JP2006142204A - インクジェット塗布方法、表示機器の製造方法及びインクジェット塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 インクジェットヘッドの各ノズルにインク液滴の噴射を行わせることにより、いずれかのノズルが詰まってしまうことを回避する。
【解決手段】 インクジェット塗布方法における空打ちでは、ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のノズルグループに分類し、ノズルグループに属する各々のノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射させるとともに、噴射のタイミングをノズルグループに応じて異ならせることにより、ノズルからインク液滴を噴射させる噴射タイミング制御処理Ｓ１０−２と、インク液滴が噴射しない程度にノズルを振動させる振動制御処理Ｓ１０−１とを交互に少なくとも１回繰り返す。
【選択図】 図１５

Description

本発明は、インクの液滴を噴射して塗布対象にインクを塗布するインクジェット塗布方法、表示機器の製造方法及びインクジェット塗布装置に関する。

従来、パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として例えば、液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置を用いて、透明基板上の各ドットにR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。

このような表示装置の製造工程においては、インク液滴を噴射するためのノズルを有するインクジェットヘッドを塗布対象である基板の塗布開始位置に対向する位置まで移動させた後、インクジェットヘッド及び基板の相対位置を移動させながら、所定の塗布位置でノズルからインク液滴を順次噴射して塗布させるようになされている。ここで、インク液滴の噴射は、例えば、以下のようにして行われる。インクジェット塗布装置において、インクジェットヘッドの内部には、各ノズルに連通してなるインク貯留部が設けられており、このインク貯留部の上面にはダイヤグラムと圧電素子が設けられている。この圧電素子の駆動により、インク貯留部内の圧力が変化して、インク液滴がノズルより噴射される。

この際、ノズルからインク液滴が噴射していない状態から、いきなり噴射を行わせて基板にインクを塗布させると、基板に塗布されるインクの質が低下したり、ノズルからのインク液滴の噴射が安定しないといった問題が生じる。この問題を解消するために、基板にインク液滴を塗布する前には、いわゆる空打ち処理が行われている。

この空打ち処理においては、インクジェットヘッドに設けられた全てのノズルから、同時に、液滴を噴射することが行われる（例えば、特許文献１参照）。このような噴射方式によれば、空打ち処理における処理時間も短縮されるという利点がある。
特開２００４−１４３８号公報

しかしながら、上述した従来技術では、以下のような問題があった。インクジェットヘッドに設けられた全てのノズルから、同時に、インク液滴を噴射する場合、上述のインク貯留部分の上面に設けられた隣接する圧電素子からの圧力が、インク貯留部分に加えられる。このような場合、例えば、上記隣接する圧電素子に対応する２つのノズルのうち、一方のノズルにインクが押し出されにくい状況が発生していると（例えば、小さい硬化物などが付着しているなど）、上記一方のノズルに対して、他方のノズルにインクが押し出されやすくなることがある。このような状況が続くと、上記一方のノズルにはいつまでもインクが押し出されずインクが詰まってしまうという事態が発生してしまう。従って、隣接する圧電素子からの圧力が、インク貯留部分に加えられるような場合には、ノズルが詰まってしまうという問題があった。

また、例えば、表示装置（この表示装置は表示機器と同じ意味である）の遮光領域において、インクの液滴が隙間なく噴射して塗布される必要がある場合には、インクの液滴の塗布時間を短縮するために、インクジェットヘッドに設けられた全てのノズルから、同時に、液滴を噴射することが行われている。このような場合においても、同様に、インクジェットヘッドの全ノズルのうち、いずかのノズルが詰まってしまうという問題があった。

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドの各ノズルにインク液滴の噴射を行わせることにより、いずれかのノズルが詰まってしまうことを回避できるインクジェット塗布方法、表示機器の製造方法及びインクジェット塗布装置を提供することを目的とする。

以上の問題点を解決するために、本発明の第１の特徴は、液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されたインクジェットヘッドの前記ノズルの各々から前記液滴を噴射させて塗布対象に塗布するインクジェット塗布方法であって、前記噴射においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させることを要旨とする。

また、本発明の第２の特徴は、液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されたインクジェットヘッドの前記ノズルの各々から前記液滴を噴射させて塗布対象に塗布する工程が行われていない間に、前記ノズルから前記液滴を噴射させる空打ち工程を有するインクジェット塗布方法であって、前記空打ち工程においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させる噴射処理と、前記液滴が噴射しない程度に前記ノズルを振動させる振動処理とを交互に少なくとも１回繰り返すことを要旨とする。

また、本発明の第３の特徴は、インクジェットヘッドの相互に隣接するノズルからの液滴の噴射タイミングが異なるように、前記インクジェットヘッドを表示機器の表示部に対して傾けた状態で相対的に移動させながら、前記ノズルから前記液滴を噴射させて前記表示機器の表示部に塗布する表示部塗布工程と、前記ノズルから前記液滴を塗布させて前記表示機器の遮光部に塗布する遮光部塗布工程とを有し、前記遮光部塗布工程においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させることを要旨とする。

また、本発明の第４の特徴は、上記第１の特徴又は上記第２の特徴のインクジェット塗布方法に使用されるインクジェット塗布装置であって、前記液滴の噴射が行われるように前記液滴の噴射の状態を制御する制御部を有することを要旨とする。

以上説明したように、本発明によれば、インクジェットヘッドの各ノズルにインク液滴の噴射を行わせることにより、いずれかのノズルが詰まってしまうことを回避できる。

以下、本発明の実施形態について図面を用いながら説明する。

（実施形態１）
以下、本発明の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。

（インクジェット塗布装置の構成）
図１は、インクジェット塗布装置の全体構成を示す図である。図１に示すように、本実施形態のインクジェット塗布方法を実施するためのインクジェット塗布装置１は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて基板３０にインクを塗布するインク塗布ボックス３と、このインク塗布ボックス３にインクを補給するインク補給ボックス４とを備えている。インクジェットヘッド４２の各々の基板と対向する表面には、インク液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されている。

インク塗布ボックス３においては、架台２の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ軸方向ガイド板２０の上面には、Ｙ軸方向に複数のガイド溝２１が延設されている。このガイド溝２１にはＹ軸方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＹ軸方向移動テーブル２２は、ガイド溝２１にガイドされてＹ軸方向に移動自在に支持されている。このＹ軸方向移動テーブル２２は、Ｙ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝２１に沿ってＹ軸方向に移動される。

また、Ｙ軸方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ軸方向に複数のガイド溝（図示せず）が延設されている。このガイド溝には、Ｘ軸方向移動テーブル２３の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＸ軸方向移動テーブル２３は、このガイド溝にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このＸ軸方向移動テーブル２３は、Ｘ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＸ軸方向に移動される。

Ｘ軸方向移動テーブル２３の上面には、基板保持テーブル２６が固定されており、この基板保持テーブル２６の上面には把持機構２７が設けられており、インクの塗布対象である基板３０を把持して固定し得るようになされている。なお、基板３０の固定手段として、把持機構２７による把持に代えて、例えば、吸着機構を設けるようにしてもよい。

基板保持テーブル２６のＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル２６のＹ方向への移動量は、Ｙ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。

また、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、インクジェットヘッドユニット４０がＸ軸方向、Ｙ軸方向及び上下方向であるＺ軸方向に移動自在に支持されている。即ち、インク塗布ボックス３において、架台２の上面には、Ｙ軸方向スライド板２０を挟む位置に１組のコラム３３ａ、３３ｂが立設されており、このコラム３３ａ、３３ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。

Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド溝３６が延設されており、このガイド溝３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１の突起部が係合されている。これによりベース板４１は、このガイド溝３６にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このベース板４１は、ヘッドユニット移動用モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝３６に沿ってＸ軸方向に移動される。

インク塗布ボックス３においては、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０により、これらＹ方向移動テーブル２２のＹ方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ方向への移動及びベース板４１のＸ方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル２６に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。

またベース板４１には、複数（例えば３つ）のインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを噴射するようになされている。これら複数のインクジェットヘッドユニット４０は、それぞれ同一の構成を有する。

図２は、インクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。図２に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ方向移動機構４４と、このＺ方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ方向に移動自在に支持するＹ方向移動機構４５と、このＹ方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ方向に調整し得ると共に、Ｙ方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ方向に調整し得る。また、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転し得るようになされている。なお、Ｙ方向移動機構４５及びＺ方向移動機構４４には、それぞれヘッド調整用モータ（図示せず）が設けられ、これらによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってＹ方向、Ｚ方向へ移動させることができる。また、θ方向回転機構４６には、θ方向回転モータ（図示せず）が設けられており、これによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってθ方向に回転させることができる。またインクジェットヘッド４２のθ方向への回転量は、θ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。

このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整し得るようになされている。

図３は、インクジェットヘッド４２を示す斜視図である。図３に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル噴射口５０を下方に向けるようにして一定の間隔を隔てて直列に穿設されている。

インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面にはダイアフラム及び圧電素子が設けられている。制御部１０からの噴射制御信号によってこの圧電素子を駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより噴射させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル噴射口から下方にインク液滴を噴射させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。

なお、本実施形態では、一例として、ベース板４１は固定されており、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動可能な場合の説明を行う。但し、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が固定している場合や、ベース板４１がＹ方向及びＸ方向に移動して、Ｙ方向移動テーブル２３、Ｘ方向移動テーブル２２が移動している場合に対しても、本発明の適用は可能である。

そして、Ｙ方向移動テーブル２３又はＸ方向移動テーブル２２がベース板４１に対して移動することにより、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動することになる。以下、このような移動を、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動するという。この際、インクジェットヘッド４２は、そのノズル面４８と基板３０との間のＺ方向上の距離が所定距離離間するようにしながら、基板３０に対して相対的に移動する。

また、本実施形態では、インクジェットヘッド４２が、Ｙ方向に沿った複数のドット位置がＸ方向に複数配置された所定領域（後述の図５参照）に対して、相対的に移動することが行われる。この移動の詳細な説明は後述する。

次に、インク液滴の塗布処理を制御する制御部１０について説明する。図４は、制御部１０のブロック構成を示す図である。図４に示すように、制御部１０においては、基板保持テーブル２６及びインクジェットヘッド４２を移動制御するとともにインクジェットヘッド４２におけるインクの噴射を制御するインク噴射制御回路１００が設けられている。このインク噴射制御回路１００には、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータ及びθ方向回転モータを駆動させるためのモータ駆動回路１０１が接続されている。

また、インク噴射制御回路１００には、メモリ１０２が接続されている。このメモリ１０２には、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、Ｙ方向に沿った複数のドット位置の各々との組合せに対応づけられたインク液滴の噴射に関する情報（以下、噴射情報という）が記録されている噴射パターン情報が、スキャン移動の回数ごとに記憶されている。ここで、Ｙ方向に沿った複数のドット位置とは、スキャン移動の幅に含まれる複数の位置のことである。

スキャン移動とは、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々が、特定領域内のＹ方向に沿った複数のドット位置を対向可能なように、インクジェットヘッド４２が上記特定領域に対して相対的に移動することをいう。そして、本実施形態のインクジェット塗布方法では、特定領域を異ならせて上述のスキャン移動を複数回行いながら、基板３０にインク液滴を塗布させることが行われる。

噴射情報は、例えば、ノズルからインク液滴の噴射を行うか否かを示す噴射オン／オフ情報、塗布位置の補正量を示す位置補正情報、ノズルの圧電素子に印加する電圧波形の情報を示す電圧波形情報から構成されている。ノズルの圧電素子に印加される電圧波形を変化させることにより、インクジェットヘッド４２のノズルから噴射されるインクの液滴量を制御可能であることから、各ドット位置に応じて最適な電圧波形情報がメモリ１０２に記憶される。なお、噴射情報としては、インク液滴の噴射条件に関する他の複数の情報が含まれていてもよい。

以下に、図５、図６、図７を用いながら、噴射パターン情報の詳細な説明の一例を行う。図５に示すように、基板３０の領域（図５中の斜線が施された領域）を含む所定領域（図５中の最も外側の実線で囲まれた領域）内には、後述する特定領域Ｋ１（図５中の点線で囲まれた領域）、特定領域Ｋ２（図５中の斜線が施された領域）、特定領域Ｋ３（図５中の一点鎖線が施された領域）が含まれている。そして、所定領域内には、例えば、Ｙ方向に沿った１００個のドット位置がＸ方向に１００個配置されている。ここで、各ドット位置は、所定領域内の最も左頂部に存在するドット位置を、原点とした場合に、Ｙ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＹ座標と、Ｘ方向において上記各ドット位置までに存在するドット位置の数（原点のドット位置を除く）を示すＸ座標とにより特定される。例えば、（０，１）により特定されるドット位置とは、Ｘ方向における１番上の１００個のドット位置のうち、最も左側のドット位置の隣のドット位置（図５参照）である。ここで、例えば、インクジェットヘッド４２のノズルが、ノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ４９、ノズルｎ５０であるとする。そして、特定領域Ｋ１は、例えば、Ｘ座標が０から４９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（０，０）、．．．（４９，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。

また、特定領域Ｋ２は、例えば、Ｘ座標が２５から７４の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（２５，０）、．．．（７４，９９））の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。この特定領域Ｋ１は、基板３０の領域に相当する。

また、特定領域Ｋ３は、例えば、Ｘ座標が５０から９９の各々と、Ｙ座標が０から９９の各々との組合せ（例えば、（５０，０）、．．．、（９９，９９）など）の座標により特定されるドット位置が配置されている領域のことである。

そして、図６（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ１に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ２６からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ２に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズルｎ５０の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。また、図６（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動として、インクジェットヘッド４２が特定領域Ｋ３に対してスキャン移動を行う場合には、ノズルｎ１からノズル２５の各々が、基板３０上のＹ方向の１００個のドット位置を対向しながら通過するように、インクジェットヘッド４２が基板３０に対して相対的に移動する。

そして、図７（ａ）に示すように、１回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ１には、ノズルｎ１と、座標（０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ１と、座標（０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（２４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（２４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、ノズルｎ２６と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（４９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（４９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。

また、図７（ｂ）に示すように、２回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ２には、ノズルｎ１と、座標（２５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（２５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、、、ノズルｎ５０と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオン）が含まれている。

