JP2006178091A

JP2006178091A - 斜め投影光学系

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Publication number: JP2006178091A
Application number: JP2004369866A
Authority: JP
Inventors: Tomiyoshi Kuwa; 富栄桑; Yuichi Masubuchi; 友一増渕
Original assignee: Konica Minolta Opto Inc
Current assignee: Konica Minolta Opto Inc
Priority date: 2004-12-21
Filing date: 2004-12-21
Publication date: 2006-07-06

Abstract

【課題】良好な光学性能を保持しつつ広画角でコンパクトな斜め投影光学系を提供する。
【解決手段】縮小側の１次像面Ｓｏから拡大側の２次像面Ｓｉへの斜め方向の拡大投影を行うための斜め投影光学系であって、反射面にパワーを有する少なくとも１枚のミラーＭ１と、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で３回以上のプリズムＰＲと、を有する。プリズムＰＲは、少なくとも部分的に全反射作用を用いる光学面Ｐ２を有し、屈折と反射の両方に作用する光学面Ｐ２，Ｐ４を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は斜め投影光学系に関するものであり、例えば、反射光学素子をリアプロジェクションに好適な光学構成で有し、１次像面から２次像面への斜め方向の拡大投影を行う斜め投影光学系に関するものである。

斜め投影光学系の広画角化を達成するために、反射面にパワーを有するミラー(いわゆるパワーミラー)を用いることは、色収差と歪曲収差の軽減に有効である。そのような斜め投影光学系の例として、例えば特許文献１，２で提案されているものが挙げられる。特許文献１の図６には４枚のパワーミラーを用いたものが記載されており、特許文献２の図２には１枚のパワーミラーと屈折光学系を用いたものが記載されている。
特開２００３−１２１７８３号公報特開２００３−１４９７４４号公報

しかし、特許文献１，２に記載されているようにパワーミラーを用いると、光学ユニット(１次像面から最も２次像面に近い位置にあるパワーを有する光学素子までを含む投影光学系全体)の小型化や光学性能の維持が困難になる。ミラーを用いる限り１つのミラーに入射する光束とそのミラーで反射した光束とを分離しなければならず、さらに、投影光の進行方向についてミラーの前後に光学素子等が存在する場合には、それらとの干渉を避けなければならないからである。

例えば、特許文献１の図６に示されている投影光学系では、画像形成素子の一番上から射出した光線と第２反射鏡の下部との干渉、第３反射鏡の一番下から反射された光線と第２反射鏡の上部との干渉、第１反射鏡と第３反射鏡との物理的干渉等を避ければならない。この干渉条件を緩和しないと光学ユニットの小型化は困難である。特許文献２の図２に示されているリアプロジェクション装置においても、上記干渉条件があるため薄型化は困難である。またパワーミラーを用いた場合には、上記干渉を避けるために２次像面の中心に到達する主光線を２次像面の法線に対して傾斜させるのが一般的であるが、この原理はリアプロジェクション装置の薄型化に寄与すると同時に、その広画角により光学収差性能の維持を困難にしてしまう。

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであって、その目的は、良好な光学性能を保持しつつ広画角でコンパクトな斜め投影光学系を提供することにある。

上記目的を達成するために、第１の発明の斜め投影光学系は、縮小側の１次像面から拡大側の２次像面への斜め方向の拡大投影を行うための斜め投影光学系であって、反射面にパワーを有する少なくとも１枚のミラーと、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で３回以上のプリズムと、を有することを特徴とする。

第２の発明の斜め投影光学系は、上記第１の発明において、前記プリズムが少なくとも部分的に全反射作用を用いる光学面を有することを特徴とする。

第３の発明の斜め投影光学系は、上記第１又は第２の発明において、前記プリズムが屈折と反射の両方に作用する光学面を有することを特徴とする。

第４の発明の斜め投影光学系は、上記第１〜第３のいずれか１つの発明において、前記プリズムの拡大側には前記反射面にパワーを有するミラーが配置されており、前記プリズムの縮小側にはパワーを有する光学素子が配置されていることを特徴とする。

第５の発明の斜め投影光学系は、上記第４の発明において、前記パワーを有する光学素子がレンズであることを特徴とする。

第６の発明の斜め投影光学系は、上記第４の発明において、前記パワーを有する光学素子がミラーであることを特徴とする。

第７の発明の斜め投影光学系は、上記第１〜第６のいずれか１つの発明において、前記プリズムがパワーを有する光学面を含むことを特徴とする。

第８の発明の斜め投影光学系は、上記第７の発明において、前記パワーを有する光学面が非球面から成ることを特徴とする。

第９の発明の斜め投影光学系は、上記第７又は第８の発明において、前記パワーを有する光学面が反射作用を有する面であることを特徴とする。

第１０の発明の斜め投影光学系は、上記第１〜第６のいずれか１つの発明において、前記プリズムの光学面が全て平面であることを特徴とする。

第１１の発明の斜め投影光学系は、上記第１〜第１０のいずれか１つの発明において、前記プリズムに入射した投影光が、一旦そのプリズムを射出した後、パワーを有する反射光学素子を介して再度そのプリズムに入射することを特徴とする。

第１２の発明の斜め投影光学系は、上記第３〜第１０のいずれか１つの発明において、前記プリズムが、第１の面，第２の面及び第３の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面及び前記第３の面の順で反射され、前記第２の面から射出することを特徴とする。

第１３の発明の斜め投影光学系は、上記第３〜第１０のいずれか１つの発明において、前記プリズムが、第１の面，第２の面，第３の面及び第４の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面，前記第３の面及び前記第４の面の順で反射され、前記第１の面から射出することを特徴とする。

第１４の発明の斜め投影光学系は、上記第３〜第１０のいずれか１つの発明において、前記プリズムが、第１の面，第２の面，第３の面及び第４の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面から一旦そのプリズムを射出した後、パワーを有する反射光学素子を介して前記第２の面から再度そのプリズムに入射し、前記第３の面及び前記第４の面の順で反射され、前記第１の面から射出することを特徴とする。

本発明によれば、反射面にパワーを有する少なくとも１枚のミラーと、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で３回以上のプリズムと、を共に有する構成になっているため、プリズムで干渉条件の制限が緩和される結果、良好な光学性能を保持しつつ広画角でコンパクトな斜め投影光学系を実現することが可能となる。

以下、本発明に係る斜め投影光学系の実施の形態等を、図面を参照しつつ説明する。図１〜図５に、斜め投影光学系の第１〜第５の実施の形態における１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉまでの投影光路全体の光学構成(光学配置，投影光路等)を、１次像面Ｓｏの画面長辺方向に沿って見たときの光学断面でそれぞれ示し、図６〜図１０に、図１〜図５の主要部(主に絞りやレンズ群の細かい部分)を拡大してそれぞれ示す。つまり、１次像面Ｓｏの法線方向をx方向とし、１次像面Ｓｏの画面短辺方向をy方向とし、１次像面Ｓｏの画面長辺方向をz方向とする直交座標系(x,y,z)において、図１〜図１０は各実施の形態における投影光路全体の光学構成を直交座標系(x,y,z)におけるxy断面で示している。なお、図１〜図１０中、＊印が付された光学面は回転対称な非球面、＄印が付された光学面は回転非対称な非球面(いわゆる自由曲面)であることを示している。

第１〜第５の実施の形態は、縮小側の１次像面Ｓｏから拡大側の２次像面Ｓｉへの斜め方向の拡大投影を行う、画像投影装置用の斜め投影光学系である。したがって、１次像面Ｓｏは光強度を変調することにより２次元画像を形成する表示素子の画像形成面(例えば画像表示面)に相当し、２次像面Ｓｉは投影像面(例えばスクリーン面)に相当する。なお、１次像面Ｓｏの中心と絞りＳＴの中心を通過する主光線を「中心主光線」とすると、「斜め方向の拡大投影」とは、中心主光線が２次像面Ｓｉと交わるときのベクトルが２次像面Ｓｉの法線ベクトルに対して傾いた状態での拡大投影を意味する。

１次像面Ｓｏの近傍には表示素子のカバーガラスＣＧが位置しており、各実施の形態では表示素子としてデジタル・マイクロミラー・デバイス(digital micromirror device)を想定している。ただし、表示素子はこれに限らず、各実施の形態の斜め投影光学系に適した他の非発光・反射型(又は透過型)の表示素子(例えば液晶表示素子)を用いても構わない。表示素子としてデジタル・マイクロミラー・デバイスを用いた場合、それに入射した光は、ＯＮ／ＯＦＦ状態(例えば±１２°の傾き状態)の各マイクロミラーで反射されることにより空間的に変調される。その際、ＯＮ状態のマイクロミラーで反射した光のみが斜め投影光学系に入射してスクリーン面に投射される。なお、上記表示素子の代わりに自発光型表示素子を用いてもよい。映像表示素子として自発光型表示素子を用いれば、照明用の光源等が不要となるため、光学構成をより軽量で小型にすることができる。

各実施の形態の光学構成の上下配置は、図１〜図１０に示されているものに限らず、上下反対でもよい。つまり、実際の装置配置や光学系配置等の都合に合わせて、図１〜図１０における上側を下側としてもなんら問題はない。また、各実施の形態の斜め投影光学系は、背面投写型画像投影装置(リアプロジェクター)に適した光学構成を有しているが、２次像面Ｓｉから１次像面Ｓｏへの斜め方向の縮小投影を行う斜め投影光学系として、画像読み取り装置に用いることも可能である。その場合、１次像面Ｓｏは画像読み取り用の受光素子(例えばＣＣＤ：Charge Coupled Device)の受光面に相当し、２次像面Ｓｉは読み取り画像面(例えば原稿面)に相当する。また、いずれの実施の形態も、拡大側の２次像面Ｓｉに到達する直前の反射面が平面反射面であるので、それを構成している平面ミラーＭＦを取り除き、その結果得られる２次像面Ｓｉの位置(つまり、平面反射面に対する２次像面Ｓｉのミラーイメージ位置)にスクリーンを配置すれば、前面投写型画像投影装置(フロントプロジェクター)としての使用も可能である。そして、そのような形態における縮小光学系としても利用可能である。

