JP2006133811A - 光ファイバ送受信モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】発光素子又は受光素子と光ファイバとを光学的に高精度に接続することができ、簡単にかつ低コストで製造することができる光ファイバ送受信モジュール、光ファイバ送受信モジュールの製造方法及び電子機器を提供する。
【解決手段】光導波路12が設けられているとともに、光導波路12の一方端面側に光ファイバ20用の凹形状のガイド13が設けられているブロック11と、ブロック11に貼り付けられているものであって発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子1と、を有し、微小タイル状素子1は、発光素子又は受光素子の発光部又は受光部が光導波路12の他方端面に対向するように、配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】光導波路12が設けられているとともに、光導波路12の一方端面側に光ファイバ20用の凹形状のガイド13が設けられているブロック11と、ブロック11に貼り付けられているものであって発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子1と、を有し、微小タイル状素子1は、発光素子又は受光素子の発光部又は受光部が光導波路12の他方端面に対向するように、配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、発光素子又は受光素子と光ファイバとを光学的に接続する光ファイバ送受信モジュール、光ファイバ送受信モジュールの製造方法及び電子機器に関する。
従来、光ファイバを用いてレーザ光を伝送させて通信する光通信が行われている。その光ファイバの末端には、発光素子又は受光素子を備えるモジュールと呼ばれる部品が取り付けられている。この光通信用モジュールでは、例えば発光素子から出射された光が効率よく光ファイバのコアへ導入されるように、発光素子、レンズ及光ファイバのコア端面などが相互に3次元において精密に位置合わせして組み付けられている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記従来の光通信用モジュールでは、発光素子又は受光素子、レンズ及び光ファイバのコア端面の相互間を、高い精度で位置合わせしなければならず、しかも上記各要素の取り付けが3次元の自由度を持つため、その調整に手間がかかり、高いコストを要するという問題点があった。例えば、従来の光通信用モジュールでは、発光素子、レンズ及び光ファイバについて大まかな配置を行う。その後、発光素子から光を放射させ、その光がレンズで集光されて、光ファイバの端面に入射すように、発光素子、レンズ及び光ファイバ端面それぞれを3次元に微調整する必要があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、発光素子又は受光素子と光ファイバとを光学的に高精度に接続することができ、簡単にかつ低コストで製造することができる光ファイバ送受信モジュール、光ファイバ送受信モジュールの製造方法及び電子機器の提供を目的とする。
上記した目的を達成するために、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、光導波路が設けられているとともに、前記光導波路の一方端面側に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、前記ブロックに貼り付けられ、発光素子を有する複数の微小タイル状素子と、を有し、前記光導波路は複数の分岐路を有し、前記複数の微小タイル状素子の各々が、前記光導波路の前記複数の分岐路の各々の端面に対向するように配置されていることを特徴とする。
また、前記複数の微小タイル状素子の発光素子はそれぞれ発光波長が異なることが望ましい。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、光導波路が設けられているとともに、該光導波路の一方端面側に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、前記ブロックに貼り付けられているものであって発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子と、を有し、前記微小タイル状素子は、前記発光素子又は受光素子の発光部又は受光部が前記光導波路の他方端面に対向するように、配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、ブロックに設けられているガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバの一端をブロックの所定位置に設定(固定)することができる。そして、ガイドの側面又は底面などには、ブロックに設けられている光導波路の一方端面が位置するので、その光導波路の一方端面とガイドに挿入された光ファイバ一端のコア面とを対向させることができる。これにより、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光ファイバのコアとブロックの光導波路とを光学的に接続することができる。また、ブロックに貼り付けられた微小タイル状素子の発光素子又は受光素子と光導波路の他方端面とは対向しているので、その発光素子又は受光素子と光導波路とは光学的に接続されている。したがって、本発明によれば、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、発光素子又は受光素子とその光ファイバとを光学的に接続することができる。また、本発明によれば、光ファイバにはスリーブ又はフェルールなどの光ファイバ支持部品を取り付ける必要がないので、従来よりもコンパクトで安価な光ファイバ送受信モジュールを提供することができる。
また、前記複数の微小タイル状素子の発光素子はそれぞれ発光波長が異なることが望ましい。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、光導波路が設けられているとともに、該光導波路の一方端面側に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、前記ブロックに貼り付けられているものであって発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子と、を有し、前記微小タイル状素子は、前記発光素子又は受光素子の発光部又は受光部が前記光導波路の他方端面に対向するように、配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、ブロックに設けられているガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバの一端をブロックの所定位置に設定(固定)することができる。そして、ガイドの側面又は底面などには、ブロックに設けられている光導波路の一方端面が位置するので、その光導波路の一方端面とガイドに挿入された光ファイバ一端のコア面とを対向させることができる。これにより、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光ファイバのコアとブロックの光導波路とを光学的に接続することができる。また、ブロックに貼り付けられた微小タイル状素子の発光素子又は受光素子と光導波路の他方端面とは対向しているので、その発光素子又は受光素子と光導波路とは光学的に接続されている。したがって、本発明によれば、ガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、発光素子又は受光素子とその光ファイバとを光学的に接続することができる。また、本発明によれば、光ファイバにはスリーブ又はフェルールなどの光ファイバ支持部品を取り付ける必要がないので、従来よりもコンパクトで安価な光ファイバ送受信モジュールを提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記ガイド及び前記光導波路が該ガイドに挿入された光ファイバのコア端面が該光導波路の一方端面に対向するように、配置されていることが好ましい。
本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光導波路の一方端面と光ファイバのコア面とを高精度に位置合わせすることができる。また、発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子は、例えば光導波路の一端面が存在するブロックの表面に貼り付けられるので、その貼り付けのとき2次元の自由度で、発光素子又は受光素子の発光部又は受光部を光導波路の一方面に、容易に位置合わせすることができる。この位置合わせは、従来3次元の自由度で光ファイバと発光素子及びレンズなどとを相互に位置合わせしなければならないことに比較して、非常に簡易にかつ高精度に行うことができる。したがって、本発明によれば、光ファイバと発光素子又は受光素子とを簡易にかつ高精度に光結合することができる。また、本発明によれば、発光素子又は受光素子を微小タイル状素子に設けているので、極めてコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを低コストで提供することができる。
