nmの酸化シリコン膜を形成し、3層構造のゲート酸化膜2を形成する。
続いて、このゲート酸化膜2上に、PHとNとを添加したSiHを反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、膜厚0.25μmのリンドープの第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aを形成する。このときの基板温度は500〜600℃とする。
この後、フォトリソグラフィにより第1層ドープトアモルファスシリコン膜3aをパターニングし、下層側に位置する第1の電極を形成し、この第1の電極表面を熱酸化することにより膜厚15nmの酸化シリコン膜4aを形成する。このパターニングに際してはHBrとOとの混合ガスを用いた反応性イオンエッチングを行い、第1の電極および周辺回路の配線を形成する。ここではECR (電子サイクロトロン共鳴:Electron Cycrotoron Resonance)方式あるいはICP(誘導結合Inductively Coupled Plasma)方式などのエッチング装置を用いるのが望ましい。
そしてこの上層に同様にしてPHとNとを添加したSiHを反応性ガスとして用いた減圧CVD法により、膜厚0.5〜0.6μmのリンドープの第2層ドープトアモルファスシリコン膜3bを形成し、CMP(化学的機械研磨)法を用いて平坦化を行い、ゲート酸化膜2上に第1および第2の電極が並置された第2の電極を形成する。そして、更にこの上層に熱酸化後HTO膜を形成し膜厚50nmの酸化シリコン膜4bを形成する(図3(a))。
そしてこの上層にCVD法により膜厚30nmの窒化シリコン膜からなる反射防止膜5を形成する。
続いて、そしてこの上層にポジレジストを厚さ0.5〜1.4μmとなるように塗布し、フォトリソグラフィにより所望のマスクを用いて露光し、現像、水洗を行い、光電変換部よりも十分に小さいレジストパターンR1を形成する(図3(c))。ここではレジストとしてi線用レジストあるいはg線用レジストを用いることによりリフローがし易い。
そしてこのレジストパターンR1を200℃に加熱し、レジストパターンR1を溶融させることによって、光電変換部上全体を覆うように平坦化する(図4(d))。
そしてこのレジストパターンR1をマスクとして反射防止膜5をエッチングする(図4(e))。
次に、アッシングによりレジストパターンR1を除去し(図4(f))、エッジが電荷転送電極を構成する第1および第2の電極3a、3bの中間部となるようにパターニングのなされた反射防止膜を形成する。
そして図5(g)に示すように、六フッ化タングステン(WF)と水素(H)と窒素(N)とアルゴン(Ar)とを用いたCVD法により、反射防止膜5の上層に膜厚200〜300nmのタングステン薄膜(遮光膜6)を形成する。
そして、図5(h)に示すように、フォトリソグラフィによりレジストパターンR2を形成する。
さらに、図5(i)に示すように、このレジストパターンR2をマスクとして遮光膜のパターニングを行う。
そしてレジストパターンR2を酸素プラズマを用いた反応性イオンエッチング(RIE)によりアッシングし、図1に示したような固体撮像素子が形成される。
この後、カラーフィルタ、マイクロレンズなどを形成して、固体撮像素子が完成する。
この方法によれば、反射防止膜のパターニングに際し、レジストパターンを小さめに形成しておき、加熱してリフローしたレジストパターンでパターニングすることにより、確実に光電変換部を被覆し、かつ電荷転送電極上に重ならないように反射防止膜をパターニングすることができ、遮光膜6のパターン精度の向上をはかることができる。
なお、前記実施の形態ではレジストパターンをリフローすることによって平坦化したが、パターニングに際し、デフォーカスを利用して、断面台形状のレジストパターンを形成するようにしてもよい。この場合はリフロー工程が不要となる。
また、電荷転送電極上にかからないようにレジスト供給量を制御し、スピンコート法により凹部にのみ選択的にをレジストを塗布するようにしてもよい.これによりフォトリソグラフィを必要とすることなく反射防止膜のパターン形成を行なうことができる。
なお前記実施の形態では、反射防止膜上に遮光膜を形成したが、また密着性層として、チタンナイトライド、チタンなどを介在させること可能である。
(実施の形態2)
前記実施の形態1では、レジストパターンR1をリフローすることにより、平坦部である光電変換部全体を覆うようにしたが、リフローに代えて、レジストパターンR1を電荷転送電極上にかかるように大きめに形成しておき、これを酸素ラジカルによって等方的に、縮小するようにしてもよい。
この方法では、図6(a)および(b)に示すように、前記実施の形態1と同様にして電荷転送電極となる第1層アモルファスシリコン層3aと第2層アモルファスシリコン層3bと電極間絶縁膜などの絶縁膜4を形成した後、CVD法により膜厚30nmの窒化シリコン膜からなる反射防止膜5を形成する。
続いて、そしてこの上層にポジレジストを厚さ0.5〜1.4μmとなるように塗布し、フォトリソグラフィにより所望のマスクを用いて露光し、現像、水洗を行い、光電変換部よりも十分に大きく、電荷転送電極上にかかるような大きいレジストパターンR3を形成する(図6(c))。
そしてこのレジストパターンR3を酸素ラジカルを用いて等方的にエッチングし、レジストパターンを縮小する(図7(d))。
この後、この縮小されたレジストパターンR3をマスクとして反射防止膜5をエッチングする(図7(e))。
次に、アッシングによりレジストパターンR3を除去し、実施の形態1と同様にエッジが電荷転送電極を構成する第1および第2の電極3a、3bの中間部となるようにパターニングのなされた反射防止膜を形成する。
後は、前記実施の形態1と同様にして遮光膜のパターンを形成するとともに、カラーフィルタ、マイクロレンズ等を形成する。
この構成によっても薄型でより集光効率の高い固体撮像素子を得ることができる。
(実施の形態3)
前記実施の形態1、2では、反射防止膜のエッジが、電荷転送電極の側壁の中間部に位置する例について述べたが、本実施の形態では、図8に示すように、窒化シリコン膜からなる反射防止膜5が、絶縁膜4で被覆された電荷転送電極3の側壁全体を覆うように形成されたことを特徴とする。他部については、前記実施の形態1、2と同様であるため、説明を省略する。