また、図７（ｃ）に示すように、３回目のスキャン移動に対応する噴射パターン情報Ｐ３には、ノズルｎ１と、座標（５０，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．、ノズルｎ１と、座標（５０，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報１−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、、、、、ノズルｎ２５と、座標（７４，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−０（噴射オン／オフ情報はオン）、．．．．、ノズルｎ２５と、座標（７４，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２５−９９（噴射オン／オフ情報はオン）、ノズルｎ２６と、座標（７５，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．、ノズルｎ２６と、座標（７５，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報２６−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）、、、、、ノズルｎ５０と、座標（９９，０）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−０（噴射オン／オフ情報はオフ）、．．．．、ノズルｎ５０と、座標（９９，９９）で特定されるドット位置とに対応する噴射情報５０−９９（噴射オン／オフ情報はオフ）が含まれている。

この結果、１回目のスキャン移動、３回目のスキャン移動では、特定領域のうち、基板３０の領域以外の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオフであり、基板３０の領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域以外の領域内の各ドット位置に、インク液滴が塗布されず、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。

また、２回目のスキャン移動では、特定領域は、基板３０の領域に相当し、その領域に含まれるドット位置に対応する噴射オン／オフ情報はオンであるので、基板３０の領域内の各ドット位置には、インク液滴が塗布される。

また、制御部１０において、インク噴射制御回路１００には、Ｙ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＹ方向エンコーダからのパルス信号の数をカウントする、スタートカウンタ１０３、ドットカウンタ１０４、ノズルカウンタ１０５と、Ｘ方向移動モータの駆動により移動する基板保持テーブル２６の移動量を検出するためのＸ方向カウンタ（図示せず）と、θ方向エンコーダからのパルス信号をカウントするθ方向カウンタ（図示せず）とが接続されている。これらのカウンタは、インク噴射制御回路１００からのスタート信号によってカウント動作が開始される。ここで、Ｙ方向エンコーダ、Ｘ方向エンコーダは、例えば、基板保持テーブル２６が１μｍ移動するごとにパルス信号を出力する。また、θ方向エンコーダは、インクジェットヘッド４２がθ方向に１°回転するごとにパルス信号を出力する。

これにより、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１に、各モータに対して駆動信号を送出させた際に、各モータの駆動結果によって所定領域に対して相対的に移動するインクジェットヘッド４２の移動結果を各エンコーダからのパルス出力によって検出することができる。

スタートカウンタ１０３には、インクジェットヘッド４２がスキャン移動を開始する前の待機中において、ノズルｎ１から、スキャン移動が開始してからノズルｎ１が最初に到達するドット位置までの距離に対応するカウント値が設定されている。例えば、１、２，３回目のスキャン移動の場合、図８に示すように、インクジェットヘッド４２の待機位置は、ノズル１が、座標（０，０）、座標（２５，０）、座標（５０，０）で特定されるドット位置からＹ方向に距離Ａだけ離れた位置に設定されており、スタートカウンタ１０３においては、この距離Ａに対応するカウント値が設定されている。スタートカウンタ１０３は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。そして設定されているカウント値に達すると、ノズルｎ１が最初に到達するドット位置に到達したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。

ドットカウンタ１０４は、各ノズルごとに対応して設けられている。ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離に対応するカウント値（例えば、図８に示す距離ｄに対応するカウント値）が設定される。ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始し、所定領域に対してインクジェットヘッド４２が相対的に移動することに伴ってＹ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置がドット位置間隔の距離ｄ１だけＹ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。また、ドットカウンタ１０４は、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより図８に示すように、所定領域に対して、インクジェットヘッド４２がＹ方向へ相対的に移動することに伴って、Ｙ方向に隣接する各ドット位置を順次検出することができる。

ノズルカウンタ１０５においては、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達してから、そのノズルに隣接するノズルが、スキャン移動が開始してからあるノズルが最初に到達するドット位置に到達するまで、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して相対的に移動する移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。また、ノズルカウンタ１０５も、インク噴射制御回路１００を通して入力されるスタート信号によりカウント動作を開始する。図８に示すように、インクジェットヘッド４２をθ方向に回転させて、各ノズルのＸ方向のピッチｊ１をドット位置のＸ方向のピッチｊ２と一致させた場合、直線状に配列されたノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……は、Ｘ方向に対してある角度αだけ傾斜した状態となる。即ち、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向の位置は、傾斜した分だけずれた状態となる。従って、この状態で、インクジェットヘッド４２をＹ方向に所定領域に対して相対的に移動させながら、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……が、それぞれ対応するドット位置（スキャン移動が開始してから各ノズルが最初に到達するドット位置）に対向する位置に到達するためには、インクジェットヘッド４２の傾斜に応じた各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……のＹ方向のずれ量に対応するカウント値を設定しておき、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、カウントした値が、設定されたカウント値に到達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返す。これにより、各ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３……ごとの、上述した最初に到達するドット位置を検出するようになされている。

また、Ｘ方向カウンタには、ある回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置と、次の回数目のスキャン移動の開始の前にインクジェットヘッド４２が待機するＸ方向における位置との差に相当するカウント値が設定されている。Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。またＸ方向カウンタは、カウント結果が予め設定されているカウント値に達するごとに、カウント結果をクリアしてカウント動作を繰り返すようになされている。

またθ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２がＸ方向に対して傾斜する傾斜角度αに対応するカウント値が設定されている。θ方向カウンタは、インクジェットヘッド４２の回転に伴ってθ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、このカウント結果が予め設定されているカウント値に達したとき、傾斜角度αだけインクジェットヘッド４２が回転したことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。

また、インク噴射制御回路１００には、ノズル指定カウンタ（図示せず）と、スキャン回数カウンタ（図示せず）と、各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタ（図示せず）とが含まれている。ノズル指定カウンタとは、後述するステップ９０におけるノズル制御の対象となるノズルの数をカウントするものである。スキャン回数カウンタとは、スキャン移動の回数をカウントするものであり、初期値は１とする。各ノズルにそれぞれ対応する移動回数カウンタとは、所定領域に対して、各ノズルがＹ方向へ相対的に移動する場合に、各ノズルが通過したドット位置の数をカウントするものである。

インク噴射制御回路１００には、インクジェットヘッド４２の各ノズルの圧電素子に電圧を印加するためのノズル駆動回路１０６が接続されている。インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の所定のノズルの相対位置が、インク液滴を塗布する対象のドット位置に到達した際に、そのドット位置に対応した電圧波形データを読み出してノズル駆動回路１０６に出力する。ノズル駆動回路１０６は、電圧波形データに基づいて電圧を発生させて上記所定のノズルの圧電素子に印加する。これにより基板３０のインク塗布位置に移動されたインクジェットヘッド４２のノズルからインクを噴射させることができる。

また、インク噴射制御回路１００は、インクジェットヘッド４２が所定の回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、所定の回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズル（例えば、ノズルｎ１からノズルｎ５０）の各々に、Ｙ方向に沿った複数のドット位置（例えば、図５に示すＹ方向に沿った１００個のドット位置）の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させない機能を有する。

インク噴射制御回路１００が、インク液滴の噴射のためにノズル駆動回路に対して行う処理の具体的な説明の一例は以下の通りである。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を開始する場合、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２から、複数の噴射パターン情報のうち、スキャン移動回数１に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して、読み出す。インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１の位置が、座標（０，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報１−０に従ってノズルｎ１がインク液滴の噴射動作を行わないための情報をノズル駆動回路１０６に出力する。また、インク噴射制御回路１００は、１回目のスキャン移動により、インクジェットヘッド４２のノズルｎ５０の位置が、座標（４９，０）により特定されるドット位置に到達した際に、読み出した噴射パターン情報に含まれる噴射情報５０−０に従ってノズルｎ５０がインク液滴の噴射動作を行うための電圧波形情報をノズル駆動回路１０６に出力する。

