JP2006128890A - Imaging device - Google Patents

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JP2006128890A
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Susumu Adachi
晋 足立
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Shimadzu Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device enabling a user to know the temperature state of a detector or controlling a temperature of the detector. <P>SOLUTION: A radiographic X-ray device as the imaging device is provided with a temperature sensor 14 for measuring a temperature of a flat-panel type X-ray detector (an FPD) 3. The user can know the temperature state of the FPD 3 by providing the temperature sensor 14 to the device. A monitor 13 for displaying temperature data (temperature data 131) measured by the temperature sensor 14 is also provided to the device. Consequently, the user can further easily know the temperature state of the FPD 3 by the monitor 13. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、医療分野、工業分野、さらには原子力分野などに用いられる撮像装置に関する。   The present invention relates to an imaging apparatus used in the medical field, the industrial field, the nuclear field, and the like.

検出された光または放射線に基づいて撮像を行う撮像装置は、光または放射線を検出する光または放射線検出器を備えている。X線検出器を例に採って説明する。X線検出器はX線感応型のX線変換層(半導体層)を備えており、X線の入射によりX線変換層はキャリア(電荷情報)に変換し、その変換されたキャリアを読み出すことでX線を検出する。X線変換層としては非晶質のアモルファスセレン(a−Se)膜が用いられる(例えば、非特許文献1参照)。   An imaging apparatus that performs imaging based on detected light or radiation includes a light or radiation detector that detects light or radiation. An X-ray detector will be described as an example. The X-ray detector has an X-ray sensitive X-ray conversion layer (semiconductor layer), and the X-ray conversion layer converts into carriers (charge information) by the incidence of X-rays, and reads the converted carriers. To detect X-rays. As the X-ray conversion layer, an amorphous selenium (a-Se) film is used (for example, see Non-Patent Document 1).

被検体にX線を照射して放射線撮像を行う場合には、被検体を透過した放射線像がアモルファスセレン膜上に投影されて、像の濃淡に比例したキャリアが膜内に発生する。その後、膜内で生成されたキャリアが、2次元状に配列されたキャリア収集電極に収集されて、所定時間(『蓄積時間』とも呼ばれる)分だけ積分された後、薄膜トランジスタを経由して外部に読み出される。
W. Zhao, et al. , "A flat panel detector for digital radiology using active matrix readout of amorphous selenium," Proc. SPIE Vol. 2708, pp. 523 - 531, 1996.
When radiation imaging is performed by irradiating the subject with X-rays, a radiation image transmitted through the subject is projected onto the amorphous selenium film, and carriers proportional to the density of the image are generated in the film. After that, the carriers generated in the film are collected by the two-dimensionally arranged carrier collecting electrodes and integrated for a predetermined time (also referred to as “accumulation time”). Read out.
W. Zhao, et al., "A flat panel detector for digital radiology using active matrix readout of amorphous selenium," Proc. SPIE Vol. 2708, pp. 523-531, 1996.

しかしながら、アモルファスセレンでX線変換層を形成した場合には、温度特性にシビアであるという問題点がある。すなわち、アモルファスセレンは温度が40℃を超えると結晶化してしまい、変換層としての機能が永久に失われてしまうという問題点がある。   However, when the X-ray conversion layer is formed of amorphous selenium, there is a problem that temperature characteristics are severe. That is, amorphous selenium crystallizes when the temperature exceeds 40 ° C., and there is a problem that the function as the conversion layer is permanently lost.

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、検出器の温度状況がわかる、あるいは検出器の温度を制御することができる撮像装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an imaging apparatus that can detect the temperature state of the detector or control the temperature of the detector.

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、光または放射線の入射により前記光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで光または放射線を検出する光または放射線検出器を備え、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得る撮像装置であって、前記検出器の温度を測定する温度測定手段を備えることを特徴とするものである。
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.
That is, according to the first aspect of the present invention, light or radiation detection detects light or radiation by converting the light or radiation information into charge information by the incidence of light or radiation and reading the converted charge information. An image pickup apparatus that includes a detector and obtains an image based on charge information detected from a light or radiation detector, comprising temperature measuring means for measuring the temperature of the detector.