第１〜第５の実施の形態には、反射光学素子と、屈折光学素子と、その両方の機能を有するプリズムと、が用いられている。反射光学素子としては、曲面反射面を有するパワーミラーと平面反射面を有する平面ミラーとが用いられているが、パワーミラーの代わりに曲面反射面を有するプリズムを用いてもよく、平面ミラーの代わりに平面反射面を有するプリズムを用いてもよい。また、複数の反射面を有する１つ又は複数の反射光学素子やプリズムを用いてもよく、反射面，屈折面，回折面，又はそれらを組み合わせて有する光学素子を用いてもよい。屈折光学素子としては、曲面屈折面を有する屈折レンズが用いられているが、用いる屈折光学素子は入射光線を屈折作用により偏向させる屈折型レンズ(つまり、異なる屈折率を有する媒質同士の界面で偏向が行われるタイプのレンズ)に限らない。例えば、回折作用により入射光線を偏向させる回折型レンズ，回折作用と屈折作用との組み合わせで入射光線を偏向させる屈折・回折ハイブリッド型レンズ，入射光線を媒質内の屈折率分布により偏向させる屈折率分布型レンズ等を用いてもよい。以下に、各実施の形態の光学構成を更に詳しく説明する。

第１の実施の形態(図１，図６)では、１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉへの投影光路に沿って順に、カバーガラスＣＧと、縮小側面Ｓ３が回転対称非球面から成り拡大側面Ｓ４が平面から成る略ノンパワーの回転対称非球面レンズＬ１と、絞りＳＴと、負レンズ及び正レンズから成る接合レンズＬ２と、正レンズＬ３と、負レンズＬ４と、縮小側面Ｓ１３が回転非対称非球面から成る略ノンパワーの回転非対称非球面レンズＬ５と、プリズムＰＲと、回転対称非球面から成る曲面反射面Ｓ１９を有する第１パワーミラーＭ１と、光路折り返し用の平面反射面Ｓ２０を有する平面ミラーＭＦと、が配置されている。プリズムＰＲにおいて、第１面Ｐ１は平面から成るプリズム入射面Ｓ１５であり、第２面Ｐ２は平面から成るプリズム全反射面Ｓ１６であり、第３面Ｐ３は回転対称非球面から成るプリズム反射面Ｓ１７であり、第４面Ｐ４は第２面Ｐ２と同一のプリズム面から成るプリズム射出面Ｓ１８である。投影光は、第１面Ｐ１で屈折し、第２面Ｐ２で全反射し、第３面Ｐ３で反射し、第４面Ｐ４で屈折してプリズムＰＲを射出することになる。

第２の実施の形態(図２，図７)では、１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉへの投影光路に沿って順に、カバーガラスＣＧと、縮小側面Ｓ３が回転非対称非球面から成り拡大側面Ｓ４が平面から成る略ノンパワーの回転非対称非球面レンズＬ１と、絞りＳＴと、負レンズ及び正レンズから成る接合レンズＬ２と、正レンズＬ３と、負レンズＬ４と、負レンズＬ５と、プリズムＰＲと、回転非対称非球面から成る曲面反射面Ｓ１９を有する第１パワーミラーＭ１と、光路折り返し用の平面反射面Ｓ２０を有する平面ミラーＭＦと、が配置されている。プリズムＰＲにおいて、第１面Ｐ１は回転非対称非球面から成るプリズム入射面Ｓ１５であり、第２面Ｐ２は回転非対称非球面から成るプリズム全反射面Ｓ１６であり、第３面Ｐ３は回転非対称非球面から成るプリズム反射面Ｓ１７であり、第４面Ｐ４は第２面Ｐ２と同一のプリズム面から成るプリズム射出面Ｓ１８である。投影光は、第１面Ｐ１で屈折し、第２面Ｐ２で全反射し、第３面Ｐ３で反射し、第４面Ｐ４で屈折してプリズムＰＲを射出することになる。

第２の実施の形態では、最も２次像面Ｓｉ側に位置する負レンズＬ５とプリズムＰＲの第１面Ｐ１との間に平面反射面を配置して光路を折り返すことにより、斜め投影光学系の光学配置を変えることができる。例えば、図１６に示すように平面ミラーＭＨで光路を折り曲げることによって、２次像面Ｓｉの法線方向(後述するローカルＸ軸方向)と２次像面Ｓｉの画面短辺方向(後述するローカルＹ軸方向)に、斜め投影光学系及び画像投影装置をコンパクト化することができる。

第３の実施の形態(図３，図８)では、１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉへの投影光路に沿って順に、カバーガラスＣＧと、絞り(仮想絞り)ＳＴと、縮小側面Ｓ３が回転非対称非球面から成り拡大側面Ｓ４が平面から成る略ノンパワーの回転非対称非球面レンズＬ１と、負レンズ及び正レンズから成る接合レンズＬ２と、回転非対称非球面から成る曲面反射面Ｓ８を有する第１パワーミラーＭ１と、プリズムＰＲと、回転非対称非球面から成る曲面反射面Ｓ１３を有する第２パワーミラーＭ２と、光路折り返し用の平面反射面Ｓ１４を有する平面ミラーＭＦと、が配置されている。プリズムＰＲにおいて、第１面Ｐ１は回転非対称非球面から成るプリズム入射面Ｓ９であり、第２面Ｐ２は回転非対称非球面から成るプリズム全反射面Ｓ１０であり、第３面Ｐ３は回転非対称非球面から成るプリズム反射面Ｓ１１であり、第４面Ｐ４は第２面Ｐ２と同一のプリズム面から成るプリズム射出面Ｓ１２である。投影光は、第１面Ｐ１で屈折し、第２面Ｐ２で全反射し、第３面Ｐ３で反射し、第４面Ｐ４で屈折してプリズムＰＲを射出することになる。

第４の実施の形態(図４，図９)では、１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉへの投影光路に沿って順に、カバーガラスＣＧと、縮小側面Ｓ３が回転対称非球面から成り拡大側面Ｓ４が平面から成る略ノンパワーの回転対称非球面レンズＬ１と、負レンズ及び正レンズ(拡大側面Ｓ７が絞りＳＴを構成する光学面)から成る接合レンズＬ２と、正レンズＬ３と、負レンズＬ４と、縮小側面Ｓ１２が回転非対称非球面から成る略ノンパワーの回転非対称非球面レンズＬ５と、プリズムＰＲと、回転対称非球面から成る曲面反射面Ｓ１６を有する第１パワーミラーＭ１と、プリズムＰＲと、回転非対称非球面から成る曲面反射面Ｓ２１を有する第２パワーミラーＭ２と、光路折り返し用の平面反射面Ｓ２２を有する平面ミラーＭＦと、が配置されている。

図１７に、第４の実施の形態におけるプリズムＰＲと第１パワーミラーＭ１での光路折り曲げ状態を拡大して示す。プリズムＰＲにおいて、第１面Ｐ１は平面から成るプリズム入射面Ｓ１４であり、第２面Ｐ２は平面から成るプリズム射出面Ｓ１５であり、第３面Ｐ３は第２面Ｐ２と同一のプリズム面から成るプリズム入射面Ｓ１７であり、第４面Ｐ４は第１面Ｐ１と同一のプリズム面から成るプリズム全反射面Ｓ１８であり、第５面Ｐ５は平面から成るプリズム反射面Ｓ１９であり、第６面Ｐ６は第１面Ｐ１と同一のプリズム面から成るプリズム射出面Ｓ２０である。投影光は、第１面Ｐ１で屈折し、第２面Ｐ２で屈折した後、一旦プリズムＰＲから射出して第１パワーミラーＭ１で反射され、再度プリズムＰＲに入射する。そして、第３面Ｐ３で屈折し、第４面Ｐ４で全反射し、第５面Ｐ５で反射し、第６面Ｐ６で屈折してプリズムＰＲを射出することになる。

第５の実施の形態(図５，図１０)では、１次像面Ｓｏから２次像面Ｓｉへの投影光路に沿って順に、カバーガラスＣＧと、縮小側面Ｓ３が回転対称非球面から成り拡大側面Ｓ４が平面から成る略ノンパワーの回転対称非球面レンズＬ１と、絞り(仮想絞り)ＳＴと、負レンズ及び正レンズから成る接合レンズＬ２と、絞り(仮想絞り)ＳＴと、正レンズＬ３と、負レンズＬ４と、縮小側面Ｓ１２が回転非対称非球面から成る略ノンパワーの回転非対称非球面レンズＬ５と、プリズムＰＲと、回転非対称非球面から成る曲面反射面Ｓ１９を有する第１パワーミラーＭ１と、光路折り返し用の平面反射面Ｓ２０を有する平面ミラーＭＦと、が配置されている。プリズムＰＲにおいて、第１面Ｐ１は平面から成るプリズム入射面Ｓ１４であり、第２面Ｐ２は回転非対称非球面から成るプリズム反射面Ｓ１５であり、第３面Ｐ３は第１面Ｐ１と同一のプリズム面から成るプリズム全反射面Ｓ１６であり、第４面Ｐ４は平面から成るプリズム反射面Ｓ１７であり、第５面Ｐ５は第１面Ｐ１と同一のプリズム面から成るプリズム射出面Ｓ１８である。投影光は、第１面Ｐ１で屈折し、第２面Ｐ２で反射し、第３面Ｐ３で全反射し、第４面Ｐ４で反射し、第５面Ｐ５で屈折してプリズムＰＲを射出することになる。

