JP2006139120A - Method for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、特に、液晶表示装置の製造工程の1つであるラビング工程に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a rubbing process which is one of manufacturing processes for a liquid crystal display device.
液晶表示装置の製造工程においては、液晶分子を所定の方向に配向させるために、ラビング工程が必要である。このラビング工程は、レーヨン等の布を金属ロールに巻き付け、この金属ロールを一定速度で回転させながら、表面に配向膜が形成されたガラス基板全面をその端からラビングする(擦る)というのが一般的である。 In the manufacturing process of a liquid crystal display device, a rubbing process is necessary to align liquid crystal molecules in a predetermined direction. In this rubbing process, a cloth such as rayon is wound around a metal roll, and the entire surface of the glass substrate on which an alignment film is formed is rubbed (rubbed) from the end while rotating the metal roll at a constant speed. Is.
従来例に係わるラビング工程について図5を参照しながら説明する。レーヨンやナイロン等の繊維からできたラビング布1をラビングローラー2に巻きつけ、ステージ4上に設置され、表面に配向膜(不図示)が形成されたガラス基板3を一定方向に擦ることによって、ガラス基板3の表面に物理的なストライプ状の溝を形成する。このラビング工程により、ガラス基板3上に成膜された配向膜が所定の方向に揃い、後工程で注入する液晶分子を所定の方向に配向させることができる。
A rubbing process according to a conventional example will be described with reference to FIG. By rubbing a rubbing
しかしながら、このラビング工程において、配向膜やその他薄膜、エッチング残渣などの剥がれやすいガラス基板があった場合には、ラビング布1によって配向膜が擦られるために、図6に示す如く、ラビング布1の表面、特に布のパイル10先端に異物(剥離物)が付着することがある。そして、異物がラビング布1に付着した状態で引き続きラビング工程を行えば、次処理のガラス基板に異物が付着(転写)したり、配向膜表面に傷をつけてしまうことがある。
However, in this rubbing process, if there is a glass substrate that easily peels off an alignment film, other thin films, etching residues, etc., the alignment film is rubbed by the rubbing
このような事態を避けるために、ラビング工程の度にラビング布を新しいものと交換することができる。また、ガラス基板の配向膜の形成されていない領域に異物除去部を設けた液晶表示装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
このように、ガラス基板上の配向膜表面に異物が付着した部分や、傷がついた部分があると、液晶分子の配向が乱れるため、液晶表示のムラが発生し、液晶表示装置の品質が低下するという問題がある。 In this way, if there is a part where a foreign substance adheres to the surface of the alignment film on the glass substrate or a part with a scratch, the alignment of the liquid crystal molecules is disturbed, resulting in unevenness of the liquid crystal display and the quality of the liquid crystal display device There is a problem of lowering.
上記問題を解決するための方法として、上述のとおりラビング工程の度にラビング布を新しいものと交換することもできるが、生産性やコストを考慮し、同じラビング布で数十〜数百枚ラビング処理を行うのが通常である。また、ガラス基板上流側で表面に配向膜が形成されていない領域に異物除去部を設けたとしても、以下の問題がある。まず、同一基板上に異物除去のための専用パターンを形成する必要があるため、製造コストがかかる。 As a method for solving the above problems, the rubbing cloth can be replaced with a new one at the time of the rubbing process as described above, but considering the productivity and cost, dozens to hundreds of rubbing with the same rubbing cloth Processing is usually performed. Moreover, even if the foreign substance removing portion is provided in a region where the alignment film is not formed on the surface upstream of the glass substrate, there are the following problems. First, since it is necessary to form a dedicated pattern for removing foreign substances on the same substrate, manufacturing costs are increased.
また、セルギャップに影響するほどの高さの異物除去パターンを形成できないという問題がある。さらに、同一ガラス基板上で異物除去行為を行うと、異物除去機能を高めるどころか、この異物が飛散してしまい近傍の配向膜が形成された領域(表示領域)に付着してしまう可能性がある。さらにまた、ラビング布に付着した異物が次処理のガラス基板へ転写する可能性がある。 In addition, there is a problem in that a foreign matter removal pattern that is high enough to affect the cell gap cannot be formed. Furthermore, if the foreign matter removal action is performed on the same glass substrate, the foreign matter may be scattered rather than enhancing the foreign matter removal function, and may adhere to a region (display region) where a nearby alignment film is formed. . Furthermore, there is a possibility that foreign matter adhering to the rubbing cloth is transferred to the glass substrate for the next processing.
