JP2006130469A - Droplet ejection method, production method of electro-optic apparatus and electronic equipment - Google Patents
Droplet ejection method, production method of electro-optic apparatus and electronic equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006130469A JP2006130469A JP2004325071A JP2004325071A JP2006130469A JP 2006130469 A JP2006130469 A JP 2006130469A JP 2004325071 A JP2004325071 A JP 2004325071A JP 2004325071 A JP2004325071 A JP 2004325071A JP 2006130469 A JP2006130469 A JP 2006130469A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- droplet discharge
- droplet
- electro
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は、 本発明は、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器に関するものである。 The present invention relates to a droplet discharge method, a method for manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
インクジェットヘッドなどから液滴を基板上に吐出して、その基板に薄膜を形成する液滴吐出方式による電気光学装置の製造が考え出されている。電気光学装置としては、液晶装置、有機エレクトロルミネッセンス装置(以下有機EL(Electronic Luminescent)装置という)、プラズマディスプレイ装置などの表示装置がある。また、近年では、このような電気光学装置をなす基板が大型化されており、かかる大型基板について液滴吐出方式により高精細及び高精度に薄膜を描画(パターニング)することが要求されている。
このような液滴吐出方式としては、インクジェットヘッドを基板に対して相対的に走査させさながら基板にインクを吐出し、さらに、吐出したインクの着弾位置を検出し、検出したインクの着弾位置とインクの理想着弾位置とのずれ量が所定の範囲となるような吐出タイミングでインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出する方式がある。
As such a droplet discharge method, ink is discharged onto the substrate while the inkjet head is scanned relative to the substrate, and the landing position of the discharged ink is detected, and the detected ink landing position and the ink are detected. There is a system in which ink is ejected from a inkjet head onto a substrate at an ejection timing such that the amount of deviation from the ideal landing position is within a predetermined range.
ところで、上記吐出方式では、インクの着弾位置とインクの理想着弾位置とのずれ量が所定の範囲となる吐出タイミングを用いて描画を高精度にしている。しかし、一定ピッチでインクを吐出しているため、描画対象領域のピッチが描画分解能の整数倍でないと、描画対象領域毎にインクの着弾位置が異なってしまう。特に、生産性を高めるべく描画分解能を粗くすると、着弾位置のばらつきが大きくなり、均一な描画対象領域の形成が困難になってしまう。また、均一な描画を形成すべく、描画対象のピッチを描画分解能の整数倍にすると、製品設計上制約が大きくなってしまうという問題がある。 By the way, in the above-described ejection method, drawing is performed with high accuracy by using ejection timing at which the deviation amount between the ink landing position and the ink ideal landing position is within a predetermined range. However, since ink is ejected at a constant pitch, if the pitch of the drawing target area is not an integral multiple of the drawing resolution, the ink landing position differs for each drawing target area. In particular, if the drawing resolution is increased in order to increase productivity, variations in landing positions increase, and it becomes difficult to form a uniform drawing target region. In addition, if the pitch of the drawing target is set to an integral multiple of the drawing resolution in order to form a uniform drawing, there is a problem that restrictions on product design increase.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、描画対象領域に合わせて液滴の着弾位置を補正し、製品設計上の制約なく、均一な描画対象領域の形成を行うことが可能な液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a liquid capable of correcting the landing position of a droplet in accordance with a drawing target region and forming a uniform drawing target region without restrictions on product design. It is an object to provide a droplet discharge method, a method for manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
本発明に係る液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明の液滴吐出方法は、基板上の複数の描画対象領域に、吐出ヘッドを走査させながら一定の吐出間隔にて液滴を吐出する際に、前記複数の描画対象領域のピッチが前記吐出間隔の整数倍でない場合に、前記各描画対象領域における前記液滴の着弾位置を揃えるように前記吐出間隔の少なくとも一箇所を変更することを特徴とする。
本発明によれば、描画対象のピッチが吐出間隔の整数倍でないために、描画対象毎に液滴の着弾位置が異なる場合に、吐出間隔の少なくとも一箇所を変更して各描画対象における着弾位置を揃えるので、各描画対象にて均一な描画精度を得ることができる。つまり、描画対象に合わせて液滴の着弾位置を補正して各描画対象における着弾位置を揃えることにより、各描画対象における着弾のばらつきを防止することができ、製品設計上の制約なく、均一な描画対象の形成を行うことができる。
In the droplet discharge method, the electro-optical device manufacturing method, and the electronic apparatus according to the present invention, the following means are employed in order to solve the above problems.
According to the droplet discharge method of the present invention, when droplets are discharged at a fixed discharge interval while scanning the discharge head onto a plurality of drawing target areas on a substrate, the pitch of the plurality of drawing target areas is set to the discharge speed. When the interval is not an integral multiple of the interval, at least one of the ejection intervals is changed so as to align the landing positions of the droplets in the drawing target regions.
