JP2006173212A - パターン形成装置およびパターン形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 導電性粒子を含む溶液やインクなどの種々の付与材を吐出可能なヘッドを用いて、それらの付与材を立体物の表面に付与する際に、それらの付与材を立体物の表面上の所望位置に正確に付与することができる付与材の付与装置および付与方法を提供すること。
【解決手段】 導電性粒子を含む溶液を液滴６として吐出可能なヘッド１を用いて、立体の基板５の表面に導電パターンを形成する場合に、ヘッド１からの液滴６の吐出方向に応じて、ヘッド１から吐出される液滴６が受ける重力によって生じる液滴６の着弾位置のずれ量ｘを算出し、そのずれ量ｘに応じて、ヘッド１の移動経路を補正する。
【選択図】 図６

Description

本発明は、導電性粒子を含む溶液やインクなどの付与材を吐出可能なヘッドを用いて、それらの付与材を立体物の表面に付与することによって、導電性のパターンや画像などの形成が可能なパターン形成装置およびパターン形成方法に関するものである。

従来より、紙や布などの被記録媒体の平面上にインク滴を吐出することにより、単色のモノクロ画像および多色のカラー画像など様々な記録を行うインクジェット記録装置が開発されている。また、高精細な画像の記録を可能とするために、インクを吐出するノズルの配設密度を高密度化する試みや、高速記録を行うためのマルチノズル化などの改良が盛んに行われている。さらに近年では、紙や布などの平面形状に限定されない立体形状の被記録媒体への記録が可能な記録装置も開発されている。

例えば、特許文献１に記載されている立体回路の形成方法においては、立体形状の基板に対して、導電材や絶縁材から成る噴射材をインクジェットヘッドから噴射することにより、その基板上に配線パターンあるいはレジストパターンを形成する。その際、立体形状のさまざまな箇所に対して噴射材を吐出するために、その噴射材の吐出ノズルを６軸多関節ロボットに搭載して、それを任意の角度に振らせたり、帯電させたインク粒子を偏向電極によって偏向させたり、噴射されたインク粒子を空気ノズルから吹き付けるエアーによって偏向させている。

特開平０７−２３１１５４号公報

しかしながら、上記のような従来技術において、噴射材としての液滴の飛翔方向を鉛直下向き以外の方向とした場合には、重力の影響により、噴射材の着弾位置が所望位置よりも下側にずれてしまうことがある。

このような不具合を図７から図９に基づいて説明する。

図７は、ノズル１００を水平に向けて、噴射材としての液滴を水平方向に吐出させた際の模式図である。１０１は、所望の着弾位置１０２へ向けてノズル１００から吐出された液滴である。しかし実際には、重力の影響を受けるため、液滴１０１は、所望の着弾位置１０２ではなく下側に距離１０４ずれた位置１０３に着弾してしまう。そのため、例えば図８（ａ）のようなパターン、つまり基材１０５の水平面１０６から垂直面１０７に変化する境界線（以下、「エッジ」とも称す）１０９を跨ぐようなパターン１０８を形成する場合には、同図（ｂ）に示すようなパターンの途切れ部１１０が発生するおそれがある。

また、例えば図９（ａ）に示すようなパターン、つまり傾斜角度の異なる形成面１１１および１１２に対してエッジ１０９を跨ぐパターン１０８を形成する際、その形成手順が次のような場合には、形成パターンのずれが生じるおそれがある。そのパターン１０８の形成手順においては、まず、形成面１１１上に形成すべきパターン部分１０８ａを形成し、その後、ノズルからの液滴の吐出を一旦停止させて、そのノズルと基材との相対位置を調整する。それから、ノズルからの液滴の吐出を再開して、形成面１１２に形成すべきパターン部分１０８ｂを形成する。このような形成手順においては、図９（ｂ）のように、エッジ１０９を境にしてパターン部分１０８ａおよび１０８ｂが図中の横方向にずれてしまうことがある。このような「ずれ」は、ノズルからの液滴を一旦止めて位置調整をした際の位置調整精度などに起因する。このような「ずれ」が生じた場合、特に、形成対象が微細配線パターンのときには、その電気的特性が変わってしまうおそれがある。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、導電性粒子を含む溶液やインクなどの種々の付与材を吐出可能なヘッドを用いて、それらの付与材を立体物の表面に付与する際に、それらの付与材を立体物の表面上の所望位置に正確に付与することができるパターン形成装置およびパターン形成方法を提供することにある。