一般に、パワーミラーを用いて縮小側の１次像面から拡大側の２次像面への斜め拡大投影を行う場合、光学素子同士の干渉や光学素子と投影光との干渉を避けながら光学ユニットを小型化することは、光学性能の低下を招く原因となる。また、リアプロジェクション装置に斜め拡大投影を適用する場合、リアプロジェクション装置の薄型化を達成しながら斜め投影光学系の光学性能を良好にバランスさせようとすると、装置全体の大型化やコストアップを招くことになる。このような問題を回避するため、縮小側の１次像面から拡大側の２次像面への斜め方向の拡大投影を行うための斜め投影光学系においては、各実施の形態のように反射面にパワーを有する少なくとも１枚のミラーと、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で３回以上のプリズムと、を有することが好ましい。反射面にパワーを有するミラー(すなわちパワーミラー)を用いれば、平面ミラーを用いた場合よりもミラーの小型化が可能になるとともに像面性能を良くすることが可能になる。しかも、斜め拡大投影におけるミラーの使用は広角化を図る上で有利である。また、プリズムを用いることによって光路の折り曲げ等の取り回しの自由度を上げることが可能となり、結果的に干渉条件の制限を緩和することができる。したがって、良好な光学性能を保持しつつ広画角でコンパクトな斜め投影光学系を実現することができる。そして、この斜め投影光学系を用いれば薄型・大画面・高画質のリアプロジェクション装置を実現することができる。

いずれの実施の形態も上記観点に基づいて構成されており、少なくとも１つのパワーミラーＭ１，Ｍ２と、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で４〜６回になるプリズムＰＲと、を有している。プリズムＰＲを用いることによって上記干渉を避けるための光路配置の自由度が上がるため、光学ユニット{１次像面Ｓｏから最も２次像面Ｓｉに近い位置にあるパワーを有する光学素子(第１パワーミラーＭ１又は第２パワーミラーＭ２)までを含む投影光学系全体}を小型化しても光学性能を良好に保つことが可能となる。さらに、リアプロジェクション装置においては厚み方向に関する干渉条件が緩くなるため、リアプロジェクション装置の薄型化を効果的に達成することが可能となる。

また各実施の形態では、パワーを有する光学素子が光路中のプリズムＰＲの前後に配置されている。光路中のプリズムＰＲの前後に配置されたパワーを有する光学素子とは、第１，第２，第５の実施の形態ではレンズＬ５と第１パワーミラーＭ１であり、第３の実施の形態では第１パワーミラーＭ１と第２パワーミラーＭ２であり、第４の実施の形態ではレンズＬ５と第１パワーミラーＭ１と第２パワーミラーＭ２である。このように、パワーを有する光学素子を２つ以上配置するとともに、その間にプリズムを配置することが好ましい。パワーを有する光学素子の間にプリズムを配置することにより、干渉条件の緩和と収差補正をより効果的に行うことが可能となる。

いずれの実施の形態においても、プリズムＰＲは全反射条件を満たしたプリズム面を有している。通常のミラーで得られる反射率は、反射面にアルミコートを施した場合で８７％程度以下、銀コートを施した場合で９８％程度以下である。プリズム面での全反射作用により光路を折り曲げれば、アルミコートや銀コートを用いた場合よりも反射面での光の吸収が少なくなるため、投影光の反射によるロスを抑えることができる。また、全反射作用を利用するプリズム面としては、その必要な範囲において全反射条件を満たしていればよい。したがって前記プリズムは、少なくとも部分的に全反射作用を用いる光学面を有することが好ましい。光路の折り曲げをプリズムでの全反射作用により行えば、光の利用効率を向上させて明るい画像投影表示が可能となる。

前記プリズムは、屈折と反射の両方に作用する光学面を有することが好ましい。１つのプリズム面を屈折と反射とに共用すれば、光路を重ねることができるので干渉条件が緩くなる。この観点から、各実施の形態においてプリズムＰＲが有する１つのプリズム面は屈折と反射の両方を行う構成になっており、その反射として全反射を利用することにより更なる効果的な干渉条件の緩和を図っている。

前記プリズムは、パワーを有する光学面を含むことが好ましい。プリズムの光学面にパワーを付けることにより、干渉条件の緩和を行うと同時にプリズムで収差補正を行うことが可能となる。この観点から、第１〜第３，第５の実施の形態ではパワーを有する光学面をプリズムＰＲに有する構成となっている。

前記パワーを有する光学面は非球面から成ることが好ましい。非球面は、球面よりも収差補正能力が高いため高性能化を達成する上で有効である。したがって、プリズムに非球面から成る光学面を用いれば、干渉条件の緩和とともに更に良好な収差補正が可能となる。第１〜第３，第５の実施の形態では、プリズムＰＲに用いられているパワーを有する光学面を非球面(つまり、回転対称非球面，回転非対称非球面)で構成することにより、高い収差補正能力を得ている。

前記パワーを有する光学面は反射作用を有する面であることが好ましい。投影光学系において、各光学面でのペッツバール値をｐ、ペッツバール和(各光学面でのペッツバール値ｐの総和Σ)をＰ、各光学面のパワーをφ、入射側屈折率(光学面が反射面の場合には屈折率に相当する値)をＮ、射出側屈折率をＮ’とすると、Ｐ＝Σｐ＝Σ(φ／(Ｎ・Ｎ’))となる。反射面では、反射前の媒質が空気の場合Ｎ＝１となり、反射後の媒質が空気の場合Ｎ＝−１となる(ガラス内で反射した場合、反射後の媒質の屈折率Ｎ＝−１．５となる。)。ペッツバール和Ｐが０に近づくほど像面性能は良くなるが、正レンズのみから成る屈折光学系では全ての光学面についてＮ＞０，Ｎ’＞０となるため、ペッツバール和Ｐを０に近づけることは難しい。したがって、ペッツバール和Ｐを０に近づけるために、通常は屈折光学系内に負レンズが用いられている。これに対し、反射面を用いた場合にはＮ’＜０とすることができるため、正レンズのみから成る屈折光学系に比べて容易にペッツバール和Ｐを小さくすることができ、その結果、像面性能を容易に良くすることができる。また、反射面にパワーを付けることにより、空気中であればその反射面での屈折率Ｎの絶対値が２．０となる。これは一般的な屈折光学素子の屈折率Ｎが１．９以下であることを考慮するとより高い数値といえる。この数値が高ければ高いほどその面で発生するペッツバール値ｐを小さくすることができるので、像面性は良好にし易くなる。

また別の観点から、前記プリズムの光学面は全て平面であることが好ましい。光学面が全て平面から成るプリズムは製造が容易であり、また、光学面の研磨及び検査も容易である。したがって、投影光学系の高性能化に繋がる高い面精度を追求することが可能である。第４の実施の形態には、光学面が全て平面から成るプリズムＰＲが用いられている。このため、高い光学性能が得られるとともに、プリズムＰＲの製造等の容易さにより投影光学系の低コスト化に寄与することができる。

前記プリズムに入射した投影光が、一旦そのプリズムを射出した後、パワーを有する反射光学素子を介して再度そのプリズムに入射することが好ましい。この構成によると、プリズムの最初の入射面と最後の射出面以外の光学面で、プリズムの屈折角度を調節することができるため、色収差の軽減が可能である。例えば第４の実施の形態の場合、一旦プリズムＰＲに入射した光線がプリズムＰＲを射出した後、第１パワーミラーＭ１を介して再度プリズムＰＲに入射する構成になっている。プリズム面を角度のついた光線が通過する場合、プリズムＰＲの上下方向で光線の屈折角度が異なると、光線の屈折角度の違いによって色収差が発生する。プリズムＰＲでの光線の屈折角度は、プリズムＰＲの断面形状(図１７に表れている四角形)で作られている各頂点の角度で決定される。したがって、プリズムＰＲの直後に配置されている第１パワーミラーＭ１の配置角度を調整すれば、プリズム形状はそのままで、プリズム射出面Ｐ６での光線屈折角度を変化させることができる。このプリズム屈折角度の調整により、色収差を低減することが可能となる。

以下、本発明を実施した斜め投影光学系を、コンストラクションデータ等を挙げて更に具体的に説明する。ここで挙げる実施例１〜５は、前述した第１〜第５の実施の形態にそれぞれ対応する数値実施例であり、各実施の形態を表す光学構成図(図１〜図１０)は、対応する実施例の光学配置，投影光路等をそれぞれ示している。各実施例のコンストラクションデータは、縮小側の１次像面Ｓｏ(拡大投影における表示素子の画像形成面、すなわち物面に相当する。)から拡大側の２次像面Ｓｉ(拡大投影におけるスクリーン面、すなわち像面に相当する。)までを含めた系の光学配置を示しており、縮小側から数えてｎ番目の面がＳｎ(ｎ＝１，２，３，．．．)である。なお、面Ｓ１，Ｓ２は１次像面Ｓｏを保護するために覆うカバーバラスＣＧの両面であり、斜め投影光学系の一部を成すものではない。

各光学面の配置は、その面頂点をローカルな直交座標系(X,Y,Z)の原点(O)として、グローバルな直交座標系(x,y,z)におけるローカルな直交座標系(X,Y,Z)の原点(O)とX軸，Y軸の座標軸ベクトル(VX,VY)の座標データ(x,y,z)とで表されている(単位：ｍｍ)。ただし、座標系はすべて右手系で定義されており、グローバルな直交座標系(x,y,z)は１次像面Ｓｏのローカルな直交座標系(X,Y,Z)と一致した絶対座標系になっている。したがって、グローバルな直交座標系(x,y,z)の原点(o)は１次像面Ｓｏの中心に位置する原点(O)と同一の点であり、１次像面ＳｏでのベクトルVXは１次像面Ｓｏの面法線と平行であり、ベクトルVYはベクトルVXに直交するとともに１次像面Ｓｏの画面短辺に平行である。また、座標データ(x,y,z)で表された光学面を先頭面として共軸系の一部を成す光学面については、直前の光学面を基準としたX方向の軸上面間隔T'(ｍｍ)で光学面の配置が表されている。

