JP2006133767A - 光学システム、特に顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コリメータは、光学システムのビーム経路において光学ユニット(17)の前方または後方に配置され、前記光学ユニット(17)は、所定の縦方向色収差を、前記ビーム経路に供給されるビームに付与する。前記ビームは、コリメータ(1)に、拡散ビームまたは平行ビームとして入射し、前記コリメータによって平行ビームまたは集束ビームに変換される。コリメータ(1)は、少なくとも1枚のレンズ(L)と、ビーム経路を折り曲げて、供給されるビームがレンズ(4)を2回通過するようにする湾曲ミラー(4)とを備える。
【選択図】図1
Description
したがって、本発明による光学システムは、コリメータを設け、拡散ビームを平行ビームに変換するか、あるいは平行ビームを集束ビームに変換し、そのように変換する際に、縦方向色収差を変換ビームに付与しないか、あるいは光学ユニットの縦方向色収差とは逆の縦方向色収差をそれに付与する。これによって、コリメータは、光学ユニットによって引き起こされる縦方向色収差を悪化させないという保証が得られる。好ましくは、コリメータは、光学ユニットによって引き起こされる縦方向色収差を低減する。
本発明による光学システムの更に別の好適な実施形態では、コリメータは、ミラーと、2枚または3枚のレンズとを備えており、そのレンズおよびミラーは、コリメータの光軸に沿って変位可能であり、コリメータの所望の縦方向色収差特性の調節を可能とする。したがって、光学システムの動作の間であっても、必要に応じてコリメータの縦方向色収差特性を変化させ、適合させることもできる。特に、この調節を、他の光学パラメータは変化せず一定であるように実行することができる。例えば、一定の焦点距離を有するコリメータを設けることもできる。
光学システムがレーザ走査顕微鏡として設けられる場合、偏向または走査ユニットをそれぞれ備えればよく、コリメータと光学ユニットとの間に配置される。
光学システムは、励起ビーム経路および/または検出ビーム経路に配置されたコリメータを有するレーザ走査顕微鏡または蛍光相関分光計として設けられ得る。
凹状前面2の曲率半径:54.13mm
凸状背面3の曲率半径:42.34mm
レンズの厚さD2:3.71mm
点光源から前面2の距離D1:17.14mm
材料パラメータ:ne=1.58481,ve=40.57
焦点距離f:20mm
顕微鏡光学系17の縦方向色収差のみ(曲線a02=0)、およびコリメータ1との組み合わせ(曲線a02=−2)を図3に示す。この場合も、波長λは、横軸に沿ってnm単位で示されており、縦方向色収差a02(λ)は縦軸に沿ってmm単位で示されている。
b1=−0.003737 c1=−0.570058
b2=0.0844626 c2=1.679172
上述の条件によって、R2したがってミラー4の曲率半径を規定することができる。コリメータは、異なる焦点距離を有するように構成することもできる。次の不等式:0.002<1/f<0.1を満たす焦点距離を設定することができる。
凹面F1の曲率半径:13.10
凸面F2の曲率半径:48.39
凹面F3の曲率半径:18.44
凸面F4の曲率半径:12.78
凹状ミラー23の曲率半径:43.99
D4=2.00
D5=2.00
図6は、正の屈折力を有するレンズ24、負の屈折力を有するレンズ25、および正の屈折力を有するミラー・レンズ26を備えているコリメータ1を示す。これらのレンズは、各々、例えば60未満、好ましくは40未満の低いアッベの分散数を有する。ここに記載する具体的な実施形態では、アッベの分散数は36.16である。図6におけるコリメータは、全システムの焦点距離を一定にして、縦方向色収差を補正過剰から補正不足まで連続的に調整することができるように構成されている。入射瞳からレンズ25の表面F5までの距離をD1とし、互いに面するレンズ24および25の表面F6およびF7間の距離をD2とし、レンズ25および26の表面F8およびF9間の距離をD3とする。レンズ24,25,および26の厚さは、それぞれ、D4,D5,およびD6である。
凹面F6の曲率半径:51.07mm
凹面F7の曲率半径:8.90mm
凹面F8の曲率半径:254.88mm
凸面F9の曲率半径:49.08mm
凸面F10の曲率半径:40.94mm
D4=2.00
D5=5.52
D6=4.00
図4および図6の実施形態に示した条件は、それぞれのコリメータの光学特性の計算の数値分析から、当業者には容易に導き出すことができる。