また、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を実行するように指示する信号が送られると、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータの駆動により、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させる。空打ち処理とは、インクジェットヘッド４２のノズルの各々からインク液滴を噴射させて塗布対象である基板３０に対する塗布処理が行われていない期間において、塗布対象とは別の領域（本実施形態では空打ち用のケース）に向かって、各ノズルからインク液滴を噴射させ続ける処理のことである。

そして、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち処理）。その後、インク噴射制御回路１００は、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。なお、空打ち用のケースの存在が塗布対象に対する塗布処理に影響を与えない場合には、空打ち用のケースを進退させる機構は不要である。

（インクジェット塗布方法）
次に、上述のインクジェット塗布装置を用いたインクジェット塗布方法について説明する。ここでは、一例として、図５に示すようなドット位置が配置された所定領域に対して、インクジェットヘッド４２が相対的に移動する場合を考える。また、インクジェットヘッド４２のノズルは、上述したようなノズルｎ１、ノズルｎ２、．．．．ノズルｎ５０であるとする。そして、インクジェットヘッド４２が、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行い、塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行う場合を考える。

また、Ｙ方向におけるドット位置間隔ｄ、インクジェットヘッド４２をＸ方向に対して傾ける角度α、Ｘ方向におけるドット位置間隔は、インクジェットヘッド４２の相互に隣接するノズルからのインク液滴の噴射タイミングが異なるように、決められる。例えば、図９に示すように、所定領域に対してインクジェットヘッド４２が相対的に移動していく。この場合には、インクジェットヘッド４２における隣接する２つのノズル（例えば、図９に示すノズルｎｘとノズルｎｘ＋１）の噴射タイミングは異なるものとなる。

また、ここでは、１つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｒ（赤）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）の塗布方法の説明を例にして、行うが、他の２つのインクジェットヘッド４２（例えば、Ｇ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２、Ｂ（青）用のインク液滴を噴射するインクジェットヘッド４２）を用いたインク液滴の塗布方法も、同様にして行われる。

先ず、作業者が、各スキャン移動の回数に対応する噴射パターン情報に必要な情報を図示しない情報入力部を用いて入力すると、インク噴射制御回路１００に送られ、インク噴射制御回路１００は、各スキャン移動の回数ごとの噴射パターン情報を生成し、メモリ１０２に記憶させる。

次に、基板３０にインク液滴を塗布する方法について、図１０，図１１に示すフローチャート図を用いて説明する。

ステップ１０では、インク噴射制御回路１００は、空打ち処理を行う。具体的には、作業者が、空打ち処理の実行のための所定の操作ボタン（インクジェット塗布装置に設けられている操作ボタン、図示せず）を操作することにより、操作信号がインク噴射制御回路１００に送られる。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、基板保持テーブル２６を、インクジェットヘッド４２と対向しない位置に退避させるとともに、空打ち用のケース（図示せず）を、インクジェットヘッド４２と対向する位置に移動させる。そして、インク噴射制御回路１００は、ノズル駆動回路１０６を介して、インクジェットヘッド４２の全ノズルに、インク液滴を空打ち用ケースに噴射させる（空打ち制御処理）。その後、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、空打ち用ケースを、空打ち処理が行われる前の位置に退避させる。

ステップ２０では、インク噴射制御回路１００は、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を初期位置に設定する。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動、Ｙ方向移動モータの駆動、θ方向移動モータの駆動により、図８に示すように、インクジェットヘッド４２をＸ方向に対して角度αだけ傾斜させるとともに、インクジェットヘッド４２のノズルｎ１と、座標（０，０）により特定されるドット位置との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を配置させる。これにより、インクジェットヘッド４２が所定領域に対して、Ｘ方向に相対的に移動すると、塗布領域Ｋ１に対して、１回目のスキャン移動を行うことになる。

ステップ２５では、インク噴射制御回路１００は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値１（１回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報Ｐ１を選択して読み出し、設定する。

ステップ３０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３によるカウント動作を開始させるとともに、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。スタートカウンタ１０３は、上述したように、距離Ａに対応するカウント値が設定されており、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。

ステップ４０では、インク噴射制御回路１００は、スタートカウンタ１０３のカウント動作によるカウント値が、距離Ａに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離Ａに対応するカウント値に達した場合には、ステップ５０の処理が行われ、距離Ａに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ３０の処理が繰り返される。

ステップ５０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値が全ノズル数（ここでは、５０）に対応するカウント値に達したか否かを判定し、全ノズル数に対応するカウント値に達した場合には、ステップ１００の処理が行われ、全ノズル数に対応するカウント値に達してない場合には、ステップ５５の処理が行われる。

ステップ５５では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値が２以上であるか否かを判定し、２以上である場合には、ステップ５７の処理を行い、１である場合には、ステップ６０の処理を行う。

ステップ５７では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によりインクジェットヘッド４２を所定領域に対してＹ方向に相対的に移動させることを開始する。なお、この移動は、後述のステップ１２０まで継続して行われる。

ステップ６０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値に１を加算する。その後、ステップ７０の処理を行うとともに、ステップ９０の処理も並行して行う。

ステップ７０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５によるカウント動作を開始させる。ノズルカウンタ１０５には、上述したように、移動距離Ｂに対応するカウント値が設定されている。ノズルカウンタ１０５は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントする。

ステップ８０では、インク噴射制御回路１００は、ノズルカウンタ１０５のカウント動作によるカウント値が、移動距離Ｂに対応するカウント値に達したか否かを判定し、移動距離Ｂに対応するカウント値に達した場合には、ステップ８５で、ノズルカウンタのカウント値がリセットされた後、ステップ５０の処理に戻り、移動距離Ｂに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ７０の処理が繰り返される。

ステップ９０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値がノズル番号であるようなノズルの制御処理（以下、ノズル制御処理）を行う。このノズル制御処理は、ステップ６０で、ノズル指定カウンタのカウント値が新たな値となるごとに、行われる。即ち、インクジェットヘッド４２の全ノズルに対して、ノズル制御処理が行われる。このノズル制御処理の詳細な説明を図１１に示すフローチャート図を用いて説明する。

ステップ９０−１では、インク噴射制御回路１００は、ステップ６０で設定されたノズル指定カウンタのカウント値（即ち、ノズル番号）に対応するドットカウンタ１０４によるカウント動作を開始させる。各ドットカウンタ１０４には、Ｙ方向におけるドット位置間の距離ｄに対応するカウント値が設定されている。各ドットカウンタ１０４は、インク噴射制御回路１００を介して入力されるスタート信号により、カウント動作を開始し、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルス数をカウントする。

ステップ９０−２では、インク噴射制御回路１００は、ドットカウンタ１０４のカウント動作によるカウント値が、距離ｄに対応するカウント値に達したか否かを判定し、距離ｄに対応するカウント値に達した場合には、ステップ９０−３の処理が行われ、距離ｄに対応するカウント値に達していない場合には、ステップ９０−２の処理が繰り返される。