According to the present invention, since the pitch of the drawing target is not an integral multiple of the discharge interval, when the landing position of the droplet is different for each drawing target, the landing position in each drawing target is changed by changing at least one location of the discharge interval. Therefore, uniform drawing accuracy can be obtained for each drawing target. In other words, by correcting the landing positions of the droplets according to the drawing target and aligning the landing positions on each drawing target, it is possible to prevent variations in landing on each drawing target, and to achieve a uniform without any product design restrictions. A drawing target can be formed.
また、本発明の液滴吐出方法は、前記基板と前記吐出ヘッドの相対的な移動量に応じたエンコーダパルスを分周して生成されるラッチ信号に基づいて、前記吐出間隔を求めるものでは、エンコーダからのエンコーダパルスを分周して生成されるラッチ信号に基づいて吐出間隔を容易に求めることができるので、その吐出間隔の変更を容易に行うことができる。 Further, the droplet discharge method of the present invention is to obtain the discharge interval based on a latch signal generated by dividing an encoder pulse according to a relative movement amount of the substrate and the discharge head. Since the discharge interval can be easily obtained based on the latch signal generated by dividing the encoder pulse from the encoder, the discharge interval can be easily changed.
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記液滴吐出方法によって前記複数の描画対象領域に液滴を吐出して製造することを特徴とする。
本発明によれば、前記液滴吐出方法によって基板に高精度に描画パターンを形成して、有機EL装置、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの電気光学装置を製造することができる。したがって、本発明によれば、大きな画面の全体について、高精細で高品質な画像を表示することができる電気光学装置を安価に提供することができる。例えば、有機EL装置の構成要素となる発光材料および正孔輸送材料などを高精細な画素パターンをなすように塗布することができる。
The method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that droplets are discharged to the plurality of drawing target areas by the droplet discharge method.
According to the present invention, an electro-optical device such as an organic EL device, a plasma display device, and a liquid crystal device can be manufactured by forming a drawing pattern with high accuracy on the substrate by the droplet discharge method. Therefore, according to the present invention, an electro-optical device that can display a high-definition and high-quality image on the entire large screen can be provided at low cost. For example, a light-emitting material and a hole transport material that are constituent elements of an organic EL device can be applied so as to form a high-definition pixel pattern.
本発明の電子機器は、前記電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、高精細で高品質な画像を表示できる電子機器を安価に提供することができる。特に本発明は、高品位な画像を表示できる電子機器を安価に提供することができる。
According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device.
According to the present invention, an electronic device that can display a high-definition and high-quality image can be provided at a low cost. In particular, the present invention can provide an electronic device that can display a high-quality image at low cost.
以下、本発明の液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法及び電子機器の実施形態について図を参照して説明する。 Embodiments of a droplet discharge method, an electro-optical device manufacturing method, and an electronic apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
(液滴吐出装置)
図1は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
この液滴吐出装置は、本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を用いて液滴Lを吐出するものである。液滴吐出装置1は、制御装置2と、吐出ヘッド群3と、ステージ4と、を主な構成要素として備えている。液滴吐出装置1は、制御装置2が吐出ヘッド群3及びステージ4の動作を制御することによって、ステージ4に載置された基板5に液滴Lを吐出し、当該基板5上に所定のパターンを形成するものである。