各光学要素の面形状は、その光学面の曲率C0(ｍｍ^-1)，曲率半径r(ｍｍ)等で表されている。例えば、＊印が付された面Ｓｎは回転対称な非球面であり、その面形状は面頂点を原点(O)とするローカルな直交座標系(X,Y,Z)を用いた以下の式(AS)で定義される。また、＄印が付された面Ｓｎは回転非対称な非球面(いわゆる自由曲面)であり、その面形状は面頂点を原点(O)とするローカルな直交座標系(X,Y,Z)を用いた以下の式(BS)で定義される。回転対称非球面データ，回転非対称非球面データを他のデータとあわせて示す。ただし、表記の無い項の係数は０であり、すべてのデータに関してE-n＝×10^-nである。
X＝(C0・H²)／{1+√(1-ε・C0²・H²)}＋Σ{A(i)・Hⁱ} …(AS)
X＝(C0・H²)／{1+√(1-ε・C0²・H²)}＋Σ{G(j,k)・Y^j・Z^k} …(BS)
ただし、式(AS),(BS)中、
X：高さHの位置でのX方向の基準面からの変位量(面頂点基準)、
H：X軸に対して垂直な方向の高さ{H=√(Y²+Z²)}、
C0：面頂点での曲率(＋／−はローカルな直交座標系のX軸に対するものであり、正の場合その曲率中心がベクトルVX上の正方向に存在する。C0=1/r)、
ε：２次曲面パラメータ、
A(i)：i次の回転対称非球面係数、
G(j,k)：Yのj次、Zのk次の回転非対称非球面係数、
である。

各光学面の入射側に位置する媒質のｄ線に対する屈折率N，各光学面の射出側に位置する媒質のｄ線に対する屈折率N'(その光学面が反射面の場合には負の値となる。)及び光学材料のアッベ数νdを他のデータとあわせて示す。また、実施例１，２，４の絞りＳＴ(又は絞りＳＴを構成する光学面)に関しては絞り有効半径Rを示し、実施例３，５に関しては仮想絞りデータ(絞り有効半径Rを含む。)を他の光学面データと同様に示す。実施例３，５において、コンストラクションデータで定義される光学系を通過する光束は、１次像面Ｓｏから射出して円形の仮想絞りの縁を通過する光束として定義され、拡大図(図８，図１０)中の絞りＳＴは実際の配置例を示している。

実施例１〜５の１次像面Ｓｏの画面サイズ(ｍｍ)はLY＝±5.0616，LZ＝±8.892である。ただし、１次像面Ｓｏの画面形状は長方形であり、LYは１次像面Ｓｏの画面短辺方向(すなわちY方向)の長さ、LZは１次像面Ｓｏの画面長辺方向(すなわちZ方向)の長さである。また、各実施例の光学倍率βと中心主光線の２次像面Ｓｉに対する入射角θcを以下に示す。
実施例１：β=82.178，θc=57.48
実施例２：β=82.178，θc=65.88
実施例３：β=76.141，θc=64.51
実施例４：β=82.178，θc=69.00
実施例５：β=91.512，θc=66.94

図１１〜図１５に、各実施例のスポットダイアグラムを示す。各スポットダイアグラムは、２次像面Ｓｉでの結像特性{目盛りは±２ｍｍ(実施例１〜４)又は±１ｍｍ(実施例５)で表記されている。}を３波長(４５０ｎｍ，５４６ｎｍ，６３０ｎｍ)，２５個の評価ポイントについて示している。図中の座標(Y,Z)は、各評価ポイントのスポット重心の投影位置を示す２次像面Ｓｉのローカル座標(Y,Z；ｍｍ；e-n＝×10-n)である。いずれの実施例もXY平面に対して面対称な光学系から成っているため、スポットダイアグラムは２次像面Ｓｉ上でのZ方向の半分のみを示しており、残り半分は図示省略してある。また、これらの評価ポイントは１次像面ＳｏのZ方向の半分を縦横それぞれ均等に５分割した点と共役であり、１次像面Ｓｏ上の点が持つローカル座標のYとZの値に倍率βをかけた値がスポットダイアグラム上での理想結像点であり、その計算値からのズレの分が歪曲である。なお、スポットダイアグラムの出発点は１次像面Ｓｏの＋Z側であるが、実施例１，２は反射面の数が偶数になるため、２次像面Ｓｉ上ではZの値は負となる。

《実施例１のコンストラクションデータ》
Ｓｏ〈１次像面〉
［座標］
O : 0.00000 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.5

Ｓ１〈カバーガラスＣＧの入射側面〉
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.51045,νd=61.19
T'= 3

Ｓ２〈カバーガラスＣＧの射出側面〉
N = 1.51045,νd=61.19
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000

Ｓ３＊〈レンズＬ１の入射側面〉
［座標］
O : 33.20000 , 0.07000 , 0.00000
VX : 0.99995286 , 0.00970941 , 0.00000000
VY :-0.00970941 , 0.99995286 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00534709(r=187.0176)
［非球面データ］
ε=1.00000000
A( 4)=-4.20334960E-5
A( 6)=-3.69737591E-8
A( 8)=-2.80738395E-9
A(10)= 4.47257988E-11
N'= 1.80764,νd=41.07
T'= 2

Ｓ４〈レンズＬ１の射出側面〉
N = 1.80764,νd=41.07
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.8

Ｓ５〈絞りＳＴ〉
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞),R=5.01
N'= 1.00000
T'= 1.60641

Ｓ６〈レンズＬ２の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.03025444(r=-33.0530)
N'= 1.81103,νd=26.01
T'= 1.79385

Ｓ７〈レンズＬ２の接合面〉
N = 1.81103,νd=26.01
C0= 0.04532687(r=22.0620)
N'= 1.72872,νd=53.75
T'= 3.45038

Ｓ８〈レンズＬ２の射出側面〉
N = 1.72872,νd=53.75
C0=-0.03907237(r=-25.5935)
N'= 1.00000
T'= 9.58436

Ｓ９〈レンズＬ３の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.00406102(r=-246.2435)
N'= 1.81384,νd=41.07
T'= 5.22235

Ｓ１０〈レンズＬ３の射出側面〉
N = 1.81384,νd=41.07
C0=-0.04097666(r=-24.4041)
N'= 1.00000
T'=35.2501

Ｓ１１〈レンズＬ４の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.05511164(r=-18.1450)
N'= 1.81406,νd=46.22
T'= 2

Ｓ１２〈レンズＬ４の射出側面〉
N = 1.81406,νd=46.22
C0=-0.01469651(r=-68.0434)
N'= 1.00000
T'=26.4721

Ｓ１３＄〈レンズＬ５の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.02742820(r=-36.4588)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-0.000521541617
G( 3, 0)=-3.38061556E-5
G( 4, 0)=-1.01279788E-5
G( 5, 0)=-2.75073821E-7
G( 6, 0)= 7.48389419E-9
G( 7, 0)= 5.33189827E-10
G( 8, 0)= 8.55943545E-12
G( 9, 0)= 1.87795809E-13
G(10, 0)= 6.75090005E-15
G( 0, 2)=-0.000817923882
G( 1, 2)=-6.78304774E-5
G( 2, 2)=-1.76609567E-5
G( 3, 2)=-4.12185407E-7
G( 4, 2)= 4.16247750E-8
G( 5, 2)= 2.28438008E-9
G( 6, 2)= 4.00948877E-12
G( 7, 2)=-8.55597757E-13
G( 8, 2)= 1.05913441E-14
G( 0, 4)=-1.76845256E-6
G( 1, 4)= 4.22874948E-7
G( 2, 4)= 7.73938268E-8
G( 3, 4)= 3.41262832E-9
G( 4, 4)=-4.18794236E-11
G( 5, 4)=-4.81622871E-12
G( 6, 4)=-3.84633563E-14
G( 0, 6)= 2.10986781E-9
G( 1, 6)=-6.27549696E-10
G( 2, 6)=-1.20743925E-10
G( 3, 6)=-5.72737061E-12
G( 4, 6)=-6.40266488E-14
G( 0, 8)=-2.95187527E-12
G( 1, 8)= 1.72170931E-13
G( 2, 8)= 3.30132269E-14
G( 0,10)= 2.71439990E-15
N'= 1.52729,νd=56.38
T'= 2.5

Ｓ１４〈レンズＬ５の射出側面〉
N = 1.52729,νd=56.38
C0=-0.02669597(r=-37.4588)
N'= 1.00000

Ｓ１５〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ１〉
［座標］
O : 127.42479 , -17.54919 , 0.00000
VX : 0.96549867 ,-0.26040798 , 0.00000000
VY : 0.26040798 , 0.96549867 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.51872,νd=64.20

Ｓ１６〈プリズムＰＲの全反射面Ｐ２〉
［座標］
O : 158.10858 , -27.15269 , 0.00000
VX : 0.75971287 , 0.65025868 , 0.00000000
VY :-0.65025868 , 0.75971287 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１７＊〈プリズムＰＲの曲面反射面Ｐ３〉
［座標］
O : 144.74005 , -58.89119 , 0.00000
VX :-0.34707441 ,-0.93783760 , 0.00000000
VY :-0.93783760 , 0.34707441 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0=-0.00060642(r=-1649.0189)
［非球面データ］
ε=1.00000000
A( 4)= 6.64944310E-8
A( 6)=-7.08999617E-12
A( 8)= 1.05042715E-15
A(10)=-8.40140289E-20
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１８〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ４〉
［座標］
O : 158.10858 , -27.15269 , 0.00000
VX : 0.75971287 , 0.65025868 , 0.00000000
VY :-0.65025868 , 0.75971287 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000

Ｓ１９＊〈第１パワーミラーＭ１〉
［座標］
O : 203.45136 , 54.52448 , 0.00000
VX : 0.49117431 , 0.87106131 , 0.00000000
VY :-0.87106131 , 0.49117431 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.01159624(r=86.2349)
［非球面データ］
ε=-5.49134659
A( 4)=-1.10688371E-8
A( 6)= 2.15698751E-13
A( 8)=-2.32166768E-18
A(10)= 1.07880596E-23
N'=-1.00000

Ｓ２０〈平面折り返しミラーＭＦ〉
［座標］
O : 11.70804 , 9.07827 , 0.00000
VX :-0.48526364 ,-0.87436789 , 0.00000000
VY :-0.87436789 , 0.48526364 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.00000