[作用・効果]請求項1に記載の発明によれば、光または放射線の入射により光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで放射線検出器は光または放射線を検出する。そして、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得ることで撮像を行う。このとき、上述した検出器の温度を測定する温度測定手段を備えることで、検出器の温度状況がわかることができる。   [Operation / Effect] According to the first aspect of the present invention, the radiation detector converts the light or radiation information into charge information by the incidence of light or radiation, and reads the converted charge information so that the radiation detector can detect light or radiation. Detect radiation. And imaging is performed by obtaining an image based on the charge information detected from the light or radiation detector. At this time, the temperature condition of the detector can be understood by providing the temperature measuring means for measuring the temperature of the detector described above.

また、請求項5に記載の発明は、光または放射線の入射により前記光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで光または放射線を検出する光または放射線検出器を備え、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得る撮像装置であって、前記検出器の温度を所定の温度に制御する温度制御手段を備えることを特徴とするものである。   According to a fifth aspect of the present invention, the light or radiation detection detects light or radiation by converting the light or radiation information into charge information by the incidence of light or radiation and reading the converted charge information. An imaging device comprising a detector and obtaining an image based on charge information detected from a light or radiation detector, comprising temperature control means for controlling the temperature of the detector to a predetermined temperature It is.

[作用・効果]請求項5に記載の発明によれば、光または放射線の入射により光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで放射線検出器は光または放射線を検出する。そして、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得ることで撮像を行う。このとき、上述した検出器の温度を所定の温度に制御する温度制御手段を備えることで、検出器の温度を制御することができる。   [Operation / Effect] According to the invention described in claim 5, the light or radiation information is converted into charge information by the incidence of light or radiation, and the converted charge information is read, so that the radiation detector can detect light or radiation. Detect radiation. And imaging is performed by obtaining an image based on the charge information detected from the light or radiation detector. At this time, the temperature of the detector can be controlled by providing temperature control means for controlling the temperature of the detector described above to a predetermined temperature.

上述した前者の発明(請求項1に記載の発明)において、温度測定手段によって測定された測定値を表示する表示手段を備えるのが好ましい(請求項2に記載の発明)。表示手段を備えることで、表示手段によって検出器の温度状況がより一層わかりやすくなる。   In the former invention described above (invention described in claim 1), it is preferable to provide display means for displaying the measured value measured by the temperature measuring means (invention described in claim 2). By providing the display means, it becomes easier to understand the temperature state of the detector by the display means.

前者の発明(請求項1に記載の発明)において、温度測定手段によって測定された測定値が所定の動作範囲を逸脱した場合に、異常を報知する報知手段を備えるのが好ましい(請求項3に記載の発明)。報知手段を備えることで、報知手段によって検出器の異常状況がわかりやすくなる。同様に、後者の発明(請求項5に記載の発明)においても、検出器の温度に関して異常を検出する機能を上述した温度制御手段に有し、その温度制御手段から上述した異常を検出したときに、異常を報知する報知手段を装置に備えるのが好ましい(請求項6に記載の発明)。   In the former invention (invention according to claim 1), it is preferable to provide notifying means for notifying abnormality when the measured value measured by the temperature measuring means deviates from a predetermined operating range (in claim 3). Described invention). By providing the notification means, it becomes easy to understand the abnormal state of the detector by the notification means. Similarly, in the latter invention (the invention described in claim 5), the above-described temperature control means has a function of detecting an abnormality with respect to the temperature of the detector, and the above-described abnormality is detected from the temperature control means. In addition, it is preferable that the apparatus is provided with a notification means for reporting the abnormality (the invention according to claim 6).