ステップ９０−３では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値に１を加算する。

ステップ９０−４では、インク噴射制御回路１００は、現在設定されている噴射パターン情報を参照して、移動回数カウンタのカウント値から１を引いた値をＹ座標とし、ノズル指定カウンタのカウント値から１を引いた値をＸ座標とした場合における（Ｘ座標、Ｙ座標）により特定されるドット位置と、ノズル制御の対象であるノズルとに対応する噴射情報を取得する。そして、インク噴射制御回路１００は、取得した噴射情報に従って、ノズル制御の対象であるノズルが、上記ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布するための情報、又は、インク液滴を噴射しないための情報を、ノズル駆動回路１０６に出力する。これにより、これにより、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動され、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射され塗布されるか、又は、ノズル駆動回路１０６からの信号により、上記ノズルに対応する圧電素子が駆動されず、上記ノズルからインク液滴が上記ドット位置に噴射されないことになる。

ステップ９０−５では、インク噴射制御回路１００は、移動回数カウンタのカウント値が、所定領域内のＹ方向における総ドット位置の数（ここでは、１００）に達したか否かを判定し、上記Ｙ方向における総ドット位置の数に達した場合には、ステップ９０−６で、移動回数カウンタのカウント値がリセット（０にリセット）された後、本ノズル制御処理が終了し、達していない場合には、再度、ステップ９０−１の処理以降の処理が行われる。

ステップ１００では、インク噴射制御回路１００は、全ノズルに対応するノズル制御処理が終了したか否かを判定し、終了していない場合には、ノズル制御処理が終了していないノズルについてステップ９０の処理を行い、終了した場合には、ステップ１１０の処理が行われる。

ステップ１１０では、インク噴射制御回路１００は、ノズル指定カウンタのカウント値を０にリセットする。

ステップ１２０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動によるインクジェットヘッド４２のＹ方向への相対的な移動を停止させる。

ステップ１３０では、インクジェット噴射制御回路は、スキャン回数カウンタのカウント値に１を加算する。

ステップ１４０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタの値が、総スキャン移動回数（ここでは、３）に達したか否かを判定し、総スキャン移動回数に達した場合には、ステップ１５０の処理が行われ、総スキャン回数に達しない場合には、ステップ１６０の処理が行われる。

ステップ１５０では、インク噴射制御回路１００は、スキャン回数カウンタのカウント値を１にリセットし、インクジェット塗布処理を終了する。

ステップ１６０では、インクジェット噴射制御回路は、メモリ１０２にアクセスして、複数の噴射パターン情報Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３のうち、スキャン回数カウンタの値（２回目のスキャン移動又は３回目のスキャン移動）に対応する噴射パターン情報を選択して読み出し、既に設定している噴射パターン情報に代えて、新たに読み出した噴射パターン情報を設定する。

ステップ１７０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｙ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、今回のスキャン移動を開始する前に、インクジェットヘッド４２が待機していた位置（例えば、１回目のスキャン移動が終了した場合には、ステップ２０における初期位置）に、戻す。

具体的には、インク噴射制御回路１００は、Ｘ方向移動モータの駆動により、１回目のスキャン移動終了の場合には座標（０，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、２回目のスキャン移動終了の場合には座標（２５，０）により特定されるドット位置とインクジェットヘッド４２のノズルｎ１との間の距離が距離Ａ離間するような位置に、インクジェットヘッド４２を所定領域に対して相対的に配置させる。

そして、ステップ１８０では、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動により、所定領域に対するインクジェットヘッド４２の相対位置を、Ｘ方向に距離Ｄだけ進ませる。具体的には、インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を開始させる。そして、Ｘ方向カウンタは、所定領域に対してインクジェットヘッド４２がＸ方向に相対的に移動することに伴ってＸ方向エンコーダから出力されるパルスをカウントし、設定値に達したとき、所定領域に対してインクジェットヘッド４２の位置が、設定されたカウント値に対応する距離ＤだけＸ方向に進んだことを表す信号をインク噴射制御回路１００に出力する。インク噴射制御回路１００は、モータ駆動回路１０１を介して、Ｘ方向移動モータの駆動を停止させる。

そして、ステップ３０以降の処理が行われることにより、以下のような処理が行われることになる。インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ２に対して、２回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ５０が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。また、インクジェットヘッド４２が塗布領域Ｋ３に対して、３回目のスキャン移動を行うことになり、ノズルｎ１からノズルｎ２５が、基板３０上の各ドット位置を対向しながら通過して、基板３０上の各ドット位置に対して、インク液滴を噴射して塗布することになる。

なお、上述した特定領域（特定領域Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）、スキャン移動の回数（３）、各噴射情報の設定は、上述の場合に限られず、種々に設定することができる。また、本実施形態のインクジェットヘッド４２は、３つのヘッドに限定されず、複数のヘッドであればよい。また、上述したスキャン移動の方法は、一例であり、他の方法で行われてもよい。例えば、１回目のスキャン移動が終了した時点で、そのまま、インクジェットヘッド４２はＸ方向に相対的に移動し、その後、インクジェットヘッド４２がＸ方向（１回目のスキャン移動の方向とは逆方向）への２回目のスキャン移動を開始するようにしてもよい。また、本実施形態のインクジェット塗布方法により、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる２つのノズルで、それぞれインク液滴を２回塗布させるようにしたが、これに限定されず、基板３０上における塗布対象の各ドット位置に、異なる複数（２以上）のノズルで、それぞれインク液滴を複数回（２回以上）塗布させることができる。

（作用効果）
以上説明した本実施形態のインクジェット塗布方法によれば、従来技術のように、塗布対象領域（基板３０上の領域）上の塗布対象位置（インク塗布対象のドット位置）だけに対応する噴射情報が記録された噴射パターン情報を記憶するのではなく、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々と、基板３０の領域を含む所定領域のＹ方向における複数のドット位置の各々と、の組合せに対応づけられた噴射情報が記録されている噴射パターン情報を、スキャン移動の回数ごとに、記憶することができる。

そして、インクジェットヘッド４２が各回数目のスキャン移動を開始する場合、複数の噴射パターン情報のうち、各回数に対応する噴射パターン情報を選択し、選択した噴射パターン情報に記録されている噴射情報に従って、インクジェットヘッド４２の全ノズルの各々に、上記Ｙ方向における複数のドット位置の各々に対して、インク液滴を噴射させて塗布させるか又は噴射させないようにしている。

このため、スキャン移動の回数ごとに、特定領域を塗布対象領域に限らず所定領域内で様々に設定することができ、上記組合せに対して、噴射情報を様々に設定することができる。これにより、基板３０に対するインク液滴を塗布する方式として、例えば、基板３０上における同じ塗布対象位置に、異なる複数のノズルで、それぞれインク液滴を複数回塗布させるような複雑な塗布方式を行わせたい場合、各スキャン移動に対応する特定領域の設定と、上記組合せに対応する噴射情報の設定とを適切に行う（例えば、本実施形態のように設定する）ことにより、実現が可能となる。

従って、本実施形態によれば、塗布対象である基板３０にインク液滴を塗布する方式の自由度が高くなるインクジェット塗布方法を提供することができる。

また、本実施形態によれば、基板３０上における各ドット位置に、異なる複数のノズルで、複数回インク液滴を塗布させることが可能となるので、基板３０上でインクのにじみが生じないような場合でも、基板３０上で、インクが広がっているように視認されるので、各ノズルによるインク塗布位置の誤差があっても、誤差がないように視認されることが可能となる。これにより、ノズルの製造のばらつきによるインク塗布位置の誤差のために、表示装置の画像表示性能が低下してしまうことが回避される。

（実施形態２）
次に、実施形態２のインクジェット塗布装置について説明する。なお、本実施形態においては、実施形態１のインクジェット塗布装置の構成、機能と同一のものは同一符号を付してその説明を省略する。

インク噴射制御回路１００は、空打ち処理においては、ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、グループに属する各々のノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射させるとともに、インク液滴の噴射のタイミングをグループ（以下、ノズルグループという）に応じて異ならせることにより、ノズルからインク液滴を噴射させる噴射処理（後述する噴射タイミング制御処理）と、インク液滴が噴射しない程度にノズルを振動させる振動処理（後述する振動制御処理）とを交互に少なくとも１回繰り返す。インク噴射制御回路１００の処理の具体的な説明の一例を以下に示す。

インク噴射制御回路１００は、各ノズルｎ１〜ｎ５０が、ノズルグループに分類された分類情報を記憶する。この処理の具体的な説明の一例は以下の通りである。例えば、作業者は、図１２に示すように、ノズルｎ１、ｎ６、ｎ１１、ｎ１６．．．は、ノズルグループ１に分類され、ノズルｎ２、ｎ７、ｎ１２、ｎ１７．．．は、ノズルグループ２に分類され、ノズルｎ３、ｎ８、ｎ１３、ｎ１８．．．は、ノズルグループ３に分類され、ノズルｎ４、ｎ９、ｎ１４、ｎ１９．．．は、ノズルグループ４に分類され、ノズルｎ５、ｎ１０、ｎ１５、ｎ２０．．．は、ノズルグループ５に分類されることを示す情報を情報入力部（図示せず）を用いて入力すると、インク噴射制御回路１００に送られる。インク噴射制御回路１００は、入力された情報（以下、分類情報）を内蔵されているレジスタなどに書き込むことにより記憶する。

なお、各ノズルの分類において、ノズルグループに含まれるノズルの数は、１以上であればよく、ノズルグループの数は、特に限定されない。但し、ノズルグループに含まれるノズルが複数の場合、相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズルであることが条件である。例えば、ノズルグループにおいては、ノズルｎ１、ノズルｎ３、ノズルｎ５．．．など、上記ノズルグループに含まれるノズルが相互に１ノズル離間しており、ノズルｎ１、ノズルｎ２のような相互に隣接するノズルは含まれない。

インク噴射制御回路１００は、空打ち処理内の空打ち制御処理において、同じノズルグループに属するノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射させるとともに、噴射のタイミングをノズルグループ単位で互いに異ならせることにより、各ノズルからインク液滴を噴射させる噴射タイミング制御処理を行う。この噴射タイミング制御処理の具体的な説明は以下の通りである。上述したように各ノズルがノズルグループ１〜５に分類された場合について説明する。

インク噴射制御回路１００は、分類情報を参照して、同じノズルグループに含まれる各ノズルの圧電素子に対して、同一タイミングで第１の所定電圧（例えば、周波数１ｋＨｚ、電圧値６０Ｖ）を印加するように指示する信号を、ノズル駆動回路１０６に出力する。ノズル駆動回路１０６は、例えば、図１３に示すように、ノズルグループ１に含まれる各ノズルｎ１、ｎ６．．．の圧電素子に対して、同一の第１のタイミングで、第１の所定電圧を印加し、ノズルグループ２に含まれる各ノズルｎ２、ｎ７．．．の圧電素子に対して、同一の第２のタイミングで、第１の所定電圧を印加し、ノズルグループ３に含まれる各ノズルｎ３、ｎ８．．．の圧電素子に対して、同一の第３のタイミングで、第１の所定電圧を印加し、ノズルグループ４に含まれる各ノズルｎ４、ｎ９．．．の圧電素子に対して、同一の第４のタイミングで、第１の所定電圧を印加し、ノズルグループ５に含まれる各ノズルｎ５、ｎ１０．．．の圧電素子に対して、同一の第５のタイミングで、第１の所定電圧を印加する。ここで、第１のタイミングから第５のタイミングにおいては、インク液滴を噴射させ続ける時間（図１３に示す連続噴射期間、即ち、第１の所定電圧を印加させるためのパルスの時間）、インク液滴を噴射させる周期はそれぞれ同一であるが、インク液滴を噴射させるタイミングが重ならないように位相（図１３に示す連続噴射期間におけるパルスの位相）がずれており、第１のタイミングから第５のタイミングは、相互に異なるタイミングに設定されている。なお、図１３においては、ある連続噴射期間と、その次の連続噴射期間との間の期間は、インク液滴を噴射させないことを続ける連続非噴射期間となっている。

この結果、ノズルグループ１に含まれる各ノズルからインク液滴が噴射される噴射タイミング、ノズルグループ２に含まれる各ノズルからインク液滴が噴射される噴射タイミング、．．．、ノズルグループ５に含まれる各ノズルからインク液滴が噴射される噴射タイミングは、相互に異なるものとなるので、隣接するノズルの圧電素子に同一タイミングで、第１の所定電圧が印加されてしまうことがなくなる。

インク噴射制御回路１００は、空打ち制御処理において、噴射タイミング制御処理と、インク液滴が噴射しない程度に全ノズルの各々を振動させる振動制御処理とを交互に少なくとも１回繰り返す処理を行う（サスペンド処理）。この空打ち制御処理の具体的な説明は以下の通りである。

インク噴射制御回路１００は、噴射タイミング制御処理と、振動制御処理とを交互に所定回数（例えば、４回など）繰り返す処理を行う。インク噴射制御回路１００は、振動制御処理においては、全ノズルの各々の圧電素子に対して、同一タイミングで第２の所定電圧（例えば、周波数１ｋＨｚ、電圧値２０Ｖ）を印加するように指示する信号を、ノズル駆動回路１０６に出力する。この第２の所定電圧が、各圧電素子に印加されると、各圧電素子に対応するノズルは振動するが、ノズルからインク液滴は噴射されない。この第２の所定電圧が印加されることにより、例えば、ノズル内部に付着している硬化物などが除去され、インク詰まりを解消することができる。

そして、インク噴射制御回路１００は、空打ち制御処理において、例えば、６０秒間の振動制御処理と、５秒間の噴射タイミング制御処理とを交互に所定回数繰り返すことを行う。図１４は、空打ち制御処理において、６０秒間の振動制御処理が行われるタイミングと、５秒間の噴射タイミング制御処理が行われるタイミングとを示す図である。図１４に示すように、振動制御処理が行われている期間には、噴射タイミング制御処理が行われず、噴射タイミング制御処理が行われている期間には、振動制御処理が行われない。６０秒間の振動制御処理において、第２の所定電圧の印加が複数回繰り返される（即ち、第２の所定電圧の印加のためのパルスのオンが複数回繰り返される）。５秒間の噴射タイミング制御処理において、各ノズルグループに含まれるノズルの圧電素子に対して、第１の所定電圧を印加することが複数回繰り返される。即ち、図１３に示すように、各ノズルグループごとに、第１の所定電圧の印加のためのパルス（連続噴射期間におけるパルス）のオンが複数回繰り返されるとともに、各ノズルグループにおけるパルスのオンのタイミングは、相互に異なっている。

なお、インク噴射制御回路１００、ノズル駆動回路１０６は、空打ち処理において、噴射タイミング制御処理で、インク液滴の噴射が行われるように、インク液滴の噴射の状態を制御する制御部といえる。

また、空打ち制御処理（サスペンド処理）における設定は、上述の例に限定されず、インク液の材質や、ノズルの穴径などの条件によって、振動制御処理や噴射タイミング制御処理の時間、振動制御処理や噴射タイミング制御処理内の電圧印加の回数（パルス数）などは様々に設定される。

（インクジェット塗布方法）
次に、実施形態２のインクジェット塗布方法について説明する。なお、本実施形態においては、図１０，図１１に示すインクジェット塗布方法の処理と同一の処理は同一符号を付してその説明を省略する。

本実施形態では、図９に示すステップ１０の空打ち処理内の空打ち制御処理は、以下のように行われ、この処理以外の処理は、実施形態１のインクジェット塗布方法における処理と同じである。図１５は、本実施形態における空打ち制御処理の説明のためのフローチャート図である。

図１３に示すように、ステップ１０−１では、インク噴射制御回路１００は、振動制御処理を行う。具体的には、インク噴射制御回路１００は、例えば、６０秒間、全ノズルの各々の圧電素子に対して、同一タイミングで第２の所定電圧（例えば、周波数１ｋＨｚ、電圧値２０Ｖ）を印加することを所定回数繰り返すように指示する信号を、ノズル駆動回路１０６に出力する。これにより、ノズル駆動回路１０６から各圧電素子に所定回数、第２の所定電圧が印加され、各圧電素子に対応するノズルは、インク液滴が噴射しない程度に振動する。

ステップ１０−２では、インク噴射制御回路１００は、噴射タイミング制御処理を行う。具体的には、インク噴射制御回路１００は、分類情報を参照して、例えば５秒間、ノズルグループに含まれるノズルの圧電素子に対して、同一タイミングで第１の所定電圧（例えば、周波数１ｋＨｚ、電圧値６０Ｖ）を印加するように指示する信号を、ノズル駆動回路１０６に出力する。この際、各ノズルグループに対応する電圧の印加タイミングは、相互に異なるようにされる。これにより、ノズル駆動回路１０６から、各ノズルグループに含まれるノズルの圧電素子に上記第１の所定電圧が印加されるタイミングは、ノズルグループ単位で互いに異なり、各ノズルグループに含まれるノズルからインク液滴が噴射される噴射タイミングは、ノズルグループ単位で互いに異なるものとなる。

ステップ１０−３では、インク噴射制御回路１００は、本空打ち制御処理の開始から所定時間（空打ち制御処理を行う時間）が経過したか否かを判定し、経過した場合には、本空打ち制御処理を終了し、経過していない場合には、ステップ１０−１の処理に戻る。

（作用効果）
以上説明したように、本実施形態によれば、インクジェットヘッド４２の各ノズルが、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のノズルグループに分類され、ノズルグループに属するノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射させるとともに、噴射のタイミングをノズルグループに応じて異ならせることにより、各ノズルからインク液滴を噴射させているので、相互に隣接するノズルの圧電素子に対して、同一タイミングでインク液滴を噴射させるための第１の所定電圧が印加されることがない。これにより、隣接する圧電素子からの圧力がインクタンク内のインクに加えられることがなく、圧電素子からの圧力により、インクタンク内のインクが押し出されて、上記圧電素子に対応するノズル以外のノズルにインクが押し出されてしまうという事態が回避され、上記圧電素子に対応するノズルに、インクが押し出されるようになる。この結果、ノズルにインクが押し出されにくい状況が発生していても、インクが押し出されるので、インクジェットヘッドの各ノズルにインク液滴の噴射を行わせることにより、いずれかのノズルが詰まってしまうことが回避される。

本実施形態では、特に、空打ち処理において、各ノズルからインク液滴を一度に噴射させる場合に、いずれかのノズルが詰まってしまう事態を回避することができる。また、インク液滴を基板３０に塗布する場合には、従来と同じ手法（即ち、インクジェットヘッド４２の相互に隣接するノズルからのインク液滴の噴射タイミングが異なるように、インクジェットヘッドを基板３０に対して傾けた状態で相対的に移動させながら、各ノズルからインク液滴を噴射させて基板３０に塗布する）で行われるので、既存のインクジェット装置に対する、本発明に基づく変更を、空打ち処理に対するものだけで済ませるだけで、いずれかのノズルが詰まってしまうことを回避することができる。

また、本実施形態の空打ち処理では、噴射タイミング制御処理と、インク液滴が噴射しない程度に全ノズルの各々を振動させる振動制御処理とを交互に少なくとも１回繰り返すようにしている。ここで、振動制御処理には、上述したように、インク詰まりを防止する効果があるので、塗布に利用されないインクの噴射量を最小限に抑えながら、インク詰まりを防止することができる。

（実施形態２の変更例１）
上述の実施形態２では、噴射タイミング制御処理は、空打ち処理内で行われていたが、以下のような場合に行われてもよい。

表示機器の表示部（例えば、基板３０）に対して、インク液滴を塗布する場合には、実施形態１のようにして行われる。即ち、インクジェットヘッド４２の相互に隣接するノズルからのインク液滴の噴射タイミングが異なるように、インクジェットヘッド４２を基板３０に対して傾けた状態で相対的に移動させながら、各ノズルからインク液滴を噴射させて基板３０に塗布することが行われる。

そして、表示機器の遮光部に対して、インク液滴を塗布する場合において、上述の噴射タイミング制御処理が行われる。例えば、カラーフィルタなどの表示部の周囲には、バックライトからの光を遮光するための遮光部が設けられている。このような遮光部においては、例えば、黒色のインクを一様に塗布することにより、表示部の周囲にはバックライトからの不要な光が遮光される。このため、遮光部には、例えば、インク液滴を一様に塗布する必要があり、インクジェットヘッド４２の各ノズルから一度にインク液滴を遮光部に噴射して塗布する必要があるが、全ノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射してしまうと、実施形態２と同じく、ノズル詰まりの問題が生じてしまう。このため、表示機器の遮光部に対して、インク液滴を塗布する場合、上述の噴射タイミング制御処理が行われる。

この場合、上述した実施形態２と同様にして、インク噴射制御回路１００は、上述した分類情報を記憶する。そして、インク噴射制御回路１００は、遮光部にインク液滴を塗布する処理において、上述した噴射タイミング制御処理を行う。噴射タイミング制御処理の詳細な説明は実施形態２で説明した通りである。

（インクジェット塗布方法）
次に、本変更例における、遮光部に対するインク液滴の塗布方法について図１６を用いて説明する。なお、図１６においては、図１０，図１１に示すインクジェット塗布方法の処理と同一の処理はその説明や、実施形態２で説明した処理と同じ処理の説明は省略又は簡略化する。本変更例では、塗布対象は、遮光部である。また、噴射パターン情報は、遮光部にインク液滴が略隙間なく一様に塗布できるように設定される。また、本変更例では、インクジェットヘッド４２は、Ｘ方向に対して、傾かない状態で遮光部に対して相対的に移動する場合の説明を行う。また、噴射パターン情報においては、各ノズル（ｎ１〜ｎ５０）と、移動回数カウンタのカウント値（０〜Ｙ方向における総ドット位置数）との各々の組合せに対応した噴射情報が記録されている。また、ドット位置間隔の距離ｄは、遮光部においてインク液滴が略隙間なく塗布されるように設定される。

図１６に示すフローチャート図において、ステップ２１０からステップ２４０までの処理が行われる。これらの処理は、それぞれ、ステップ１０からステップ４０までの処理に対応するものである。ここで、ステップ２２０では、インクジェットヘッド４２は、Ｘ方向に対して傾斜しない。