Ｓｉ〈２次像面〉
［座標］
O : 779.74218 , -187.57283 , 0.00000
VX : 0.48526364 , 0.87436789 , 0.00000000
VY : 0.87436789 ,-0.48526364 , 0.00000000

《実施例２のコンストラクションデータ》
Ｓｏ〈１次像面〉
［座標］
O : 0.00000 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.5

Ｓ３＄〈レンズＬ１の入射側面〉
［座標］
O : 33.20000 , 0.07000 , 0.00000
VX : 0.99989172 ,-0.01471572 , 0.00000000
VY : 0.01471572 , 0.99989172 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00644042(r=155.2693)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000689970636
G( 3, 0)=-6.57080779E-6
G( 4, 0)=-3.62819445E-5
G( 5, 0)=-1.15396997E-7
G( 6, 0)=-5.33397247E-8
G( 7, 0)= 2.17267268E-9
G( 8, 0)=-7.53962007E-10
G( 0, 2)= 0.000903868613
G( 1, 2)=-4.65599079E-8
G( 2, 2)=-7.38441018E-5
G( 3, 2)=-3.57326857E-7
G( 4, 2)= 6.40538676E-8
G( 5, 2)= 7.88369737E-9
G( 6, 2)=-9.88411845E-9
G( 0, 4)=-3.55756325E-5
G( 1, 4)=-3.84685011E-7
G( 2, 4)= 8.45328617E-9
G( 3, 4)= 2.61700766E-8
G( 4, 4)=-2.03571195E-8
G( 0, 6)=-9.32792572E-8
G( 1, 6)= 9.86970179E-9
G( 2, 6)=-7.35331907E-9
G( 0, 8)= 1.44636706E-10
N'= 1.81079,νd=40.74
T'= 2

Ｓ４〈レンズＬ１の射出側面〉
N = 1.81079,νd=40.74
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.8

Ｓ５〈絞りＳＴ〉
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞),R=4.92
N'= 1.00000
T'= 1.65281

Ｓ６〈レンズＬ２の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.03384433(r=-29.5470)
N'= 1.80368,νd=25.73
T'= 1.97077

Ｓ７〈レンズＬ２の接合面〉
N = 1.80368,νd=25.73
C0= 0.05420762(r=18.4476)
N'= 1.74076,νd=53.68
T'= 3.58665

Ｓ８〈レンズＬ２の射出側面〉
N = 1.74076,νd=53.68
C0=-0.03640669(r=-27.4675)
N'= 1.00000
T'=10.4589

Ｓ９〈レンズＬ３の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.00550876(r=-181.5289)
N'= 1.79489,νd=30.54
T'= 6.45917

Ｓ１０〈レンズＬ３の射出側面〉
N = 1.79489,νd=30.54
C0=-0.04074465(r=-24.5431)
N'= 1.00000
T'=29.3068

Ｓ１１〈レンズＬ４の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.04569593(r=-21.8838)
N'= 1.78313,νd=26.39
T'= 2

Ｓ１２〈レンズＬ４の射出側面〉
N = 1.78313,νd=26.39
C0=-0.02460396(r=-40.6439)
N'= 1.00000
T'=24.2961

Ｓ１３〈レンズＬ５の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.03794580(r=-26.3534)
N'= 1.57527,νd=25.40
T'= 2.5

Ｓ１４〈レンズＬ５の射出側面〉
N = 1.57527,νd=25.40
C0=-0.02794182(r=-35.7887)
N'= 1.00000

Ｓ１５＄〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ１〉
［座標］
O : 176.20562 , -26.57936 , 0.00000
VX : 0.98800826 ,-0.15440104 , 0.00000000
VY : 0.15440104 , 0.98800826 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00127530(r=784.1294)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000759255922
G( 3, 0)= 1.40059605E-6
G( 4, 0)=-3.65489924E-7
G( 5, 0)=-1.19605764E-8
G( 6, 0)=-1.64067275E-10
G( 7, 0)=-1.61394552E-12
G( 8, 0)= 4.32100485E-14
G( 0, 2)= 0.000157540505
G( 1, 2)=-1.26466170E-5
G( 2, 2)=-1.06609862E-6
G( 3, 2)=-2.08586574E-8
G( 4, 2)=-1.59893333E-10
G( 5, 2)= 2.59426715E-12
G( 6, 2)= 1.64499741E-13
G( 0, 4)=-1.75609001E-7
G( 1, 4)= 3.84265194E-9
G( 2, 4)= 4.19936796E-10
G( 3, 4)= 4.48471451E-12
G( 4, 4)= 8.53688095E-14
G( 0, 6)= 1.85340189E-10
G( 1, 6)= 1.39140742E-12
G( 2, 6)=-5.25461803E-14
G( 0, 8)=-5.40076140E-14
N'= 1.51872,νd=64.20

Ｓ１６＄〈プリズムＰＲの全反射面Ｐ２〉
［座標］
O : 213.23387 , -34.48418 , 0.00000
VX : 0.76299445 , 0.64640503 , 0.00000000
VY :-0.64640503 , 0.76299445 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0=-0.00032445(r=-3082.1532)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-3.91805546E-5
G( 3, 0)=-3.92476960E-6
G( 4, 0)=-3.67386680E-8
G( 5, 0)= 5.86008541E-11
G( 6, 0)=-8.36906966E-14
G( 7, 0)=-2.43992903E-14
G( 8, 0)=-7.24335304E-18
G( 0, 2)=-0.000689619474
G( 1, 2)=-1.34775893E-5
G( 2, 2)=-1.20949788E-7
G( 3, 2)= 8.46477035E-10
G( 4, 2)= 6.68321959E-12
G( 5, 2)=-5.55069828E-14
G( 6, 2)= 7.81474244E-16
G( 0, 4)= 1.17821077E-7
G( 1, 4)= 4.22420982E-9
G( 2, 4)= 3.42626923E-11
G( 3, 4)= 1.31926540E-14
G( 4, 4)= 1.73951737E-15
G( 0, 6)=-1.33522308E-11
G( 1, 6)=-5.57787826E-13
G( 2, 6)=-2.99928280E-15
G( 0, 8)=-1.67699901E-15
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１７＄〈プリズムＰＲの曲面反射面Ｐ３〉
［座標］
O : 214.67109 , -68.87003 , 0.00000
VX :-0.36306670 ,-0.93176315 , 0.00000000
VY :-0.93176315 , 0.36306670 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000427143549
G( 3, 0)= 2.31523508E-6
G( 4, 0)= 1.09234667E-8
G( 5, 0)=-7.91344512E-10
G( 6, 0)=-4.59442555E-12
G( 7, 0)= 1.18364131E-13
G( 8, 0)=-7.03382334E-16
G( 0, 2)= 0.000311695742
G( 1, 2)=-3.11745423E-6
G( 2, 2)=-2.03225907E-8
G( 3, 2)=-9.79672872E-10
G( 4, 2)=-8.00395282E-12
G( 5, 2)= 5.58755560E-13
G( 6, 2)=-7.26645415E-16
G( 0, 4)= 1.35070889E-8
G( 1, 4)= 8.18385886E-10
G( 2, 4)= 1.53418933E-11
G( 3, 4)= 1.67729988E-13
G( 4, 4)=-2.05613609E-15
G( 0, 6)= 5.12612235E-12
G( 1, 6)= 8.39383325E-14
G( 2, 6)=-1.43819843E-15
G( 0, 8)=-8.36379932E-16
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１８＄〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ４〉
［座標］
O : 213.23387 , -34.48418 , 0.00000
VX : 0.76299445 , 0.64640503 , 0.00000000
VY :-0.64640503 , 0.76299445 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0=-0.00032445(r=-3082.1532)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-3.91805546E-5
G( 3, 0)=-3.92476960E-6
G( 4, 0)=-3.67386680E-8
G( 5, 0)= 5.86008541E-11
G( 6, 0)=-8.36906966E-14
G( 7, 0)=-2.43992903E-14
G( 8, 0)=-7.24335304E-18
G( 0, 2)=-0.000689619474
G( 1, 2)=-1.34775893E-5
G( 2, 2)=-1.20949788E-7
G( 3, 2)= 8.46477035E-10
G( 4, 2)= 6.68321959E-12
G( 5, 2)=-5.55069828E-14
G( 6, 2)= 7.81474244E-16
G( 0, 4)= 1.17821077E-7
G( 1, 4)= 4.22420982E-9
G( 2, 4)= 3.42626923E-11
G( 3, 4)= 1.31926540E-14
G( 4, 4)= 1.73951737E-15
G( 0, 6)=-1.33522308E-11
G( 1, 6)=-5.57787826E-13
G( 2, 6)=-2.99928280E-15
G( 0, 8)=-1.67699901E-15
N'= 1.00000

Ｓ１９＄〈第１パワーミラーＭ１〉
［座標］
O : 230.48588 , 9.96585 , 0.00000
VX : 0.53740060 , 0.84332710 , 0.00000000
VY :-0.84332710 , 0.53740060 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.03386926(r=29.5253)
［非球面データ］
ε=-1.92924748
G( 2, 0)=-0.000585828085
G( 3, 0)= 1.03634630E-6
G( 4, 0)= 4.46066801E-10
G( 5, 0)= 9.88102960E-12
G( 6, 0)= 1.46245465E-13
G( 7, 0)=-1.66833159E-15
G( 8, 0)=-9.21593154E-18
G( 0, 2)=-0.000964432311
G( 1, 2)= 1.79440388E-7
G( 2, 2)= 8.17567277E-9
G( 3, 2)= 4.85159577E-11
G( 4, 2)=-2.46056189E-12
G( 5, 2)=-4.11711045E-14
G( 6, 2)=-1.46474713E-16
G( 0, 4)=-8.14413994E-9
G( 1, 4)=-1.61653249E-10
G( 2, 4)= 2.80200963E-12
G( 3, 4)= 2.90580051E-14
G( 4, 4)= 5.27419220E-17
G( 0, 6)=-3.92707278E-13
G( 1, 6)= 9.06874528E-15
G( 2, 6)= 1.66437565E-17
G( 0, 8)= 9.09915200E-17
N'=-1.00000