前者の発明(請求項1に記載の発明)において、温度測定手段によって測定された測定値が所定の動作範囲を逸脱した場合に、検出器への給電を停止する機能を装置に有するのが好ましい(請求項4に記載の発明)。所定の動作範囲を逸脱することによる温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行う事態を、かかる機能を有することで、検出器への給電を停止してかかる事態を防止することができる。また、温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行うことで撮像に異常を来たす事態をも防止することができる。同様に、後者の発明においても(請求項5に記載の発明)、検出器の温度に関して異常を検出する機能を上述した温度制御手段に有し、その温度制御手段から上述した異常を検出したときに、検出器への給電を停止する機能を装置に有するのが好ましい(請求項7に記載の発明)。   In the former invention (the invention described in claim 1), the apparatus preferably has a function of stopping power supply to the detector when the measured value measured by the temperature measuring means deviates from a predetermined operating range. (Invention of Claim 4). By having such a function of detecting the occurrence of a temperature-related abnormality caused by deviating from a predetermined operating range, it is possible to prevent such a situation by stopping the power supply to the detector. In addition, it is possible to prevent a situation in which an abnormality occurs in imaging by performing detection even though an abnormality relating to temperature has occurred. Similarly, in the latter invention (the invention described in claim 5), the above-described temperature control means has a function of detecting an abnormality with respect to the temperature of the detector, and the above-described abnormality is detected from the temperature control means. In addition, it is preferable that the apparatus has a function of stopping the power supply to the detector (the invention according to claim 7).

上述した各発明において、検出器は、光または放射線の入射により光または放射線の情報を電荷情報に変換する半導体層を備え、その半導体層は、セレンを主原料として形成されているが挙げられる(請求項8に記載の発明)。セレンの場合には温度特性にシビアで、特にアモルファスセレンの場合には温度が40℃を超えると結晶化してしまい、半導体層において光または放射線を電荷情報に変換する機能が失われるという問題点がある。そこで、この発明がセレンに適用することで、検出器の温度状況がわかる、あるいは検出器の温度を制御することができて、セレンへの温度による被害を最小限にとどめることができる。   In each of the above-described inventions, the detector includes a semiconductor layer that converts light or radiation information into charge information upon incidence of light or radiation, and the semiconductor layer is formed using selenium as a main material ( (Invention of Claim 8) In the case of selenium, the temperature characteristic is severe. In particular, in the case of amorphous selenium, if the temperature exceeds 40 ° C., it will crystallize and the function of converting light or radiation into charge information in the semiconductor layer will be lost. is there. Therefore, when the present invention is applied to selenium, the temperature condition of the detector can be known or the temperature of the detector can be controlled, and damage to the selenium due to the temperature can be minimized.

この発明に係る撮像装置によれば、検出器の温度を測定する温度測定手段を備える(請求項1に記載の発明)、あるいは検出器の温度を所定の温度に制御する温度制御手段を備える(請求項5に記載の発明)ことで、検出器の温度状況がわかる、あるいは検出器の温度を制御することができる。   The imaging apparatus according to the present invention includes temperature measuring means for measuring the temperature of the detector (the invention according to claim 1), or temperature control means for controlling the temperature of the detector to a predetermined temperature ( According to the fifth aspect of the present invention, the temperature condition of the detector can be known or the temperature of the detector can be controlled.

以下、図面を参照してこの発明の実施例1を説明する。
図1は、実施例1に係るX線透視撮影装置のブロック図であり、図2は、X線透視撮影装置に用いられている側面視したフラットパネル型X線検出器の等価回路であり、図3は、平面視したフラットパネル型X線検出器の等価回路である。後述する実施例2も含めて、本実施例1では、光または放射線検出器としてフラットパネル型X線検出器(以下、適宜「FPD」という)を例に採るとともに、撮像装置としてX線透視撮影装置を例に採って説明する。
Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram of the X-ray fluoroscopic apparatus according to the first embodiment, and FIG. 2 is an equivalent circuit of a flat panel X-ray detector used in the X-ray fluoroscopic apparatus as viewed from the side. FIG. 3 is an equivalent circuit of the flat panel X-ray detector in plan view. In Example 1, including Example 2 described later, a flat panel X-ray detector (hereinafter referred to as “FPD” as appropriate) is taken as an example of a light or radiation detector, and X-ray fluoroscopic imaging is used as an imaging device. The apparatus will be described as an example.