ステップ２５０では、インク噴射制御回路１００は、噴射パターン情報及び分類情報に基づいたインク噴射制御処理を行う。具体的には、インク噴射制御回路１００は、設定した噴射パターン情報を参照して、移動回数カウンタのカウント値（例えば、０）と、全てのノズル（例えば、ノズルｎ１〜ｎ５０）とに対応する噴射情報を取得する。そして、インク噴射制御回路１００は、取得した噴射情報と分類情報とに従って、ノズルグループに含まれるノズルの圧電素子に対して同一タイミングで電圧を印加するように指示する信号をノズル駆動回路１０６に出力する。さらに詳細に説明すると、インク噴射制御回路１００は、ノズルグループに含まれるノズルのうち、噴射情報の噴射オン／オフ情報がオンになっているノズルの圧電素子に対して、同一タイミングで電圧を印加するように指示する信号をノズル駆動回路１０６に出力する。この際、各ノズルグループに対応する電圧の印加タイミングは、ノズルグループ単位で互いに異なるようにされる。

そして、ステップ２６０からステップ２８０までの処理が行われる。これらの処理は、それぞれ、ステップ９０−１からステップ９０−３までの処理に対応するものである。

そして、ステップ２９０では、インク噴射制御回路１００は、噴射パターン情報及び分類情報に基づいたインク噴射制御処理を行う。この処理は、ステップ２５０の処理と同じものである。

そして、ステップ３００では、移動回数カウンタのカウント値がＹ方向における総ドット位置数か否かが判定され、ＹＥＳの場合には、移動回数カウンタの値がリセットされた後、ステップ３１０の処理が行われ、ＮＯの場合には、ステップ２６０以降の処理が繰り返される。

そして、ステップ３１０からステップ３７０までの処理が行われる。これらの処理は、それぞれ、ステップ１２０からステップ１８０に対応するものである。ここで、ステップ３６０においては、インクジェットヘッド４２が、遮光部に対してＹ方向に移動して、スキャン移動する前の位置に戻り、ステップ３７０では、遮光部に対して、インクジェットヘッドが相対的に距離Ｆだけ相対的に移動される。この距離Ｆは、遮光部においてインク液滴が略隙間なく塗布されるように設定される。そして、ステップ３７０の処理の後、ステップ２３０の処理が行われる。

（作用効果）
本変更例によれば、表示機器の遮光部に対して、各ノズルからインク液滴を一度に噴射させて塗布する場合に、いずれかのノズルが詰まってしまう事態を回避することができる。また、インク液滴を基板３０に塗布する場合には、従来と同じ手法で行われるので、本発明に基づく既存の設備に対する変更を遮光部へのインク液滴の塗布処理に対するものだけに済ませるだけで、いずれかのノズルが詰まってしまうことを回避することができる。

（実施形態２のその他の変更例）
また、上述した変更例１は、表示機器の表示部（基板３０）に対して適用されてもよい。但し、この場合には、噴射パターン情報は、基板３０にインク液滴が例えば略格子状に一様に塗布できるように設定される。この変更例では、インク液滴を噴射させて表示機器の表示部に塗布する場合、上記噴射においては、ノズルを、ノズルグループに分類し、ノズルグループに属する各々のノズルから同一タイミングでインク液滴を噴射させるとともに、噴射のタイミングをノズルグループに応じて異ならせることにより、ノズルからインク液滴を噴射させるといえる。また、インク噴射制御回路１００、ノズル駆動回路１０６は、インク液滴を基板３０に塗布する場合、噴射タイミング制御処理で、インク液滴の噴射が行われるように、インク液滴の噴射の状態を制御する制御部といえる。

また、上述した振動制御処理は、空打ち処理が終了した後、インク液滴の噴射が行われない間（例えば、あるスキャン移動が終了して次のスキャン移動が開始するまでの間など）に、行われるようにしてもよい。

実施形態１のインクジェット塗布装置を示す斜視図である。 実施形態１のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。 実施形態１のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。 実施形態１の制御部の構成を示すブロック図である。 実施形態１の噴射パターン情報を説明するための補足図である。 実施形態１の噴射パターン情報を説明するための補足図である。 実施形態１の噴射パターン情報を説明するための補足図である。 実施形態１のインクジェットヘッドのスキャン移動前における配置を説明するための補足図である。 実施形態１において、基板へのインク液滴の噴射タイミングを説明するための補足図である。 実施形態１のインクジェット塗布方法を説明するためのフローチャート図である。 実施形態１のインクジェット塗布方法のうち、ノズル制御処理を説明するためのフローチャート図である。 実施形態２において、各ノズルをノズルグループに分類する方法を説明するための補足図である。 実施形態２において、各ノズルグループに対応する電圧印加のタイミングを説明するため図である。 実施形態２において、振動制御処理のタイミングと噴射タイミング制御処理のタイミングとを説明するためのタイミングチャート図である。 実施形態２における空打ち制御処理を説明するためのフローチャート図である。 実施形態２の変更例１のインクジェット塗布方法を説明するためのフローチャート図である。

符号の説明

１…インクジェット塗布装置、２…架台、３…インク塗布ボックス、４…インク補給ボックス、１…インクジェット塗布装置、１０…制御部、３０…基板、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド４２、４８…ノズル面、４９…フレームカバー、５０…ノズル、１００…インク噴射制御回路、１０１…モータ駆動回路、１０２…メモリ、１０３…スタートカウンタ、１０４…ドットカウンタ、１０５…ノズルカウンタ、１０６…ノズル駆動回路。

Claims (4)

1. 液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されたインクジェットヘッドの前記ノズルの各々から前記液滴を噴射させて塗布対象に塗布するインクジェット塗布方法であって、
   前記噴射においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させることを特徴とするインクジェット塗布方法。
2. 液滴を噴射するためのノズルが所定間隔離間して複数配列されたインクジェットヘッドの前記ノズルの各々から前記液滴を噴射させて塗布対象に塗布する工程が行われていない間に、前記ノズルから前記液滴を噴射させる空打ち工程を有するインクジェット塗布方法であって、
   前記空打ち工程においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させる噴射処理と、前記液滴が噴射しない程度に前記ノズルを振動させる振動処理とを交互に少なくとも１回繰り返すことを特徴とするインクジェット塗布方法。
3. インクジェットヘッドの相互に隣接するノズルからの液滴の噴射タイミングが異なるように、前記インクジェットヘッドを表示機器の表示部に対して傾けた状態で相対的に移動させながら、前記ノズルから前記液滴を噴射させて前記表示機器の表示部に塗布する表示部塗布工程と、
   前記ノズルから前記液滴を塗布させて前記表示機器の遮光部に塗布する遮光部塗布工程とを有し、
   前記遮光部塗布工程においては、前記ノズルを、１つのノズル又は相互に少なくとも１ノズル以上離間した複数のノズル毎のグループに分類し、前記グループに属する各々のノズルから同一タイミングで前記液滴を噴射させるとともに、前記噴射のタイミングを前記グループに応じて異ならせることにより、前記ノズルから前記液滴を噴射させることを特徴とする表示機器の製造方法。
4. 請求項１又は２に記載のインクジェット塗布方法に使用されるインクジェット塗布装置であって、前記液滴の噴射が行われるように前記液滴の噴射の状態を制御する制御部を有することを特徴とするインクジェット塗布装置。

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