Ｓ２０〈平面折り返しミラーＭＦ〉
［座標］
O : 25.56378 , 17.70343 , 0.00000
VX :-0.45251552 ,-0.89175653 , 0.00000000
VY :-0.89175653 , 0.45251552 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.00000

Ｓｉ〈２次像面〉
［座標］
O : 800.64147 , -208.89449 , 0.00000
VX : 0.45251552 , 0.89175653 , 0.00000000
VY : 0.89175653 ,-0.45251552 , 0.00000000

《実施例３のコンストラクションデータ》
Ｓｏ〈１次像面〉
［座標］
O : 0.00000 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.5

Ｓ３＄〈レンズＬ１の入射側面〉
［座標］
O : 40.36979 , 0.07000 , 0.00000
VX : 0.99796885 ,-0.06370378 , 0.00000000
VY : 0.06370378 , 0.99796885 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.01060739(r=94.2739)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.00281585449
G( 3, 0)=-1.69632513E-5
G( 4, 0)=-1.10791442E-5
G( 5, 0)=-2.80040696E-7
G( 6, 0)= 2.34494101E-10
G( 7, 0)= 3.56146985E-9
G( 8, 0)= 2.28733180E-10
G( 0, 2)= 0.00294100736
G( 1, 2)=-1.15663953E-5
G( 2, 2)=-2.20551886E-5
G( 3, 2)=-6.36005152E-7
G( 4, 2)= 2.45905885E-8
G( 5, 2)= 1.41735814E-8
G( 6, 2)= 8.62234198E-10
G( 0, 4)=-1.04952003E-5
G( 1, 4)=-3.03727006E-7
G( 2, 4)= 5.05558051E-8
G( 3, 4)= 2.30452298E-8
G( 4, 4)= 1.28956369E-9
G( 0, 6)=-1.39999431E-8
G( 1, 6)= 4.11387712E-9
G( 2, 6)= 1.30110127E-10
G( 0, 8)= 4.61585751E-10
N'= 1.78028,νd=40.80
T'= 2

Ｓ４〈レンズＬ１の射出側面〉
N = 1.78028,νd=40.80
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 6.56645666

Ｓ５〈レンズＬ２の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.02908154(r=-34.3861)
N'= 1.76899,νd=26.88
T'= 2.31958

Ｓ６〈レンズＬ２の接合面〉
N = 1.76899,νd=26.88
C0= 0.00602515(r=165.9709)
N'= 1.77153,νd=50.50
T'= 3.83027

Ｓ７〈レンズＬ２の射出側面〉
N = 1.77153,νd=50.50
C0=-0.03972118(r=-25.1755)
N'= 1.00000

Ｓ８＄〈第１パワーミラーＭ１〉
［座標］
O : 146.93337 , -17.52907 , 0.00000
VX : 0.93567030 , 0.35287547 , 0.00000000
VY :-0.35287547 , 0.93567030 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-0.000542646874
G( 3, 0)=-6.14802002E-6
G( 4, 0)= 2.94846756E-7
G( 5, 0)=-7.17907739E-9
G( 6, 0)= 6.85181978E-11
G( 0, 2)=-0.000811399800
G( 1, 2)=-2.65224578E-6
G( 2, 2)= 4.26094227E-7
G( 3, 2)=-1.50221247E-8
G( 4, 2)= 1.53898178E-10
G( 0, 4)= 8.53105763E-8
G( 1, 4)=-1.24165056E-8
G( 2, 4)= 4.47905746E-10
G( 0, 6)= 1.52203816E-10
N'=-1.00000

Ｓ９＄〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ１〉
［座標］
O : 112.39373 , -59.92414 , 0.00000
VX :-0.55910424 ,-0.82909737 , 0.00000000
VY :-0.82909737 , 0.55910424 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00064430(r=1552.0827)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000238639105
G( 3, 0)= 2.13612151E-5
G( 4, 0)=-3.38373294E-7
G( 5, 0)=-4.33320625E-8
G( 6, 0)=-2.22682075E-10
G( 7, 0)= 9.96498649E-12
G( 8, 0)= 3.87061906E-14
G( 0, 2)= 0.000525580112
G( 1, 2)= 1.44633881E-5
G( 2, 2)=-2.35548959E-6
G( 3, 2)=-5.96369202E-8
G( 4, 2)= 2.82488278E-10
G( 5, 2)= 2.99312645E-11
G( 6, 2)=-2.76841005E-13
G( 0, 4)=-4.08871055E-7
G( 1, 4)=-1.14437248E-8
G( 2, 4)= 1.82696873E-9
G( 3, 4)= 2.68517191E-11
G( 4, 4)=-4.70617448E-13
G( 0, 6)= 2.70543041E-10
G( 1, 6)= 8.63810768E-12
G( 2, 6)=-3.67270753E-13
G( 0, 8)=-8.85409737E-14
N'= 1.51872,νd=64.20

Ｓ１０＄〈プリズムＰＲの全反射面Ｐ２〉
［座標］
O : 91.51802 , -86.71935 , 0.00000
VX :-0.99822500 ,-0.05955535 , 0.00000000
VY :-0.05955535 , 0.99822500 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0=-0.00029909(r=-3343.4649)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-5.89278142E-5
G( 3, 0)=-4.89215543E-6
G( 4, 0)=-4.49239653E-8
G( 5, 0)= 2.21066244E-10
G( 6, 0)=-3.37900266E-12
G( 7, 0)=-1.62397857E-14
G( 8, 0)= 3.44281559E-17
G( 0, 2)=-0.000278411601
G( 1, 2)=-1.63281717E-5
G( 2, 2)=-2.33867542E-7
G( 3, 2)= 2.38943972E-9
G( 4, 2)= 2.29016687E-12
G( 5, 2)=-4.96938399E-14
G( 6, 2)= 1.38905075E-15
G( 0, 4)= 1.86269563E-7
G( 1, 4)= 7.44871954E-9
G( 2, 4)= 3.53141373E-11
G( 3, 4)= 2.31319399E-13
G( 4, 4)= 1.40762432E-15
G( 0, 6)=-4.03362405E-11
G( 1, 6)=-3.47795355E-13
G( 2, 6)= 1.03324801E-15
G( 0, 8)=-2.33037481E-15
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１１＄〈プリズムＰＲの曲面反射面Ｐ３〉
［座標］
O : 118.82989 , -114.74237 , 0.00000
VX : 0.90478005 ,-0.42587916 , 0.00000000
VY : 0.42587916 , 0.90478005 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000732740275
G( 3, 0)= 2.83589435E-6
G( 4, 0)=-7.37156992E-8
G( 5, 0)=-1.94103536E-9
G( 6, 0)= 1.28131967E-11
G( 7, 0)= 2.98858673E-13
G( 8, 0)= 8.81650891E-15
G( 0, 2)= 0.000350401676
G( 1, 2)=-5.73487202E-6
G( 2, 2)= 7.09405334E-9
G( 3, 2)= 6.56264934E-10
G( 4, 2)= 7.03833144E-11
G( 5, 2)=-1.03133233E-13
G( 6, 2)=-9.16859911E-15
G( 0, 4)= 7.27831730E-8
G( 1, 4)= 1.35084563E-9
G( 2, 4)= 6.61300751E-11
G( 3, 4)=-8.40592063E-13
G( 4, 4)=-4.76643847E-15
G( 0, 6)=-3.73883107E-12
G( 1, 6)=-2.83849534E-14
G( 2, 6)= 5.74439866E-15
G( 0, 8)= 2.05116018E-15
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１２＄〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ４〉
［座標］
O : 91.51802 , -86.71935 , 0.00000
VX :-0.99822500 ,-0.05955535 , 0.00000000
VY :-0.05955535 , 0.99822500 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0=-0.00029909(r=-3343.4649)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-5.89278142E-5
G( 3, 0)=-4.89215543E-6
G( 4, 0)=-4.49239653E-8
G( 5, 0)= 2.21066244E-10
G( 6, 0)=-3.37900266E-12
G( 7, 0)=-1.62397857E-14
G( 8, 0)= 3.44281559E-17
G( 0, 2)=-0.000278411601
G( 1, 2)=-1.63281717E-5
G( 2, 2)=-2.33867542E-7
G( 3, 2)= 2.38943972E-9
G( 4, 2)= 2.29016687E-12
G( 5, 2)=-4.96938399E-14
G( 6, 2)= 1.38905075E-15
G( 0, 4)= 1.86269563E-7
G( 1, 4)= 7.44871954E-9
G( 2, 4)= 3.53141373E-11
G( 3, 4)= 2.31319399E-13
G( 4, 4)= 1.40762432E-15
G( 0, 6)=-4.03362405E-11
G( 1, 6)=-3.47795355E-13
G( 2, 6)= 1.03324801E-15
G( 0, 8)=-2.33037481E-15
N'= 1.00000

Ｓ１３＄〈第２パワーミラーＭ２〉
［座標］
O : 42.39559 , -73.47323 , 0.00000
VX :-0.96400687 , 0.26587732 , 0.00000000
VY : 0.26587732 , 0.96400687 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.04403114(r=22.7112)
［非球面データ］
ε=-1.81411422
G( 2, 0)=-0.000741907643
G( 3, 0)= 8.51200139E-7
G( 4, 0)= 2.44032845E-9
G( 5, 0)=-1.86560744E-13
G( 6, 0)= 1.80769027E-13
G( 7, 0)=-1.51961853E-15
G( 8, 0)=-1.84426179E-17
G( 0, 2)=-0.00121270718
G( 1, 2)=-1.54525000E-6
G( 2, 2)= 2.23902958E-9
G( 3, 2)= 5.08966103E-11
G( 4, 2)=-2.02813010E-12
G( 5, 2)=-4.36570555E-14
G( 6, 2)=-1.79743437E-16
G( 0, 4)= 2.50942820E-9
G( 1, 4)=-2.34361285E-10
G( 2, 4)= 2.46792077E-12
G( 3, 4)= 3.39165449E-14
G( 4, 4)=-3.37631130E-17
G( 0, 6)=-3.63779537E-12
G( 1, 6)=-7.92369011E-15
G( 2, 6)= 1.32301693E-16
G( 0, 8)= 1.09735473E-16
N'=-1.00000

