JP2006162149A

JP2006162149A - ファンフィルタユニットの取付装置

Info

Publication number: JP2006162149A
Application number: JP2004353933A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Kamiya; 佳行神谷
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-12-07
Filing date: 2004-12-07
Publication date: 2006-06-22
Anticipated expiration: 2024-12-07
Also published as: JP4729912B2

Abstract

【課題】清浄空間を必要とするクリーンルームに使用されるファンフィルタユニットにおいて、ファンフィルタユニットの取付けやフィルタ着脱を容易にすることを目的とする。
【解決手段】ファン１とモータ２を内包したチャンバ３とチャンバ３の下流側に除塵フィルタ４を配設したファンフィルタユニット５は、チャンバ３の天面部６に複数の貫通穴７を備え、固定ボルトにより貫通穴７を通して、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着した固定用ナット９に螺合することにより除塵フィルタ４はチャンバ３の天面側から固定されることにより、チャンバ３と除塵フィルタ４の分離が構造体１４上で容易になり、軽作業化、スピード化の効果を得られる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットの取付装置に関する。

従来、この種のファンフィルタユニットの取付装置は、ファンフィルタユニット構造体のチャンバ下流側に設けられる除塵フィルタと共に積層構造を成してクリーンルーム内の構造物天面に取付けられたものが知られている（例えば特許文献１参照）。

ここで、ファンフィルタユニットの取付装置について具体的な構成を図８を参照しながら説明する。

図に示すように、ファンフィルタユニット５はファン１とモータ２からなるファンユニットを内包するチャンバ３とチャンバ３の下方に着脱可能な除塵フィルタ４からなり、前記除塵フィルタ４の断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けたフィルタの上流側貫通穴１０１と下流側貫通穴１０２を設け、固定手段１０３により上流側貫通穴１０１で前記チャンバ３に固定される。また、ファンフィルタユニット５は、開口部を設けた構造物１０６の開口部天面１０４に配し、前記チャンバ３に配した本体固定金具１１により開口部縁部に固定している。また前記除塵フィルタ４の下流側貫通穴１０２は、前記チャンバ３に除塵フィルタ４固定後は、穿孔手段１０５を施している。

また、フィルタの交換やモータのメンテナンス交換などの際、ファンフィルタユニットを除塵フィルタと共に構造物から一旦メンテナンスのための作業スペースに移動し、フィルタ、モータなどをファンフィルタユニットから分離する必要がある。除塵フィルタを分離する際、一般的に除塵フィルタは本体下面よりねじ等の固定手段で固定されているので、除塵フィルタが固定された状態でファンフィルタユニットを天地逆にひっくり返し、穿孔手段を取り除き、構成部品の除塵フィルタを取り外す必要があり、着脱に有する時間と手間がかかるものであった。
特開２０００−２４４１４７号公報（［００２７］〜［００３４］、図１〜図１６）

このような従来のファンフィルタユニットの取付装置では、クリーンな環境を保つべきクリーン空間内外に人が入って除塵フィルタの交換作業をおこなうことにより、内部のクリーン環境に障害を及ぼすという課題があり、クリーン環境をできるだけ損なわずに除塵フィルタの交換作業をおこなうことが要求されている。

また、設置当初に比べ稼動時の構造物上部のメンテナンス空間は、設備のユニット化、省スペース化により縮小傾向にあり、メンテナンススペースの確保が困難なため、除塵フィルタ着脱構造に関し省スペース化が要求されている。

また、除塵フィルタの下流側貫通穴の穿孔手段は、突起物として構造物に接すため配設安定性を損なうという課題があり、ファンフィルタユニットを安定して設置できることが要求されている。

また、ファンフィルタユニットの大型化に伴い、除塵フィルタの交換作業が大掛かりになるという課題があり、除塵フィルタの大きさに係らず容易に交換できることが要求されている。

本発明は、このような従来のフィルタ着脱の課題を解決するものであり、クリーン空間でのフィルタ着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、固定部品の有効利用を図り、省力化ができるファンフィルタユニットの取付装置を提供することを目的としている。

本発明のファンフィルタユニットの取付装置は、上記目的を達成するために、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、この除塵フィルタを前記チャンバ側から固定できる固定手段を設けてなるファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、固定手段は、チャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた貫通穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、チャンバに当接して、このチャンバおよび除塵フィルタを構造物に固定する本体固定金具を有し、固定手段は、前記本体固定金具を共締めして固定してなる請求項１〜５記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、固定手段および本体固定金具の固定を解除した状態で、除塵フィルタの上方に平行移動するとともに、前記チャンバを前記本体固定金具に仮固定可能に設けた請求項６記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

また、他の手段は、解除した固定手段を流用して、チャンバを固定金具に仮固定可能とした請求項７記載のファンフィルタユニットの取付装置としたものである。

これらの手段によりクリーン空間でのフィルタ着脱を省スペースで容易にかつ短時間におこなうことができ、また、固定部品の有効利用を図り、省力化ができるファンフィルタユニットの取付装置を提供することができる。

除塵フィルタはチャンバの天面側から固定され、設置現場で除塵フィルタを着脱する作業時間の短縮ができる効果のあるファンフィルタユニットの取付装置を提供できる。

また、構造物からファンフィルタユニットを取外した際の除塵フィルタ交換時ファンフィルタユニットの姿勢を反転せずにメンテナスでき、設置場所での作業性を改善したファンフィルタユニットの取付装置を提供できる。

また、除塵フィルタ下流面に貫通穴を設ける必要がないので、エアリークを防ぐための後加工が不要になり、さらに構造体を安定して設置できるファンフィルタユニットの取付装置を提供できる。

また、チャンバ部を本体固定金具に仮置きすることで、構造物に配置したファンフィルタユニットの一部を移動するだけで、除塵フィルタを着脱できるという効果のあるファンフィルタユニットの取付装置を提供できる。

本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、この除塵フィルタを前記チャンバ側から固定できる固定手段を設けたファンフィルタユニットの取付装置としたものであり、除塵フィルタの上にチャンバを重ねた姿勢のままでチャンバの天面側より除塵フィルタが固定できるという作用を有する。

本発明の請求項２記載の発明は、固定手段をチャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトとしたものであり、チャンバの貫通穴に上から固定用ボルトを通し、除塵フィルタ枠部に設けた固定用ナットに螺合させて固定するという作用を有する。

本発明の請求項３記載の発明は、固定手段をチャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた固定用穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじとしたものであり、チャンバのＬ形フランジの固定用穴に上から固定ねじを通し、除塵フィルタ枠部に設けた固定用ナットに螺合させて固定するという作用を有する。

本発明の請求項４記載の発明は、固定手段をチャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットとしたものであり、除塵フィルタ枠部から上方に向けて固定した固定用ボルトに、チャンバの貫通穴を合わせて通し、固定ボルトの先端に固定ナットを締め付けて固定するという作用を有する。

本発明の請求項５記載の発明は、固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなるものとしたものであり、除塵フィルタ枠部に固定した固定ナットに、チャンバの貫通穴を通した固定用ねじ棒の下端部を螺合させて固定し、さらに固定用ねじ棒の上端を第２の固定用ナットで締め付けて固定するという作用を有する。

本発明の請求項６記載の発明は、チャンバに当接して、このチャンバおよび除塵フィルタを構造物に固定する本体固定金具を有し、固定手段は、前記本体固定金具を共締めして固定したものであり、チャンバと除塵フィルタを固定する固定手段の着脱操作で本体固定金具を着脱可能として、構造物とファンフィルタユニットの固定・分離が同時にできる作用を有する。

本発明の請求項７記載の発明は、固定手段および本体固定金具の固定を解除した状態で、除塵フィルタの上方に平行移動するとともに、前記チャンバを前記本体固定金具に仮固定可能に設けたものであり、チャンバを持ち上げて除塵フィルタの間に空間を設け、除塵フィルタのみを挿脱できるという作用を有する。

本発明の請求項８記載の発明は、解除した固定手段を流用して、チャンバを固定金具に仮固定可能としたものであり、チャンバ固定用手段をチャンバの仮固定に流用することにより、部品を有効活用できるという作用を有する。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモータ２を内包したチャンバ３とチャンバ３の下側に除塵フィルタ４を配設した形でファンフィルタユニット５を構成している。チャンバ３と除塵フィルタ４の固定手段として、チャンバ３の外周寄りの天面部６と底面部６Ａに対面して設けた複数の貫通穴７と除塵フィルタ４の断面略Ｃ形状または□形状の枠部４ａに固着された固定用ナット９と、貫通穴７を貫いて固定用ナット９に螺合する固定用ボルト８を有している。

