JP2006140257A - 液浸型露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 液浸型露光装置において、同面板上に露光光を制御するためのセンサーやそれらをカバーした凸状構造物として形成されると発生する、液体の発泡及び飛散を防ぎ、結像性能の劣化を抑制し液浸型露光装置を提供する。
【解決手段】 同面板１の高さと露光光センサー受光面が、少なくともウエハー又は同面板の高さと同じ高さとし、該センサーにカバーをつけることによって、同面板１に凸となる構造物２が存在するときに、凸状構造物２の断面形状が傾斜６をもつ構成をとる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液浸型露光装置の同面板上の構造物に関する。

近年、光学系の最終レンズ面と像面の間のワーキングディスタンスを液体で満たして開口数の増大を図ることにより、露光パターンの微細化を図る液浸型の露光装置が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

液浸型露光装置では、従来露光光を測定するためのセンサーを同面板上に設置する必要があり、該センサーやそれらをカバーしたものが、図４に示すような、同面板１上に断面形状が傾斜をもたない凸状構造物２として形成されてきた。
特開平０６−１２４８７３号公報 国際公開第９９／４９５０４号パンフレット

しかし、液浸型露光装置において、露光光のセンサーはウエハー上の露光部と同一高さに設置する必要があり、該センサーにカバーを設けると、同面板上に凸状の構造物となってしまう。また、センサーに限らず同面板上に断面形状が傾斜をもたない凸状構造物として形成されると、液体の飛散や気泡の発生を招き、露光結像性能の劣化を引き起こすという不具合を生じていた。

該課題について、図４及び２を用いて説明する。

図２に示すような、同面板１上に断面形状が傾斜をもたない凸状構造物２としてセンサーを形成し露光を行った場合について説明する。図２（ａ）に示すように、液体３を同面板１と傾斜をもたない凸状構造物２と投影光学系５に接液させ、投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、液体３は変形により引きちぎれ、飛散を引き起こす。また、さらに投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、図２（ｂ）に示すように、凸状構造物２に乗り上げた液体３は、傾斜を持たない凸状構造物２の間に気泡４を生じ、露光中に結像性能の劣化を引き起こす。

また、液体の外周部への飛散防止のために凸形状を同面板の外周部に設ける場合、図４に示すような、断面形状に傾斜をもたない凸状構造物２を用いると、液体３が凸状構造物２に乗り上げ、液体の飛散を引き起こすという不具合を生じていた。

本発明は、前記課題を解決し、液体の発泡や飛散を防ぐことで、結像性能の劣化を抑制した液浸型露光装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、液浸型露光装置において、同面板に凸となる構造物をもつ構成をとる。

本発明の目的は、以下の構成をとることにより達成される。

液浸型露光装置において、同面板の高さと露光光センサー受光面が、少なくともウエハー又は同面板と同じ高さである構成をとる。

該センサーにカバーをつけることによって、同面板に凸となる構造物が存在する構成をとる。

該凸状構造物の断面形状が、傾斜をもつ構成をとる。

該凸状構造物の断面形状が鋭角をもつ構成をとる。

該鋭角の角度が８０°以下である構成をとる。

該凸状構造物が、同面板外周部存在する場合、その断面形状が鈍角をもつ構成をとる。

液浸型露光装置において、同面板上に凸状の構造物の断面形状に傾斜をもたせることによって、液体の発泡及び飛散を防ぐことで、結像性能の劣化を抑制した液浸型露光装置を提供することができる。

液浸型露光装置において、我々は鋭意研究の結果、同面板上に凸となる構造物の断面形状に傾斜をもたせることで、発泡及び液の飛散を防ぐことができることを見出した。

本発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。

本発明は同面板上に凸となる構造物の断面形状が傾斜を持つことを特徴とする。傾斜とは構造物と同面板の接触する部材の角度が９０°ではないことを意味する。傾斜が鋭角である例を図３に示す。

図３に示したような同面板１上の凸状構造物２に対して、図１（ａ）に示すように、液体３を投影光学系５と同面板１に接液させ、投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、液体３は発泡を引き起こさず、凸状構造物２に乗り上げることができる。

また、さらに投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、図１（ｂ）に示すように、凸状構造物２に乗り上げた液体３は、傾斜６をもつ凸状構造物２に沿って落ち、発泡を引き起こすことなく、凸状構造物２からずり落ちることができる。

本発明における傾斜の角度は鋭角であることが好ましい。また、その角度は８０°以下が好ましい。その理由について、図４に示すような傾斜をもたない凸状構造物２を例とし、図２を用いて説明する。

図４に示したような同面板１上に傾斜をもたない凸状構造物２に対し、図２（ａ）に示すように、液体３を投影光学系５と同面板１に接液させ、投影光学系５を、駆動方向７の方向に移動させると、液体３は気泡４を生じ、また変形することにより引きちぎれ、飛散するという不具合を生じる。

また、さらに投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、図２（ｂ）に示すように、凸状構造物２に乗り上げた液体３は、傾斜を持たない凸状構造物２の間に気泡４を生じ、発泡を引き起こし、結像性能の劣化を引き起こす。これらの不具合はその角度が８０°を超えると発生しやすくなる。

また、凸状構造物を同面板外周部に設置し、液体の外部への飛散を防止する機能をもたせる場合、その角度は９０°より大きい、つまり図５に示すような鈍角を持つことが好ましい。その理由は、凸状構造物が傾斜を持たない場合、及びその角度が鋭角の場合、液体が凸状構造物を乗り越えて飛散し、露光装置内の機械部分に入り込んでショートさせる、また、部品を錆びさせるといった悪影響を及ぼすといった不具合を発生しやすいためである。

また、この断面形状における傾斜は必ずしも両側についている必要はなく、同面板の内側にのみに存在すればよい。

図３に示すような、同面板１上に断面形状に６０°の傾斜６をもたせた凸状構造物２としてセンサーを形成した液浸型露光装置を用い、露光を行った。液体３は水を用いた。図１（ａ）に示すように、液体３を投影光学系５と同面板１に接液させ、投影光学系５を、駆動方向７の方向に移動させると、液体３は発泡を引き起こさず、凸状構造物２に乗り上げることができた。

また、さらに投影光学系５を駆動方向７の方向に移動させると、図１（ｂ）に示すように、凸状構造物２に乗り上げた液体３は、傾斜６をもつ凸状構造物２に沿って落ち、発泡を引き起こすことなく、凸状構造物２からずり落ちることができた。

以上の走査を繰り返すことによって結像性能を劣化させることなく露光を行うことができた。

外周部への液体の飛散防止機能をもたせるため、図５に示すような、同面板１上に断面形状に１２０°の傾斜６を同面板１の内側にもたせた凸状構造物２を同面板１の周辺部に設けた液浸型露光装置を用い、実施例１と同様の条件で露光を行った。

露光中、液体は凸状構造物を乗り越えず、飛散するという不具合を生じることなく露光を行うことができた。

以上、本発明の実施の形態について実施例を用いて説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく、特に凸状構造物はセンサーに限定されることなく、請求項の記載の範囲内において、適用可能である。

本発明の液浸型露光装置の露光時断面図 本発明の液浸型露光装置の露光時断面図 本発明の液浸型露光装置の凸状構造物断面図 本発明の液浸型露光装置の凸状構造物断面図 本発明の液浸型露光装置の凸状構造物断面図

符号の説明

１ 同面板
２ 凸状構造物
３ 液体
４ 気泡
５ 投影光学系
６ 傾斜
７ 駆動方向

Claims (7)

1. 同面板に凸となる構造物が存在することを特徴とする液浸型露光装置。
2. 同面板の高さと露光光センサー受光面が、少なくともウエハー又は同面板と同じ高さであることを特徴とする液浸型露光装置。
3. 前記センサーにカバーをつけることによって、同面板に凸となる構造物が存在することを特徴とする請求項２に記載の液浸型露光装置。
4. 同面板上に凸となる構造物の断面形状が傾斜をもつことを特徴とする請求項１または３に記載の液浸型露光装置。
5. 同面板上に凸となる構造物の断面形状が鋭角をもつことを特徴とする請求項１、３、４のいずれかに記載の液浸型露光装置。
6. 前記角度が８０°以下であることを特徴とする請求項１、３、４、５のいずれかに記載の液浸型露光装置。
7. 同面板外周部に凸となる構造物が存在する場合、その断面形状が鈍角をもつことを特徴とする請求項１、３、４のいずれかに記載の液浸型露光装置。