(Droplet discharge device)
FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration of a droplet discharge device.
This droplet discharge device discharges droplets L using the droplet discharge method according to the embodiment of the present invention. The droplet discharge device 1 includes a
そして、制御装置2は、本発明に係る制御手段をなすものであり、本発明に係る液滴吐出方法を用いて吐出ヘッド群3を制御して、液滴Lを吐出するタイミングを制御するものである。また、吐出ヘッド群3にはカメラ3bが固着されている。このカメラ3bは、ステージ4に載置される基板5のアライメントに用いられる位置補正用のカメラであり、その基板5に設けられたアライメントマークについて認識することができる。なお、以下の説明においては、吐出ヘッド群3の配置方向をX方向とし、また、基板5の搬送方向をY方向とし、また、XY平面内における面内回転方向をθ方向とする。
And the
吐出ヘッド群3は、1列に配列した複数の吐出ヘッド3aから構成されており、基台6から立設する支柱7、7間にステージ4を跨ぐようにX方向に架設されたX方向軸8に移動可能に設けられている。吐出ヘッド群3に固着されているカメラ3bは吐出ヘッド群3とともに移動する。当該吐出ヘッド群3を構成する各吐出ヘッド3aには、液滴Lを吐出するノズルが基板5に向かって多数穿設されている(例えば、180個のノズルが一列に穿設されている。)。
The
吐出ヘッド3aは、液滴Lを貯留するキャビティと、当該キャビティに連通するノズルと、当該キャビティ内に貯留された液状体をノズルから液滴Lとして吐出する液滴吐出手段とを有した構成となっている。ここで、液滴吐出手段とは、圧電素子(ピエゾ素子)を意味しており、吐出ヘッド3aの壁面に設けられている。このように構成された吐出ヘッド3aにおいては、圧電素子に所望の電圧波形を供給することによって、吐出ヘッド3aの壁面が変形し、キャビティ内の容積が変化し、ノズルから所定量の液滴Lが吐出される。ここで、圧電素子に供給される電圧波形は、後述する液滴吐出データに基づいて生成されるものである。
The
なお、吐出ヘッド3aの液滴吐出手段としては、上記の圧電素子を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギ発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
The droplet discharge means of the
また、上記の吐出ヘッド群3は、1列に配列した複数の吐出ヘッド3aから構成されたものであるが、これに限定されるものではない。例えば、各吐出ヘッド3aのノズルの穿設間隔(ピッチ)に対して、X方向に1/2ピッチずらした吐出ヘッド3aを2列配置してもよい。このように吐出ヘッド3aを多数配列した場合には、ノズルの穿設間隔よりも小さい間隔で液滴Lの吐出が可能となる。また、吐出ヘッド3aをX方向に対して所定の角度で傾かせて配置してもよい。この場合でも、ノズルの穿設間隔よりも小さい間隔で液滴Lの吐出が可能となる。
Further, the
ステージ4は、基板5を位置決めして載置するピン(図示せず)などを備える載置部4aと、当該載置部4aをXY平面上で面内回転可能に連結されたベース部4bとによって構成されたものである。また、ベース部4bには、エンコーダ4cが設けられている。このエンコーダ4cは、基台6のY方向に沿って設けられたリニアスケール15のスケールを読み取るものであって、これによってY方向のステージ4の位置を検出することが可能となる。リニアスケール15のスケールは、メートル系単位で設けられていても、DPI系単位で設けられていてもよい。
The stage 4 includes a
さらに、ステージ4は、X方向と直交するように敷設してあるY方向軸9に沿って移動可能に構成されている。ステージ4をY方向に移動させる搬送機構としては、Y方向軸9上に配列した永久磁石10と、ステージ4のベース部4bの下側に固設したプレート11にY方向に沿って、かつ、永久磁石10に近接させて配列した複数のコイル(図示せず)とから構成されるリニアモータがあげられる。
Furthermore, the stage 4 is configured to be movable along a Y-direction axis 9 laid so as to be orthogonal to the X direction. As the transport mechanism for moving the stage 4 in the Y direction, the
基板5は、本実施形態でパターンが形成される対象物である。基板5の材料としてはガラスなどの透明基板が用いられるが、透明性を要求しない場合には金属板などを採用してもよい。また、当該基板5のサイズは、縦横がそれぞれ1mを超えるものとしてもよい。
また、基板5上に形成されるパターンとしては、RGB色を有するカラーフィルターによって形成される画素パターンや、TFT回路を形成する場合の金属配線等が挙げられる。
例えば、基板5によって有機EL装置を構成する場合、発光材料又は正孔輸送材料などからなる画素パターンを本液滴吐出装置1で形成することとしてもよい。
The
Examples of the pattern formed on the
For example, when an organic EL device is constituted by the
制御装置2は、上述の液滴吐出装置1の各構成要素に電気的に接続されたものであり、CPU(Central Processing Unit)、ROM、RAM、入出力用のインターフェース、発振回路等がバス接続された所謂コンピュータである。このような制御装置2は、予め入力されたプログラムに応じて液滴吐出装置1を統括して制御するようになっている。
The
次に、制御装置2の詳細な構成について図2を参照して説明する。図2は、制御装置2の機能を説明するためのブロック図である。
制御装置2は、液滴吐出データ設定値入力部(第1の入力手段)20と、吐出ヘッド設定値入力部(第2の入力手段)22と、CADデータ操作部(CADデータ作成手段)24と、ビットマップデータ作成部(ビットマップデータ作成手段)26と、ビットマップ処理部28と、液滴吐出データ作成部(作成手段)30と、液滴吐出データ転送部(転送手段)32と、スイッチ群34と、ヘッド駆動部38と、ヘッド駆動制御部40と、ヘッド位置検出部42と、液滴吐出タイミング制御部44と、を有している。ここで、液滴吐出タイミング制御部44は、液滴Lを吐出するタイミングについての変更を行うものである。
Next, a detailed configuration of the
The
液滴吐出データ設定値入力部20は、基板5の寸法と、基板5を複数のチップ(領域)として切り出すためのチップの寸法と、隣接するチップのピッチ(相互間隔)と、画素(パターン)の配列と、画素の個数と、画素の寸法(画素の縦、横のサイズ)と、隣接する画素のピッチ(相互間隔)と、を設定する機能を有している。吐出ヘッド設定値入力部22は、画素を形成するために必要な液滴量と、画素を形成するために必要な吐出ヘッド群3と基板5とのパス数(相対移動動作の回数)と、使用する上記の吐出ヘッド群3の吐出ヘッド3aの個数、及び吐出ヘッド3aの配置を設定する機能を有している。