本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光導波路の一方端面と光ファイバのコア面とを高精度に位置合わせすることができる。また、発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子は、例えば光導波路の一端面が存在するブロックの表面に貼り付けられるので、その貼り付けのとき2次元の自由度で、発光素子又は受光素子の発光部又は受光部を光導波路の一方面に、容易に位置合わせすることができる。この位置合わせは、従来3次元の自由度で光ファイバと発光素子及びレンズなどとを相互に位置合わせしなければならないことに比較して、非常に簡易にかつ高精度に行うことができる。したがって、本発明によれば、光ファイバと発光素子又は受光素子とを簡易にかつ高精度に光結合することができる。また、本発明によれば、発光素子又は受光素子を微小タイル状素子に設けているので、極めてコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを低コストで提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路が、前記微小タイル状素子の発光素子の発光部又は受光素子の受光部と、前記ガイドに挿入された光ファイバとを光学的に接続するように形成されていることが好ましい。
本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光ファイバと発光素子又は受光素子とを高効率に光結合することができる。
本発明によれば、ブロックのガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、光ファイバと発光素子又は受光素子とを高効率に光結合することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路がテーパ形状になっていることが好ましい。
本発明によれば、テーパ形状の光導波路における広い方の端面に対向するように、発光素子又は光ファイバのコアなどを配置することで、その発光素子又は光ファイバの位置合わせの要求精度を低減しながら、その発光素子又は光ファイバからの放射光を高精度に所望の位置に伝播させることができ、発光素子又は受光素子と光ファイバとを、簡易にかつ高効率に光結合することができる。
本発明によれば、テーパ形状の光導波路における広い方の端面に対向するように、発光素子又は光ファイバのコアなどを配置することで、その発光素子又は光ファイバの位置合わせの要求精度を低減しながら、その発光素子又は光ファイバからの放射光を高精度に所望の位置に伝播させることができ、発光素子又は受光素子と光ファイバとを、簡易にかつ高効率に光結合することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記微小タイル状素子が発光素子を有するものであり、前記光導波路は、該微小タイル状素子側から前記ガイド側にいくにしたがって徐々に細くなるように、テーパ形状になっていることが好ましい。
本発明によれば、光導波路の端面における広い方の面が発光素子に対向するのでブロックにおける発光素子の位置合わせ精度の要求を低減しながら、発光素子と光ファイバとを高効率に光結合することができる。
本発明によれば、光導波路の端面における広い方の面が発光素子に対向するのでブロックにおける発光素子の位置合わせ精度の要求を低減しながら、発光素子と光ファイバとを高効率に光結合することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記微小タイル状素子が、受光素子を有するものであり、前記光導波路は、該微小タイル状素子側から前記ガイド側にいくにしたがって徐々に太くなるように、テーパ形状になっていることが好ましい。
本発明によれば、光導波路の端面における広い方の面が光ファイバのコア面に対向するので、ブロックに対する光ファイバコア面の位置合わせ精度の要求を低減しながら、受光素子と光ファイバとを高効率に光結合することができる。
本発明によれば、光導波路の端面における広い方の面が光ファイバのコア面に対向するので、ブロックに対する光ファイバコア面の位置合わせ精度の要求を低減しながら、受光素子と光ファイバとを高効率に光結合することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路は分岐しており、それぞれの分岐端に異なる発光波長の発光素子を有する微小タイル状素子が貼り付けられていることが好ましい。
本発明によれば、複数の発光素子それぞれから放射された波長が異なる光を、光導波路の各分岐路に入射させ、その光導波路内において集合させて1つの出射端から出射させ、光ファイバのコアに入射させることができる。したがって、本発明によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュールを簡易にかつ高精度に構成することができる。
本発明によれば、複数の発光素子それぞれから放射された波長が異なる光を、光導波路の各分岐路に入射させ、その光導波路内において集合させて1つの出射端から出射させ、光ファイバのコアに入射させることができる。したがって、本発明によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュールを簡易にかつ高精度に構成することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記ブロックに、発光波長の異なる発光素子をそれぞれ有する複数の前記微小タイル状素子が貼り付けられており、該複数の微小タイル状素子の発光部すべてが前記光導波路の端面に対向する領域内に位置するように、配置されていることが好ましい。
本発明によれば、テーパ形状の光導波路における広い方の端面内に対向するように、複数の微小タイル状素子の発光部すべてが配置されているので、複数の発光素子それぞれから放射された波長が異なる光を、光導波路内において集合させて光ファイバのコアに入射させることができる。したがって、本発明によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュールを、より簡易にかつ高精度に構成することができる。
本発明によれば、テーパ形状の光導波路における広い方の端面内に対向するように、複数の微小タイル状素子の発光部すべてが配置されているので、複数の発光素子それぞれから放射された波長が異なる光を、光導波路内において集合させて光ファイバのコアに入射させることができる。したがって、本発明によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュールを、より簡易にかつ高精度に構成することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路が、棒形状の低屈折率部材と、該低屈折率部材の端面以外の周囲を覆う高屈折率部材とからなることが好ましい。
本発明によれば、既存技術である光ファイバの製造方法を用いて上記ブロック及び光導波路を製造することができるので、より簡易にかつ低コストで高精度な光ファイバ送受信モジュールを提供することができる。
本発明によれば、既存技術である光ファイバの製造方法を用いて上記ブロック及び光導波路を製造することができるので、より簡易にかつ低コストで高精度な光ファイバ送受信モジュールを提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路における端面以外の境界面が金属反射膜で覆われていることが好ましい。
本発明によれば、上記ブロック及び光導波路などを製造するときの材料及び製法の自由度を高めることができる。
本発明によれば、上記ブロック及び光導波路などを製造するときの材料及び製法の自由度を高めることができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路が屈曲していることが好ましい。
本発明によれば、発光素子又は受光素子あるいはガイドなどの配置の自由度を高めることができる。したがって、各種装置に適合する光ファイバ送受信モジュールを容易に提供することができる。
本発明によれば、発光素子又は受光素子あるいはガイドなどの配置の自由度を高めることができる。したがって、各種装置に適合する光ファイバ送受信モジュールを容易に提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記ブロックに、少なくとも受光手段を含む集積回路チップが設けられており、前記受光手段は、前記微小タイル状素子の発光素子に対向するように配置されていることが好ましい。
本発明によれば、例えば発光素子として面発光レーザを用いると、その発光素子からは光導波路に向かう光と集積回路チップの受光手段に向かう光とが放射されるので、発光素子の発光量を受光手段でモニタリングすることができる。
本発明によれば、例えば発光素子として面発光レーザを用いると、その発光素子からは光導波路に向かう光と集積回路チップの受光手段に向かう光とが放射されるので、発光素子の発光量を受光手段でモニタリングすることができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記受光手段が、前記発光素子の発光量を検出し、該検出値に基づいて該発光量を制御する自動出力制御回路の検出部として機能することが好ましい。