本発明の液晶表示の製造方法は、上記課題に鑑みて為されたものであり、以下の特徴を有する。すなわち、本発明の液晶表示の製造方法は、ラビング布を巻き付けたラビングローラーを用いて配向膜が表面に形成された基板をラビング処理する工程と、次の基板をラビング処理する前に前記ラビングローラーを異物除去基板上に押しつけて回転移動させることで、前記ラビング布に付着した異物を除去する工程と、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程と、を有することを特徴とするものである。 The manufacturing method of the liquid crystal display of this invention was made in view of the said subject, and has the following characteristics. That is, the method for manufacturing a liquid crystal display according to the present invention includes a step of rubbing a substrate on which an alignment film is formed using a rubbing roller wound with a rubbing cloth, and the rubbing roller before rubbing the next substrate. A step of removing the foreign matter adhering to the rubbing cloth and a step of removing the foreign matter adhering to the foreign matter removal substrate by pressing and rotating the foreign matter on the foreign matter removal substrate. It is.
かかる製造方法によれば、異物除去基板を用いることでラビング布を異物がない状態に保つことができるため、次処理のガラス基板に異物が転写することを効果的に防止することができる。また、同じラビング布を繰り返しリフレッシュして使用することが可能であるため、ラビング布の交換工程を極力減らすことができ、生産性やコストの面で優れる。 According to this manufacturing method, since the rubbing cloth can be kept free of foreign matters by using the foreign matter removing substrate, it is possible to effectively prevent foreign matters from being transferred to the glass substrate for the next treatment. In addition, since the same rubbing cloth can be repeatedly refreshed and used, the rubbing cloth replacement process can be reduced as much as possible, which is excellent in terms of productivity and cost.
また、異物除去基板を用いることでラビング布に付着した異物が当該異物除去基板へと転写されるが、異物除去基板を再び用いてラビング布をリフレッシュする際に当該基板に異物が残っているとすれば、再びラビング布へと異物が転写されるという問題がある。そこで、異物除去基板に付着した異物をその都度除去することで上記問題を解決することができる。また、かかる工程によれば、異物除去基板は繰り返しリフレッシュして使用することができるため、生産性やコストの面でも優れる。 In addition, the foreign matter adhered to the rubbing cloth is transferred to the rubbing cloth substrate by using the foreign substance removing substrate, but when the foreign substance removing substrate is used again to refresh the rubbing cloth, the foreign matter remains on the substrate. Then, there is a problem that foreign matter is transferred to the rubbing cloth again. Then, the said problem can be solved by removing the foreign material adhering to a foreign material removal board | substrate each time. In addition, according to this process, the foreign substance removal substrate can be repeatedly refreshed and used, which is excellent in terms of productivity and cost.
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程が、ドライクリーナーを用いること特徴とする。 The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is characterized in that the step of removing the foreign matter adhering to the foreign matter removing substrate uses a dry cleaner.
さらに、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程が、除塵テープを用いることを特徴とする。 Furthermore, the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is characterized in that the step of removing the foreign matter adhering to the foreign matter removing substrate uses a dust removing tape.
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板が前記基板と同一の材料から成ることを特徴とする。 In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the foreign substance removing substrate is made of the same material as the substrate.
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板の表面に凹凸が形成されていることを特徴とする。 In addition, the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is characterized in that irregularities are formed on the surface of the foreign substance removal substrate.
本発明の製造方法によれば、ラビング布及び異物除去基板を異物がない状態に保つことができ、次処理の基板に異物が転写することを効果的に防止することができるため、結果として液晶表示装置の品質の向上を図ることができる。また、ラビング布の交換工程を減らすため、生産性に優れる。また、ラビング布と異物除去基板は繰り返しリフレッシュして使用ができ、コストを抑えることができる。 According to the manufacturing method of the present invention, the rubbing cloth and the foreign substance removal substrate can be kept free of foreign substances, and the foreign substance can be effectively prevented from being transferred to the substrate for the next treatment. The quality of the display device can be improved. In addition, since the rubbing cloth replacement process is reduced, the productivity is excellent. Further, the rubbing cloth and the foreign substance removing substrate can be repeatedly refreshed and used, and the cost can be reduced.