後述する実施例2も含めて、本実施例1に係るX線透視撮影装置は、図1に示すように、被検体Mを載置する天板1と、その被検体Mに向けてX線を照射するX線管2と、被検体Mを透過したX線を検出するFPD3とを備えている。FPD3は、この発明における放射線検出器に相当する。   As shown in FIG. 1, the X-ray fluoroscopic apparatus according to the first embodiment including the second embodiment to be described later, and the top plate 1 on which the subject M is placed, and the X-ray toward the subject M are arranged. And an FPD 3 that detects X-rays transmitted through the subject M. The FPD 3 corresponds to the radiation detector in the present invention.

X線透視撮影装置は、他に、天板1の昇降および水平移動を制御する天板制御部4や、FPD3の走査を制御するFPD制御部5や、X線管2の管電圧や管電流を発生させる高電圧発生部6を有するX線管制御部7や、FPD3から電荷信号であるX線検出信号をディジタル化して取り出すA/D変換器8や、A/D変換器8から出力されたX線検出信号に基づいて種々の処理を行う画像処理部9や、これらの各構成部を統括するコントローラ10や、処理された画像などを記憶するメモリ部11や、オペレータが入力設定を行う入力部12や、処理された画像などを表示するモニタ13などを備えている。   In addition, the X-ray fluoroscopic apparatus includes a top panel control unit 4 that controls the elevation and horizontal movement of the top panel 1, an FPD control unit 5 that controls scanning of the FPD 3, and the tube voltage and tube current of the X-ray tube 2. Are output from an X-ray tube control unit 7 having a high voltage generation unit 6 that generates a signal, an A / D converter 8 that digitizes and extracts an X-ray detection signal that is a charge signal from the FPD 3, and an A / D converter 8. An image processing unit 9 that performs various processes based on the detected X-ray detection signal, a controller 10 that controls these components, a memory unit 11 that stores processed images, and an operator perform input settings. An input unit 12 and a monitor 13 for displaying processed images are provided.

天板制御部4は、天板1を水平移動させて被検体Mを撮像位置にまで収容したり、昇降、回転および水平移動させて被検体Mを所望の位置に設定したり、水平移動させながら撮像を行ったり、撮像終了後に水平移動させて撮像位置から退避させる制御などを行う。FPD制御部5は、FPD3を水平移動させたり、被検体Mの体軸の軸心周りに回転移動させることによる走査に関する制御などを行う。高電圧発生部6は、X線を照射させるための管電圧や管電流を発生してX線管2に与え、X線管制御部7は、X線管2を水平移動させたり、被検体Mの体軸の軸心周りに回転移動させるによる走査に関する制御や、X線管3側のコリメータ(図示省略)の照視野の設定の制御などを行う。なお、X線管2やFPD3の走査の際には、X線管2から照射されたX線をFPD3が検出できるようにX線管2およびFPD3が互いに対向しながらそれぞれの移動を行う。   The top board control unit 4 horizontally moves the top board 1 to accommodate the subject M up to the imaging position, moves the top and bottom, rotates and horizontally moves the subject M to a desired position, or horizontally moves the subject M. Then, the image is picked up, or the image is moved horizontally after the image pickup is finished, and the control is performed to retract from the image pickup position. The FPD control unit 5 performs control related to scanning by moving the FPD 3 horizontally or rotating around the body axis of the subject M. The high voltage generation unit 6 generates a tube voltage and a tube current for irradiating X-rays and applies them to the X-ray tube 2. The X-ray tube control unit 7 moves the X-ray tube 2 horizontally, Control relating to scanning by rotating around the axis of the body axis of M, control of the setting of the irradiation field of the collimator (not shown) on the X-ray tube 3 side, and the like are performed. When scanning the X-ray tube 2 or the FPD 3, the X-ray tube 2 and the FPD 3 move while facing each other so that the FPD 3 can detect the X-rays emitted from the X-ray tube 2.