本発明によれば、発光素子の発光量を自動制御(APC)できる光ファイバ送受信モジュールを、極めてコンパクトにかつ簡便に形成することができる。したがって、温度変化、経年変化及び製造品位などに影響されずに、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
本発明によれば、発光素子の発光量を自動制御(APC)できる光ファイバ送受信モジュールを、極めてコンパクトにかつ簡便に形成することができる。したがって、温度変化、経年変化及び製造品位などに影響されずに、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記集積回路チップが、前記受光手段が検出した受光量に基づいて、前記発光素子の発光量を制御する自動出力制御回路を有することが好ましい。
本発明によれば、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
本発明によれば、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記集積回路チップが、前記自動出力制御回路の出力に基づいて、前記発光素子を駆動するドライバ回路を有することが好ましい。
本発明によれば、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールをより安価に提供することができる。
本発明によれば、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュールをより安価に提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記受光手段がフォトダイオード又はフォトトランジスタであることが好ましい。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記フォトダイオードがMSM型フォトダイオードであることが好ましい。
本発明によれば、MSM型フォトダイオードが構造が単純で増幅用トランジスタとともに集積化しやすいので、よりコンパクトで高機能な光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
本発明によれば、MSM型フォトダイオードが構造が単純で増幅用トランジスタとともに集積化しやすいので、よりコンパクトで高機能な光ファイバ送受信モジュールを安価に提供することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記集積回路チップが前記ブロックにフリップチップ実装されていることが好ましい。
本発明によれば、発光素子と受光手段(集積回路チップ)との間に隙間を設けることができ、発光素子と受光手段が接触することによる発光素子(微小タイル状素子)などが損傷することを回避することができる。
本発明によれば、発光素子と受光手段(集積回路チップ)との間に隙間を設けることができ、発光素子と受光手段が接触することによる発光素子(微小タイル状素子)などが損傷することを回避することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記光導波路が3次元に分岐していることが好ましい。
本発明によれば、光導波路の構成要素である複数の分岐路を高密度に配置することができ、各分岐路の端面に微小タイル素子からなる発光素子又は受光素子を配置できるので、高度に多重化(数十波長以上)できる光ファイバ送受信モジュールを極めてコンパクトに構成することができる。
本発明によれば、光導波路の構成要素である複数の分岐路を高密度に配置することができ、各分岐路の端面に微小タイル素子からなる発光素子又は受光素子を配置できるので、高度に多重化(数十波長以上)できる光ファイバ送受信モジュールを極めてコンパクトに構成することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールは、前記ガイドに、光ファイバ、又は光ファイバに取り付けられたフェルールあるいはスリーブが挿入されることが好ましい。
本発明によれば、光ファイバのみ、又は、光ファイバに取り付けられたスリーブあるいはフェルールをガイドに挿入するだけで、簡易にかつ高精度に、光ファイバと発光素子又は受光素子とを光結合することができる。
本発明によれば、光ファイバのみ、又は、光ファイバに取り付けられたスリーブあるいはフェルールをガイドに挿入するだけで、簡易にかつ高精度に、光ファイバと発光素子又は受光素子とを光結合することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールの製造方法は、光導波路と、該光導波路の一方端面側に位置する光ファイバ用のガイドとを備えるブロックを形成し、前記ブロックの表面における前記光導波路の他方端面に対向する位置に、発光素子又は受光素子を有する微小タイル状素子を貼り付けることを特徴とする。
本発明によれば、ブロックに設けられているガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバの一端をブロックの所定位置に正確に固定できる光ファイバ送受信モジュールを、簡単に製造することができる。
本発明によれば、ブロックに設けられているガイドに光ファイバの一端を挿入するだけで、その光ファイバの一端をブロックの所定位置に正確に固定できる光ファイバ送受信モジュールを、簡単に製造することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールの製造方法は、前記ブロックが複数の板状部材を積層したものであり、前記光導波路は、前記複数の板状部材のうちの少なくとも一つに溝を設け、該溝に透明部材を埋め込んで形成されたものであることが好ましい。
本発明によれば、複数の板状部材を組み合わせることなどにより、穴開け工程などを必要とせずに、上記光ファイバ送受信モジュールを高精度にかつ簡易に製造することができる。
本発明によれば、複数の板状部材を組み合わせることなどにより、穴開け工程などを必要とせずに、上記光ファイバ送受信モジュールを高精度にかつ簡易に製造することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールの製造方法は、前記透明部材が樹脂からなることが好ましい。
本発明によれば、例えば上記板状部材に設けた溝に、液状体の透明部材を塗布して埋め込むことなどにより、上記光導波路を簡易に製造することができる。
本発明によれば、例えば上記板状部材に設けた溝に、液状体の透明部材を塗布して埋め込むことなどにより、上記光導波路を簡易に製造することができる。
また、本発明の光ファイバ送受信モジュールの製造方法は、前記ガイドが、前記複数の板状部材のうちの少なくとも2つであって、前記溝が設けられた板状部材を少なくとも含む板状部材に設けられた切り欠きからなることが好ましい。
本発明によれば、1枚又は複数枚の板状部材に切り欠きを設け、それらの板状部材を重ね合わせる又は組み合わせることで、上記ガイドを備える光ファイバ送受信モジュールを簡易に製造することができる。
本発明によれば、1枚又は複数枚の板状部材に切り欠きを設け、それらの板状部材を重ね合わせる又は組み合わせることで、上記ガイドを備える光ファイバ送受信モジュールを簡易に製造することができる。
本発明の電子機器は、前記光ファイバ送受信モジュールを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、発光素子又は受光素子と光ファイバとを光学的に正確に接続できるコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを備えた電子機器を提供することができる。そこで、本発明によれば、光信号を送受信できるコンパクトな電子機器を安価に提供することができる。
本発明によれば、発光素子又は受光素子と光ファイバとを光学的に正確に接続できるコンパクトな光ファイバ送受信モジュールを備えた電子機器を提供することができる。そこで、本発明によれば、光信号を送受信できるコンパクトな電子機器を安価に提供することができる。
以下、本発明に係る光ファイバ送受信モジュールについて、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールとこれに接続される光ファイバを示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、光導波路12及びガイド13を備えるブロック11と、ブロック11に直接貼り付けられた微小タイル状素子1とを有する。
(第1実施形態)
図1は本発明の第1実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールとこれに接続される光ファイバを示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、光導波路12及びガイド13を備えるブロック11と、ブロック11に直接貼り付けられた微小タイル状素子1とを有する。