本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。まず、図1に示すように、表面に配向膜(不図示)が形成されたガラス基板3をステージ4上に設置する。ここで、配向膜には例えば、ポリイミド系の樹脂が用いられる。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, as shown in FIG. 1, a
次に、レーヨンやナイロン等の繊維からできたラビング布1を巻き付けたラビングローラー2を、ガラス基板3に押しつけてその端から一定方向に回転移動させ、ガラス基板3の全面をラビング処理する。
Next, a
次に、図2に示すように、一度ラビング処理した後のラビング布1を巻き付けたラビングローラー2を、ステージ4の前段に設置された異物除去基板5を用いてリフレッシュする。図3は異物除去基板5を用いてラビング布1をリフレッシュする工程を示す断面図である。
Next, as shown in FIG. 2, the
本発明では、通常のラビング処理と同様に、ラビングローラー2を異物除去基板5に押しつけて一定方向に回転移動させる。ここで、異物除去基板5として、ガラス基板3と同じガラス基板を使用することができる。なお、異物除去基板5の表面は、平坦であってもある程度の異物除去効果はあるが、ラビング布に付着した異物6をより除去し易くするためには、図3に示すように凹凸部とすることが好ましい。異物6を凹凸部の段差で引っ掛け、擦り取ることができるからである。また、このような凹凸部はガラス基板表面に金属薄膜から成るストライプパターンによって形成することができる。また、異物除去基板5の厚みは、ガラス基板3と同じであることがラビングローラー2の押圧力を揃える上で好ましい。
In the present invention, the
かかる異物除去工程によれば、図3に示す如く、ラビング処理により付着した異物6が、ラビング布1から異物除去基板5へと転写されるため、ラビング布1をリフレッシュすることができる。
According to the foreign matter removing step, as shown in FIG. 3, the
そして、この工程を実行している間にステージ4上では次処理のガラス基板7を設置する。次に、リフレッシュされたラビング布1で次処理のガラス基板7をラビングするが、この間に図4に示すように、上記工程によって異物除去基板5上に転写された異物6を除去する。異物除去基板5は、ガラス基板3と違って表面に配向膜や素子がないため、異物を除去し易く、容易にリフレッシュ可能である。
And while performing this process, the
異物除去基板5上に付着した異物を除去する方法としては、例えばドライクリーナー8を用いることができる(図4(a))。すなわち、ドライクリーナー8から放出される風力によって異物除去基板5に付着した異物6を一掃することができる。ドライクリーナーによる異物の除去は、特別な薬品を用いる必要がないため、時間もコストも極めて少なく抑えることができる。
For example, a
また、他の方法としては、除塵テープ9を巻いたローラーを用いることができる(図4(b))。すなわち、接着性のある除塵テープ9を巻いたローラーを異物除去基板5に押しつけて回転移動させることで、異物が除塵テープに接着(転写)する。そして、異物が接着した除塵テープ9を異物除去基板5から剥離することによって、異物除去基板5上の異物を除去することができる。
Further, as another method, a roller around which the dust removing tape 9 is wound can be used (FIG. 4B). That is, the foreign material adheres (transfers) to the dust removal tape by pressing and rotating the roller wound with the adhesive dust removal tape 9 against the foreign
そして、さらに次の基板をラビング処理する前に、ラビングローラー2を上記処理によって異物が除去された異物除去基板5に押しつけて一定方向に回転移動させ、ラビング布1に付着した異物6を除去する。その後、異物が除去されたラビングローラー2を用いて次の基板のラビング処理を行う。以下、上記工程、即ち、異物除去基板5のクリーニング、異物除去基板5によるラビングローラー2の異物除去、ラビング処理の繰り返しとなる。
Then, before further rubbing the next substrate, the
以上一連の工程により、ラビング布1は、ラビング処理が行われる度に異物のないクリーンな異物除去基板5を用いてリフレッシュされるため、ラビング布1に付着した異物が次処理のガラス基板7に転写することを防止することができる。
Through the above series of steps, the rubbing
1 ラビング布 2 ラビングローラー 3 ガラス基板
4 ステージ 5 異物除去基板 6 異物
7 次処理のガラス基板 8 ドライクリーナー 9 除塵テープ
10 パイル
1 rubbing
Claims (5)
次の基板をラビング処理する前に前記ラビングローラーを異物除去基板上に押しつけて回転移動させることで、前記ラビング布に付着した異物を除去する工程と、
前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程と、
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 Rubbing a substrate having an alignment film formed on the surface using a rubbing roller wound with a rubbing cloth; and
Before the rubbing treatment of the next substrate, the rubbing roller is pressed against the foreign matter removing substrate and rotationally moved, thereby removing foreign matters attached to the rubbing cloth;
Removing foreign matter adhering to the foreign matter removal substrate;
A method of manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
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JP2004329339A JP2006139120A (en) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | Method for manufacturing liquid crystal display device |
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