The droplet discharge data set value input unit 20 includes a size of the
CADデータ操作部24は、基板5に形成すべきパターンの設計図となるCADデータを生成する機能を有し、図形情報(ベクトルデータ、図形の属性等のデータ)を入力するための入力手段と、図形処理機能を有するワークステーション等から構成されている。ここでCADデータは、DPI系の単位で生成してもよく、メートル系の単位で生成してもよい。
ビットマップデータ作成部26は、CADデータから要求される分解能のビットマップデータに変換する機能を有している。また、ビットマップ処理部28は、ビットマップデータ作成部26により作成されたビットマップデータを吐出ヘッド3aの個数、配置、あるいは液滴Lの基板5への着弾径を考慮した回路パターンの細線化の要求に応じて変更する処理を行う。
The CAD
The bitmap
液滴吐出データ作成部30は、所望のパターンサイズとなるように液滴Lが着弾した際の着弾径を考慮し、液滴吐出データ(バイナリの時系列データ)を作成するものである。ここで、当該液滴吐出データは、吐出ヘッド群3の各ノズルに対応して設けられた各液滴吐出手段の数に対応するドット数の記録データを含んでいる。
The droplet discharge
液滴吐出データ転送部32は、液滴吐出データ作成部30から出力される液滴吐出データを吐出ヘッド群3の液滴吐出手段に転送する機能を有する。スイッチ群34は、液滴吐出データ転送部32と吐出ヘッド群3との間に設けられ、吐出ヘッド群3に含まれる複数の各駆動部に1対1に対応して接続され、液滴吐出データ転送部32から転送される記録データによりオン、オフ状態に設定される複数のスイッチから構成されている。
ヘッド駆動部38は、吐出ヘッド群3と一体化しており、例えばリニアモータであり、吐出ヘッド群3を基板5の搬送方向と直交する方向に移動させる。ヘッド駆動制御部40は、ヘッド駆動部38を図示してないシステムの上位コントローラの指示に基づいてヘッド駆動部38を駆動制御する。
The droplet discharge data transfer
The
ヘッド位置検出部42は、基板5が固定されるステージ4の位置の変位量、即ち、基板5上における吐出ヘッド群3の相対位置を検出する機能を有するものである。当該ヘッド位置検出部42は、上記のエンコーダ4cに相当するものである。液滴吐出タイミング制御部44は、ヘッド位置検出部42の検出出力に基づいて、各吐出ヘッド3aの圧電素子に印加する電圧波形の発生タイミングを規定するラッチ信号(LAT信号)を生成して出力するものである。このラッチ信号はスイッチ群34に送られる。そこで、スイッチ群34の各スイッチは、液滴吐出データ転送部32から送られてきた液滴吐出データとラッチ信号とによりオン/オフ状態が制御され、その各スイッチにより各吐出ヘッド3aの圧電素子の駆動タイミングが制御され、各吐出ヘッド3aの液滴吐出タイミングが制御される。
The head
次に、本実施形態の液滴吐出装置1で用いられる液滴吐出方法について説明する。この液滴吐出方法は、液滴吐出装置1における液滴吐出制御部44において主に実行される。
図3は本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を適用しない場合の吐出状態を説明する模式平面図、図4は本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を適用した場合の吐出状態を説明する模式平面図である。なお、図3,4において、黒丸及び白丸は液滴吐出装置1から吐出される液滴Lの理想着弾位置を示し、黒丸は液滴Lが吐出される位置、白丸は液滴Lが吐出されない位置を表す。
Next, a droplet discharge method used in the droplet discharge device 1 of the present embodiment will be described. This droplet discharge method is mainly executed by the droplet
FIG. 3 is a schematic plan view for explaining a discharge state when the droplet discharge method according to the embodiment of the present invention is not applied, and FIG. 4 shows a discharge state when the droplet discharge method according to the embodiment of the present invention is applied. It is a schematic plan view to explain. 3 and 4, black circles and white circles indicate ideal landing positions of the droplets L discharged from the droplet discharge device 1, black circles indicate positions where the droplets L are discharged, and white circles indicate that the droplets L are not discharged. Represents the position.
液滴吐出装置1は、基板5に形成する描画対象である画素Gに対し、液滴吐出タイミング制御部44にて生成されたラッチ信号に基づいて走査方向へ所定の吐出間隔d1にてインクを吐出する。このインクの吐出タイミングの基となるラッチ信号は、エンコーダ4cから出力されるエンコーダパルスを分周することにより液滴吐出タイミング制御部44にて生成される。
The droplet discharge device 1 applies ink to the pixel G to be drawn formed on the
ここで、図3に示すように、描画対象である画素GのピッチPが画像分解能である吐出間隔d1の整数倍でないと、各画素G毎にインクの着弾位置が異なってしまい、各画素Gにおける着弾位置のばらつきにより、描画精度が低下する。すなわち、図3のおける各画素Gでは、液滴Lの着弾数は同一であるが、液滴Lの着弾位置が異なるために不均一な画素が形成されてしまう。 Here, as shown in FIG. 3, if the pitch P of the pixel G to be drawn is not an integral multiple of the ejection interval d1 that is the image resolution, the ink landing position differs for each pixel G, and each pixel G Due to variations in the landing position, the drawing accuracy decreases. That is, in each pixel G in FIG. 3, the landing number of the droplet L is the same, but the landing position of the droplet L is different, so that nonuniform pixels are formed.
