JP2006159188A - コイルと可動体とを有する携帯機器用振動装置の駆動方法 - Google Patents

コイルと可動体とを有する携帯機器用振動装置の駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】携帯用機器の振動素子の可動質量を、振動素子のコイルに提供される一連の電圧パルスにより振動させる方法において、過電圧を防止し、高調波を除去する。
【解決手段】振動素子の開始位相の後で、共振周波数測定位相の前の、可動質量の振動を駆動する位相において、交互の極からなる連続する矩形電圧パルスが、駆動回路からコイルに提供される。連続する電圧パルスの幅は、各連続する振動周期の間、類似の方法で変調される。これにより、所定振幅のサイン波形の電圧Sが規定され、その基本周波数は、可動質量の共振周波数に適合する。振動周期を変えることにより、矩形パルス幅変調により規定されたサイン波形の振幅に依存して可動質量の振動の振幅に作用を及ぼすことが可能となる。
【選択図】図3

Description

本発明は、携帯機器の振動装置を駆動する方法に関する。振動装置は、可動体を振動させるために、この可動体に電磁気学的に結合された管状コイルを有する。この振動装置は、電話の着呼を示すサイレント・モードとして用いられる。
小型の携帯機器(例えば携帯電話、従来のオーガナイザー、ポケベルあるいは腕時計)に適合するようなサイレント・アラームの機能を満たす振動装置のいくつかの従来実施例が存在する。この振動装置の少なくとも1個のコイルを電気的に活性化して、可動体を振動させ、このような携帯機器を装着する人に、低周波の振動を与える。
一般的にコイルに加えられる電気信号の周波数を、振動装置の可動体の固有の機械的振動周波数に対応するよう調整する。かくして最大の振動振幅が最小の供給エネルギーで得られる。この装置の振動は、携帯用機器を、特定のプログラムで制御して、特定の事象(例えばアラーム時間、電話の着信等)を使用者に知らせる。
特許文献1は、このような振動装置を駆動する方法を開示している。振動装置は、永久磁石を有する可動体と可動体に電磁気学的に結合されたコイルとを有し、この可動体を振動させる。可動体を振動させるために、振動装置の開始フェーズの後、駆動回路は振動装置のコイルに、交番の極からなる所定の長さの矩形の駆動電圧パルスを供給する。駆動パルスの振幅は、駆動回路に電力を供給するバッテリ電圧にほぼ対応する。
国際公開パンフレット第02/46847号 ヨーロッパ特許第0625738号明細書
各駆動電圧パルスの間、コイルは電気的に切断される。すなわち、高インピーダンス状態に置かれる。この状態においては、コイルは、振動体の永久磁石の動きに起因した誘導電圧を供給する。共振周波数の測定が、駆動回路の誘導電圧のゼロ通過点(zero crossing)で行われ、コイルに供給される矩形駆動パルスの周期を調整する。
このような駆動方法の欠点は、コイルが高インピーダンス状態に置かれて電気的に切断された時に、過電圧が、その時定数はコイルの特性に依存するが、観測されることである。この過電圧は、電磁駆動回路あるいは供給回路に損傷を与えることがある。さらに、この過電圧により、周波数を測定する前に長期のアイドル期間が、これは、数百マイクロ秒のオーダーであるが、観測され、偶発的なゼロ点通過(zero crossing)を検出できない。このアイドル期間は、観測されると、振動周波数を低い値に制限してしまう。それ故に、適宜の手段で、回路の増幅器コンパレータの入力点あるいはコンパレータの出力点のいずれかで、過電圧をフィルタ除去する必要がある。これは、駆動回路に、可動体の振動を駆動する機能を具備する付加的な電子構成部品を具備させる必要があり、これにより回路の製造を複雑にしてしまう。
特許文献1の駆動方法の別の欠点は、駆動電圧パルスが、基本周波数fと、高調波周波数f、fから形成されることである。高調波周波数は、電力の損失と無駄な力(stray force)を引き起こし、振動体の有効駆動力を打ち消すものである。従って、より高い電力消費が観測される。所定のバッテリ電圧の場合には、矩形駆動パルスに対する基本周波数信号の振幅は、バッテリ電圧の1/3以下の電圧レベルであり、より高い値には適合できない。