上記構成において除塵フィルタ４の上にチャンバ３を重ねて配置し、固定用ナット９をチャンバ３の貫通穴７に上方から挿入し、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着された固定用ナット９に螺合することにより、チャンバ３に除塵フィルタを固定することができるものである。

（実施の形態２）
図２に示すようにチャンバ３の側面部３ａにＬ形フランジ３ｂを有し、Ｌ形フランジ３ｂに複数の貫通穴７を備えている。固定ねじ８ａはフランジ部分３ｂの貫通穴７を貫き、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着された固定用ナット９に螺合できるようになっている。

上記構成において除塵フィルタ４の上にチャンバ３を重ねて配置し、固定ねじ８ａをＬ形フランジ３ｂの貫通穴７に上方から挿入して、除塵フィルタ４の枠部４ａに固定された固定用ナット９に螺合させて、容易に固定できるものである。

（実施の形態３）
図３に示すように除塵フィルタ４の枠部４ａに複数の固定用ボルト８を上向きに固着している。チャンバ３の天面部６に対面する複数の貫通穴７を備え、固定用ボルト８に嵌入可能に設けている。除塵フィルタ４にチャンバ３を重ねたあと、ナット９を締め付けてチャンバ３に除塵フィルタ４が固定されるようになっている。

上記構成において除塵フィルタ４にチャンバ３を重ねるときは、固定用ボルト８に沿ってチャンバ３の貫通孔７が移動するので、位置決めが確実に行え、安全で正確な接合作業ができるものである。

（実施の形態４）
図４に示すように除塵フィルタ４の枠部４ａに複数の固定用ナット９を固着し、複数の固定用ねじ棒１０を固定ナット９に螺合すると、ねじ棒１０は所定高さで保持されるようになっている。チャンバ３の天面部６に複数の貫通穴７を備え、チャンバ３の天面部６の貫通穴７から突き出た固定用ねじ棒１０の先端に第２の固定用ナット９を締め付けてくと底面部６Ａ、チャンバ３に除塵フィルタ４が固定される。

上記構成において除塵フィルタ４にチャンバ３を重ね、チャンバ３の天面部６側から固定用ねじ棒１０を、貫通穴７を通して固定ナット９に螺合させて、所定高さに固定する。次に天面部６の上に突出した固定用ねじ棒１０の上端に第２の固定ナット９ａを締め付けることにより、チャンバ３と除塵フィルタ４を固定することができる。これにより、着脱可能な固定用ねじ棒１０は分離するとき除塵フィルタ４から取外して小型化でき、接合時は除塵フィルタ４から突き出してチャンバ３を容易に取付けることができる。

（実施の形態５）
図５に示すようにチャンバ３と除塵フィルタ４の側方に密接して、少なくとも４個の本体固定金具１１を設け、本体固定金具１１は除塵フィルタ４が載置される構造物１４に脚部１１ａで固定される。チャンバ３の上端面に、固定金具１１と連結されるＬ形固定金具１２の結合穴１２ａを形成している。固定ボルト８はＬ形固定金具１２の結合穴１２ａとチャンバ３の上下２ヶ所の貫通穴７を通して、除塵フィルタ４の固定用ナット９に螺合することにより、チャンバ３に除塵フィルタ４を固定するとともに、チャンバ３と除塵フィルタ４の両者を構造物１４に固定できるようになっている。

上記構成において、設置時は除塵フィルタ４を構造物１４の所定位置に載置し、さらにチャンバ３を穴位置を合わせて除塵フィルタ４に重ね、本体固定金具１１をチャンバ３と除塵フィルタ４の側方に密接して脚部１１ａを構造物に固定する。次にチャンバ３の天面部６の貫通穴７にＬ形固定金具１２の結合穴１２ａを位置合わせして、本体固定金具１１と結合する。さらに、固定用ボルト８を結合穴１２ａ、上下の貫通穴７の順に通して、除塵フィルタ４の枠部４ａに固着した固定用ナット９に螺合させる。これにより、チャンバ３への除塵フィルタ４の固定と、チャンバ３と除塵フィルタ４を構造物１４へ固定するのが同時に行うことができ、また分離することも簡単に行うことができる。

（実施の形態６）
図６に示すように、本体固定金具１１を除塵フィルタ４とチャンバ３に密接すると共に脚部１１ａを構造物１４に固定している。また、Ｌ形固定金具１２と固定用ボルト８は分離して取り除き、チャンバ３を上方に平行移動し、保持用部品１３を本体固定金具１１に設けた支持穴（図示せず）に挿入することにより、図６で示すように、チャンバ３を仮固定できるようになっている。

上記構成において、除塵フィルタ４を交換するときは、Ｌ形固定金具１２と固定用ボルト８を取り外し、チャンバ３を上方に引き上げて保持用部品１３を挿入することで仮固定することにより、除塵フィルタ４を構造物１４に沿って引き出すことができる。このようにチャンバ３を少し移動するだけで、簡単に除塵フィルタ４の交換作業を行うことができる。

（実施の形態７）
図７に示すように、実施の形態６で説明した保持用部品１３の代わりに、固定用ボルト８を本体固定金具１１の支持穴（図示せず）に挿入して、チャンバ３を仮固定できるようにしている。

上記構成において、除塵フィルタ４を交換するときは、チャンバ３を上方に平行移動したときに、先に取り外した固定用ボルト８を本体固定金具１１の支持穴（図示せず）に挿入して、チャンバ３を仮固定することにより、不使用部品を有効利用して、部品点数を削減できるとともに、不使用時に紛失することを防ぐことができる。

立壁面をなす構造物にファンフィルタユニットを取付けた場合に、除塵フィルタの交換に際して、チャンバのみをスライドして仮固定することにより、設置方向の異なるフィルタの交換作業の用途に適用できる。

本発明の実施の形態１の構成を示す断面図本発明の実施の形態２の構成を示す断面図本発明の実施の形態３の構成を示す断面図本発明の実施の形態４の構成を示す断面図本発明の実施の形態５および６の構成を示す断面図本発明の実施の形態７の構成を示す断面図本発明の実施の形態８の構成を示す断面図従来の実施の形態を示す断面図

符号の説明

１ファン
２モータ
３チャンバ
３ｂＬ形フランジ（固定手段）
４除塵フィルタ
４ａ枠部
５ファンフィルタユニット
７貫通穴（固定手段）
８固定用ボルト（固定手段）
８ａ固定ねじ（固定手段）
９固定用ナット（固定手段）
９ａ第２の固定用ナット（固定手段）
１０固定用ねじ棒（固定手段）
１１本体固定金具
１４構造物

Claims

ファンとモータからなるファンユニットを内包するチャンバと、このチャンバの下方側に設けた除塵フィルタを有し、この除塵フィルタを前記チャンバ側から固定できる固定手段を設けてなるファンフィルタユニットの取付装置。
固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに螺合する固定用ボルトからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置。
固定手段は、チャンバの側方に延設したＬ形フランジと、このＬ形フランジに設けた貫通穴と、除塵フィルタ断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットに螺合する固定ねじからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置。
固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部から上方に突出して設けた固定用ボルトと、前記貫通穴を通した前記固定用ボルトに螺合する固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置。
固定手段は、チャンバに設けた貫通穴と、除塵フィルタの断面略Ｃ形状または□形状の枠部に設けた固定用ナットと、前記貫通穴を通した前記固定用ナットに下端部で螺合する固定用ねじ棒と、この固定用ねじ棒の上端部に螺合する第２の固定用ナットからなる請求項１記載のファンフィルタユニットの取付装置。
チャンバに当接して、このチャンバおよび除塵フィルタを構造物に固定する本体固定金具を有し、固定手段は、前記本体固定金具を共締めして固定してなる請求項１〜５記載のファンフィルタユニットの取付装置。
固定手段および本体固定金具の固定を解除した状態で、除塵フィルタの上方に平行移動するとともに、前記チャンバを前記本体固定金具に仮固定可能に設けた請求項６記載のファンフィルタユニットの取付装置。
解除した固定手段を流用して、チャンバを固定金具に仮固定可能とした請求項７記載のファンフィルタユニットの取付装置。