このため、本実施形態では、描画対象である画素GのピッチPが画像分解能である吐出間隔d1の整数倍でない場合に、液滴吐出タイミング制御部44がビットマップデータに基づいて、ラッチ信号の一部を補正する。
すなわち、図4に示すように、液滴吐出タイミング制御部44は、ビットマップデータに基づいて、エンコーダ4cのエンコーダパルスからなるエンコーダ分解能単位でラッチ信号の一部を補正し、吐出間隔d1を吐出間隔d2に変更して各画素Gにおける着弾位置を揃える。
これにより、各画素Gでは、着弾位置が揃えられることにより、各画素Gに着弾する液滴Lの着弾位置が等しくなり、均一な画素Gが形成される。
For this reason, in this embodiment, when the pitch P of the pixel G to be drawn is not an integral multiple of the discharge interval d1 that is the image resolution, the droplet discharge
That is, as shown in FIG. 4, the droplet discharge
Thereby, in each pixel G, when the landing positions are aligned, the landing positions of the droplets L that land on each pixel G are equalized, and uniform pixels G are formed.
このように、本実施形態によれば、描画対象である画素GのピッチPが吐出間隔d1の整数倍でないために、画素G毎に液滴Lの着弾位置が異なる場合に、吐出間隔d1の少なくとも一箇所を吐出間隔d1よりも広い吐出間隔d2へ変更して画素Gにおける着弾位置を揃えるので、各画素Gにて均一な描画を得ることができる。
つまり、画素Gに合わせて液滴Lの着弾位置を補正して各画素Gにおける着弾位置を揃えることにより、各画素Gにおける着弾のばらつきを防止することができ、製品設計上の制約なく、均一な描画を行うことができる。
Thus, according to the present embodiment, since the pitch P of the pixel G to be drawn is not an integral multiple of the discharge interval d1, the landing interval of the droplet L differs for each pixel G. Since at least one location is changed to the ejection interval d2 wider than the ejection interval d1 to align the landing positions in the pixels G, uniform drawing can be obtained in each pixel G.
In other words, by correcting the landing positions of the droplets L in accordance with the pixels G and aligning the landing positions of the pixels G, it is possible to prevent variations in landing of the pixels G, and uniform without any product design restrictions. Simple drawing.
また、エンコーダ4cからのエンコーダパルスを分周して生成されるラッチ信号に基づいて、吐出間隔d1を容易に求めることができ、また、その吐出間隔d1の吐出間隔d2への変更を容易に行うことができる。
なお、上記実施形態では、描画対象である画素Gに合わせて吐出間隔を補正して各画素Gにおける着弾位置を揃えたが、基板5に形成する各パネルあるいはチップを描画対象とし、これらパネルあるいはチップへの着弾位置を揃えて均一な描画を行うことも可能である。
Further, the discharge interval d1 can be easily obtained based on the latch signal generated by dividing the encoder pulse from the encoder 4c, and the discharge interval d1 can be easily changed to the discharge interval d2. be able to.
In the above embodiment, the ejection intervals are corrected in accordance with the pixels G to be drawn and the landing positions of the pixels G are aligned. However, each panel or chip formed on the
(電気光学装置)
次に、上記実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置の一例について図5から図7を参照して説明する。本実施形態では、電気光学装置の一例として有機EL装置を挙げて説明する。
図5は、本発明の実施形態に係る有機EL装置の製造工程を示す主要断面図である。
(Electro-optical device)
Next, an example of an electro-optical device manufactured using the droplet discharge device 1 of the above embodiment will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, an organic EL device will be described as an example of an electro-optical device.
FIG. 5 is a main cross-sectional view showing the manufacturing process of the organic EL device according to the embodiment of the present invention.
図5(d)に示すように、有機EL装置201は、透明基板204上に画素電極202を形成し、各画素電極202間にバンク205を矢印G方向から見て格子状に形成する。
それらの格子状凹部の中に、正孔注入層220を形成し、矢印G方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにR色発光層203R、G色発光層203GおよびB色発光層203Bを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極213を形成することによって有機EL装置201が形成される。
As shown in FIG. 5D, the
A
上記画素電極202をTFD(Thin Film Diode:薄膜ダイオード)素子などといった2端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極213は矢印G方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極202をTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)などといった3端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極213は単一な面電極として形成される。
When the
各画素電極202と各対向電極213とによって挟まれる領域が1つの絵素ピクセルとなり、R、G、B3色の絵素ピクセルが1つのユニットとなって1つの画素を形成する。
各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルにおける希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印H方向に希望するフルカラー像を表示することができる。
A region sandwiched between each
By controlling the current flowing through each pixel pixel, a desired one of the plurality of pixel pixels can be selectively emitted, thereby displaying a desired full color image in the direction of arrow H.
