JP2006162359A - 3次元形状計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高低差が数mmないし数100mmの構造部品の3次元形状を1μmの精度で計測できる3次元形状計測装置を実現する。
【解決手段】波長380〜780nmのコヒーレント光を発生する光源1aを有する共焦点光学系1と、対物レンズ光学系2と、光検出器3とを搭載するZステージ4を上下動させ、計測物体Wの反射光をピンホール1fに集光させて光検出器3の出力が最大になる位置を求めることで、計測物体Wの表面の凹凸を計測する3次元形状計測装置において、対物レンズ光学系2の開口数0.2〜0.4、作動距離100〜250mmの範囲とすることで、一般的な構造部品のサブミクロン精度の3次元計測を可能とする。
【選択図】図1
【解決手段】波長380〜780nmのコヒーレント光を発生する光源1aを有する共焦点光学系1と、対物レンズ光学系2と、光検出器3とを搭載するZステージ4を上下動させ、計測物体Wの反射光をピンホール1fに集光させて光検出器3の出力が最大になる位置を求めることで、計測物体Wの表面の凹凸を計測する3次元形状計測装置において、対物レンズ光学系2の開口数0.2〜0.4、作動距離100〜250mmの範囲とすることで、一般的な構造部品のサブミクロン精度の3次元計測を可能とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、共焦点光学系を利用して3次元形状の計測を行う3次元形状計測装置に関し、特に、各種機器のプラスチック製の構造部品等の3次元形状を1μmオーダーの分解能で計測することを可能にする3次元形状計測装置に関するものである。
3次元形状を計測する方法の一つとして共焦点光学系を用いる方法が知られている。図10は共焦点光学系の原理を示すもので、光源101aから射出された測定光である照射光は、レンズ101bで集光された後、焦点に配置されたピンホール101cを介してハーフミラー101dに入射する。ハーフミラー101dを透過した照射光は対物レンズ102により集光され、物体Sの表面S1 に収束する。
図10の(a)に示すように、物体Sの表面S1 が合焦位置にある場合は、物体Sからの反射光(散乱光)は照射光と同じ経路を逆進し、対物レンズ102に入射した後、ハーフミラー101dを介して、焦点位置に配置されたピンホール101eを通過し、光検出器103で受光される。ピンホール101cとピンホール101eは、光源101aから発生する光の集光位置に配置されて、共役な位置に配置されている。
しかし、図10の(b)に示すように、物体Sの表面S1 が表面S2 で示す位置に移動した場合、図中の破線で示した通り反射光の収束位置はピンホール101eから離れた位置となり、従ってピンホール101eを通過する光は減少する。
すなわち、図10の(c)に示すように、物体Sの表面S1 を原点位置とした場合、反射光はピンホール101eを通過し、光検出器103の出力は最大となる。物体SがZ方向に変位して表面S2 で示す位置になると、反射光の収束位置はピンホール101eから離れて、ピンホール101eを通過する光が減少するため、光検出器103の出力は著しく減少する。そこで、共焦点光学系と物体Sとの離間距離をZ方向に変化させ、ピンホール101eを通過する反射光の強度の変化を光検出器103により測定し、光検出器103の出力が最大となる位置を求めることで、変位後の表面S2 の高さを計測できる。
共焦点光学系を用いて3次元形状計測を行うには、計測対象物である物体SをX−Y方向に移動可能なXYステージに載せ、物体SをX−Y方向に走査するとともに、上記のZ方向の高さ計測を繰り返し行うことにより、物体表面の高さの変化を計測する。
このように共焦点の原理を用いた高分解能な観察・計測装置として、例えば、特許文献1に開示された共焦点光学顕微鏡が知られている。
特開平4−104115号公報
上記従来の装置では高分解能での計測が可能であるが、平面に対して深さ方向のダイナミックレンジが数100μmしかなかったため、測定対象物はZ方向のダイナミックレンジが数100μmの平面基板上に製作したデバイスなどに限られる。そのため、高低差が数mmないし数100mmの複雑な形状を有した構造部品を計測することは、対物レンズの先端が測定対象物に干渉するなどして困難である。