微小タイル状素子1は、例えば発光素子又は受光素子を備える。そして、微小タイル状素子1は、微小なタイル形状(板形状)の半導体デバイスであり、例えば厚さ1μmから20μm、縦横の大きさ数十μmから数百μmの四角形板状部材である。この微小タイル状素子の製造方法及び貼り付け方法については後で詳細に説明する。なお、微小タイル状素子の形状は四角形に限定されず、他の形状であってもよい。
微小タイル状素子1が備える発光素子としては、例えば面発光レーザ、端面レーザLEDなどを適用することができる。微小タイル状素子1が備える受光素子としては、例えばフォトダイオード、フォトトランジスタなどを適用することができる。ここで、フォトダイオードとしては、PIN型フォトダイオード、APD(アバランシェフォトダイオード)、MSM(Metal-Semiconductor-Metal)型フォトダイオードを用途に応じて選ぶことができる。APDは、光感度、応答周波数ともに高い。MSM型フォトダイオードは、構造が単純で増幅用トランジスタとともに集積化しやすい。光導波路12は、ブロック11を貫くように設けられているものであって、光が伝播する部材(固体、液体又は気体を含む)からなるものである。
そして、ガイド13は、ブロック11における光導波路12の一方端面側に設けられている。微小タイル状素子1は、その微小タイル状素子1における発光部又は受光部が光導波路12の他方端面(ブロック11の側面14と平行な面)に対向するように、配置されている。その発光部又は受光部の中心と、光導波路12の他方端面の中心とが一致するように、配置されることが好ましい。ただし、微小タイル状素子1が発光素子を備えている場合は、光導波路12の他方端面領域内に、その発光素子の発光部が入っていれば、発光素子と光ファイバのコア22とを高い光結合効率で接続することができる。微小タイル状素子1が受光素子を備えている場合は、受光素子の受光部領域内に、光導波路12の他方端面のすべてが入っていれば、受光素子と光ファイバのコア22とを高い光結合効率で接続することができる。
微小タイル状素子1と光導波路12の他方端面との位置合わせは、微小タイル状素子1をブロック11の側面14上で、X軸とY軸の2次元について位置決めすることで行えばよい。したがって、本実施形態によれば、従来の光通信用モジュールのように、発光素子又は受光素子をX軸、Y軸及びZ軸の3次元について位置決めする必要がなく、また発光素子又は受光素子を駆動させながら位置決めする必要もない。そこで、本実施形態によれば、従来よりも発光素子又は受光素子の位置決めを簡単にかつ迅速に実行することができる。
また、ブロック11においてガイド13及び光導波路12は、ガイド13に挿入された光ファイバのコア22の端面に対向するように配置されている。ここで、ガイド13の凹形状は、断面が円形であり、その直径が光ファイバ20のクラッド21を含む端部の直径と略同一か又は若干大きめであることが好ましい。そして、ガイド13に挿入された光ファイバのコア22の中心が光導波路12の一方端面の中心に位置することが好ましい。このようにすると、ガイド13に光ファイバ20の一端を挿入するだけで、光導波路12と光ファイバ20のコア22とを高い光結合効率で接続することができる。したがって、ガイド13に光ファイバ20の一端を挿入するだけで、光ファイバ20のコア22と微小タイル状素子1の発光素子又は受光素子とを高い光結合効率で接続することができる。
ただし、微小タイル状素子1が発光素子を備えている場合は、光ファイバのコア22の端面領域内に、光導波路12の一方端面が入っていれば、発光素子とコア22とを高い光結合効率で接続することができる。微小タイル状素子1が受光素子の場合は、光導波路12の一方端面領域に、光ファイバのコア22の端面が入っていれば、受光素子とコア22とを高い光結合効率で接続することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図2及び図3を参照して説明する。図2は本発明の第2実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図3は本実施形態の他の例を示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、光導波路12a,12bがテーパ形状になっている点が、上記第1実施形態と異なる。光導波路12a,12bをテーパ形状とすることで、微小タイル状素子1の貼り付け位置精度及びガイド13の形成精度についての要求を低減しながら、発光素子又は受光素子と光ファイバ20とを高効率に光結合することができる。
次に、本発明の第2実施形態について図2及び図3を参照して説明する。図2は本発明の第2実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図3は本実施形態の他の例を示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、光導波路12a,12bがテーパ形状になっている点が、上記第1実施形態と異なる。光導波路12a,12bをテーパ形状とすることで、微小タイル状素子1の貼り付け位置精度及びガイド13の形成精度についての要求を低減しながら、発光素子又は受光素子と光ファイバ20とを高効率に光結合することができる。
図2に示す光ファイバ送受信モジュール10では、微小タイル状素子1が発光素子を備えることが好ましい。そして、光導波路12aは、微小タイル状素子1側からガイド13側にいくにつれて徐々に細くなるように、テーパ形状になっている。このようにすると、光導波路12aの端面における広い方の面が微小タイル状素子1の発光素子に対向するので、光導波路12aは発光素子の放射光を所望位置(光ファイバ20におけるコア22の端面)に集光することができる。すなわち光導波路12aはレンズと同じ作用を奏することができる。したがって、本実施形態によれば、発光素子の位置合わせ精度の要求を低減しながら、またガイド13の形成精度及びガイド13への光ファイバ20の取り付け位置精度の要求を低減しながら、発光素子と光ファイバ20のコア22とを高効率に光結合することができる。
図3に示す光ファイバ送受信モジュール10では、微小タイル状素子1が受光素子を備えることが好ましい。そして、光導波路12bは、微小タイル状素子1側からガイド13側にいくにつれて徐々に太くなるように、テーパ形状になっている。このようにすると、光導波路12aの端面における広い方の面が光ファイバ20におけるコア22の端面に対向するので、光導波路12aはコア22からの放射光を所望位置(微小タイル状素子1における受光部)に集光することができる。すなわち光導波路12bはレンズと同じ作用を奏することができる。したがって、本実施形態によれば、ブロック11に対する光ファイバ20におけるコア22端面の位置合わせ精度の要求を低減しながら、受光素子と光ファイバ20とを高効率に光結合することができる。
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図4及び図5を参照して説明する。図4は本発明の第3実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図5は本実施形態の他の例を示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、波長多重をすることができる。
次に、本発明の第3実施形態について図4及び図5を参照して説明する。図4は本発明の第3実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図5は本実施形態の他の例を示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、波長多重をすることができる。
図4に示す光ファイバ送受信モジュール10では、光導波路12cが3本の分岐路を備えている。そして、各分岐路の端面に対向するように、微小タイル状素子1a,1b,1cがブロック11の側面14に貼り付けられている。微小タイル状素子1aには波長λ1の光を放射する発光素子が設けられており、微小タイル状素子1bには波長λ2の光を放射する発光素子が設けられており、微小タイル状素子1cには波長λ3の光を放射する発光素子が設けられている。
各微小タイル状素子1a,1b,1cから放射された波長λ1,λ2,λ3の光は、光導波路12c内で合波され、ガイド13に挿入された光ファイバ20のコア22に入射する。したがって、本実施形態によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュール10を簡易にかつ高精度に構成することができる。なお、光導波路12cにおける分岐路の本数は3本に限定されるものではなく、光導波路12cに数十本の分岐路を設けてもよい。また、図4に示すように各分岐路を仮想平面状に配置するのではなく、各分岐路を3次元に配置してもよい。そして、各分岐路の端面に微小タイル状素子1を貼り付けることで、高度に波長多重できるコンパクトな光ファイバ送受信モジュール10を簡易にかつ高精度に構成することができる。
図5に示す光ファイバ送受信モジュール10では、ブロック11の側面14に複数の微小タイル状素子1a,1b,1cが貼り付けられている。微小タイル状素子1aには波長λ1の光を放射する発光素子が設けられており、微小タイル状素子1bには波長λ2の光を放射する発光素子が設けられており、微小タイル状素子1cには波長λ3の光を放射する発光素子が設けられている。光導波路12dは、テーパ形状となっており、太い方の端面が各微小タイル状素子1a,1b,1c側に配置されている。そして、各微小タイル状素子1a,1b,1cの発光部すべてが光導波路12dの太い方の端面に対向する領域内に位置するように、配置されている。
各微小タイル状素子1a,1b,1cから放射された波長λ1,λ2,λ3の光は、光導波路12d内で合波され、ガイド13に挿入された光ファイバ20のコア22に入射する。したがって、本実施形態によれば、波長多重伝送装置の出力部となる光ファイバ送受信モジュール10を簡易にかつ高精度に構成することができる。なお、光導波路12cの太い方の端面に対向する領域内に配置する微小タイル状素子1の数は3個に限定されるものではなく、数十個の発光波長の異なる微小タイル状素子1を光導波路12cの太い方の端面に対向する領域内に配置してもよい。このようにすると、高度に波長多重できるコンパクトな光ファイバ送受信モジュール10を簡易にかつ高精度に構成することができる。
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について図1及び図6を参照して説明する。図6は本発明の第4実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図1に示す光導波路12は、例えば高屈折率をもつ部材からなるものとしてその光導波路12を覆うブロック11は低屈折率の部材とする。このようにすると光ファイバのコアとそれを覆うクラッドとの関係のように、光導波路12(高屈折率部材)に入射した光は、高屈折率部材と低屈折率部材との間で全反射するので、光導波路12の中をほとんど減衰せずに伝播する。
次に、本発明の第4実施形態について図1及び図6を参照して説明する。図6は本発明の第4実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図1に示す光導波路12は、例えば高屈折率をもつ部材からなるものとしてその光導波路12を覆うブロック11は低屈折率の部材とする。このようにすると光ファイバのコアとそれを覆うクラッドとの関係のように、光導波路12(高屈折率部材)に入射した光は、高屈折率部材と低屈折率部材との間で全反射するので、光導波路12の中をほとんど減衰せずに伝播する。
図6に示す光ファイバ送受信モジュール10では、光導波路12における端面以外の境界面が金属反射膜15で覆われている。この金属反射膜15は金属蒸着処理などで形成する。金属反射膜15の内側は、空洞でもよく、透明部材が充填されていてもよく、その透明部材の屈折率は問わない。このようにすると、ブロック11の構成部材及び光導波路12の構成部材の選択自由度を向上させることができる。
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について図7を参照して説明する。図7は本発明の第5実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図7に示す光ファイバ送受信モジュール10における光導波路12eは、約90度屈曲している。そして、微小タイル状素子1は、屈曲した光導波路12eの他方端面(ブロック11の底面と平行な面)に対向するように、配置されている。
次に、本発明の第5実施形態について図7を参照して説明する。図7は本発明の第5実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。図7に示す光ファイバ送受信モジュール10における光導波路12eは、約90度屈曲している。そして、微小タイル状素子1は、屈曲した光導波路12eの他方端面(ブロック11の底面と平行な面)に対向するように、配置されている。
本実施形態によれば、微小タイル状素子1の貼り付け位置及びガイド13の配置の自由度を高めることができる。したがって、本実施形態によれば、各種装置に適合する光ファイバ送受信モジュール10を容易に製造することができる。
(第6実施形態)
次に、本発明の第6実施形態について図8を参照して説明する。図8は本発明の第6実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、ブロック11に集積回路チップ30がフリップチップ実装されている点が、上記実施形態と異なる。集積回路チップ30は、バンプ31を介してブロック11の側面14に対向するようにフリップリップ実装されている。したがって、集積回路チップ30とブロック11の側面14との間には隙間がある。
次に、本発明の第6実施形態について図8を参照して説明する。図8は本発明の第6実施形態に係る光ファイバ送受信モジュールを示す概略断面図である。本実施形態の光ファイバ送受信モジュール10は、ブロック11に集積回路チップ30がフリップチップ実装されている点が、上記実施形態と異なる。集積回路チップ30は、バンプ31を介してブロック11の側面14に対向するようにフリップリップ実装されている。したがって、集積回路チップ30とブロック11の側面14との間には隙間がある。
集積回路チップ30は、フォトダイオード又はフォトトランジスタなどからなる受光手段32を備えている。ブロックの側面14に貼り付けられている微小タイル状素子1は、発光素子を備えているものとする。この発光素子は面発光レーザであることが好ましい。そして、集積回路チップ30の受光手段32が微小タイル状素子の発光部に対向するように、集積回路チップ30は上記フリップチップ実装されている。
微小タイル状素子1に設けられた発光素子(例えば面発光レーザ)は、光導波路12にレーザ光を放射するとともに、集積回路チップ30の受光手段32に対してもレーザ光を放射する。これにより、微小タイル状素子1に設けられた発光素子の発光量を受光手段32でモニタリングすることができる。また、集積回路チップ30は、受光手段32の検出値に基づいて、微小タイル状素子1の発光素子の発光量を制御する自動出力制御回路(APC:Auto Power Control)と、その自動出力制御回路の出力信号を増幅して微小タイル状素子1の発光素子を駆動する電力を出力するドライバ回路とを備えることが好ましい。そのドライバ回路の出力はバンプ31を介して微小タイル状素子1の発光素子に送られる。
本実施形態によれば、微小タイル状素子1に設けられた発光素子(例えば面発光レーザ)の発光量を自動制御(APC)できる光ファイバ送受信モジュール10を、極めてコンパクトにかつ簡便に形成することができる。したがって、温度変化、経年変化及び製造品位などに影響されずに、所望発光量の光信号を長年に渡って安定に出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュール10を安価に提供することができる。また、本実施形態によれば、集積回路チップ30がブロック11にフリップチップ実装されているので、微小タイル状素子1と受光手段32との間に隙間を設けることができ、微小タイル状素子1と受光手段32が接触することによる微小タイル状素子1の損傷などを回避することができる。
(製造方法)
次に、上記実施形態の光ファイバ送受信モジュールの製造方法について、図9から図16を参照して説明する。図9は、上記実施形態の光ファイバ送受信モジュール10におけるブロック11を複数の板状部材11a,11b,11c,11dを積層して形成した状態を示す斜視図である。図10は、図9に示す光ファイバ送受信モジュール10の分解斜視図である。図11(a)は図9に示す光ファイバ送受信モジュール10の平面図であり、図11(b)は同モジュールの中央断面図であり、図11(c)は同モジュールの正面図である。
次に、上記実施形態の光ファイバ送受信モジュールの製造方法について、図9から図16を参照して説明する。図9は、上記実施形態の光ファイバ送受信モジュール10におけるブロック11を複数の板状部材11a,11b,11c,11dを積層して形成した状態を示す斜視図である。図10は、図9に示す光ファイバ送受信モジュール10の分解斜視図である。図11(a)は図9に示す光ファイバ送受信モジュール10の平面図であり、図11(b)は同モジュールの中央断面図であり、図11(c)は同モジュールの正面図である。
これらの図に示されているように、光ファイバ送受信モジュール10のガイド13は、板状部材11b,11cに設けられた切り欠きで構成される。また、板状部材11bには、光導波路12が設けられている。この光導波路12は、四角柱形状であり、その四角柱形状の上面が板状部材11bの上面と面一となるように、板状部材11bに埋め込まれている。なお、光導波路12の形状は四角柱形状に限定されるものではなく、四角柱以外の多角柱形状、円柱形状又は楕円柱形状であってもよい。また、光導波路12の上面が板状部材11bの上面と面一となるように、その光導波路12を設けることが好ましいが、板状部材11bなどの内部を貫くように光導波路12を設けてもよい。ただし、光導波路12の上面が板状部材11bの上面と面一となるように設けることで、光導波路12をより簡易に製造することができる。
もちろん光導波路12は、板状部材11cに設けてもよい。また光導波路12が板状部材11b,11cに半分ずつ埋め込まれるように形成してもよい。このようにすると、円筒形状の光導波路12も簡易に形成することができる。
もちろん光導波路12は、板状部材11cに設けてもよい。また光導波路12が板状部材11b,11cに半分ずつ埋め込まれるように形成してもよい。このようにすると、円筒形状の光導波路12も簡易に形成することができる。