上記有機EL装置201は、例えば、次に示す製造方法によって製造される。すなわち図5(a)のように、透明基板204の表面にTFD素子又はTFT素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極202を形成する。形成方法としては、例えばフォトリソグラフィー法、真空蒸着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。
画素電極202の材料としてはITO(Indium-Tin Oxide)、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
The
As a material of the
次に、図5(a)に示すように、隔壁すなわちバンク205を周知のパターンニング手法、例えばフォトリソグラフィー法を用いて形成し、このバンク205によって各透明な画素電極202の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。バンク205の材料としては、EL発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン(登録商標)化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
Next, as shown in FIG. 5A, a partition wall or
次に、機能性液状体としての正孔注入層用インクを塗布する直前に、透明基板204に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ITO表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
Next, immediately before applying the hole injection layer ink as the functional liquid, the
次に、図5(a)に示すように、正孔注入層用インクの液滴258を図1に示す液滴吐出装置1の吐出ヘッド3aから吐出し、各画素電極202の上にパターニング塗布を行う。この液滴258の吐出は、上述の本発明に係る液滴吐出方法で行われる。したがって、液滴258は、バンク205で囲まれた所望の吐出領域すなわち各フィルタエレメント形成領域内にばらつきなく正確に揃えられて着弾する。その塗布後、真空(1torr)中、室温、20分という条件で溶媒を除去する。この後、大気中、200℃(ホットプレート上)、10分の熱処理により、発光層用インクと相溶しない正孔注入層220を形成する。上記条件では、膜厚は40nmであった。
Next, as shown in FIG. 5A,
次に、図5(b)に示すように、各フィルタエレメント形成領域内の正孔注入層220の上に、機能性液状体であるEL発光材料としてのR発光層用インクおよび機能性液状体であるEL発光材料としてのG発光層用インクを塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図1に示す液滴吐出装置1の吐出ヘッド3aから液滴258として吐出されて各フィルタエレメント形成領域内に着弾する。そして、この液滴258の吐出も本発明に係る液滴吐出方法で行われるので、各液滴258は各フィルタエレメント形成領域内にばらつきなく正確に揃えられて着弾する。
Next, as shown in FIG. 5 (b), an R light emitting layer ink and a functional liquid material as an EL light emitting material which is a functional liquid material are formed on the
発光層用インクの塗布後、真空(1torr)中、室温、20分などという条件で溶媒を除去する。続けて、窒素雰囲気中、150℃、4時間の熱処理により共役化させてR色発光層203RおよびG色発光層203Gを形成する。上記条件により、膜厚は50nmであった。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。
After application of the light emitting layer ink, the solvent is removed in a vacuum (1 torr) at room temperature for 20 minutes. Subsequently, conjugation is performed by heat treatment at 150 ° C. for 4 hours in a nitrogen atmosphere to form an R color
なお、発光層を形成する前に正孔注入層220に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行ってもよい。これにより、正孔注入層220上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機EL装置を提供できる。
Note that before the light emitting layer is formed, the
次に、図5(c)に示すように、機能性液状体であるEL発光材料としてのB色発光層203Bを各絵素ピクセル内のR色発光層203R、G色発光層203Gおよび正孔注入層220の上に重ねて形成する。これにより、R、G、Bの3原色を形成するのみならず、R色発光層203RおよびG色発光層203Gとバンク205との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。B色発光層203Bの膜厚を調整することで、B色発光層203BはR色発光層203RおよびG色発光層203Gとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してB色には発光しない。
Next, as shown in FIG. 5C, the B-color light-emitting
以上のようなB色発光層203Bの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、R色発光層203RおよびG色発光層203Gの形成法と同様のインクジェット法を採用することもできる。
As a method for forming the B color
その後、図5(d)に示すように、対向電極213を形成することにより、目標とする有機EL装置201が製造される。対向電極213はそれが面電極である場合には、例えば、Mg、Ag、Al、Liなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極213がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィー法などといったパターニング手法を用いて形成できる。
Thereafter, as shown in FIG. 5D, the target
以上に説明した有機EL装置201の製造方法によれば、正孔注入層用インクおよび各発光層用インクについて、図1に示す液滴吐出装置1の吐出ヘッド3aから液滴258として吐出されて各フィルタエレメント形成領域内に着弾させることができる。したがって本製造方法によれば、正孔注入層用インク又は各発光層用インクがバンク205上にばらついて塗布されるなどの不具合を回避でき、大きな画面の全体について高精細で高品質な画像を表示できる大画面の有機EL装置201を簡便に製造することができる。
According to the manufacturing method of the
また、本実施形態の有機EL装置の製造方法では、液滴吐出装置1を用いることにより、吐出ヘッド3aを用いたインク吐出によってR、G、Bの各色絵素ピクセルを形成するので、フォトリソグラフィー法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要もなく、またインクなどの材料を浪費することもない。
Further, in the method of manufacturing the organic EL device according to the present embodiment, by using the droplet discharge device 1, R, G, and B color pixel elements are formed by ink discharge using the
次に、本実施形態のEL装置の回路構成について図6および図7を参照して説明する。
図6は、図5に示す製造方法で製造された有機EL装置を構成要素とした表示装置の一部を示す回路図である。図7は、図6に示す表示装置における画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。
Next, the circuit configuration of the EL device of this embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 6 is a circuit diagram showing a part of a display device having the organic EL device manufactured by the manufacturing method shown in FIG. 5 as a constituent element. FIG. 7 is an enlarged plan view showing a planar structure of a pixel region in the display device shown in FIG.