コントローラ10は、中央演算処理装置(CPU)などで構成されており、メモリ部11は、ROM(Read-only Memory)やRAM(Random-Access Memory)などに代表される記憶媒体などで構成されている。また、入力部12は、マウスやキーボードやジョイスティックやトラックボールやタッチパネルなどに代表されるポインティングデバイスで構成されている。X線透視撮影装置では、被検体Mを透過したX線をFPD3が検出して、検出されたX線に基づいて画像処理部9で画像処理を行うことで被検体Mの撮像を行う。   The controller 10 is configured by a central processing unit (CPU) and the like, and the memory unit 11 is configured by a storage medium represented by ROM (Read-only Memory), RAM (Random-Access Memory), and the like. Yes. The input unit 12 includes a pointing device represented by a mouse, a keyboard, a joystick, a trackball, a touch panel, and the like. In the fluoroscopic imaging apparatus, the FPD 3 detects X-rays transmitted through the subject M, and the image processing unit 9 performs image processing based on the detected X-rays, thereby imaging the subject M.

本実施例1では、FPD制御部5は、FPD3に給電を行う電源ユニット51を備えるとともに、モニタ13は、後述する温度センサ14によって測定された温度データ(図1の温度データ131を参照)を表示する機能および後述する温度警告判定部15で異常か否かが判定されたときに温度警告(図1の温度警告132を参照)を表示する機能を備えている。   In the first embodiment, the FPD control unit 5 includes a power supply unit 51 that supplies power to the FPD 3, and the monitor 13 uses temperature data measured by a temperature sensor 14 described later (see temperature data 131 in FIG. 1). A function to display and a function to display a temperature warning (see temperature warning 132 in FIG. 1) when it is determined whether or not there is an abnormality in a temperature warning determination unit 15 described later.

X線透視撮影装置は、さらに、FPD3の温度を測定する温度センサ14と、温度センサ14によって測定された測定値である温度データが所定の動作範囲を逸脱したか否かを判定する温度警告判定部15とを備えている。温度データが所定の動作範囲を逸脱した場合には、FPD3の温度に関して異常が発生したときである。したがって、温度警告判定部15は、異常か否かを判定することになる。温度センサ14によって測定された温度データはモニタ13に表示される(図1の温度データ131を参照)。温度警告判定部15で異常だと判定した場合には、モニタ13に表示する(図1の温度警告132を参照)ことで異常を報知する。したがって、モニタ13は、この発明における表示手段に相当し、この発明における報知手段にも相当する。また、温度センサ14は、この発明における温度測定手段に相当する。   The X-ray fluoroscopic apparatus further includes a temperature sensor 14 that measures the temperature of the FPD 3 and a temperature warning determination that determines whether or not temperature data that is a measurement value measured by the temperature sensor 14 has deviated from a predetermined operating range. Part 15. When the temperature data deviates from a predetermined operation range, an abnormality has occurred with respect to the temperature of the FPD 3. Therefore, the temperature warning determination unit 15 determines whether there is an abnormality. The temperature data measured by the temperature sensor 14 is displayed on the monitor 13 (see the temperature data 131 in FIG. 1). If the temperature warning determination unit 15 determines that there is an abnormality, the abnormality is notified by displaying on the monitor 13 (see the temperature warning 132 in FIG. 1). Therefore, the monitor 13 corresponds to the display means in this invention, and also corresponds to the notification means in this invention. The temperature sensor 14 corresponds to the temperature measuring means in this invention.

異常だと判定した場合には、温度警告判定部15は、上述したモニタ13に表示する以外に、FPD制御部5内の電源ユニット51に給電停止信号を出力する。電源ユニット51がこの給電停止信号を受信することでFPD3への給電を停止する。本実施例1に係るX線透視撮影装置は、温度センサ14によって測定された温度データが所定の動作範囲を逸脱した場合に、FPD3への給電を停止する機能を有している。   When it is determined that there is an abnormality, the temperature warning determination unit 15 outputs a power supply stop signal to the power supply unit 51 in the FPD control unit 5 in addition to displaying on the monitor 13 described above. When the power supply unit 51 receives this power supply stop signal, power supply to the FPD 3 is stopped. The X-ray fluoroscopic apparatus according to the first embodiment has a function of stopping power supply to the FPD 3 when temperature data measured by the temperature sensor 14 deviates from a predetermined operation range.