Claims (12)
- 光学ユニット(17)およびコリメータ(1)を備える光学システム、特に、顕微鏡であって、前記コリメータは、前記光学システムのビーム径路において前記光学ユニット(17)の前方または後方に配置され、前記光学ユニット(17)は、所定の縦方向色収差を前記ビーム経路に供給されるビームに付与し、前記ビームは前記コリメータ(1)に拡散ビームまたは平行ビームとして入射し、前記コリメータによって平行ビームまたは集束ビームに変換され、前記コリメータ(1)は、少なくとも1枚のレンズ(L)と、前記ビーム経路を折り曲げて、前記供給されたビームが前記レンズ(4)を2回通過するようにする湾曲ミラー(4)とを備える、光学システム。
- 請求項1に記載の光学システムにおいて、前記コリメータ(1)の縦方向色収差特性は、前記光学ユニット(17)によってビームに付与される縦方向色収差を不変のままに維持するか、あるいは低減するように構成されている、光学システム。
- 請求項1または2に記載の光学システムにおいて、前記ミラー(4)は、前記レンズ(L)の一方の側に背面ミラーとして設けられている、光学システム。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記コリメータ(1)は、前記レンズ(L)を唯一のレンズとして、前記ミラー(4)を唯一のミラーとして備える、光学システム。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記レンズ(L)の両面(2,3)は、球面として設けられている、光学システム。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記ビーム(20)は、当該ビーム(20)の主光線が前記コリメータ(1)の光軸(OA)と一致するように、前記コリメータ(1)に入射する、光学システム。
- 請求項6に記載の光学システムにおいて、貫通孔(11)を備える偏向ミラー(10)が前記ビーム経路において前記コリメータ(1)の前方または後方に配置され、前記ビーム(20)が拡散ビームである場合、前記ビーム(20)は前記貫通孔(11)を通過し、前記コリメータ(1)に入射し、前記コリメータから来る平行ビーム(21)は前記偏向ミラー(10)によって偏向され、前記ビームが平行ビームである場合、前記ビームは前記偏向ミラー(10)によってコリメータ(1)に向けて偏向され、前記コリメータに入射し、前記コリメータから来る集束ビームは前記貫通孔(11)を通過する、光学システム。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記コリメータ(1)は、第1交換可能コリメータとして設けられ、第2コリメータに交換され得るものであり、該第2コリメータは、前記第1コリメータとは異なる波長領域に対する縦方向色収差特性を有し、前記別の波長領域に対して、前記光ユニット(17)によって付与された長方向色収差を不変のままに維持するか、あるいは低減するようにする、光学システム。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記コリメータ(1)は、前記ミラー(23;27)と、2枚または3枚のレンズ(20,21;24,25,26)とを備え、前記レンズ(20,21;24,25,26)および前記ミラー(23;27)は、前記コリメータ(1)の光軸(OA)に沿って変位可能であり、前記コリメータ(1)の所望の縦方向色収差特性の調節を可能とする、光学システム。
- 請求項9に記載の光学システムにおいて、全てのレンズ(20,21;24,25,26)は同一の材料から製造される、光学システム。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、前記光学ユニット自体が、少なくとも第2レンズ(29)および第2湾曲ミラー(30)を備える別のコリメータ(28)として設けられ、おり、前記第2湾曲ミラー(30)は、供給されたビームが前記第2レンズ(29)を2回通過するように、前記ビーム経路を折り曲げる、光学システム。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学システムにおいて、当該光学システムは、レーザ走査顕微鏡または蛍光相関分光計であり、前記コリメータは励起ビーム経路および/または検出ビーム経路において用いられる、光学システム。
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