本発明の目的は、前記の欠点を解決することである。本発明の方法は、装置のコイルに供給される電気信号を用いて振動装置を駆動する。振動装置の可動体の振動を駆動するフェーズの間、過電圧を防止する。さらに、基本周波数の高調波(harmonics)、特に低次高調波は、電気信号を介して除去する。その理由は、コイルの供給される電気信号の基本成分のみが有効な力を与えるからである。
本発明は、前記の振動装置を駆動する方法に関する。本発明は、特に、可動体の周期的振動を駆動するフェーズにおいて、交番の極からなる連続する矩形電圧パルスを前記コイルに与えるステップを有し、前記ステップは、前記振動装置のコイルの端子に接続された駆動回路を用いて、各矩形電圧パルスの間干渉することなく行う。前記連続する矩形電圧パルスの幅は、所定振幅のサイン電圧波形を規定するよう、各連続する振動周期の間、変調し、その基本周波数は、可動体の共振周波数に適合する。
本発明の方法の利点は、各振動周期の間、交番の極からなる電圧パルスの幅変調は、疑似サイン(pseudo-sinusoidal)基本周波数信号に近づくことである。従って、各振動周期に前記電圧パルスを調整してサイン波形(sinusoido wave)を規定することにより、基本周波数の高調波を取り除くことができる。主に低次の高調波(3、5、7、9)は、好ましくない力を生成するため、除去する。
可動体が、振動装置の固定コイルに対しサイン波形の動きをするために、矩形の変調した幅を有する電圧パルスを配列することにより規定されたサイン波形で、前記コイルに電力を与えるのが好ましい。このサイン波形の基本周波数は、可動体の共振周波数に適合する。かくして、好ましくない力の高調和と電力消費を避けることができる。
振動装置のコイルにサイン波形の電圧を直接加えることのできる駆動回路を形成することは困難であるので、連続する矩形電圧パルスを配列することにより、所望の電圧波形をより遙かに容易に形成できる。
各パルス間を干渉せずに、コイルに矩形電圧パルスを与えることにより、周期的な可動体振動の駆動フェーズの間、過電圧は発生せず、これはまた別の利点である。この規定されたサイン波形の振幅は、可動体と駆動回路への供給電圧に近い値の間の各振動周期の間、パルス幅変調の関数として調整できる。かくして、可動体の振動振幅は、交番の極からなる連続する電圧パルスにより調整できる。特許文献1に開示された駆動方法に比較して、このような電力コイル供給信号でもって、電力消費に対して利点が得られる。
好ましくは、高調波を除去するために、交番の極からなる連続する矩形電圧パルスは、半周期の中間点に対して左右対称(even symmetry)となり、そして全周期の中間点に関しては、符号が反対で左右対称(uneven symmetry)となる。振動周期当たり14個の電圧パルスが振動装置に供給され、少なくとも3次と5次の高調波を取り除く。
以下の説明において、駆動回路と振動装置を構成する全ての要素は当業者に公知であるので、簡単に説明する。好ましくは、振動装置と駆動回路は、小型の形態機器、例えば腕時計に適用され、振動装置の可動体を振動させることにより、サイレント・モードを提供する。
図1において、駆動回路1は、本発明の振動装置を駆動する方法を実行するものであり、少なくとも1個の永久磁石を具備した可動体と管状コイルとを有する。このコイルは、参照番号Lで図1に示す。図1において、コイルLは2つの端子B1、B2を介して、スイッチング要素N1、N2、P1、P2に接続され、これにより以下に説明するH型ブリッジを形成する。
電力を供給するために、駆動回路1は、2つの端子VBAT、VSSを介して電源(図示せず)に接続される。この電源は、好ましくは例えば3Vの連続電圧を供給できるものである。振動装置が振動すると、コイルLの第1端末B1と第2端末B2は、ゼロ電圧(接地Vss)または電圧VBATになるが、これはスイッチング要素N1、N2、P1、P2の状態に依存する。
