JP2006134804A - 撮像素子及びそれを用いた撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空空間を挟んで対向するように各々別の基板上に形成された光電変換膜及び電子放出源アレイとを具える撮像素子において、前記光電変換膜と電子放出源アレイとの間に設けられ、前記電子放出源アレイから放出された電子の量を、二次電子放出を利用して増倍する電子増倍部をさらに具えることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
102 透光性導電膜
103 光電変換膜
104 信号ピン
105 真空容器
201、303、314、323 基板
202 カソード電極
204 ゲート電極
205 絶縁層
206、208、502 絶縁物
210 Spindt型電子放出源アレイ
301、321、311 電子増倍部
302、322 二次電子放出体
312 電子放出側電極
313 貫通孔
315 内壁
316 電子入射側電極
401、501 グリッド電極
601 永久磁石
602、603 端面
701、702 支持体
702、704 給電端子
801 光学レンズ
821 撮像素子
831 信号増幅処理回路
832 駆動回路
833 同期回路
834 電源
901 磁力線
Claims (5)
- 真空空間を挟んで対向するように各々別の基板上に形成された光電変換膜及び電子放出源アレイとを具える撮像素子において、前記光電変換膜と電子放出源アレイとの間に設けられ、前記電子放出源アレイから放出された電子の量を、二次電子放出を利用して増倍する電子増倍部をさらに具えることを特徴とする撮像素子。
- 請求項1に記載の撮像素子において、前記電子増倍部と光電変換膜との間に設けられた、多数の開口を有するグリッド電極をさらに具えることを特徴とする撮像素子。
- 請求項2に記載の撮像素子において、前記電子増倍部及びグリッド電極を、コンデンサを経て接地したことを特徴とする撮像素子。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の撮像素子において、前記電子放出源アレイと同一平面状又はその上部に絶縁部を介して設けられ、前記電子放出源が露出するような開口を有する電極をさらに具えることを特徴とする撮像素子。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の撮像素子を具えることを特徴とする撮像装置。
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