次に、図9から図11に示す光ファイバ送受信モジュール10の詳細な製造方法について図12から図16を参照して説明する。図12は、光ファイバ送受信モジュール10の第1製造工程を示す斜視図である。先ず図12に示すように、平板11b’に対してエッチング処理又は切削を施して溝mを形成する。またスタンパあるいは射出成形などで、溝mを備える平板11b’を形成してもよい。
平板11b’は、上記板状部材11bの原材料となるものである。
平板11b’は、上記板状部材11bの原材料となるものである。
図13は、光ファイバ送受信モジュール10の第2製造工程を示す斜視図である。本工程では、溝mを樹脂で埋める。例えば、紫外線硬化性の液状体樹脂を溝mに埋め込み、次いで、その液状体樹脂に紫外線を照射することで硬化させる。
この樹脂は、透明であり、高屈折率を有することが好ましい。平板11b’は低屈接率材料からなることが好ましい。溝mに埋め込まれた樹脂は、上記光導波路12となるものである。
この樹脂は、透明であり、高屈折率を有することが好ましい。平板11b’は低屈接率材料からなることが好ましい。溝mに埋め込まれた樹脂は、上記光導波路12となるものである。
図14は、光ファイバ送受信モジュール10の第3製造工程を示す斜視図である。本工程では、上記第2製造工程まで加工を施された平板11b’の上面に平板11c’を張り合わせる。この平板11c’は、上記板状部材11cの原材料となるものである。平板11c’は低屈接率材料からなることが好ましい。
平板11b’と平板11c’の厚さは以下の条件を満たすようにしておく。第1に、平板11b’の厚さと平板11c’の厚さの合計値は、この光ファイバ送受信モジュール10へ接続する光ファイバ20又は光ファイバ20の端部に取り付けられたフェルール(光ファイバを支持する部品)の先端直径にほぼ等しいか、少し大きいこと。第2に、溝mを有する平板11b’に平板11c’を張り合わせることで光導波路12が形成されるので、この光導波路12の中心Oが張り合わせられた平板11b’と平板11c’の厚みdの中心に位置することが望ましい。
図15は、光ファイバ送受信モジュール10の第4製造工程を示す斜視図である。本工程では、図15に示すように平板11b’及び平板11c’に切り欠きkを設け、板状部材11b及び板状部材11cを作る。切り欠きkは、切削又はレーザ加工などで作ることができる。切り欠きkの幅dは、この光ファイバ送受信モジュール10へ接続する光ファイバ20又はフェルールの先端直径にほぼ等しいか、少し大きくする。
すなわち、切り欠きkの幅dは、張り合わせられた平板11b’(板状部材11b)と平板11c’(板状部材11c)の厚みdとほぼ同一とする。ここで、切り欠きkの開放端側の幅を少し広げてテーパ形状にするのが好ましい。または切り欠きkの開放端を面取りしてもよい。このようにすると、切り欠きkなどがなすガイド13に、光ファイバ20などが差し込み易くなる。また、切り欠きkの中心Oと図14に示す光導波路12の中心Oとが一致するように、切り欠きkを作製する。そして、切り欠きkの底面は平坦にする。
図16は、光ファイバ送受信モジュール10の第5製造工程を示す斜視図である。本工程では、図16に示すように、板状部材11bの底面に平板からなる板状部材11aを貼り付け、板状部材11cの上面に平板からなる板状部材11dを貼り付ける。ここで、板状部材11aの右側側面は、板状部材11b,11cにおける切り欠きkの端面よりも飛び出している方が好ましい。板状部材11dの右側端面は、板状部材11b,11cにおける切り欠きkの端面よりも引っ込んでいる方が好ましい。また、板状部材11dにおける切り欠きkに接する辺は面取りすることが好ましい。このようにすると、切り欠きkなどがなすガイド13に、光ファイバ20などがさらに差し込み易くなる。
以上の製造工程により、光ファイバ送受信モジュール10における光導波路12を備えるブロック10が完成する。その後、ブロック10の所定位置に微小タイル状素子1を貼り付けることにより、図1などに示す光ファイバ送受信モジュール10が完成する。
本製造方法によれば、複数の板状部材11a,11b,11c,11dを組み合わせることなどにより、穴開け工程などを必要とせずに、上記光ファイバ送受信モジュール10を高精度にかつ簡易に製造することができる。すなわち、本製造方法によれば、ブロック11に設けられているガイド13に光ファイバ20の一端を挿入するだけで、その光ファイバ20と、ブロック11の所定位置に貼り付けられている微小タイルタイル状素子1の発光素子又は受光素子とを高効率に光結合する光ファイバ送受信モジュール10を、簡単に製造することができる。
上記製造方法では平板11b’,11c’に後で切り欠きkを設けて板状部材11b,11cを形成したが、射出成形などにより光導波路12及び切り欠きk付きの板状部材11b,11cを一度の工程で形成することもできる。
上記製造方法では平板11b’,11c’に後で切り欠きkを設けて板状部材11b,11cを形成したが、射出成形などにより光導波路12及び切り欠きk付きの板状部材11b,11cを一度の工程で形成することもできる。
(微小タイル状素子の製造方法)
次に、発光素子又は受光素子を備える微小タイル状素子1の製造方法と、その微小タイル状素子1をブロック11(最終基板)に貼り付ける方法とについて、図17乃至図26を参照して説明する。本製造方法は、エピタキシャルリフトオフ法をベースにしている。また本製造方法では、微小タイル状素子としての化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を最終基板となるブロック11上に接着する場合について説明するが、ブロック11の種類及び形態に関係なく本発明を適用することができる。なお、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物資から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物資であれば「半導体基板」に含まれる。
次に、発光素子又は受光素子を備える微小タイル状素子1の製造方法と、その微小タイル状素子1をブロック11(最終基板)に貼り付ける方法とについて、図17乃至図26を参照して説明する。本製造方法は、エピタキシャルリフトオフ法をベースにしている。また本製造方法では、微小タイル状素子としての化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を最終基板となるブロック11上に接着する場合について説明するが、ブロック11の種類及び形態に関係なく本発明を適用することができる。なお、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物資から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物資であれば「半導体基板」に含まれる。
<第1工程>
図17は本微小タイル状素子の製造方法の第1工程を示す概略断面図である。
図17において、基板110は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板110における最下位層には、犠牲層111を設けておく。犠牲層111は、アルミニウム・ヒ素(AlAs)からなり、厚さが例えば数百nmの層である。
例えば、犠牲層111の上層には機能層112を設ける。機能層112の厚さは、例えば1μmから10(20)μm程度とする。そして、機能層112において半導体デバイス(例えば面発光レーザ)113を作成する。半導体デバイス113としては、面発光レーザ(VCSEL)のほかに他の機能素子、例えばフォトトランジスタ(PD)、あるいは高電子移動度トランジスタ(HEMT)、ヘテロバイポーラトランジスタ(HBT)などからなるドライバ回路又はAPC回路などを形成してもよい。これらの半導体デバイス113は、何れも基板110上に多層のエピタキシャル層を積層して素子が形成されたものである。また、各半導体デバイス113には、電極も形成し、動作テストも行う。
図17は本微小タイル状素子の製造方法の第1工程を示す概略断面図である。
図17において、基板110は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板110における最下位層には、犠牲層111を設けておく。犠牲層111は、アルミニウム・ヒ素(AlAs)からなり、厚さが例えば数百nmの層である。
例えば、犠牲層111の上層には機能層112を設ける。機能層112の厚さは、例えば1μmから10(20)μm程度とする。そして、機能層112において半導体デバイス(例えば面発光レーザ)113を作成する。半導体デバイス113としては、面発光レーザ(VCSEL)のほかに他の機能素子、例えばフォトトランジスタ(PD)、あるいは高電子移動度トランジスタ(HEMT)、ヘテロバイポーラトランジスタ(HBT)などからなるドライバ回路又はAPC回路などを形成してもよい。これらの半導体デバイス113は、何れも基板110上に多層のエピタキシャル層を積層して素子が形成されたものである。また、各半導体デバイス113には、電極も形成し、動作テストも行う。
<第2工程>
図18は本微小タイル状素子の製造方法の第2工程を示す概略断面図である。
本工程においては、各半導体デバイス113を分割するように分離溝121を形成する。分離溝121は、少なくとも犠牲層111に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、10μmから数百μmとする。また、分離溝121は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝121を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝121は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
また、分離溝121相互の間隔を数十μmから数百μmとすることで、分離溝121によって分割・形成される各半導体デバイス113のサイズを、数十μmから数百μm四方の面積をもつものとする。分離溝121の形成方法としては、フォトリソグラフィとウェットエッチングによる方法、またはドライエッチングによる方法を用いる。また、クラックが基板に生じない範囲でU字形溝のダイシングで分離溝121を形成してもよい。
図18は本微小タイル状素子の製造方法の第2工程を示す概略断面図である。
本工程においては、各半導体デバイス113を分割するように分離溝121を形成する。分離溝121は、少なくとも犠牲層111に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、10μmから数百μmとする。また、分離溝121は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝121を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝121は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
また、分離溝121相互の間隔を数十μmから数百μmとすることで、分離溝121によって分割・形成される各半導体デバイス113のサイズを、数十μmから数百μm四方の面積をもつものとする。分離溝121の形成方法としては、フォトリソグラフィとウェットエッチングによる方法、またはドライエッチングによる方法を用いる。また、クラックが基板に生じない範囲でU字形溝のダイシングで分離溝121を形成してもよい。
<第3工程>
図19は本微小タイル状素子の製造方法の第3工程を示す概略断面図である。
本工程においては、中間転写フィルム131を基板110の表面(半導体デバイス113側)に貼り付ける。中間転写フィルム131は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルなフィルムである。
図19は本微小タイル状素子の製造方法の第3工程を示す概略断面図である。
本工程においては、中間転写フィルム131を基板110の表面(半導体デバイス113側)に貼り付ける。中間転写フィルム131は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルなフィルムである。
<第4工程>
図20は本微小タイル状素子の製造方法の第4工程を示す概略断面図である。
本工程においては、分離溝121に選択エッチング液141を注入する。本工程では、犠牲層111のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液141として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。
図20は本微小タイル状素子の製造方法の第4工程を示す概略断面図である。
本工程においては、分離溝121に選択エッチング液141を注入する。本工程では、犠牲層111のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液141として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。
<第5工程>
図21は本微小タイル状素子の製造方法の第5工程を示す概略断面図である。
本工程においては、第4工程での分離溝121への選択エッチング液141の注入後、所定時間の経過により、犠牲層111のすべてを選択的にエッチングして基板110から取り除く。
図21は本微小タイル状素子の製造方法の第5工程を示す概略断面図である。
本工程においては、第4工程での分離溝121への選択エッチング液141の注入後、所定時間の経過により、犠牲層111のすべてを選択的にエッチングして基板110から取り除く。
<第6工程>
図22は本微小タイル状素子の製造方法の第6工程を示す概略断面図である。
第5工程で犠牲層111が全てエッチングされると、基板110から機能層112が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム131を基板110から引き離すことにより、中間転写フィルム131に貼り付けられている機能層112を基板110から引き離す。
これらにより、半導体デバイス113が形成された機能層112は、分離溝121の形成及び犠牲層111のエッチングによって分割されて、所定の形状(例えば、微小タイル形状)の微小タイル状素子161(上記実施形態の「微小タイル状素子1」)とされ、中間転写フィルム131に貼り付け保持されることとなる。ここで、機能層の厚さが例えば1μmから10μm程度、大きさ(縦横)が例えば数十μmから数百μmであるのが好ましい。
図22は本微小タイル状素子の製造方法の第6工程を示す概略断面図である。
第5工程で犠牲層111が全てエッチングされると、基板110から機能層112が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム131を基板110から引き離すことにより、中間転写フィルム131に貼り付けられている機能層112を基板110から引き離す。
これらにより、半導体デバイス113が形成された機能層112は、分離溝121の形成及び犠牲層111のエッチングによって分割されて、所定の形状(例えば、微小タイル形状)の微小タイル状素子161(上記実施形態の「微小タイル状素子1」)とされ、中間転写フィルム131に貼り付け保持されることとなる。ここで、機能層の厚さが例えば1μmから10μm程度、大きさ(縦横)が例えば数十μmから数百μmであるのが好ましい。
<第7工程>
図23は本微小タイル状素子の製造方法の第7工程を示す概略断面図である。
本工程においては、(微小タイル状素子161が貼り付けられた)中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板となるブロック11の所望位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、ブロック11の所望の位置には、微小タイル状素子161を接着するための接着剤173を塗布しておく。接着剤は微小タイル状素子161に塗布してもかまわない。
図23は本微小タイル状素子の製造方法の第7工程を示す概略断面図である。
本工程においては、(微小タイル状素子161が貼り付けられた)中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板となるブロック11の所望位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、ブロック11の所望の位置には、微小タイル状素子161を接着するための接着剤173を塗布しておく。接着剤は微小タイル状素子161に塗布してもかまわない。
<第8工程>
図24は本微小タイル状素子の製造方法の第8工程を示す概略断面図である。
本工程においては、ブロック11の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しにコレット181で押しつけてブロック11に接合する。ここで、所望の位置には接着剤173が塗布されているので、そのブロック11の所望の位置に微小タイル状素子161が接着される。
図24は本微小タイル状素子の製造方法の第8工程を示す概略断面図である。
本工程においては、ブロック11の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しにコレット181で押しつけてブロック11に接合する。ここで、所望の位置には接着剤173が塗布されているので、そのブロック11の所望の位置に微小タイル状素子161が接着される。
<第9工程>
図25は本光ファイバ送受信モジュールの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、UV硬化性又は熱硬化性のものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、コレット181を透明な材質にしておき、コレット181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、コレット181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
図25は本光ファイバ送受信モジュールの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、UV硬化性又は熱硬化性のものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、コレット181を透明な材質にしておき、コレット181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、コレット181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