図6において、表示装置501は有機EL装置であるEL表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置である。この表示装置501は、透明な表示基板502上に、複数の走査線503と、これら走査線503に対して交差する方向に延びる複数の信号線504と、これら信号線504に並列に延びる複数の共通給電線505とがそれぞれ配線された構成を有している。そして、走査線503と信号線504との各交点には、画素領域501Aが設けられている。
In FIG. 6, a
信号線504に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを有したデータ側駆動回路507が設けられている。また、走査線503に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを有した走査側駆動回路508が設けられている。そして、画素領域501Aのそれぞれには、走査線503を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ509と、このスイッチング薄膜トランジスタ509を介して信号線504から供給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量capと、この蓄積容量capによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ510と、このカレント薄膜トランジスタ510を介して共通給電線505に電気的に接続したときに共通給電線505から駆動電流が流れ込む画素電極511と、この画素電極511および反射電極512間に挟み込まれる発光素子513とが設けられている。
A data
この構成により、走査線503が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ509がオンすると、その時の信号線504の電位が蓄積容量capに保持される。この蓄積容量capの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ510のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ510のチャネルを介して、共通給電線505から画素電極511に電流が流れ、さらに発光素子513を通じて反射電極512に電流が流れる。
このことにより、発光素子513は、これを流れる電流量に応じて発光する。
With this configuration, when the
Thus, the
ここで、画素領域501Aは、反射電極512および発光素子513を取り除いた状態の表示装置501の拡大平面図である図7に示すように、平面状態が長方形の画素電極511の4辺が、信号線504、共通給電線505、走査線503および図示しない他の画素電極511用の走査線503によって囲まれた配置となっている。
Here, as shown in FIG. 7 which is an enlarged plan view of the
このような構成の表示装置501は、上述の有機EL装置の製造方法を用いて製造されているので、比較的安価でありながら、大きな画面の全体について高精細で高品質な画像を表示することができる。
Since the
(電子機器)
次に、上記実施形態の電気光学装置を備えた電子機器について説明する。図8(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。
図8(a)において、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
図8(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図8(b)において、符号1100は時計本体を示し、符号1101は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
図8(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図8(c)において、符号1200は情報処理装置、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は情報処理装置本体、符号1206は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
(Electronics)
Next, an electronic apparatus including the electro-optical device according to the above embodiment will be described. FIG. 8A is a perspective view showing an example of a mobile phone.
In FIG. 8A,
FIG. 8B is a perspective view showing an example of a wristwatch type electronic device. In FIG. 8B,
FIG. 8C is a perspective view showing an example of a portable information processing apparatus such as a word processor or a personal computer. In FIG. 8C,
図8に示す電子機器は、上記実施形態の電気光学装置を備えているので、表示部を大画面化しても、その表示部において高精細で高品質な画像を表示することができる。 Since the electronic apparatus illustrated in FIG. 8 includes the electro-optical device according to the above-described embodiment, a high-definition and high-quality image can be displayed on the display unit even when the display unit is enlarged.
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態では電気光学装置の一例として有機EL装置を挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの各種電気光学装置に本発明を適用でき、カラーフィルターの着色材料の塗布などに本発明を適用することもできる。また本発明に係る液滴吐出装置による形成物は、画素などに限定されるものではなく、配線パターン、電極、各種半導体素子などを、本発明に係る液滴吐出装置を用いて形成することができる。 The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention, and the specific materials and layers mentioned in the embodiment can be added. The configuration is merely an example, and can be changed as appropriate. For example, in the above embodiment, an organic EL device is cited as an example of an electro-optical device, but the present invention is not limited to this, and the present invention is applied to various electro-optical devices such as a plasma display device and a liquid crystal device. The present invention can also be applied to the application of a coloring material for a color filter. In addition, the formation by the droplet discharge device according to the present invention is not limited to pixels, and wiring patterns, electrodes, various semiconductor elements, and the like can be formed using the droplet discharge device according to the present invention. it can.
3a…吐出ヘッド、 4c…エンコーダ、 5…基板、 d1,d2…吐出間隔、 G…画素(描画対象領域)、 P…ピッチ、 L…液滴
3a ... discharge head, 4c ... encoder, 5 ... substrate, d1, d2 ... discharge interval, G ... pixel (drawing target area), P ... pitch, L ... droplet
Claims (4)
前記複数の描画対象領域のピッチが前記吐出間隔の整数倍でない場合に、前記各描画対象領域における前記液滴の着弾位置を揃えるように前記吐出間隔の少なくとも一箇所を変更することを特徴とする液滴吐出方法。 When discharging droplets at a fixed discharge interval while scanning the discharge head to a plurality of drawing target areas on the substrate,
When the pitch of the plurality of drawing target areas is not an integral multiple of the discharge interval, at least one of the discharge intervals is changed so as to align the landing positions of the droplets in the drawing target areas. Droplet ejection method.