FPD3は、図2に示すように、X線などの放射線が入射することによりキャリアが生成される放射線感応型の半導体厚膜31と、半導体厚膜31の表面に設けられた電圧印加電極32と、半導体厚膜31の放射線入射側とは反対側にある裏面に設けられたキャリア収集電極33と、キャリア収集電極33への収集キャリアを溜める電荷蓄積用のコンデンサCaと、コンデンサCaに蓄積された電荷を取り出すための通常時OFF(遮断)の電荷取り出し用のスイッチ素子である薄膜トランジスタ(TFT)Trとを備えている。後述する実施例2も含めて、本実施例1では、半導体厚膜31は放射線の入射によりキャリアが生成される放射線感応型の物質、例えばアモルファスセレンで形成されているが、光の入射によりキャリアが生成される光感応型の物質であってもよい。半導体厚膜31は、この発明における半導体層に相当する。   As shown in FIG. 2, the FPD 3 includes a radiation-sensitive semiconductor thick film 31 in which carriers are generated when radiation such as X-rays enters, and a voltage application electrode 32 provided on the surface of the semiconductor thick film 31. The carrier collecting electrode 33 provided on the back surface opposite to the radiation incident side of the semiconductor thick film 31, the charge storage capacitor Ca for collecting the collected carriers to the carrier collecting electrode 33, and the capacitor Ca. It includes a thin film transistor (TFT) Tr, which is a switch element for taking out charges that is normally OFF (blocked) for taking out charges. In Example 1, including Example 2 to be described later, the semiconductor thick film 31 is formed of a radiation-sensitive material, for example, amorphous selenium, in which carriers are generated by the incidence of radiation. May be a light-sensitive substance that produces The semiconductor thick film 31 corresponds to the semiconductor layer in this invention.

この他に、後述する実施例2も含めて、本実施例1では、薄膜トランジスタTrのソースに接続されているデータ線34と、薄膜トランジスタTrのゲートに接続されているゲート線35とを備えており、電圧印加電極32,半導体厚膜31,キャリア収集電極33,コンデンサCa,薄膜トランジスタTr,データ線34およびゲート線35が絶縁基板36の上に積層されて構成されている。   In addition to this, the first embodiment including the second embodiment described later includes a data line 34 connected to the source of the thin film transistor Tr and a gate line 35 connected to the gate of the thin film transistor Tr. The voltage application electrode 32, the semiconductor thick film 31, the carrier collection electrode 33, the capacitor Ca, the thin film transistor Tr, the data line 34, and the gate line 35 are laminated on the insulating substrate 36.

図2、図3に示すように、縦・横式2次元マトリックス状配列で多数個(例えば、1024個×1024個や4096×4096個)形成されたキャリア収集電極33ごとに、上述した各々のコンデンサCaおよび薄膜トランジスタTrがそれぞれ接続されており、それらキャリア収集電極33,コンデンサCa,および薄膜トランジスタTrが各検出素子DUとしてそれぞれ分離形成されている。また、電圧印加電極32は、全検出素子DUの共通電極として全面にわたって形成されている。また、上述したデータ線34は、図3に示すように、横(X)方向に複数本に並列されているとともに、上述したゲート線35は、図3に示すように、縦(Y)方向に複数本に並列されており、各々のデータ線34およびゲート線35は各検出素子DUに接続されている。また、データ線34はアンプアレイ回路37に接続されており、ゲート線35はゲートドライバ回路38に接続されている。なお、検出素子DUの配列個数は上述の1024個×1024個や4096×4096個だけでなく、実施形態に応じて配列個数を変更して使用することができる。したがって、検出素子DUが1個のみの形態であってもよい。   As shown in FIGS. 2 and 3, for each of the carrier collection electrodes 33 formed in a large number (for example, 1024 × 1024 or 4096 × 4096) in a vertical / horizontal two-dimensional matrix arrangement, The capacitor Ca and the thin film transistor Tr are connected to each other, and the carrier collecting electrode 33, the capacitor Ca, and the thin film transistor Tr are separately formed as each detection element DU. Further, the voltage application electrode 32 is formed over the entire surface as a common electrode of all the detection elements DU. Further, as shown in FIG. 3, the data lines 34 described above are arranged in parallel in the horizontal (X) direction, and the gate lines 35 described above are arranged in the vertical (Y) direction as shown in FIG. The data lines 34 and the gate lines 35 are connected to the detection elements DU. The data line 34 is connected to the amplifier array circuit 37, and the gate line 35 is connected to the gate driver circuit 38. The number of detector elements DU arranged is not limited to the above-mentioned 1024 × 1024 or 4096 × 4096, and the number of detector elements DU can be changed according to the embodiment. Therefore, the form with only one detection element DU may be sufficient.