作動距離が長い対物レンズを用いた場合には測定対象物に接触することなく計測できるが、開口数が小さくなるため分解能が著しく低下するという問題があった。
また、一般的に従来の光学式計測方式では、測定対象物の表面の反射光を検出することにより計測を行うことから、傾斜部や段差、あるいは円筒形状など中空の構造部品の内側形状は、測定光を被測定面に照射することができず、計測できないという未解決の課題もあった。
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、高低差が数mmないし数100mmの構造部品の3次元形状を1μmの精度で計測することを可能にするとともに、構造部品の内面形状や、急峻な傾斜部の3次元計測も自在である3次元形状計測装置を提供することを目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明の3次元形状計測装置は、光源と、前記光源から出射した測定光の光路に配設された共焦点光学系と、前記共焦点光学系を経て前記測定光を計測対象物に集光する対物レンズ光学系と、前記計測対象物をX−Y方向に移動させるXYステージと、前記光源、前記共焦点光学系および前記対物レンズ光学系を前記計測対象物に対してZ方向に相対移動させる移動手段と、を備えており、前記対物レンズ光学系の開口数が0.2以上0.4以下であり、かつ、作動距離が100mm以上250mm以下の範囲であることを特徴とする。
開口数0.2以上0.4以下、作動距離100mm以上250mm以下の範囲の対物レンズ光学系と、波長380〜780nmの範囲であるコヒーレント光を測定光として用いることにより、従来の共焦点光学系を用いた3次元形状計測装置では計測が困難であった複雑な外形を有する構造部品や、プリンタのカートリッジのように深い凹形状や段差あるいは傾斜部等を有する構造部品の3次元計測をサブミクロン精度で行い、品質検査・寸法検査などに応用できる。また、3次元形状の点群データによる構造解析に適用することもできる。
図1に示すように、光源1aを有する共焦点光学系1と、共焦点光学系1から射出した測定光が入射する対物レンズ光学系2とを有し、対物レンズ光学系2を経て計測対象物である計測物体Wを照射し、計測物体Wの表面W1 で反射した光は対物レンズ光学系2に逆進する。対物レンズ光学系2を逆進して共焦点光学系1のハーフミラー1gによって反射された光を光検出器3によって検出する。さらに、共焦点光学系1と対物レンズ光学系2を計測物体Wに対して光軸方向(Z方向)に移動する移動手段であるZステージ4と、共焦点光学系1と対物レンズ光学系2に対して計測物体Wを光軸に垂直なX−Y方向に移動するXYステージ10が設けられる。
この3次元形状計測装置において、対物レンズ光学系2から照射される測定光の光路を所定の方向に変更する光学手段や計測物体Wを傾ける傾斜手段を設ける。そして、光源1aには、波長が380〜780nmの範囲であるコヒーレント光を発生するレーザ等を用いるとともに、対物レンズ光学系2は、開口数0.2以上0.4以下、作動距離は100mm以上250mm以下の範囲となるように構成することにより、一般的に数mm〜数100mmの高低差を有する構造部品の3次元形状計測を1μmオーダーの分解能で行うことを可能とする。
すなわち、共焦点光学系を用いた形状計測装置においてサブミクロンの精度を得るためには、対物レンズ光学系の開口数は0.2以上0.4以下にする必要がある。図9は、対物レンズの開口数に対する光検出器の出力とZ変位との関係を調べた実験結果を示すもので、曲線D1 、D2 、D3 、D4 、D5 はそれぞれ、対物レンズ光学系の開口数が0.15、0.2、0.3、0.4、0.5の場合の、光検出器の出力と計測物体のZ変位の関係を示すグラフである。
このグラフから、開口数が0.2以下であると、光軸方向(Z方向)の分解能が低下し、ノイズレベルに左右され、従ってサブミクロン精度で計測することが困難であるため、サブミクロン精度の計測を行うには、対物レンズ系の開口数は0.2以上が好ましいことが分かる。他方、開口数を0.4以上にしても実質的な精度上の変化はみられない。
また、構造部品の形状は一般的に100mm以上の凹凸形状が多く、これに合わせた作動距離が必要とされる。加えて、複数個あった部品点数が一体化され、ひとつひとつの形状は複雑化されている。このため、対物レンズ光学系の作動距離を100mm以上250mm以下の範囲に拡大することが必要である。