<第10工程>
本工程は、図示していない。本工程においては、加熱処理などを施して、微小タイル状素子161をブロック11に本接合する。
本工程は、図示していない。本工程においては、加熱処理などを施して、微小タイル状素子161をブロック11に本接合する。
<第11工程>
図26は本微小タイル状素子の製造方法の第11工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161(発光素子又は受光素子)の電極とブロック11(又は図8に示す集積回路チップ30)上の回路とを配線191により電気的に繋ぎ、一つの光ファイバ送受信モジュール10を完成させる。ブロック11又は集積回路チップ30としては、シリコン半導体のみならず、ガラス基板、石英基板又はプラスチックフィルムを適用してもよい。
図26は本微小タイル状素子の製造方法の第11工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161(発光素子又は受光素子)の電極とブロック11(又は図8に示す集積回路チップ30)上の回路とを配線191により電気的に繋ぎ、一つの光ファイバ送受信モジュール10を完成させる。ブロック11又は集積回路チップ30としては、シリコン半導体のみならず、ガラス基板、石英基板又はプラスチックフィルムを適用してもよい。
これらにより、最終基板171であるブロック11が例えばプラスチックであっても、そのブロック11上の所望位置にガリウム・ヒ素製の面発光レーザなどを備える微小タイル状素子161形成するというように、面発光レーザなどをなす半導体素子を当該半導体素子とは材質の異なる基板上に形成することが可能となる。また、半導体基板上で面発光レーザなどを完成させてから微小タイル形状に切り離すので、光ファイバ送受信モジュールを作成する前に、予め面発光レーザなどをテストして選別することが可能となる。
また、上記製造方法によれば、半導体素子(発光素子又は受光素子)を含む機能層のみを、微小タイル状素子として半導体基板から切り取り、フィルムにマウントしてハンドリングすることができるので、発光素子又は受光素子を個別に選択してブロック11に接合することができ、ハンドリングできる発光素子又は受光素子のサイズを従来の実装技術のものよりも小さくすることができる。したがって、上記製造方法によれば、所望発光量及び所望状態のレーザ光を入出力するコンパクトな光ファイバ送受信モジュール10を、簡便に低コストで提供することができる。
(電子機器)
上記実施形態の光ファイバ送受信モジュールを備えた電子機器の例について説明する。
図27は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図27において、符号1000は上記の光ファイバ送受信モジュールを用いた携帯電話本体を示し、符号1001は表示部を示している。
上記実施形態の光ファイバ送受信モジュールを備えた電子機器の例について説明する。
図27は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図27において、符号1000は上記の光ファイバ送受信モジュールを用いた携帯電話本体を示し、符号1001は表示部を示している。
図28は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図28において、符号1100は上記の光ファイバ送受信モジュールを用いた時計本体を示し、符号1101は表示部を示している。
図29は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図29において、符号1200は情報処理装置、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は上記の光ファイバ送受信モジュールを用いた情報処理装置本体、符号1206は表示部を示している。
図27から図29に示す電子機器は、上記実施形態の光ファイバ送受信モジュールを備えているので、光信号を用いて高速に動作することができ、低コストで製造することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば上記実施形態では、発光素子又は受光素子を微小タイル状素子1で構成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、微小タイル状素子1の代わりにフリップチップ素子を用いてもよい。
以上、ガイド13にフェルール付き光ファイバを直接挿入する形態について説明したが、ガイド13の寸法を適切に選ぶことで裸の光ファイバを直接挿入することも、もちろん可能である。
あるいは、ファイバコネクタの仕様によっては一般的なスリーブを使うことが望ましい場合も考えられる。その場合は、スリーブが直接部分的に挿入できて中心軸が機械的に決まるようガイド13の寸法を選んで、スリーブを接合してもかまわない。もちろんガイド13のかわりに、一般的に使用されているスリーブを接合することもできる。この場合はスリーブ中心軸と導波路12の端部とを一致させるように調整することが望ましい。
あるいは、ファイバコネクタの仕様によっては一般的なスリーブを使うことが望ましい場合も考えられる。その場合は、スリーブが直接部分的に挿入できて中心軸が機械的に決まるようガイド13の寸法を選んで、スリーブを接合してもかまわない。もちろんガイド13のかわりに、一般的に使用されているスリーブを接合することもできる。この場合はスリーブ中心軸と導波路12の端部とを一致させるように調整することが望ましい。
1,1a,1b,1c…微小タイル状素子、10…光ファイバ送受信モジュール、11…ブロック、11a,11b,11c,11d…板状部材、12,12a,12b,12c,12d,12e…光導波路、13…ガイド、14…側面、20…光ファイバ、21…クラッド、30…集積回路チップ、31…バンプ、32…受光手段
Claims (2)
- 光導波路が設けられているとともに、前記光導波路の一方端面側に光ファイバ挿入用の凹形状のガイドが設けられているブロックと、
前記ブロックに貼り付けられ、発光素子を有する複数の微小タイル状素子と、を有し、
前記光導波路は複数の分岐路を有し、
前記複数の微小タイル状素子の各々が、前記光導波路の前記複数の分岐路の各々の端面に対向するように配置されていることを特徴とする光ファイバ送受信モジュール。 - 前記複数の微小タイル状素子の発光素子はそれぞれ発光波長が異なることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ送受信モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006028278A JP2006133811A (ja) | 2006-02-06 | 2006-02-06 | 光ファイバ送受信モジュール |
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JP2003053916A Division JP2004264505A (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 光ファイバ送受信モジュール、光ファイバ送受信モジュールの製造方法及び電子機器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009003228A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Nichia Corp | 発光装置 |
CN109983393A (zh) * | 2016-12-12 | 2019-07-05 | 脸谱科技有限责任公司 | 平铺波导显示器 |
US11048090B2 (en) | 2016-12-12 | 2021-06-29 | Facebook Technologies, Llc | Tiled waveguide display with a wide field-of-view |
-
2006
- 2006-02-06 JP JP2006028278A patent/JP2006133811A/ja not_active Withdrawn
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CN109983393B (zh) * | 2016-12-12 | 2022-01-04 | 脸谱科技有限责任公司 | 平铺波导显示器 |
US11698533B2 (en) | 2016-12-12 | 2023-07-11 | Meta Platforms Technologies, Llc | Tiled waveguide display with a wide field-of-view |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080219 |
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A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080418 |