スイッチング要素は、好ましくは4個のMOSトランジスタN1、N2、P1、P2で形成され、これによりHブリッジを形成して、振動装置が2極モードで制御される。Hブリッジは、第1ブランチと第2ブランチとを有し、それらは、それぞれトランジスタN1、P1と、トランジスタN2、P2とを有する。これらのトランジスタは、電圧VBATとVSSの間に直列に接続される。トランジスタP1、P2は、P型MOSトランジスタであり、トランジスタN1、N2は、N型MOSトランジスタである。図1からわかるように、コイルLの第1端末B1は、トランジスタN1、P1の接続点に接続され、第2端末B2は、トランジスタN2、P2の接続点に接続される。
トランジスタP1、N1、P2、N2のゲートは、それぞれ、論理回路3により生成される信号A、B、C、Dにより制御される。
可動体の振動、すなわち可動体の共振周波数を測定するために、駆動回路は、差分増幅器から構成されるコンパレータ2を有する。この周波数は、132−138Hzの間にある。これを行うために、コイルLの第1端末B1と第2端末B2は、それぞれ、コンパレータ2の非反転端子(+)と反転端子(−)に接続される。このコンパレータ2は、コイルLが高インピーダンス状態にある時には、コイルLの端子B1、B2の間で測定される可動体からの振動誘導電圧を増幅し、出力点にそれを戻す。
この振動誘導電圧は、論理回路3の入力点に加えられ、HブリッジのトランジスタN1、N2、P1、P2に必要な制御信号A、B、C、Dを生成する。この制御信号は、コイルLの少なくとも1個の矩形開始電圧パルスと、可動体の周期振動駆動フェーズにおいて変調された幅の、連続した交番の極からなる矩形電圧パルスとを生成しなければならない。他方で、論理回路3は、コンパレータ2から得られた誘導電圧周波数の測定を行う。
論理回路3の製造方法についてはここでは触れない。当業者はヨーロッパ特許出願第0938034号を参照して、駆動回路1を論理回路3で製造するのに必要な情報を得ることができる。
図1に示すように、駆動回路1は、切り換え可能な電圧デバイダ(switchable voltage divider)を有し、このデバイダがコンパレータ2の反転入力(−)端子に所定の電圧をかける。この電圧デバイダは、ここでは抵抗デバイダ(resistive deivider)の形を採るが、可動体の振動誘導電圧が共振周波数測定フェーズで観測された時に、所定電位にコンパレータ2の負入力を固定する手段を形成する。この周波数測定は、コイルLを高インピーダンス状態に配置した時、すなわちトランジスタN1、N2、P1、P2が非導通状態にある時に行われる。この抵抗デバイダは、他のフェーズでは非動作状態(key on)にある。
より具体的には、抵抗デバイダは、電圧VBATとVSSの間で、第1P−MOSトランジスタP3と、第1抵抗Rと、第2抵抗Rと、第2N−MOSトランジスタN3の直列接続を含む。抵抗RとRの接続点は、コンパレータ2の反転入力(−)端子に接続され、トランジスタP3、N3のゲートは、論理回路3に接続される。
この実施例においては、コンパレータ2の反転入力(−)端子の電位を、VBAT/2に等しい電圧に、等しい抵抗値の抵抗R、Rを用いて、設定できる。コイルLが高インピーダンス状態にある時、HブリッジのトランジスタN1、N2、P1、P2が全て非導通状態にある時には、抵抗デバイダは、トランジスタP3、N3を活性化することにより、スイッチオンされ、VBAT/2に等しい電圧がコンパレータ2の反転入力(−)端子にかかる。従って、誘導電圧の平均値は、このレベル、VBAT/2に固定される。
可動体の振動誘導電圧をVBAT/2レベルを基準にすることにより、振動誘導電圧は常に正で、ピーク間振幅は電圧VBAT以下である。この実施例においては、振動誘導電圧は、所定周期でサンプリングされる。振動誘導電圧の平均値をVBAT/2レベルに固定することにより、全ての信号サンプルは正となる。
