JP2006135086A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. マスクのパターンを感光基板に転写する露光装置であって、
   前記マスクの面を境界とする空間を定義する空間定義部材とともに前記マスクを移動させるマスクステージと、
   前記空間の圧力を検知する圧力センサと、
   前記圧力センサの出力に基づいて前記空間の圧力を制御する圧力制御器と、
   を備え、前記圧力センサは、前記マスクとほぼ一定の位置関係を維持しながら移動するように配置されていることを特徴とする露光装置。
2. 前記圧力センサは、前記マスクステージに配置されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記圧力センサは、差圧センサであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
4. 前記圧力センサの周囲を取り囲む囲包部を更に備えていることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
5. 前記囲包部は、開口部を有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
6. 前記囲包部は、
   前記開口部を閉塞する閉塞部材と、
   前記閉塞部材を駆動するアクチュエータと、
   を有することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 前記アクチュエータは、前記マスクステージが移動を開始する前に前記開口部を閉塞し、前記マスクステージが移動を終了した後に前記開口部を開口するように前記閉塞部材を駆動することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
8. 前記アクチュエータは、マスクのパターンを感光基板に転写する露光処理が開始される前に前記開口部を閉塞し、前記露光処理が終了した後に前記開口部を開口するように前記閉塞部材を駆動することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
9. 前記圧力制御器は、前記空間の圧力を制御するために前記空間と圧力制御ラインとの間にサーボバルブを有し、前記圧力センサの出力に基づいて前記サーボバルブを制御することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の露光装置。
10. 前記圧力制御器は、前記マスクステージの移動時における前記空間の圧力を前記圧力センサの出力に基づいて制御することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の露光装置。
11. 前記圧力制御器は、マスクのパターンを感光基板に転写する露光処理時における前記空間の圧力を前記圧力センサの出力に基づいて制御することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の露光装置。
12. デバイス製造方法であって、
    請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の露光装置を使用して感光基板にマスクのパターンを転写する工程と、
    パターンが転写された感光基板を現像処理する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。