検出素子DUは2次元マトリックス状配列で絶縁基板36にパターン形成されており、検出素子DUがパターン形成された絶縁基板36は『アクティブ・マトリクス基板』とも呼ばれている。   The detection elements DU are patterned on the insulating substrate 36 in a two-dimensional matrix arrangement, and the insulating substrate 36 on which the detection elements DU are patterned is also called an “active matrix substrate”.

また、FPD3の検出素子DU周辺を作成する場合には、絶縁基板36の表面に、各種真空蒸着法による薄膜形成技術やフォトリソグラフィ法によるパターン技術を利用して、データ線34およびゲート線35を配線し、薄膜トランジスタTr,コンデンサCa,キャリア収集電極33,半導体厚膜31,電圧印加電極32などを順に積層形成する。なお、半導体厚膜31を形成する半導体については、アモルファス型の半導体や多結晶型の半導体などに例示されるように、用途や耐電圧などに応じて適宜選択することができる。   When the periphery of the detection element DU of the FPD 3 is created, the data line 34 and the gate line 35 are formed on the surface of the insulating substrate 36 by using a thin film forming technique by various vacuum deposition methods or a pattern technique by photolithography. A thin film transistor Tr, a capacitor Ca, a carrier collection electrode 33, a semiconductor thick film 31, a voltage application electrode 32, and the like are sequentially stacked. The semiconductor for forming the semiconductor thick film 31 can be appropriately selected according to the application, withstand voltage, etc., as exemplified by an amorphous semiconductor and a polycrystalline semiconductor.

続いて、本実施例1に係るX線透視撮影装置およびフラットパネル型X線検出器(FPD)の作用について説明する。電圧印加電極32に高電圧(例えば数100V〜数10kV程度)のバイアス電圧VAを印加した状態で、検出対象である放射線を入射させる。このバイアス電圧VAの印加の制御についてもFPD制御部5から行う。 Next, operations of the X-ray fluoroscopic apparatus and the flat panel X-ray detector (FPD) according to the first embodiment will be described. While applying a bias voltage V A of the voltage application electrode 32 to a high voltage (e.g., several 100V~ number about 10 kV), to be incident radiation to be detected. The application of the bias voltage V A is also controlled from the FPD controller 5.

放射線の入射によってキャリアが生成されて、そのキャリアが電荷情報として電荷蓄積用のコンデンサCaに蓄積される。ゲートドライバ回路38の信号取り出し用の走査信号(すなわちゲート駆動信号)によって、ゲート線35が選択されて、さらに選択されたゲート線35に接続されている検出素子DUが選択指定される。その指定された検出素子DUのコンデンサCaに蓄積された電荷が、選択されたゲート線35の信号によってON状態に移行した薄膜トランジスタTrを経由して、データ線34に読み出される。   Carriers are generated by the incidence of radiation, and the carriers are stored in the charge storage capacitor Ca as charge information. The gate line 35 is selected by the scanning signal for extracting signals from the gate driver circuit 38 (that is, the gate drive signal), and the detection element DU connected to the selected gate line 35 is selected and designated. The electric charge accumulated in the capacitor Ca of the designated detection element DU is read out to the data line 34 via the thin film transistor Tr that has been turned on by the signal of the selected gate line 35.