次にこの固体撮像素子の製造工程について説明する。
この方法では、図9(a)および(b)に示すように、前記実施の形態1と同様にして電荷転送電極となる第1層アモルファスシリコン層3aと第2層アモルファスシリコン層3bと電極間絶縁膜などの絶縁膜4を形成した後、CVD法により膜厚30nmの窒化シリコン膜からなる反射防止膜5を形成する。
続いて、そしてこの上層にレジストR4を電荷転送電極による段差を十分に被覆するように厚さ0.5μm以上となるように塗布し(図9(c))、エッチバックにより、電荷転送電極上のレジストを除去し、さらに電荷転送電極上の反射防止膜5を研磨除去する(図10(d))。
そしてこのレジストR4を剥離除去し電荷転送電極側壁全体を覆うように形成された反射防止膜5を得る(図10(e))。
この後、前記実施の形態1と同様にして遮光膜のパターンを形成し、図8に示した固体撮像素子を得る。このようにして得られた固体撮像素子上に、カラーフィルタ、マイクロレンズ等を形成する。
この構成によっても薄型でより集光効率の高い固体撮像素子を得ることができる。
この構成によれば、窒化シリコン膜で形成される反射防止膜が電荷伝送電極の側壁全体を覆うため、電荷転送電極の側壁では、酸化シリコン膜からなる絶縁膜4と窒化シリコン膜からなる反射防止膜との2層構造となっているため、膜厚を小さくしても耐圧の向上をはかることができる。
(実施の形態4)
前記実施の形態1、2では、反射防止膜のエッジが、電荷転送電極の側壁の中間部に位置する例について述べたが、本実施の形態では、図11に示すように窒化シリコン膜からなる反射防止膜5が、絶縁膜4で被覆された電荷転送電極3の側壁に這い上がることなく、光電変換部の表面のみに形成されたことを特徴とする。この例では、電荷転送電極と遮光膜との間のリーク防止層として、反射防止膜5と遮光膜6との間にCVD法により酸化シリコン膜8を形成すると共に、この上層に密着性層としてのチタンナイトライドTiN層9を介在させるようにしている。なおこの酸化シリコン膜8としてはHTO膜あるいはLPCVD法によって形成したTEOS膜を用いるのが望ましい。他部については、前記実施の形態1、2と同様であるため、説明を省略する。
この構成は、絶縁膜4で覆われた前記電荷転送電極の側壁の底部のみを覆うようにレジストパターンを形成することにより、反射防止膜を電荷転送電極の側壁に這い上がらないように形成することができ、レジストの供給量の調整によって容易に精度のよい反射防止膜のパターニングが可能となる。
次にこの固体撮像素子の製造工程について説明する。
この方法では、図12(a)に示すように、前記実施の形態1と同様にして電荷転送電極となる第1層アモルファスシリコン層3aと第2層アモルファスシリコン層3bと電極間絶縁膜などの絶縁膜4を形成した後、スパッタリング法により膜厚30nmの窒化シリコン膜からなる反射防止膜5を形成する。この工程ではスパッタリング法を用いることにより、電荷転送電極の側壁には形成されず水平面にのみ選択的に窒化シリコン膜が形成される。この後図示しないが光電変換部にレジストを残留せしめ、このレジストをマスクとしてエッチングし、図12(a)に示すように光電変換部にのみ反射防止膜5を残留せしめる。
続いて、図12(b)に示すようにCVD法により酸化シリコン膜8を形成する。
この後、図13(c)に示すようにこの上層にCVD法により密着性層としてのチタンナイトライドTiN層9を形成するとともにタングステン層からなる遮光膜6を形成する。
この後、図13(d)に示すようにレジストパターンR4を形成し、これをマスクとして、遮光膜をパターニングするとともに、光電変換部の密着性層9、酸化シリコン膜8を除去し、レジストパターンR4を剥離除去し図11に示した固体撮像素子を形成する。
このようにして光電変換部を被覆し、エッジが電荷転送電極側壁に当接するように形成された反射防止膜5を得る。
この後、このようにして得られた固体撮像素子上に、カラーフィルタ、マイクロレンズ等を形成する。
この構成によっても薄型でより集光効率の高い固体撮像素子を得ることができる。
なお、前記実施の形態1乃至3については、単層電極構造の電荷転送電極をもつ固体撮像素子について説明したが、本実施の形態では多層電極構造の電荷転送電極をもつ固体撮像素子についても適用可能である。
以上説明してきたように、本発明によれば、反射防止膜を電荷転送電極上に重ならないように形成しているため、遮光膜のパターン精度が向上し、容易に信頼性の高い固体撮像素子の形成が可能となり、小型カメラへの適用に有効である。
本発明の実施の形態1の固体撮像素子を示す断面図である。 本発明の実施の形態1の固体撮像素子を示す上面図である。 本発明の実施の形態1の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態1の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態1の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態2の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態2の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態3の固体撮像素子を示す図である。 本発明の実施の形態3の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態3の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 実施の形態4の固体撮像素子を示す図である。 本発明の実施の形態4の固体撮像素子の製造工程を示す図である。 本発明の実施の形態4の固体撮像素子の製造工程を示す図である。
符号の説明
1 シリコン基板
2 ゲート酸化膜
3a 第1の電極(第1層ドープトアモルファスシリコン膜)
3b 第2の電極(第2層ドープトアモルファスシリコン膜)
3 電荷転送電極
4 絶縁膜
5 反射防止膜
30 フォトダイオード領域
40 電荷転送部

Claims (12)

  1. 光電変換部と、前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部と、
    前記光電変換部を被覆する反射防止膜と、
    受光領域を除く前記光電変換部と前記電荷転送電極とを覆うように形成された遮光膜とを具備した固体撮像素子において、
    前記反射防止膜は、前記電荷転送電極上面に重ならないように形成されたことを特徴とする固体撮像素子。
  2. 請求項1に記載の固体撮像素子であって、
    前記反射防止膜は、前記電荷転送電極の側壁全体を覆うように形成される固体撮像素子。
  3. 請求項1に記載の固体撮像素子であって、
    前記反射防止膜は、前記電荷転送電極の側壁の底部のみを覆うように形成される固体撮像素子。
  4. 請求項1または2に記載の固体撮像素子であって、
    前記反射防止膜のエッジ(加工端)が電極側壁の中間部に形成される固体撮像素子。
  5. 請求項1乃至4のいずれかに記載の固体撮像素子であって、
    前記反射防止膜は窒化シリコン膜である固体撮像素子。
  6. 請求項1乃至5のいずれかに記載の固体撮像素子であって、
    前記遮光膜はタングステン膜である固体撮像素子。
  7. 半導体基板表面に光電変換部を形成する工程と、
    前記光電変換部で生起せしめられた電荷を転送するように、前記光電変換部に近接して配される電荷転送電極を含む電荷転送部を形成する工程と、
    前記光電変換部および前記電荷転送部の形成された前記半導体基板に反射防止膜を形成する工程と、
    前記光電変換部の受光領域を覆うとともに電荷転送電極上に重ならないようにレジストパターンを形成する工程と、
    前記レジストパターンをマスクとして前記反射防止膜をエッチングする工程と、
    前記レジストパターンをアッシングする工程と、
    遮光膜のパターンを形成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。
  8. 請求項7に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
    前記レジストパターンを形成する工程は、
    前記光電変換部の受光領域よりも小さめのレジストパターンを形成する工程と、
    前記レジストパターンを溶融し、平坦化する熱工程とを含む固体撮像素子の製造方法。
  9. 請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
    前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁全体を覆うようにする工程である固体撮像素子の製造方法。
  10. 請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
    前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁の底部のみを覆うように形成される工程である固体撮像素子固体撮像素子の製造方法。
  11. 請求項8に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
    前記熱工程は、前記平坦化されたレジストパターンのエッジが、前記反射防止膜で覆われた前記電荷転送電極の側壁の中間部に形成される工程である固体撮像素子の製造方法。
  12. 請求項7に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
    前記レジストパターンを形成する工程は、
    前記電荷転送電極上にかからないように、レジスト供給量を制御し、凹部にのみ選択的にレジストを塗布するスピンコート工程を含む固体撮像素子の製造方法。
JP2004369493A 2004-12-21 2004-12-21 固体撮像素子およびその製造方法 Abandoned JP2006179581A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004369493A JP2006179581A (ja) 2004-12-21 2004-12-21 固体撮像素子およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004369493A JP2006179581A (ja) 2004-12-21 2004-12-21 固体撮像素子およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006179581A true JP2006179581A (ja) 2006-07-06

Family

ID=36733417

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004369493A Abandoned JP2006179581A (ja) 2004-12-21 2004-12-21 固体撮像素子およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006179581A (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04152674A (ja) * 1990-10-17 1992-05-26 Sony Corp 固体撮像素子
JP2002124659A (ja) * 2000-10-13 2002-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置
JP2002203953A (ja) * 2001-01-05 2002-07-19 Sony Corp 固体撮像素子およびその製造方法
JP2003163344A (ja) * 2001-11-26 2003-06-06 Sony Corp 半導体装置及びその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04152674A (ja) * 1990-10-17 1992-05-26 Sony Corp 固体撮像素子
JP2002124659A (ja) * 2000-10-13 2002-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置
JP2002203953A (ja) * 2001-01-05 2002-07-19 Sony Corp 固体撮像素子およびその製造方法
JP2003163344A (ja) * 2001-11-26 2003-06-06 Sony Corp 半導体装置及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7859072B2 (en) Image sensor and method for manufacturing the same
JP2005086186A (ja) 固体撮像装置とその製造方法
JP2007150087A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
US20070152249A1 (en) Method for fabricating cmos image sensor
JP4711645B2 (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2007088057A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2007080941A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2007305683A (ja) 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子
JP2006049834A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
KR20010061308A (ko) 박막 이미지센서의 제조 방법
JP2006013460A (ja) 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子
JP2006032967A (ja) イメージセンサ及びその製造方法
JP2006179581A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2006351787A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2006222366A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
KR100640531B1 (ko) 자기 정렬 이미지 센서 제조방법
JP2007188964A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
KR20050105586A (ko) 이미지센서 및 그 제조방법
JP2007012677A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP4500667B2 (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2006041484A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP2008135636A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法
JP4449298B2 (ja) 固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子
KR20050039165A (ko) 시모스 이미지센서의 제조방법
JP2004342912A (ja) 固体撮像素子およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20060424

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20060621

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20061124

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070305

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20071108

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20071115

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20071122

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101207

A762 Written abandonment of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762

Effective date: 20110131