Ｓ１４〈平面折り返しミラーＭＦ〉
［座標］
O : 187.34758 , 56.32430 , 0.00000
VX : 0.94265772 ,-0.33376101 , 0.00000000
VY : 0.33376101 , 0.94265772 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.00000

Ｓｉ〈２次像面〉
［座標］
O : -193.91615 , -582.47795 , 0.00000
VX :-0.94265772 , 0.33376101 , 0.00000000
VY :-0.33376101 ,-0.94265772 , 0.00000000

〈仮想絞りデータ〉
［座標］
O : 37.85309 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞),R=5.46362
N'= 1.00000

《実施例４のコンストラクションデータ》
Ｓｏ〈１次像面〉
［座標］
O : 0.00000 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.5

Ｓ２〈カバーガラスＣＧの射出側面〉
N = 1.51045,νd=61.19
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
O : 33.20000 , 0.00972 , 0.00000
VX : 0.99950687 , 0.03140079 , 0.00000000
VY :-0.03140079 , 0.99950687 , 0.00000000

Ｓ３＊〈レンズＬ１の入射側面〉
［座標］
N = 1.00000
C0= 0.00704612(r=141.9222)
［非球面データ］
ε=1.00000000
A( 4)=-3.21993335E-5
A( 6)=-9.74671357E-8
A( 8)= 6.54981180E-10
A(10)=-6.46853103E-12
N'= 1.78183,νd=41.77
T'= 2

Ｓ４〈レンズＬ１の射出側面〉
N = 1.78183,νd=41.77
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 3.05056590

Ｓ５〈レンズＬ２の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.03122241(r=-32.0283)
N'= 1.80775,νd=25.60
T'= 1.71314

Ｓ６〈レンズＬ２の接合面〉
N = 1.80775,νd=25.60
C0= 0.04513751(r=22.1545)
N'= 1.72463,νd=54.93
T'= 2.94239

Ｓ７〈レンズＬ２の射出側面〉
N = 1.72463,νd=54.93
C0=-0.03689425(r=-27.1045),R=6.03(ＳＴ)
N'= 1.00000
T'=10.8636

Ｓ８〈レンズＬ３の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.00663541(r=-150.7066)
N'= 1.73990,νd=32.81
T'= 7.24713

Ｓ９〈レンズＬ３の射出側面〉
N = 1.73990,νd=32.81
C0=-0.04061661(r=-24.6205)
N'= 1.00000
T'=40.7914

Ｓ１０〈レンズＬ４の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.04652289(r=-21.4948)
N'= 1.81260,νd=25.46
T'= 2.01475

Ｓ１１〈レンズＬ４の射出側面〉
N = 1.81260,νd=25.46
C0=-0.02696697(r=-37.0824)
N'= 1.00000
T'=29.4667

Ｓ１２＄〈レンズＬ５の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.02935164(r=-34.0696)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-0.00147062848
G( 3, 0)=-2.54587596E-5
G( 4, 0)=-3.87855445E-6
G( 5, 0)=-5.22531507E-8
G( 6, 0)= 1.76595254E-9
G( 7, 0)= 2.34379590E-12
G( 8, 0)=-2.52893737E-12
G( 0, 2)=-0.000879055914
G( 1, 2)=-2.64993502E-5
G( 2, 2)=-5.96204314E-6
G( 3, 2)= 4.71760210E-8
G( 4, 2)= 1.07364091E-8
G( 5, 2)= 5.79087191E-13
G( 6, 2)=-1.14823621E-11
G( 0, 4)=-1.77904890E-6
G( 1, 4)= 9.48257468E-8
G( 2, 4)= 1.05652600E-8
G( 3, 4)=-1.24331903E-10
G( 4, 4)=-1.99291129E-11
G( 0, 6)= 1.43595709E-9
G( 1, 6)=-9.69136708E-11
G( 2, 6)=-1.20918121E-11
G( 0, 8)=-1.73723990E-12
N'= 1.48999,νd=46.25
T'= 2.5

Ｓ１３〈レンズＬ５の射出側面〉
N = 1.48999,νd=46.25
C0=-0.02924622(r=-34.1924)
N'= 1.00000

Ｓ１４〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ１〉
［座標］
O : 165.14119 , -75.88386 , 0.00000
VX : 0.99943085 ,-0.03373381 , 0.00000000
VY : 0.03373381 , 0.99943085 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.51872,νd=64.20

Ｓ１５〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ２〉
［座標］
O : 198.90925 , -25.98844 , 0.00000
VX : 0.92506937 , 0.37979818 , 0.00000000
VY :-0.37979818 , 0.92506937 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000

Ｓ１６＊〈第１パワーミラーＭ１〉
［座標］
O : 188.04791 , 9.78007 , 0.00000
VX : 0.93236332 , 0.36152268 , 0.00000000
VY :-0.36152268 , 0.93236332 , 0.00000000
N = 1.00000
C0=-0.00114955(r=-869.9036)
［非球面データ］
ε=1.00000000
A( 4)= 1.44350878E-7
A( 6)=-1.13241179E-11
A( 8)=-4.04511346E-16
A(10)= 7.24320942E-20
N'=-1.00000

Ｓ１７〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ３〉
［座標］
O : 198.90925 , -25.98844 , 0.00000
VX :-0.92506937 ,-0.37979818 , 0.00000000
VY :-0.37979818 , 0.92506937 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.51872,νd=64.20

Ｓ１８〈プリズムＰＲの全反射面Ｐ４〉
［座標］
O : 165.14119 , -75.88386 , 0.00000
VX :-0.99943085 , 0.03373381 , 0.00000000
VY : 0.03373381 , 0.99943085 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ１９〈プリズムＰＲの平面反射面Ｐ５〉
［座標］
O : 189.22415 , -110.95555 , 0.00000
VX : 0.87024028 ,-0.49262750 , 0.00000000
VY : 0.49262750 , 0.87024028 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.51872,νd=64.20

Ｓ２０〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ６〉
［座標］
O : 165.14119 , -75.88386 , 0.00000
VX :-0.99943085 , 0.03373381 , 0.00000000
VY : 0.03373381 , 0.99943085 , 0.00000000
N = 1.51872,νd=64.20
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000

Ｓ２１＄〈第２パワーミラーＭ２〉
［座標］
O : 144.21935 , -43.76164 , 0.00000
VX :-0.93545036 , 0.35345809 , 0.00000000
VY : 0.35345809 , 0.93545036 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.02282180(r=43.8178)
［非球面データ］
ε=-2.90122978
G( 2, 0)=-0.000424307844
G( 3, 0)= 1.20176395E-6
G( 4, 0)= 1.22831973E-9
G( 5, 0)=-5.13460859E-12
G( 6, 0)= 6.05284982E-14
G( 7, 0)=-1.15324538E-16
G( 8, 0)=-1.33005177E-18
G( 1, 2)= 4.20338223E-6
G( 2, 2)= 5.83117731E-9
G( 3, 2)=-4.36769215E-11
G( 4, 2)= 4.57812650E-14
G( 5, 2)= 1.05338983E-16
G( 6, 2)=-2.50244445E-18
G( 0, 4)=-1.65075982E-8
G( 1, 4)=-1.85683586E-10
G( 2, 4)=-2.93241005E-13
G( 3, 4)= 1.95513032E-15
G( 4, 4)= 5.43033978E-18
G( 0, 6)= 5.67272008E-14
G( 1, 6)= 1.58458615E-15
G( 2, 6)=-2.46555004E-19
G( 0, 8)= 9.83792242E-18
N'=-1.00000

Ｓ２２〈平面折り返しミラーＭＦ〉
［座標］
O : 221.48090 , -49.36186 , 0.00000
VX : 0.94630003 ,-0.32328975 , 0.00000000
VY : 0.32328975 , 0.94630003 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.00000

Ｓｉ〈２次像面〉
［座標］
O : -177.04203 , -733.33743 , 0.00000
VX :-0.94630003 , 0.32328975 , 0.00000000
VY :-0.32328975 ,-0.94630003 , 0.00000000

《実施例５のコンストラクションデータ》
Ｓｏ〈１次像面〉
［座標］
O : 0.00000 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 0.5

Ｓ３＊〈レンズＬ１の入射側面〉
［座標］
O : 33.20000 , 0.18659 , 0.00000
VX : 0.99992964 , 0.01186260 , 0.00000000
VY :-0.01186260 , 0.99992964 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00764262(r=130.8452)
［非球面データ］
ε=1.00000000
A( 4)=-2.83343145E-5
A( 6)=-3.74573701E-8
A( 8)=-3.00076929E-10
A(10)= 2.42786379E-12
N'= 1.79183,νd=42.82
T'= 1.60004

Ｓ４〈レンズＬ１の射出側面〉
N = 1.79183,νd=42.82
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000
T'= 2.167352

Ｓ５〈レンズＬ２の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.02840978(r=-35.1992)
N'= 1.80409,νd=25.72
T'= 0.800003

Ｓ６〈レンズＬ２の接合面〉
N = 1.80409,νd=25.72
C0= 0.04310310(r=23.2002)
N'= 1.73983,νd=53.78
T'= 2.75875

Ｓ７〈レンズＬ２の射出側面〉
N = 1.73983,νd=53.78
C0=-0.03739624(r=-26.7407)
N'= 1.00000
T'=13.2294

Ｓ８〈レンズＬ３の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.00655487(r=-152.5583)
N'= 1.71951,νd=37.00
T'= 4.55896

Ｓ９〈レンズＬ３の射出側面〉
N = 1.71951,νd=37.00
C0=-0.04073018(r=-24.5518)
N'= 1.00000
T'=39.078

Ｓ１０〈レンズＬ４の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.04619046(r=-21.6495)
N'= 1.68413,νd=36.42
T'= 2.44865

Ｓ１１〈レンズＬ４の射出側面〉
N = 1.68413,νd=36.42
C0=-0.02635266(r=-37.9468)
N'= 1.00000
T'=23.8071

Ｓ１２＄〈レンズＬ５の入射側面〉
N = 1.00000
C0=-0.03274076(r=-30.5430)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)=-0.00511763361
G( 3, 0)=-0.000121074590
G( 4, 0)=-3.68843702E-6
G( 5, 0)=-3.26468929E-8
G( 6, 0)= 1.01720965E-9
G( 7, 0)= 4.19420141E-11
G( 8, 0)=-2.86380439E-12
G( 0, 2)=-0.00397919064
G( 1, 2)=-4.82393130E-5
G( 2, 2)= 1.08192879E-6
G( 3, 2)= 3.45445551E-7
G( 4, 2)= 1.53065852E-8
G( 5, 2)= 2.00728650E-10
G( 6, 2)=-1.46087318E-11
G( 0, 4)=-5.61573148E-7
G( 1, 4)= 1.33991253E-7
G( 2, 4)= 1.16198630E-8
G( 3, 4)= 7.43070306E-11
G( 4, 4)=-2.30023525E-11
G( 0, 6)= 1.97142872E-9
G( 1, 6)=-2.31475260E-10
G( 2, 6)=-2.97632181E-11
G( 0, 8)=-5.11752205E-12
N'= 1.80953,νd=42.07
T'= 2.93856

Ｓ１３〈レンズＬ５の射出側面〉
N = 1.80953,νd=42.07
C0=-0.02725174(r=-36.6949)
N'= 1.00000

Ｓ１４〈プリズムＰＲの入射側面Ｐ１〉
［座標］
O : 127.71390 , -66.30759 , 0.00000
VX : 0.99829584 ,-0.05835596 , 0.00000000
VY : 0.05835596 , 0.99829584 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.48916,νd=70.44

Ｓ１５＄〈プリズムＰＲの曲面反射面Ｐ２〉
［座標］
O : 162.60052 , -22.40456 , 0.00000
VX : 0.94246408 , 0.33430744 , 0.00000000
VY :-0.33430744 , 0.94246408 , 0.00000000
N = 1.48916,νd=70.44
C0= 0.00000000(r=∞)
［非球面データ］
ε=1.00000000
G( 2, 0)= 0.000341665660
G( 3, 0)=-9.08974572E-6
G( 4, 0)=-3.08867900E-7
G( 5, 0)=-5.55734724E-10
G( 6, 0)= 7.16050706E-11
G( 7, 0)= 2.28590480E-13
G( 8, 0)=-2.87689804E-15
G( 0, 2)=-0.000393705718
G( 1, 2)=-2.58678394E-5
G( 2, 2)=-4.09369073E-7
G( 3, 2)= 9.12544199E-9
G( 4, 2)= 3.24790716E-10
G( 5, 2)= 5.90074334E-13
G( 6, 2)=-2.96831027E-14
G( 0, 4)= 2.22028405E-7
G( 1, 4)= 1.16187353E-8
G( 2, 4)= 1.83980101E-10
G( 3, 4)=-4.21398004E-12
G( 4, 4)=-9.43352611E-14
G( 0, 6)=-5.61876756E-11
G( 1, 6)=-2.00495886E-12
G( 2, 6)=-3.46908880E-14
G( 0, 8)= 6.26999535E-15
N'=-1.48916,νd=70.44

Ｓ１６〈プリズムＰＲの全反射面Ｐ３〉
［座標］
O : 127.71390 , -66.30759 , 0.00000
VX :-0.99829584 , 0.05835596 , 0.00000000
VY : 0.05835596 , 0.99829584 , 0.00000000
N = 1.48916,νd=70.44
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.48916,νd=70.44

Ｓ１７〈プリズムＰＲの平面反射面Ｐ４〉
［座標］
O : 148.61909 , -100.18589 , 0.00000
VX : 0.88136681 ,-0.47243258 , 0.00000000
VY : 0.47243258 , 0.88136681 , 0.00000000
N = 1.48916,νd=70.44
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.48916,νd=70.44

Ｓ１８〈プリズムＰＲの射出側面Ｐ５〉
［座標］
O : 127.71390 , -66.30759 , 0.00000
VX :-0.99829584 , 0.05835596 , 0.00000000
VY : 0.05835596 , 0.99829584 , 0.00000000
N = 1.48916,νd=70.44
C0= 0.00000000(r=∞)
N'= 1.00000

Ｓ１９＄〈第１パワーミラーＭ１〉
［座標］
O : 70.87262 , -35.83232 , 0.00000
VX :-0.96122203 , 0.27577566 , 0.00000000
VY : 0.27577566 , 0.96122203 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.01817528(r=55.0198)
［非球面データ］
ε=-3.50708638
G( 2, 0)=-0.000342938280
G( 3, 0)= 1.51628620E-6
G( 4, 0)= 3.64516047E-9
G( 5, 0)=-1.67331669E-12
G( 6, 0)= 9.17421055E-15
G( 7, 0)= 9.75173252E-18
G( 8, 0)=-1.66083652E-19
G( 1, 2)= 4.92221906E-6
G( 2, 2)= 1.40745683E-8
G( 3, 2)=-4.25015870E-11
G( 4, 2)=-1.64851319E-13
G( 5, 2)= 4.14608634E-16
G( 6, 2)= 1.52085214E-18
G( 0, 4)=-1.25913360E-8
G( 1, 4)=-1.13782990E-10
G( 2, 4)=-1.91399852E-13
G( 3, 4)= 1.01897984E-15
G( 4, 4)= 2.64926790E-18
G( 0, 6)= 1.77094304E-13
G( 1, 6)= 1.21964300E-15
G( 2, 6)= 2.87152671E-18
G( 0, 8)=-5.16577243E-19
N'=-1.00000

Ｓ２０〈平面折り返しミラーＭＦ〉
［座標］
O : 220.00112 , 116.45035 , 0.00000
VX : 0.96418250 ,-0.26523973 , 0.00000000
VY : 0.26523973 , 0.96418250 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞)
N'=-1.00000

Ｓｉ〈２次像面〉
［座標］
O : -233.40966 , -822.22500 , 0.00000
VX :-0.96418250 , 0.26523973 , 0.00000000
VY :-0.26523973 ,-0.96418250 , 0.00000000

〈仮想絞りデータ〉
［座標］
O : 35.71176 , 0.00000 , 0.00000
VX : 1.00000000 , 0.00000000 , 0.00000000
VY : 0.00000000 , 1.00000000 , 0.00000000
N = 1.00000
C0= 0.00000000(r=∞),R=5.15455
N'= 1.00000

第１の実施の形態(実施例１)の光学構成を示す断面図。第２の実施の形態(実施例２)の光学構成を示す断面図。第３の実施の形態(実施例３)の光学構成を示す断面図。第４の実施の形態(実施例４)の光学構成を示す断面図。第５の実施の形態(実施例５)の光学構成を示す断面図。図１の要部拡大図。図２の要部拡大図。図３の要部拡大図。図４の要部拡大図。図５の要部拡大図。実施例１のスポットダイアグラム。実施例２のスポットダイアグラム。実施例３のスポットダイアグラム。実施例４のスポットダイアグラム。実施例５のスポットダイアグラム。第２の実施の形態(実施例２)における光路の折り返し例を示す拡大図。第４の実施の形態(実施例４)におけるプリズムと第１パワーミラーでの光路折り曲げ状態を示す拡大図。

符号の説明

Ｓｏ１次像面
Ｓｉ２次像面
ＣＧカバーガラス
ＰＲプリズム
Ｍ１第１パワーミラー(反射面にパワーを有するミラー)
Ｍ２第２パワーミラー(反射面にパワーを有するミラー)
ＭＦ，ＭＨ平面ミラー
Ｌ１〜Ｌ５レンズ
ＳＴ絞り

Claims

縮小側の１次像面から拡大側の２次像面への斜め方向の拡大投影を行うための斜め投影光学系であって、反射面にパワーを有する少なくとも１枚のミラーと、投影光を屈折又は反射させる回数が合計で３回以上のプリズムと、を有することを特徴とする斜め投影光学系。
前記プリズムが少なくとも部分的に全反射作用を用いる光学面を有することを特徴とする請求項１記載の斜め投影光学系。
前記プリズムが屈折と反射の両方に作用する光学面を有することを特徴とする請求項１又は２記載の斜め投影光学系。
前記プリズムの拡大側には前記反射面にパワーを有するミラーが配置されており、前記プリズムの縮小側にはパワーを有する光学素子が配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記パワーを有する光学素子がレンズであることを特徴とする請求項４記載の斜め投影光学系。
前記パワーを有する光学素子がミラーであることを特徴とする請求項４記載の斜め投影光学系。
前記プリズムがパワーを有する光学面を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記パワーを有する光学面が非球面から成ることを特徴とする請求項７記載の斜め投影光学系。
前記パワーを有する光学面が反射作用を有する面であることを特徴とする請求項７又は８記載の斜め投影光学系。
前記プリズムの光学面が全て平面であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記プリズムに入射した投影光が、一旦そのプリズムを射出した後、パワーを有する反射光学素子を介して再度そのプリズムに入射することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記プリズムが、第１の面，第２の面及び第３の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面及び前記第３の面の順で反射され、前記第２の面から射出することを特徴とする請求項３〜１０のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記プリズムが、第１の面，第２の面，第３の面及び第４の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面，前記第３の面及び前記第４の面の順で反射され、前記第１の面から射出することを特徴とする請求項３〜１０のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。
前記プリズムが、第１の面，第２の面，第３の面及び第４の面を有し、前記投影光が、前記第１の面に入射し、前記第２の面から一旦そのプリズムを射出した後、パワーを有する反射光学素子を介して前記第２の面から再度そのプリズムに入射し、前記第３の面及び前記第４の面の順で反射され、前記第１の面から射出することを特徴とする請求項３〜１０のいずれか１項に記載の斜め投影光学系。