本発明は、付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物にパターンを形成するためのパターン形成装置において、前記立体物の表面に形成すべきパターンに依存する前記付与材の吐出方向に応じて、前記ヘッドから吐出される前記付与材が受ける重力によって生じる前記付与材の付与位置のずれ量を算出する算出手段と、前記算出手段によって算出したずれ量に応じて、前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。

本発明は、付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物にパターンを形成するためのパターン形成方法において、前記ヘッドによる前記付与材の吐出方向に応じて、前記ヘッドから吐出される前記付与材が受ける重力によって生じる前記付与材の付与位置のずれ量を算出し、前記算出したずれ量に応じて、前記ヘッドが前記付与材を吐出するときの前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正し、前記補正した相対位置において前記立体物に対して前記ヘッドから付与材を吐出して前記パターンを形成することを特徴とする。
また、本発明は、付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物の表面にパターンを形成するためのパターン形成方法において、前記立体物の形状に関する形状データと前記パターンに関するパターンデータとに基づいて、前記パターン形成のための前記ヘッドの移動経路を設定する設定工程と、前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正することにより、前記設定工程において設定された移動経路を補正する補正工程と、前記補正工程において補正された移動経路に沿って前記ヘッドを移動させて前記ヘッドによるパターン形成を行う形成工程とを有し、前記補正工程では、前記ヘッドからの付与材の吐出方向、前記ヘッドと前記立体物の表面との対向距離、前記付与材の質量、前記ヘッドからの付与材の吐出速度に応じて、前記相対位置を補正することを特徴とする。

本発明によれば、ヘッドによる付与材の吐出方向に応じて、そのヘッドから吐出される付与材が受ける重力によって生じる付与材の付与位置のずれ量を算出し、その算出したずれ量に応じて、ヘッドが付与材を吐出するときのヘッドと立体物の相対位置を補正することにより、立体物の表面上の所望位置に付与材を正確に付与することができる。したがって、傾斜角度が異なる立体物の表面に連続するように付与材を付与する場合にも付与材を正確に付与して、付与材の付与位置が連続せずに途切れたり、ずれたりすることを防止することができる。例えば、インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドを用いて、立体の記録媒体上に画像を記録する場合には、高品位の画像を記録することができる。また、付与材として導電性粒子を含む溶液を吐出可能なヘッドを用いて、立体の基板上に導電パターンを形成する場合には、その導電パターンを正確に形成することができる。

また、ヘッドによる付与材の吐出方向と共に、ヘッドと立体物の表面との対向距離、付与材の質量、およびヘッドの特性である付与材の吐出速度に応じて、付与材の付与位置のずれ量を算出することより、付与材の付与位置をより適確に補正することができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本実施形態に適用可能な回路パターン形成装置の概略構成図である。

本例の回路パターン形成装置（以下、「本装置」ともいう）は、パターン形成対象となる基材である立体形状を有する基板５に、回路パターンを形成するものである。本装置は、通信部１１を介して、基板５の形状および形成すべき回路パターンに関してのデータ１０を受信し、そのデータ１０をパターン記憶部１２に記憶する。ホスト装置は、形成すべき回路パターンなどのデータ供給源をなすものであり、情報処理装置としてのコンピュータの形態の他、種々の形態のものを含む。

パターンを形成するための液体は導電性粒子を含む溶液であり、ヘッド１のノズル２から液滴６として吐出される。液滴６の吐出に関するノズル２の諸特性は、ノズル２を構成する部材の個体差などにより、若干の差が生じることがある。そこで本例においては、本装置に搭載されるヘッド１のノズル２から実際に液滴６を吐出させて、その吐出される液滴６の質量［ｋｇ］と、その吐出時の速度［ｍ／ｓ］を予め測定し、その測定データを吐出特性記憶部１３に格納しておく。ＣＰＵ１４は、本装置における全ての構成要素を制御し、ロボット制御部１５は、ロボット４に対し所望動作をさせるべく指令を出力する。ヘッド１には、液滴６を吐出するためのノズル２と、基板５上のパターン形成面までの距離を計測するための距離センサ３が設置されている。このヘッド１は、６軸などの多関節ロボット４に搭載される。

ヘッド１としては、電気熱変換体やピエゾ素子などを用いた種々の吐出方式のものを利用することができる。例えば、電気熱変換体を用いた場合には、その発熱によって溶液を発泡させ、その発泡エネルギーを利用してノズル２からインクを吐出させることができる。

センサ信号入力部１７は距離センサ３が検出した信号を入力し、また駆動信号発生部１８は、ノズル２から液滴６を吐出させるための駆動信号を発生して出力する。経路生成・記憶部１６は、所望のパターンが形成できるように、ヘッド１の移動経路すなわちロボット４の動作経路を記憶する。

次に、ロボット４の移動経路を決定する処理を図２のフローチャートに基づいて説明する。

まずステップＳ１にて、パターン記憶部１２から基板５の形状データおよび形成するパターンデータを読み出し、そのデータに基づいて、ヘッド１の基本的な移動経路（基本経路）を設定する。ここで設定する基本経路は、基板５におけるパターンの形成面に対して垂直に液滴６を吐出させるように、ヘッド１を移動させるための経路である。しかし、基板５の形状によっては、パターンの形成面に対して垂直に液滴６を吐出させることが物理的に不可能な場合もある。例えば、図３（ａ）に示すように、垂直面５０と水平面５１に挟まれたエッジ５２近傍の所望着弾位置５３に対して、液滴６を垂直に吐出させようとした場合、ヘッド１が水平面５１に当ってしまうため、そのように液滴６を吐出させることは物理的に不可能である。このような場合には、図３（ｂ）のように液滴６を斜め方向から吐出させる必要がある。このような基板５とヘッド１との衝突を回避するために、経路生成・記憶部１６には、予め、基板５からヘッド１を離すべき距離が設定されており、その距離を確保するようにヘッド１の移動経路を設定する。これによって、基板５とヘッド１との衝突が生じない基本経路が設定される。

また、図４のような基板５に対して、２箇所のエッジ６１および６２を跨ぐパターン６０を形成する際には、それらのエッジ６１および６２の近傍におけるヘッド１の移動経路は以下のように設定する。

仮に、図５（ａ）に示すようにヘッド１の移動経路を設定して、エッジ６１の近傍の形成面６３と形成面６４に対して液滴６を着弾させようとした場合には、液滴６の吐出動作を中断せざるを得なくなってしまう。すなわち、図５（ａ）の場合には、エッジ６１の近傍の形成面６３に対して液滴６を着弾させる際に、ヘッド１を位置Ｐ１からＰ２へ移動させながら形成面６３に対して液滴６を垂直に吐出させ、その後、形成面６４に対して着弾させる際に、ヘッド１を位置Ｐ３からＰ４へ移動させながら形成面６４に対して液滴６を水平に吐出させる。このような場合には、ヘッド１を位置Ｐ２から位置Ｐ３へ瞬時に移動させない限り、液滴６の吐出動作は中断せざるを得なくなってしまう。

そこで図５（ｂ）のように、形成面６３に対して垂直に液滴６を吐出する範囲を位置Ｐ１１から位置Ｐ１２までとし、その位置Ｐ１２から位置Ｐ１６までは弧を描くようにヘッド１を移動させながら、液滴６を吐出させる。その位置Ｐ１６からは、形成面６４に対して垂直に液滴６を吐出させる。このように、ヘッド１の基本経路を設定することにより、液滴６の吐出動作を中断させることなく、連続的なパターン形成が可能となる。

また、図５（ｃ）に示すように、エッジ６２の近傍の形成面６４，６５に対して液滴６を吐出させる場合には、ヘッド１を位置Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４，Ｐ２５の順に移動させるように、ヘッド１の基本経路を設定する。その際、位置Ｐ２２から位置Ｐ２４までは移動は、ヘッド１の角度を変えているだけである。このようにヘッド１の角度を変える場合にも、基板５とヘッド１が衝突しないように、それらの間の距離を確保する。

このようにしてヘッド１の基本経路を設定した後は、図２のステップＳ２にて、ヘッド１をパターンの形成開始位置へ移動させる。次のステップＳ３においては、そのパターンの形成開始位置における基板５のパターン形成面とノズル２との対向距離を測定する。この対向距離が所定の範囲内になければ、その対向距離を必要に応じて調整する。次のステップＳ４においては、基本経路に沿ってヘッド１を移動させた場合のロボット４の姿勢に基づいて、パターンを形成する際の液滴６の吐出方向に関する情報を取得する。そしてステップＳ５にて、液滴６の吐出方向が鉛直下向きか否かを判定する。液滴６の吐出方向が鉛直下向き以外の方向である場合には、基板５のパターン形成面とノズル２との対向距離、液滴６の吐出方向、および吐出特性記憶部１３に格納されている特性値に応じて、液滴６の着弾位置を予測し、その予測結果に基づいてヘッド１と基板５との相対位置を補正する（ステップＳ６）。このステップＳ６における補正についての詳細は後述する。

そしてステップＳ７にて、ヘッド１が現在の基本経路上の位置にて形成するパターンがパターンの終端であるか否かを判定する。それがパターンの終端でなければヘッド１を基本経路に沿って所定距離移動させ（ステップＳ８）、ステップＳ３に戻って処理を繰り返す。ここで扱う所定距離とは、パターンを形成する際の分解能であり、その値は、基板５の形状や形成パターンデータと共に、パターン記憶部１２に格納されている。

そしてステップＳ９にて、形成すべき全てのパターンに必要なヘッド１の移動経路が決定したか否かを判定し、それらの全てのパターンについての移動経路の決定が終了するまで、ステップＳ２からの処理を繰り返す。

次に、ステップＳ６における補正処理を図６に基づいて説明する。
この補正処理は、ヘッド１から吐出された液滴６が重力の影響を受けて、その着弾位置が所望位置３１よりも鉛直下方向にずれるずれ量ｘを算出し、その算出値ｘに基づいて、ヘッド１の移動経路を補正するための処理である。ずれ量ｘの算出に必要なパラメータとしては、ステップＳ４にて取得した吐出方向θと、ステップＳ３にて測定あるいは調整したノズル２とパターン形成面（基板５のパターン形成面）３０との対向距離Ｌ、吐出特性記憶部１３に格納されている吐出液滴６の質量ｍ[ｋｇ]、および液滴６の吐出時の速度Ｖ[ｍ／ｓ]を用いる。

図６（ａ）に示すように、ノズル２を水平方向へ向けて、距離Ｌだけ離れたパターン形成面３０に対して液滴６を水平方向へ初速度Ｖで吐出させた場合、その液滴６の吐出方向の延長線Ｌａとパターン形成面３０との交点３１から、実際に液滴６が着弾する位置３２までのずれ量ｘは、次式により算出される。

ここで、ｇは重力加速度、Ｋは抗力係数である。抗力係数Ｋは、液滴６の半径をｒ[ｍ]、空気の粘性係数をη[Pa・ｓ]として次式で表される。
Ｋ＝６πｒη 式２
また、図６（ｂ）に示すように、水平方向に距離Ｌだけ離れたパターン形成面３０に対して、液滴６を鉛直下向に対して傾きθをなす方向へ初速度Ｖで吐出させた場合、その液滴６の吐出方向の延長線Ｌａとパターン形成面３０との交点３１から、実際に液滴６が着弾する位置３２までのずれ量ｘは、次式により算出される。

ただし、θ≠０である。

上式１〜３によって求めたずれ量ｘは、ヘッド１とパターン形成面３０との相対位置補正量として用いる。すなわち、ヘッド１の位置が所望の着弾位置３１よりも補正量分（ｘ）だけ鉛直上方となるように、ヘッド１の移動経路を補正する。このようにヘッド１の移動経路を補正することにより、その移動経路上のヘッド１から吐出された液滴６は、所望の着弾位置３１に着弾することになる。

以上のように、液滴６の吐出方向が鉛直下向き以外の如何なる方向である場合においても、所望の着弾位置に液滴６を着弾させて所望のパターンが形成できるように、ヘッド１の移動経路すなわちロボット４の動作経路を決定して、それを経路生成・記憶部１６に格納する。そして、実際に基板５に対してパターンを形成する際には、経路生成・記憶部１６に格納されている移動経路にしたがってヘッド１を移動させるようにロボット４を制御しながら、そのヘッド１から液滴６を吐出させる。これにより、基板５に形成すべき全パターンを連続的に形成することができる。

なお、同形状の基板５に対して同じパターンを形成する際には、そのパターンを形成する度に、毎回、図２に示すような移動経路の決定処理を実行する必要はなく、既に経路生成・記憶部１６に格納されている移動経路を用いてパターンを形成することができる。ただし、基板５の詳細な形状は、個々により僅かながら差が認められることもあるため、ロット毎など必要に応じて、実際の基板５の形状に合わせてヘッド１の移動経路を修正することが望ましい。

（他の実施形態）
本発明は、付与材として導電性粒子を含む溶液を吐出可能なヘッドを用いて、立体の基板上に導電パターンを形成するための導電パターンの形成装置のみならず、種々の付与材を吐出可能のヘッドを用いた付与材の付与装置に対して、広く適用することができる。例えば本発明は、インクを吐出可能なインクジェットヘッドを用いて、立体の基材に画像を形成するインクジェット記録装置に対しても適用することができる。この場合には、ロボット４と同様の移動手段を用いて、インクジェットヘッドを立体の基材の表面に沿うように移動させることにより、高品位の画像を記録することができる。

また、ヘッドと立体物は相対移動する関係にあればよく、上述した実施形態の場合とは逆に、立体物の方を移動させるようにしてもよい。この場合には、立体物の移動経路を算出して、付与材の付与位置を補正することになる。

本発明の一実施形態としての回路パターン形成装置の構成概略を示す模式図である。 図１の回路パターン形成装置におけるヘッドの移動経路の決定処理を説明するためのフローチャートである。 （ａ），（ｂ）は、図２のヘッドの移動経路の決定処理における基本的な移動経路の設定方法を説明するための模式図である。 図１の回路パターン形成装置によってパターンを形成する基板の一例を示す斜視図である。 （ａ），（ｂ），（ｃ）は、図４の基板に対するヘッドの基本的な移動経路を説明するための模式図である。 （ａ），（ｂ）は、図２における補正処理を説明するための模式図である。 ノズルから水平方向に吐出される液滴の着弾位置を説明するための模式図である。 （ａ），（ｂ）は、従来におけるパターンの形成例を説明するための模式図である。 （ａ），（ｂ）は、従来におけるパターンの他の形成例を説明するための模式図である。

符号の説明

１ ヘッド
２ ノズル
３ 距離センサ
４ ロボット
５ 基板
６ 液滴
１０ データ
１１ 通信部
１２ パターン記憶部
１３ 吐出特性記憶部
１４ ＣＰＵ
１５ ロボット制御部
１６ 経路生成・記憶部
１７ センサ信号入力部
１８ 駆動信号発生部
ｘ ずれ量
Ｌ 距離

Claims (13)

1. 付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物の表面にパターンを形成するためのパターン形成装置において、
   前記立体物の表面に形成すべきパターンに依存する前記付与材の吐出方向に応じて、前記ヘッドから吐出される前記付与材が受ける重力によって生じる前記付与材の付与位置のずれ量を算出する算出手段と、
   前記算出手段によって算出したずれ量に応じて、前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正する補正手段と、
   を備えることを特徴とするパターン形成装置。
2. 前記立体物にパターンを形成する際の前記ヘッドの移動経路を設定する移動経路設定手段を備え、
   前記補正手段は、前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正することにより、前記移動経路設定手段によって設定された前記ヘッドの移動経路を補正する
   ことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
3. 前記移動経路設定手段は、前記立体物の形状に関する形状データと、前記パターンに関するパターンデータとに基づいて、前記ヘッドの移動経路を設定することを特徴とする請求項２に記載のパターン形成装置。
4. 前記移動経路設定手段は、前記形状データと前記パターンデータに基づいて、前記立体物と接触しないように前記ヘッドの移動経路を設定することを特徴とする請求項３に記載のパターン形成装置。
5. 前記算出手段は、前記ヘッドと前記立体物の表面との対向距離、前記付与材の質量、または前記ヘッドからの前記付与材の吐出速度の内の少なくともいずれか１つが変化する場合に、前記対向距離、前記付与材の質量、または前記付与材の吐出速度の内の少なくともいずれか１つに応じて、前記付与位置のずれ量を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のパターン形成装置。
6. 前記算出手段は、前記ヘッドが水平方向に前記付与材を吐出するときに、前記ヘッドと前記立体物の表面との間の距離をＬ[ｍ]、前記付与材を吐出する初速度をＶ[ｍ／ｓ]、吐出される前記付与材の質量をｍ[ｋｇ]、重力加速度をｇ、抗力係数をＫとして、下式により前記付与位置のずれ量ｘを算出することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパターン形成装置。
   

   
7. 前記算出手段は、前記ヘッドが鉛直下向に対して傾きθ（θ≠０）をなす方向に前記付与材を吐出するときに、前記ヘッドと前記立体物の表面との間の距離をＬ[ｍ]、前記付与材を吐出する初速度をＶ[ｍ／ｓ]、吐出される前記付与材の質量をｍ[ｋｇ]、重力加速度をｇ、抗力係数をＫとして、下式により前記付与位置のずれ量ｘを算出することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のパターン形成装置。
   

   
8. 前記算出手段は、吐出される前記付与材の半径をｒ[ｍ]、空気の粘性係数をη[Pa・ｓ]として、前記抗力係数Ｋを下式により設定することを特徴とする請求項５または６に記載のパターン形成装置。
   Ｋ＝６πｒη
9. 前記ヘッドは、前記付与材としてインクの液滴を吐出して、前記立体物の表面に画像を記録可能なインクジェット記録ヘッドであり、
   前記パターン形成装置はインクジェット記録装置を構成する
   ことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のパターン形成装置。
10. 前記ヘッドは、導電性粒子を含む溶液を吐出して、前記立体物の表面に導電性パターンを形成可能なヘッドであり、
    前記パターン形成装置は、回路パターンの形成装置を構成する
    ことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のパターン形成装置。
11. 前記ヘッドは、前記付与材の吐出方向を変えながら前記立体物の表面に前記パターンを形成していくものであり、
    前記算出手段は、異なる吐出方向で付与材が付与される前記パターンの複数の箇所について前記ずれ量を算出し、
    前記補正手段は、前記複数の位置それぞれについて算出されたずれ量に基づいて、前記複数の箇所それぞれについて前記相対位置を補正することを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
12. 付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物の表面にパターンを形成するためのパターン形成方法において、
    前記ヘッドによる前記付与材の吐出方向に応じて、前記ヘッドから吐出される前記付与材が受ける重力によって生じる前記付与材の付与位置のずれ量を算出し、
    前記算出したずれ量に応じて、前記ヘッドが前記付与材を吐出するときの前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正し、
    前記補正した相対位置において前記立体物に対して前記ヘッドから付与材を吐出して前記パターンを形成する
    ことを特徴とするパターン形成方法。
13. 付与材を吐出可能なヘッドと立体物とを相対移動させつつ、前記ヘッドから前記立体物の表面に前記付与材を付与することにより、前記立体物の表面にパターンを形成するためのパターン形成方法において、
    前記立体物の形状に関する形状データと前記パターンに関するパターンデータとに基づいて、前記パターン形成のための前記ヘッドの移動経路を設定する設定工程と、
    前記ヘッドと前記立体物の相対位置を補正することにより、前記設定工程において設定された移動経路を補正する補正工程と、
    前記補正工程において補正された移動経路に沿って前記ヘッドを移動させて前記ヘッドによるパターン形成を行う形成工程とを有し、
    前記補正工程では、前記ヘッドからの付与材の吐出方向、前記ヘッドと前記立体物の表面との対向距離、前記付与材の質量、前記ヘッドからの付与材の吐出速度に基づいて、前記相対位置を補正することを特徴とするパターン形成方法。
    

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