図1の(a)は実施例1による3次元形状計測装置の構成を示すもので、光源1a、レンズ1b〜1d、ピンホール1e、1f、ハーフミラー1gを有する共焦点光学系1と、複数のレンズからなる対物レンズ光学系2と、光検出器3と、共焦点光学系1と対物レンズ光学系2と光検出器3とをサブミクロン単位でZ方向に移動可能なZステージ4と、計測物体WをX−Y方向に移動させるXYステージ10を有する。
光源1aには例えばHe−Neレーザを用い、光検出器3には光電変換センサであるシリコンフォトダイオード、レンズ1bの焦点距離は70mm、レンズ1cとレンズ1dは焦点距離200mmであり、ピンホール1eとピンホール1fはφ25μmのピンホール開口を有する。対物レンズ光学系2は作動距離100mm、開口数0.35、焦点距離10mm、使用波長はHe−Neレーザ波長域である複数のレンズからなるレンズ光学系である。
本実施例ではこのような対物レンズ光学系を用いることにより、構造部品の計測が可能な作動距離100mmであって、サブミクロン分解能を有する3次元形状計測装置を実現した。
ピンホール1eとピンホール1fは共役の位置に配置されており、ピンホール1eとレンズ1c、ピンホール1fとレンズ1dとの距離は等しい。光源1aから出射されたレーザ光は、レンズ1bで集光され、焦点位置(70mm)に配置されたピンホール1eを通過し、ピンホール1eから焦点距離(200mm)の位置に配置されたレンズ1cに入射しφ8.5mmの平行光になる。平行光はハーフミラー1gを介して対物レンズ光学系2により計測物体Wの表面W1 に集光される(集光時のビーム径2μm)。照射された光の反射光は対物レンズ光学系2に入射し、ハーフミラー1gで反射され、レンズ1dで集光され、レンズ1dの焦点位置(200mm)に配置されたピンホール1fを通過して光検出器3で受光される。
図1の(b)に示すように、計測物体Wの表面W1 が対物レンズ光学系2の焦点位置にあるとき、ピンホール1fには集光された光が通過するが、同図の(c)に示すように計測物体Wが表面W2 で示す位置に移動した場合、図中の破線で示したように反射光の収束位置はピンホール1fから離れた位置となり、ピンホール1fを通過する光は減少する。
すなわち、計測物体Wが表面W1 で示す位置にある場合、反射光はピンホール1fを通過し、光検出器3の出力は最大となる。計測物体Wが表面W2 で示す位置に移動すると、反射光の収束位置はピンホール1fから離れた位置となり、ピンホール1fを通過する光が減少するため、光検出器3の出力は著しく減少する。
従って、Zステージ4を駆動して対物レンズ光学系2と計測物体Wとの間の距離をZ方向に変化させ、ピンホール1fを通過する反射光の強度の変化を光検出器3により測定すれば、光検出器3の出力が最大となる位置から計測物体Wの表面形状(高さ)が計測できる。また、XYステージ10をX−Y方向に走査するとともに、Z方向の計測を繰り返し行うことにより、計測物体Wの3次元形状を計測することになる。
図2は、本実施例により計測物体Wには黒色樹脂によるプラスチック成形品である構造部品を用いて計測した場合の実験結果を示す。図2の(a)に示すように、計測物体Wの表面が対物レンズ光学系2の集光位置にある場合、光検出器3には原点位置(Z変位0)で示すように最大の出力が得られるが、Zステージ4をZ方向に1μm移動させ、対物レンズ光学系2が計測物体Wから1μmだけ離れると、ピンホール1fを通過する光は減少し、光検出器3の出力は91%まで減少する。
図2の(b)は、計測物体Wの形状を示す概略図であり、計測物体Wの段差aを含む部位を本実施例の計測装置で計測したところ、同図の(c)に示す計測結果が得られた。この計測結果より段差aの高さを算出した結果と、比較のために触針式計測器で計測した結果を表1に示す。
図3は実施例2による3次元形状計測装置を示すもので、実施例1のXYステージ10に、測定光の向きを変更する光学手段20を設けたものであり、共焦点光学系1、対物レンズ光学系2、光検出器3、Zステージ4等は実施例1の装置と同様であるから、同一符号で表わし、説明は省略する。
本実施例による3次元形状計測装置は、長作動距離の対物レンズ光学系2と光学手段20を用いることにより、円筒形の構造部品Tの内面T1 の凹凸形状を非破壊で計測するものであり、その構成は、共焦点光学系1と、対物レンズ光学系2と、光検出器3と、共焦点光学系1と対物レンズ光学系2と光検出器3とをサブミクロン分解能でZ方向に移動可能なZステージ4と、計測物体TをX−Y方向に移動させるXYステージ10を備え、対物レンズ光学系2より照射される測定光の向きを所定の方向に変更する光学手段20は、図3の(b)、(c)に示すように、測定光の向きを90°変更するミラー21と、ミラー21をXYZ方向に移動するミラーステージ22からなる。
光学手段20は、計測物体Tを移動するXYステージ10上に配置されているが、試料支持台23とは別構造であるため、ミラー21は円筒面に沿って走査することができる。なお、ミラー21の代わりにプリズムを用いてもよい。
図4の(a)に示すように、測定光Cは対物レンズ光学系2の対物レンズを経て、ミラー21により光路を90°曲げられ、計測物体Tの内面T1 に照射される。この状態で、Zステージ4をZ方向に走査することにより、計測物体Tの内面T1 の凹凸形状が計測できる。次いで、図4の(b)に示すように、光学手段20のミラーステージ22を移動させ、ミラー21をZ方向に変位させた状態で、Zステージ4をZ方向に走査することにより、同様に計測物体Tの内面T1 を計測する。
図5の(a)は、本実施例の計測装置により、計測物体Tには黒色樹脂によるプラスチック成形品を用いて測定した実験結果を示す。計測物体Tの内面T1 が対物レンズ光学系2の集光位置に配置されている場合、光検出器3には原点位置で示すように最大の出力が得られるが、Zステージ4をZ方向に1μm移動させると、ピンホールを通過する光は減少し、光検出器3の出力は89%となる。このようにミラー21をZ方向に走査するとともに、Z方向の計測を繰り返し行うことにより、計測物体Tの内面T1 の凹凸形状を計測できる。
本実施例の装置により、図5の(b)で示すように計測物体Tの円bで示す部位の内面形状を計測した結果を、同図の(c)に示す。
この計測結果より内面形状のPV値を算出した結果と、比較のために触針式計測器で計測したPV値の結果を表2に示す。
図6は実施例3を示す。これは、実施例1のXYステージ10に傾斜手段30を設けたものであり、傾斜手段30と長作動距離の対物レンズ光学系2を用いることにより、対物レンズ光学系2の開口数以上の傾斜を持つ計測物体Rの測定面R1 の計測を行うことを可能にする。
本実施例による3次元形状計測装置は、共焦点光学系1と、対物レンズ光学系2と、光検出器3と、共焦点光学系1と対物レンズ光学系2と光検出器3とをサブミクロン分解能でZ方向に移動可能なZステージ4と、計測物体RをX−Y方向に移動可能なXYステージ10と、計測物体Rを傾ける傾斜手段30を有し、傾斜手段30は、例えば、計測物体Rを水平面に対して±45°傾けることが可能なチルトステージである。
共焦点光学系の原理は、対物レンズの開口数に依存して比較的傾斜の大きな面を計測できるという利点がある。つまり、開口数が大きい程、大きな傾斜を計測できる。しかしながら、従来の装置においては、深さ方向のダイナミックレンジが数100μmしかなかったため、構造部品の段差や傾斜のある部位を計測する場合、計測物体を傾斜させたとしても、対物レンズの先端が計測物体にぶつかるなどして、計測を行うことが困難であった。
しかし、本実施例においては、対物レンズ光学系2は100mmの作動距離を有することから、段差や傾斜のある面を傾けて計測することが可能となった。
例えば、図6の(b)に示すような対物レンズ光学系2の開口数を超える傾斜角度をもつ場合は、計測物体Rの測定面R1 で反射した測定光が対物レンズ光学系2に入射せず、計測が困難である。このような場合には、図6の(c)に示すように、対物レンズ光学系2の開口数を超えない角度になるようにチルトステージである傾斜手段30を動かすことにより、計測が可能となる。
図7は本実施例の3次元形状計測装置により30°の傾斜面を有する黒色樹脂の構造部品であるプラスチック成形品を計測した結果を示す。このように、計測物体Rを傾斜させることで対物レンズ光学系2の開口数以上の斜面が計測可能である。
本実施例は、実施例1と同様の3次元形状計測装置において、対物レンズ光学系2には、作動距離250mm、開口数0.4、焦点距離10mm、使用波長がHe−Neレーザ波長域であるレンズ光学系を用い、光検出器3にアバランシェフォトダイオードを用いた。
本実施例の計測装置により、計測物体に黒色の構造部品であるプラスチック成形品を用いた場合の実験結果を図8に示す。このグラフからわかるように、本実施例の計測装置は1μm以下の分解能を有する。
1 共焦点光学系
2 対物レンズ光学系
3 光検出器
4 Zステージ
10 XYステージ
20 光学手段
30 傾斜手段
2 対物レンズ光学系
3 光検出器
4 Zステージ
10 XYステージ
20 光学手段
30 傾斜手段
Claims (4)
- 光源と、前記光源から出射した測定光の光路に配設された共焦点光学系と、前記共焦点光学系を経て前記測定光を計測対象物に集光する対物レンズ光学系と、前記計測対象物をX−Y方向に移動させるXYステージと、前記光源、前記共焦点光学系および前記対物レンズ光学系を前記計測対象物に対してZ方向に相対移動させる移動手段と、を備えており、前記対物レンズ光学系の開口数が0.2以上0.4以下であり、かつ、作動距離が100mm以上250mm以下の範囲であることを特徴とする3次元形状計測装置。
- 前記測定光は波長が380〜780nmの範囲のコヒーレント光であることを特徴とする請求項1記載の3次元形状計測装置。
- 前記対物レンズ光学系から出射した測定光を所定の方向に折り返して計測対象物の内面へ入射させる光学手段が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の3次元形状計測装置。
- 前記XYステージ上において計測対象物を傾斜させるための傾斜手段が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の3次元形状計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004352182A JP2006162359A (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 3次元形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004352182A JP2006162359A (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 3次元形状計測装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006162359A true JP2006162359A (ja) | 2006-06-22 |
Family
ID=36664550
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JP2004352182A Pending JP2006162359A (ja) | 2004-12-06 | 2004-12-06 | 3次元形状計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006162359A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101001853B1 (ko) | 2008-11-07 | 2010-12-17 | 고려대학교 산학협력단 | 병렬 3차원 공초점 표면형상 측정기 및 이를 이용한 표면형상 측정방법 |
CN102519358A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-06-27 | 哈尔滨工业大学 | 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法 |
-
2004
- 2004-12-06 JP JP2004352182A patent/JP2006162359A/ja active Pending
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CN102519358A (zh) * | 2011-12-26 | 2012-06-27 | 哈尔滨工业大学 | 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法 |
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