抵抗デバイダの使用は必ずしも必要なものではない。VBAT/2とは異なる平均値を抵抗デバイダで固定することができる。ここに示した実施例は、コンパレータ2の出力点で生成される信号をデジタル処理を実行する時に、特に好ましい。
振動周波数測定フェーズにおいては、前述したものとは異なる測定手段を用いることができる。電流測定操作は、最低電流値を得るために、スキャニングでも実行可能である。
図2は本発明の駆動方法を実行するために、振動装置の振動を開始させるさまざまなフェーズを示す。具体的には、振動装置コイルの端子の電圧VB12の展開を時間を軸に説明する。第1フェーズ(開始フェーズと称する)においては、矩形の開始電圧パルスがコイルに加えられる。
この第1(開始)フェーズは、可動体を振動状態に設定するが、その後第2フェーズ(周波数測定フェーズ)が続く。この周波数測定フェーズの間では、装置の可動体は自由振動状態に置かれる。この第2フェーズの間、装置は自然振動周波数(以下、共振周波数fと称する)で振動する。この共振周波数fは、第2フェーズの間、誘導電圧の振動周期Tを決定することにより測定できる。これは、平均振動誘導電圧レベルの交差をベースにして行われる。別法として、信号の半周期の振動を測定して行ってもよい。
この第2(周波数測定)フェーズは、必ずしも必要なものではない。その理由は、公称周期Tは必要によっては予め固定することができるからである。共振周波数値は、携帯機器(例えば腕時計)の装着状態と粘着摩擦係数(viscous friction coefficient)に依存するので、駆動回路を用いてそれを測定するのが好ましい。この測定により、コイルに加えられる矩形電圧パルスの組の振動周期の調整が可能となる。
振動周期Tが決まると、あるいは一定となると、振動装置は、第3フェーズ(可動体の周期的振動駆動フェーズ)に入り、このフェーズは、振動装置が振動する必要がなくなるまで続く。この第3フェーズの間、交番の極からなる連続する矩形電圧パルスがコイルに供給される。このパルスの幅は変動するか、疑似サイン基本周波数電圧波形を規定する振動周期により変調される。この基本周波数は、振動装置の可動体の共振周波数に対応するものと見なされる。
図3は、交番の極からなる電圧パルスの幅の変化を表す。この電圧パルスは、本発明の駆動方法を実行するために可動体の各振動周期の間コイルに加えられる。このパルス幅変調は、振動装置がもはや振動しなくなるまでの振動周期の全ての間、同一である。このグラフは、0−360°の角度で規定される振動周期Tを示す。各パルスの符号の反転は、0°−360°の間の特定の角度で行われる。測定された共振周波数は、携帯機器の装着状態により変動する。しかし、第2フェーズの周波数測定の後は、共振周波数は、理論的には、振動装置の振動の全幅(全長)に対して決定される。
本発明により振動装置を駆動するために、2次以上の高調波周波数を除去し、基本振幅をモニターする。前述したように、3次、5次、7次およびそれ以上の高調波は、コイルの破損と振動装置の鉄部分の破損の原因となる。これらの高調波を除去し、基本周波数電圧波形を観測することにより、所望の振幅のサイン波形電圧に近づくことができる。
簡単な方法で、特定の3次高調波5次高調波を、図2に示すパルス幅変調あるいは疑似変調により、0−360°の角度で規定される所定の振動期間にわたって除去することができる。振動周期は、各T/2即ち180°の間では、その半分の周期T/4即ち90°の中間点で、左右対称(even symmetry)となっている。この振動全周期は、振動全周期の中間点、すなわちT/2または180°で、符号が反対で対称となっている(uneven symmetry)。最初の半周期においては、連続する矩形のパルスの符号の反転は、角度値α1、α2、α3、(180°−α3)、(180°−α2)、(180°−α1)で、発生する。後半の半周期においては、最初の半周期の角度をベースに規定されるが、逆の極性のパルスである。この波形により、所定の基本周波数波形振幅を得ながら、個別の高調波を取り除くことができる。
以下の表においては、さまざまな角度値がカーブSにより表される基本周波数サイン波形の所望の振幅の関数として示されている。基本振幅は、選択された角度値によって、バッテリ電圧の1.06倍から0.5倍の間で変動する。
基本振幅 1.06 1.00 0.95 0.9 0.85 0.80
角度α1° 7.887051 16.81522 18.00331 18.75188 19.35348 19.8853
角度α2° 26.97772 45.83502 50.54754 52.92703 54.26793 55.04801
角度α3° 26.97772 45.83592 50.54754 52.92703 54.26793 55.04801
基本振幅 0.75 0.70 0.65 0.60 0.55 0.50
角度α1° 20.37667 20.841 21.28521 21.71332 22.12769 22.52973
角度α2° 55.4881 55.70542 55.7681 55.71848 55.5843 55.38451
角度α3° 64.93273 66.18637 67.29332 68.29485 69.21674 70.07847
基本振幅(すなわち交番の極からなる矩形の電圧パルスの幅変調により規定されたサイン波形の振幅)を選択することにより、振動装置の可動体の振動振幅を調整できる。これは、携帯機器(例えば小型の腕時計)のある種の構造においては、好ましいものである。所望の基本振幅の関数として決定された角度の表でもって、振動周波数値の関数として3点ルール(rule of three)を用いて、各パルスの幅時間を計算を容易にできる。この振動周波数は、125−140Hzの範囲、より好ましくは135Hz台に設定される。
図4a、4bは、本発明の駆動方法を実行する振動装置10の実施例を示す。振動装置10は、ハーフ・ヴォイス・コイル型(Voice Coil Type)である。振動装置10は、管状平坦コイルLを有し、このコイルLは一端で非磁性構造体5に取り付けられ、その下に2個のコイル接続端子B1、B2を有する。これらの装置は、磁性構造体である可動体13a、13b、6、15を有する。この磁性構造体は、スプリング14を用いてコイルと機械的に接触することなく、非磁性構造体に取り付けられる。
可動体の磁性構造は、強磁性プレート6を有する。、その上に2個の隣接する永久磁石である可動体13a、13bが、それぞれコイルの2個の半径方向に対向する部分に面して、取り付けられる。ただし可動体13a、13bの磁化方向は反対方向である。この永久磁石により磁界Bが生成され、それは、軸Yに沿った方向で強磁性プレート6内に導かれる。コイルに連続した矩形電圧パルスが加わると、コイルの部分を通過する電流は軸Zの方向で磁界Bに直交する。従って、軸Xに沿った方向にラプラスの力が生成されて、可動体は、図で示すO+、O−の方向にコイルLの軸に対し垂直面で、振動する。
より大きな可動体を得るために、補助プレート15が強磁性プレート6の上に配置される。この補助プレート15は真鍮あるいはタングステン製である。
スプリング14は、可動体を保持するが、ベースストリップ14cと、2個の帯状スプリング14a、14bとを有する。ベースストリップ14cは、2個のネジ部材17により非磁性構造体5上の非磁性構造体5’を介して取り付けられる。2個の帯状スプリング14a、14bは、ベースストリップ14cと一体で、ベースストリップ14cの両側に配置される。帯状スプリング14a、14bは、ベースストリップ14cに対して直角に配置され、スプリング14は、断面がU字型を形成する。端部ストリップ(図示せず)が、帯状スプリング14a、14bの端部をベースストリップ14cに対向して接続する。この端部ストリップは、強磁性プレート6がその上に固定されるが、ベースストリップ14cに対し平行な面内に配置される。
強磁性プレート6と補助プレート15は、帯状スプリング14a、14bの間に配置されるが、帯状スプリングと直接接触しているか否かを問わない。好ましくは、強磁性プレート6と補助プレート15の高さは、帯状スプリング14a、14bの高さより低い。帯状スプリング14a、14bは、それぞれ、2個の軸方向に横切るスロット8を有する。このスロット8は、振動装置の理論的共振周波数に合わせた大きさである。この周波数調整により、振動装置の駆動回路は比較的単純設計となる。
図4a、4bに示された振動装置においては、コイルのインダクタンスは、特許文献2に記載された強磁性体支持組立体に搭載されたコイルよりも遙かに小さい。インダクタンスの値は1−1.5mH台であり、強磁性体支持組立体に搭載されるコイルの場合のインダクタンスの値は50mH台である。相互磁性コイルフラックスに主にリンクされた誘導電圧は、この低いインダクタンスよりもさらに低く、振動周波数測定フェーズの間のコイルにかかる過電圧は、遙かに小さく、駆動回路に損傷を与えることがない。腕時計に特に適合した振動装置の寸法は、10mm(長さ)×4mm(幅)×2mm(高さ)である
本発明の駆動方法は、特許文献2に開示された振動装置にも適用可能である。本発明の振動装置の駆動方法においては、駆動回路を如何なるフィルター装置にも適合させる必要がなく、駆動回路の製造が単純化され、電力消費量を減らすことができる。
上記の記載に基づいて、当業者は特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、振動媒体を駆動する方法のさまざまな変形例を思い至ることもできる。コイルは、振動周波数を再調整するために、振動駆動フェーズ間、高インピーダンス状態に置かれる。基本サイン波形の周期の間、より大きな数の変調パルスが提供され、高次の高調波を除去できる。異なる極性の複数個の連続する矩形パルスが、コイルを高インピーダンス状態に置く前に、開始フェーズで与えられる。
以上の説明は、本発明の一実施例に関するもので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。特許請求の範囲の構成要素の後に記載した括弧内の番号は、図面の部品番号に対応し、発明の容易なる理解の為に付したものであり、発明を限定的に解釈するために用いてはならない。また、同一番号でも明細書と特許請求の範囲の部品名は必ずしも同一ではない。これは上記した理由による。
本発明の駆動方法を実行する振動装置の駆動回路を表す図。 本発明の駆動方法を実行するために、振動装置の可動体を振動させる異なるフェーズの時間にわたって、コイルの端子にかかる電圧のグラフ。 本発明の駆動方法を実行するために、ある可動体の振動期間の間、コイルに加えられる電圧パルスの幅の変化を表すグラフ。 本発明の駆動方法を実行するために、振動装置の一実施例の斜視図。 本発明の駆動方法を実行するために、振動装置の一実施例の側面図。
符号の説明
1 駆動回路
2 コンパレータ
3 論理回路
5、5’非磁性構造体
6 強磁性プレート
8 スロット
10 振動装置
13a,13b 可動体
14 スプリング
14a,14b 帯状スプリング
14c ベースストリップ
15 補助プレート
17 ネジ部材

Claims (6)

  1. 携帯用機器の振動装置(10)を駆動する方法において、
    前記振動装置(10)は、可動体(6、13a、13b、15)と前記可動体を振動させるために、前記可動体に電磁気的に接続されたコイル(L)とを有し、
    可動体の周期的振動を駆動するフェーズにおいて、
    (A) 交番の極からなる連続する矩形電圧パルスを前記コイルに与えるステップ
    を有し、
    前記ステップ(A)は、前記振動装置(10)のコイルの端子(B1、B2)に接続された駆動回路(1)を用いて、各矩形電圧パルスの間干渉することなく行い、
    前記連続する矩形電圧パルスの幅は、所定振幅のサイン電圧波形(S)を規定するよう、各連続する振動周期の間、変調し、サイン電圧波形の基本周波数は、可動体の共振周波数に適合する
    ことを特徴とする携帯機器の振動装置の駆動方法。
  2. 前記駆動回路は、
    (X) 第1ブランチに、電圧源の第1と第2の電力供給端末(VBAT、VSS)の間に直列に接続された、第1と第2のスイッチング要素(P1、N1)と、
    (Y) 第2ブランチに、前記2つの電力供給端末の間に直列に接続された、第3と第4のスイッチング要素(P2、N2)と、
    前記スイッチング要素とコイルでHブリッジを形成し、
    前記コイルの第1端末は、第1と第2のスイッチング要素の接続点に接続され、
    前記コイルの第2端末は、第3と第4のスイッチング要素の接続点に接続され、
    (Z) 制御信号(A、B、C、D)を前記スイッチング要素に供給する論理回路(3)と
    を有し、
    前記第1と第4のスイッチング要素(N1、P2)と、第2と第3のスイッチング要素(N2、P1)とを交互に開き、交番の極からなる連続する矩形電圧パルスを前記コイルに提供し、
    交番の極からなる連続する矩形電圧パルスの振幅は、前記電圧源により提供される連続する電圧値に等しく、
    交番の極からなる連続する矩形電圧パルスの幅は、各振動周期の間、可動体の振動振幅を規定された基本周波数のサイン波形の電圧の振幅の関数として、調整し、
    前記振幅を、携帯機器の装着者の条件に適合させて、粘着摩擦係数(viscous friction coefficient)の増減があった時に、基本周波数波形振幅を増減させる
    ことを特徴とする請求項1記載の駆動方法。
  3. 交番の極からなる連続する矩形電圧パルスは、
    振動半周期の中間点で、左右対称であり、
    振動全周期の中間点で、符号が異なるが左右対称である
    ことを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の駆動方法。
  4. 最初は停止していた可動体の振動開始フェーズにおいて、
    (B) 矩形の電圧パルスを提供するステップ
    をさらに有し、
    前記矩形開始パルスの終了時に、コイル(L)を駆動回路(1)により高インピーダンス状態にし、
    少なくとも1個の永久磁石(13a、13b)を有する可動体(6、13a、13b、15)の振動周波数を、コイルに対し可動体の動きにより生成されたコイル内の誘導電圧により測定する
    ことを特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の駆動方法。
  5. 可動体の周期的振動を駆動するフェーズにおいて、
    (C) 前記振動装置(10)のコイル(L)に、各振動周期の間、交番の極からなるN個の連続するパルスを提供するステップ
    をさらに有し、
    Nは6以上の偶数である
    ことを特徴とする請求項1−3のいずれかに記載の駆動方法。
  6. 交番の極からなる14個の連続する矩形電圧パルスが、前記コイルに0−360°の所定の振動周期の間、提供され、
    第1パルスと第2パルスの間の第1回目の符号反転は、振動周期の開始時から、角度α1の時に発生し、
    第2パルスと第3パルスの間の第2回目の符号反転は、角度α1以上の角度α2で発生し、
    第3パルスと第4パルスの間の第3回目の符号反転は、角度α2以上で90°未満の角度α3で発生し、
    第4パルスと第5パルスの間の第4回目の符号反転は、(180°−α3)の角度で発生し、
    第5パルスと第6パルスの間の第5回目の符号反転は、(180°−α2)の角度で発生し、
    第6パルスと第7パルスの間の第6回目の符号反転は、(180°−α1)の角度で発生し、
    180°−360°で規定される後半の半周期の8番目から14番目のパルスは、角度180°に対し、最初の半周期とは異なる符号で左右対称にすることにより得られる
    ことを特徴とする請求項5記載の駆動方法。
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