An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the electro-optical device manufacturing method according to claim 3.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004325071A JP5055692B2 (en) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | Droplet ejection method and electro-optic device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004325071A JP5055692B2 (en) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | Droplet ejection method and electro-optic device manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006130469A true JP2006130469A (en) | 2006-05-25 |
JP5055692B2 JP5055692B2 (en) | 2012-10-24 |
Family
ID=36724472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004325071A Active JP5055692B2 (en) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | Droplet ejection method and electro-optic device manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5055692B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010535119A (en) * | 2007-07-30 | 2010-11-18 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | Change firing order |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001154008A (en) * | 1999-11-24 | 2001-06-08 | Canon Inc | Color filter, method of producing the same, liquid crystal device using the color filter |
JP2003266671A (en) * | 2002-03-18 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | Drawing method, drawing unit and method for fabricating liquid crystal display, method for fabricating organic el device, method for fabricating electron emitting device, method for fabricating pdp device, method for fabricating electrophoretic display, method for producing color filter, method for producing organic el, method for forming spacer, method for forming metallization, method for forming lens, method for forming resist and method for forming light diffuser |
-
2004
- 2004-11-09 JP JP2004325071A patent/JP5055692B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001154008A (en) * | 1999-11-24 | 2001-06-08 | Canon Inc | Color filter, method of producing the same, liquid crystal device using the color filter |
JP2003266671A (en) * | 2002-03-18 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | Drawing method, drawing unit and method for fabricating liquid crystal display, method for fabricating organic el device, method for fabricating electron emitting device, method for fabricating pdp device, method for fabricating electrophoretic display, method for producing color filter, method for producing organic el, method for forming spacer, method for forming metallization, method for forming lens, method for forming resist and method for forming light diffuser |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010535119A (en) * | 2007-07-30 | 2010-11-18 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | Change firing order |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5055692B2 (en) | 2012-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100583291B1 (en) | Method and device for forming film, method and device for manufacturing color filter substrate, method and device for manufacturing substrate for electro-luminescence device, method for manufacturing display device, display device, and electronic apparatus | |
TW580437B (en) | Liquid drop discharge head, discharge method and discharge device; electro optical device, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; color filter, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof | |
JP4289391B2 (en) | Liquid drawing method, color filter manufacturing method, organic EL device manufacturing method | |
KR100690539B1 (en) | Droplet-discharging apparatus, electrooptic device, method for producing electrooptic device, and electronic apparatus | |
KR101159461B1 (en) | Application device and method of producing using application device | |
JP2006346575A (en) | Carriage, droplet discharge apparatus, droplet discharge method, production method of electro-optic apparatus, electro-optic apparatus and electronic equipment | |
JP4552804B2 (en) | Droplet ejection method | |
JP2005246123A (en) | Method for generating timing of discharge, liquid drop discharging device, method for manufacturing electro-optical apparatus, and electronic apparatus | |
CN101722724B (en) | Method for discharging liquid body, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing organic el device | |
JP2009259570A (en) | Organic electroluminescent device and electronic equipment | |
JP4792701B2 (en) | Droplet ejection apparatus and droplet ejection method | |
JP5055692B2 (en) | Droplet ejection method and electro-optic device manufacturing method | |
JP2007130605A (en) | Drawing method and manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device, and electronic equipment | |
JP2008268558A (en) | Discharge controlling method of liquid drop discharge head, liquid discharging method, color filter manufacturing method, organic el element manufacturing method, and alignment layer manufacturing method | |
JP2010054555A (en) | Electro-optical apparatus and electronic instrument | |
JP2009198938A (en) | Liquid drop discharge device, liquid discharge method, color filter manufacturing method and organic el element manufacturing method | |
JP2007185603A (en) | Liquid droplet ejection head and liquid droplet ejection device, ejection method of liquid material, manufacturing method of device, manufacturing method of color filter and manufacturing method of organic el light-emitting element, and electro-optical apparatus and electronic equipment | |
JP2006130436A (en) | Droplet ejection apparatus, droplet ejection method, manufacturing method of electro-optic device, and electronic equipment | |
JP2005153393A (en) | Liquid droplet jet device, electrooptical device, method of ejecting liquid droplet, method of manufacturing electrooptical device, and electronic device | |
JP2009198858A (en) | Liquid drop discharge device, liquid body discharge method, and color filter manufacturing method | |
JP2007190507A (en) | Ejection method, method for manufacturing color filter, method for manufacturing organic electroluminescent device, method for manufacturing electro-optical apparatus, and electronic equipment | |
JP2008225302A (en) | Method of discharging liquid matter, method of manufacturing color filter, method of manufacturing organic el element, and method of manufacturing electro-optical device | |
JP2009054522A (en) | Display device manufacturing device and display device manufacturing method | |
JP2010185918A (en) | Design method for pattern formation substrate, the pattern formation substrate, electrooptical apparatus, and electronic device | |
JP2009251001A (en) | Discharge method for liquid-like body, manufacturing method for color filter, and manufacturing method for organic el element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070611 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100831 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110913 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120716 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5055692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |