JP2006165243A - Method for forming electrode - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming an electrode pattern capable of surely preventing the penetration of an electrode base to a section excepting a specified place such as a trench or the like for division, having no defective short-circuit or the like, and having excellent reliability. <P>SOLUTION: In the method for forming the electrode pattern, resin paste is printed and dried previously to a section to which the electrode pattern is not formed, and the electrode pattern is printed and dried at a specified place by electrode paste. In the method, the electrode paste is baked while resin paste is decomposed thermally and made to disappear. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、アルミナ基板などの基板上の一部に所定のパターンを有する電極パターンなどの電極形成方法に関するものである。   The present invention relates to an electrode forming method such as an electrode pattern having a predetermined pattern on a part of a substrate such as an alumina substrate.

アルミナ基板などの基板上に、所定のパターンに電極を形成し、この電極を用いて圧電素子などの機能素子を装着した電子部品が広く用いられている。   2. Description of the Related Art Electronic parts are widely used in which electrodes are formed in a predetermined pattern on a substrate such as an alumina substrate, and functional elements such as piezoelectric elements are mounted using the electrodes.

このような方法で基板上に電極を形成する場合、複数個の素子に対応するようにあらかじめ分割用の溝を形成した基板上に複数個の電極パターンを形成し、この基板上に機能素子をハンダ付けなどの方法により装着した後に、分割用の溝で分割して複数の電子部品を得ることが行われている。   When electrodes are formed on a substrate by such a method, a plurality of electrode patterns are formed on a substrate in which division grooves are formed in advance so as to correspond to a plurality of elements, and functional elements are formed on the substrate. After mounting by a method such as soldering, a plurality of electronic components are obtained by dividing by a dividing groove.

このような技術に関する先行技術文献としては、例えば特許文献1をあげることができる。
特開平3−85793号公報
For example, Patent Document 1 can be cited as a prior art document relating to such a technique.
JP-A-3-85793

しかし電子部品の小型化に伴い、分割後の電子部品の個数は増え、基板に設けられた分割用の溝の間隔は狭くなり、また分割用の溝の本数はより増加する傾向にある。   However, along with the downsizing of electronic components, the number of divided electronic components increases, the interval between the dividing grooves provided on the substrate becomes narrower, and the number of dividing grooves tends to increase.

このような場合、従来のように所定の位置に電極ペーストの印刷により電極パターンを形成した場合、隣接する分割用の溝に電極ペーストが入り込んでしまうなどにより、所定の位置以外に電極が形成され、短絡不良を起こしてしまうなどの不具合があった。   In such a case, when an electrode pattern is formed by printing an electrode paste at a predetermined position as in the prior art, an electrode is formed at a position other than the predetermined position because the electrode paste enters an adjacent dividing groove. There were problems such as short circuit failure.

また通常分割用の溝(スリット)は幅が狭く、一定の深さがあるため、有機溶剤を用いた表面張力の小さな電極ペーストが毛細管現象により分割用の溝に浸透しやすく、さらに入り込んだ電極ペーストは見つけにくいのみならず、除去が難しいという課題もあった。   In addition, since the dividing groove (slit) is narrow and has a certain depth, an electrode paste with a small surface tension using an organic solvent can easily penetrate into the dividing groove due to capillary action, and further penetrates the electrode. The paste was not only difficult to find, but also difficult to remove.

本発明は、上記課題を解決するもので、量産性が高い方法で、分割用の溝などの所定の位置以外の部分に電極ペーストが入り込むのを確実に防ぐことができ、短絡不良などのない信頼性に優れた電極パターンの形成方法を提供することを目的とするものである。   The present invention solves the above-described problems, and can reliably prevent the electrode paste from entering a portion other than a predetermined position such as a dividing groove by a method with high mass productivity, and there is no short circuit failure. An object of the present invention is to provide a method for forming an electrode pattern with excellent reliability.

この目的を達成するために本発明は、電極パターンの非形成部分にあらかじめ樹脂ペーストを印刷乾燥し、その後所定の位置に電極ペーストにより電極パターンを印刷し乾燥した後、電極ペーストを焼き付けると同時に樹脂ペーストを熱分解させて消失させることを特徴とする電極パターン形成の方法であり、分割用の溝を含む電極非形成部分を樹脂で覆った後に電極ペーストを用いて電極パターンを形成するため所定の位置以外に電極ペーストが付着することがなく短絡不良を確実に防止できるのである。   In order to achieve this object, the present invention prints and dries a resin paste in advance on a non-formed portion of the electrode pattern, and then prints and dries the electrode pattern with the electrode paste at a predetermined position, and then simultaneously burns the electrode paste and resin. An electrode pattern forming method characterized in that the paste is thermally decomposed to disappear, and a predetermined pattern for forming an electrode pattern using an electrode paste after covering an electrode non-formation portion including a dividing groove with a resin. The electrode paste does not adhere to other than the position, and the short circuit failure can be reliably prevented.

また、電極ペーストの焼付と同時に樹脂ペーストを飛散消失させるため、樹脂ペーストを除去する工程が必要なく、また基板上に樹脂ペーストなどの余分な残渣が残ることがないため、洗浄工程が不良であるばかりでなく信頼性の高い電極パターンを形成することができるのである。   In addition, since the resin paste is scattered and disappeared simultaneously with the baking of the electrode paste, there is no need for a step of removing the resin paste, and no excessive residue such as the resin paste remains on the substrate, so the cleaning process is poor. In addition, a highly reliable electrode pattern can be formed.

さらに電極ペースト中に含まれるガラスフリットの融点を樹脂ペーストの飛散温度よりも高くすることにより、印刷ずれなどにより樹脂ペーストが電極形成必要部分にまで付着してしまった場合でも、樹脂が消失したあとで電極が基板に密着し電極形成が行われるため、所定の位置に確実に電極を形成することができるものである。   Furthermore, by making the melting point of the glass frit contained in the electrode paste higher than the dispersion temperature of the resin paste, even if the resin paste adheres to the electrode formation necessary part due to printing misalignment, etc. In this case, since the electrode is brought into close contact with the substrate and the electrode is formed, the electrode can be reliably formed at a predetermined position.

本発明の電極パターン形成方法は、電極パターンの非形成部分にあらかじめ樹脂ペーストを印刷乾燥し、その後所定の位置に電極ペーストにより電極パターンを印刷し乾燥した後、電極ペーストを焼き付けると同時に樹脂ペーストを熱分解させて消失させることを特徴とする電極パターン形成の方法であり、所定の位置以外に電極ペーストが付着することがなく短絡不良を確実に防止できるとともに樹脂ペーストを除去する工程が必要なく、また基板上に樹脂ペーストなどの余分な残渣が残ることがないため、洗浄工程が不要であるばかりでなく信頼性の高い電極パターンを形成することができる。   In the electrode pattern forming method of the present invention, the resin paste is printed and dried in advance on the non-formed part of the electrode pattern, and then the electrode pattern is printed and dried with the electrode paste at a predetermined position. It is a method of electrode pattern formation characterized by being thermally decomposed and disappeared, and there is no need for a step of removing the resin paste while reliably preventing short circuit failure without electrode paste adhering to other than the predetermined position, In addition, since no excess residue such as a resin paste remains on the substrate, a cleaning process is not necessary, and a highly reliable electrode pattern can be formed.

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1について図1〜図4を用いて説明する。
(Embodiment 1)
Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to FIGS.

図1は、分割用の溝11とスルーホール12を有するアルミナ基板13の電極非形成部分に樹脂ペースト14を印刷乾燥して形成した状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図、図2は樹脂ペースト14を形成したアルミナ基板13の所定の部分に電極ペーストを用いて電極パターン15を印刷し、乾燥した状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図である。   FIG. 1 is a partially enlarged plan view of an alumina substrate showing a state in which a resin paste 14 is formed by printing and drying an electrode non-formation portion of an alumina substrate 13 having dividing grooves 11 and through holes 12. FIG. FIG. 4 is a partially enlarged plan view of an alumina substrate showing a state where an electrode pattern 15 is printed on a predetermined portion of an alumina substrate 13 on which a paste 14 is formed using an electrode paste and dried.

また、図3は樹脂ペーストと電極パターンを形成したアルミナ基板を図4に一例を示す温度プロファイルにより焼付を行い、電極パターンの焼付と同時に樹脂ペーストを飛散消失させた後の状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図である。   FIG. 3 shows an alumina substrate on which an alumina substrate on which a resin paste and an electrode pattern are formed is baked according to the temperature profile shown in FIG. 4 and the resin paste is scattered and disappeared simultaneously with the baking of the electrode pattern. It is a partially enlarged plan view.

以下、本発明の電極パターン形成方法について詳細に説明する。   Hereinafter, the electrode pattern forming method of the present invention will be described in detail.

まずアルミナ純度95%、縦横の寸法が84mm、厚みが0.38mmのアルミナ基板を準備する。   First, an alumina substrate having an alumina purity of 95%, a vertical and horizontal dimension of 84 mm, and a thickness of 0.38 mm is prepared.

次にアクリル樹脂を主成分とし、粘度が約2000センチポイズの樹脂ペーストを図1に示すようにアルミナ基板上の電極パターン非形成部分に印刷し乾燥する。   Next, a resin paste having an acrylic resin as a main component and a viscosity of about 2000 centipoise is printed on an electrode pattern non-formed portion on an alumina substrate and dried as shown in FIG.

ここで図1は上記アルミナ基板の一部を拡大して主要部分を示したものであり、図2、図3も同様である。   Here, FIG. 1 shows an enlarged main part of the alumina substrate, and the same applies to FIGS.

その後、Ag粉末、有機バインダー、有機溶剤とガラスフリットよりなる電極ペーストを図2に示すように所定の位置に印刷し、乾燥して電極パターンを形成する。   Thereafter, an electrode paste made of Ag powder, an organic binder, an organic solvent and glass frit is printed at a predetermined position as shown in FIG. 2 and dried to form an electrode pattern.

電極ペーストに含まれるガラスフリットの融点は、樹脂ペーストの飛散消失温度よりも高くすることが特に好ましい。   The melting point of the glass frit contained in the electrode paste is particularly preferably higher than the scattering disappearance temperature of the resin paste.

ガラスフリットの融点を樹脂ペーストの飛散消失温度より高くすることにより、印刷ずれなどにより樹脂ペーストが電極形成必要部分にまで付着してしまった場合でも、樹脂が消失したあとで電極が基板に密着し電極形成が行われるため、所定の位置に確実に電極を形成することができるのである。   By making the melting point of the glass frit higher than the dispersion disappearance temperature of the resin paste, the electrode adheres to the substrate after the resin disappears even if the resin paste adheres to the electrode formation necessary part due to printing misalignment etc. Since the electrodes are formed, the electrodes can be reliably formed at predetermined positions.

本実施の形態では、ガラスフリットの融点は500℃以上のものを用いた。   In this embodiment, a glass frit having a melting point of 500 ° C. or higher is used.

このようにして作成した電極パターンを形成後のアルミナ基板を電気炉に入れ、図4に示す温度プロファイルで850℃で12分間焼付を行うと同時に樹脂ペーストを飛散消失させた。   The alumina substrate on which the electrode pattern thus formed was formed was placed in an electric furnace, and baked at 850 ° C. for 12 minutes with the temperature profile shown in FIG.

上記の樹脂ペーストの飛散消失温度は400℃以下である。   The scattering disappearance temperature of the resin paste is 400 ° C. or lower.

樹脂ペーストの飛散消失温度は、電極ペーストの焼付温度との関係で調整することが好ましいが、飛散消失温度が400℃を超える樹脂ペーストを用いた場合には、樹脂ペーストの分解残渣がカーボン状の物質となって基板上に残り、電子部品を搭載して実装したあとで短絡不良の原因になる場合もあるため好ましくない。   The dispersion disappearance temperature of the resin paste is preferably adjusted in relation to the baking temperature of the electrode paste. However, when a resin paste having a dispersion disappearance temperature exceeding 400 ° C. is used, the decomposition residue of the resin paste is a carbon-like residue. Since it becomes a substance and remains on the substrate and may cause a short circuit failure after mounting and mounting electronic components, it is not preferable.

また、樹脂ペーストは400℃以下の温度で飛散消失するものであれば、アクリル樹脂以外の樹脂を用いることができるが、加熱分解時のカーボン状の残渣が残りにくいため、アクリル樹脂が好ましい。   The resin paste can be a resin other than an acrylic resin as long as it dissipates and disappears at a temperature of 400 ° C. or lower. However, an acrylic resin is preferable because a carbon-like residue hardly remains during thermal decomposition.

また、アクリル樹脂も一種類のアクリル樹脂ではなく、複数種類の分解温度が異なるアクリル樹脂を組み合わせて用いることにより、樹脂ペーストの分解飛散をより確実に行うことができる。   In addition, the acrylic resin is not a single type of acrylic resin, and the resin paste can be more reliably decomposed and scattered by using a plurality of types of acrylic resins having different decomposition temperatures.

また、樹脂ペースト中の樹脂は、電極ペースト中の樹脂と同一のものを用いてもよい。   Further, the resin in the resin paste may be the same as the resin in the electrode paste.

この場合には、図4に示す焼付温度プロファイルの昇温過程において、例えば400℃で10分程度保持して樹脂成分の飛散をより確実にすることも有効である。   In this case, in the temperature rising process of the baking temperature profile shown in FIG. 4, it is also effective to hold the resin at 400 ° C. for about 10 minutes to make the resin component more reliably scattered.

以上のようにして電極焼付を行った基板100枚について、その表面を光学顕微鏡で詳細に調べたところ、分割溝を含む電極非形成部分に電極の付着は見られなかった。   When the surface of the 100 substrates subjected to electrode baking as described above was examined in detail with an optical microscope, no electrode was found on the electrode non-formed portion including the dividing grooves.

また、同時に樹脂ペーストで電極の非形成部分を覆わずに、電極パターン形状に電極ペーストを印刷し、上記と同様に焼付を行った比較例について、同様に基板100枚についてその表面を光学顕微鏡で調べたところ、基板100枚中53枚で分割溝の一部に電極が付着しているのが確認された。   At the same time, without covering the non-formed portion of the electrode with the resin paste, the electrode paste was printed in the shape of an electrode pattern and baked in the same manner as described above. As a result of the examination, it was confirmed that 53 of 100 substrates had electrodes attached to a part of the dividing grooves.

本実施の形態では、樹脂ペーストを印刷し、乾燥機により乾燥したが、紫外線硬化型の樹脂ペーストを用いて、紫外線照射により電極非形成部分に樹脂ペーストを塗着しても同様な効果が得られる。   In this embodiment, the resin paste is printed and dried by a drier. However, the same effect can be obtained by using an ultraviolet curable resin paste and applying the resin paste to the non-electrode-formed portion by ultraviolet irradiation. It is done.

また、本実施の形態では基板としてアルミナ基板を用いているが、これに限定されるものではなく、ジルコニア基板やムライト基板などのセラミック基板や、鋼板にガラス被覆したホーロー基板でもよい。   In this embodiment, an alumina substrate is used as the substrate. However, the present invention is not limited to this, and a ceramic substrate such as a zirconia substrate or a mullite substrate, or a hollow substrate in which a steel plate is coated with glass may be used.

本発明の電極パターン形成方法は、電極パターンの非形成部分にあらかじめ樹脂ペーストを印刷乾燥し、その後所定の位置に電極ペーストにより電極パターンを印刷し乾燥した後、電極ペーストを焼き付けると同時に樹脂ペーストを熱分解させて消失させることを特徴とする電極パターン形成の方法であり、洗浄工程が不要であるばかりでなく信頼性の高い電極パターンを形成することができ、電子部品を搭載して配線する基板などの電極形成に有用である。   In the electrode pattern forming method of the present invention, the resin paste is printed and dried in advance on the non-formed part of the electrode pattern, and then the electrode pattern is printed and dried with the electrode paste at a predetermined position. It is a method of electrode pattern formation characterized in that it is thermally decomposed and disappears, and not only a cleaning process is required, but also a highly reliable electrode pattern can be formed, and a substrate on which electronic parts are mounted and wired It is useful for electrode formation.

本発明の一実施の形態における基板上に樹脂ペーストを形成した状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図The partially expanded plan view of the alumina substrate which shows the state which formed the resin paste on the board | substrate in one embodiment of this invention 同基板上に電極パターンを形成した状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図Partially enlarged plan view of an alumina substrate showing an electrode pattern formed on the same substrate 同電極パターン焼付後の状態を示すアルミナ基板の一部拡大平面図Partially enlarged plan view of an alumina substrate showing the state after the electrode pattern is baked 同電極焼付の温度プロファイル例を示す図Figure showing temperature profile example

符号の説明Explanation of symbols

11 分割用の溝
12 スルーホール
13 アルミナ基板
14 樹脂ペースト
15 電極パターン
11 Dividing groove 12 Through hole 13 Alumina substrate 14 Resin paste 15 Electrode pattern

Claims (5)

セラミック基板上の一部に電極ペーストを用いて電極パターンを形成する方法において、前記電極パターンの非形成部分にあらかじめ樹脂ペーストを印刷乾燥する第1の工程と、所定の位置に前記電極ペーストを用いて電極パターンを印刷し乾燥する第2の工程と、その後電極ペーストを焼き付けると同時に前記樹脂ペーストを熱分解させて消失させる第3の工程とを含む電極形成方法。 In a method of forming an electrode pattern using an electrode paste on a part of a ceramic substrate, a first step of printing and drying a resin paste in advance on a non-formed portion of the electrode pattern, and using the electrode paste at a predetermined position An electrode forming method comprising: a second step of printing and drying an electrode pattern; and a third step of baking the electrode paste and then thermally decomposing and disappearing the resin paste. 樹脂ペーストは400℃以下で熱分解し飛散消失するものである請求項1に記載の電極形成方法。 The electrode forming method according to claim 1, wherein the resin paste is thermally decomposed at 400 ° C. or lower and dissipates and disappears. 樹脂ペーストはアクリル樹脂を主成分とするものを用いる請求項2に記載の電極形成方法。 The electrode forming method according to claim 2, wherein the resin paste is mainly composed of an acrylic resin. セラミック基板は分割用の溝を形成したものを用いる請求項1に記載の電極形成方法。 2. The electrode forming method according to claim 1, wherein the ceramic substrate is formed with a dividing groove. 電極ペーストはガラスフリットを含むものであり、前記ガラスフリットは樹脂ペーストの飛散温度よりも融点が高いものを用いる請求項1に記載の電極形成方法。 The electrode forming method according to claim 1, wherein the electrode paste includes glass frit, and the glass frit has a melting point higher than a scattering temperature of the resin paste.
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