また、各検出素子DUのアドレス(番地)指定は、データ線34およびゲート線35の信号取り出し用の走査信号(ゲート線35の場合にはゲート駆動信号、データ線34の場合にはアンプ駆動信号)に基づいて行われる。アンプアレイ回路37やゲートドライバ回路38に信号取り出し用の走査信号が送り込まれると、ゲートドライバ回路38から縦(Y)方向の走査信号(ゲート駆動信号)に従って各検出素子DUが選択される。そして、横(X)方向の走査信号(アンプ駆動信号)に従ってアンプアレイ回路37が切り換えられることによって、選択された検出素子DUのコンデンサCaに蓄積された電荷が、データ線34を介してアンプアレイ回路37に送り出される。そして、アンプアレイ回路37で増幅されて、X線検出信号としてアンプアレイ回路37から出力されてA/D変換器8に送り込まれる。   The address (address) of each detection element DU is specified by a scanning signal for extracting signals from the data line 34 and the gate line 35 (a gate drive signal in the case of the gate line 35 and an amplifier drive signal in the case of the data line 34). ). When a scanning signal for signal extraction is sent to the amplifier array circuit 37 and the gate driver circuit 38, each detection element DU is selected from the gate driver circuit 38 in accordance with the scanning signal (gate driving signal) in the longitudinal (Y) direction. Then, the amplifier array circuit 37 is switched in accordance with the scanning signal (amplifier driving signal) in the horizontal (X) direction, whereby the charge accumulated in the capacitor Ca of the selected detection element DU is amplified via the data line 34. It is sent to the circuit 37. Then, the signal is amplified by the amplifier array circuit 37, output from the amplifier array circuit 37 as an X-ray detection signal, and sent to the A / D converter 8.

上述の動作によって、例えばX線透視撮影装置の透視X線像の検出に本実施例1に係るFPD3を用いた場合、データ線34を介して外部に読み出された電荷情報(X線検出信号)が画像情報に変換されて、X線透視画像として出力される。   For example, when the FPD 3 according to the first embodiment is used for detection of a fluoroscopic X-ray image of an X-ray fluoroscopic imaging apparatus, the charge information (X-ray detection signal) read to the outside through the data line 34 by the above-described operation. ) Is converted into image information and output as a fluoroscopic image.

温度センサ14は、FPD3の温度を測定し続けており、この温度データをモニタ13に表示する。その一方で、温度データを温度警告判定部15にも送り込み続ける。温度警告判定部15は、送られてきた温度データが所定の動作範囲を逸脱したか否かを判定する。半導体厚膜31を形成するアモルファスセレンの場合には、40℃を超えると結晶化するので、余裕をとって例えば35℃までの温度をFPD3の動作範囲として設定する。そして、35℃を超えたらFPD3の温度に関して異常が発生したとして判定する。温度警告判定部15で異常だと判定した場合には、モニタ13に表示して異常を報知し、FPD制御部5内の電源ユニット51に給電停止信号を出力する。そして、FPD3への給電を停止する。   The temperature sensor 14 continues to measure the temperature of the FPD 3 and displays this temperature data on the monitor 13. On the other hand, the temperature data is also sent to the temperature warning determination unit 15. The temperature warning determination unit 15 determines whether or not the sent temperature data has deviated from a predetermined operating range. In the case of amorphous selenium forming the semiconductor thick film 31, since it crystallizes when it exceeds 40 ° C., a temperature up to 35 ° C., for example, is set as the operating range of the FPD 3 with a margin. And if it exceeds 35 degreeC, it will determine with abnormality regarding the temperature of FPD3 having generate | occur | produced. When the temperature warning determination unit 15 determines that there is an abnormality, the abnormality is displayed on the monitor 13 to notify the abnormality, and a power supply stop signal is output to the power supply unit 51 in the FPD control unit 5. Then, power supply to the FPD 3 is stopped.

上述した本実施例1に係るX線透視撮影装置によれば、X線の入射により半導体厚膜31は放射線をキャリアである電荷情報に変換し、その変換されたキャリアを読み出すことでフラットパネル型X線検出器(FPD)3はX線を検出する。そして、FPD3から検出されたX線検出信号(キャリア)に基づいて放射線画像を得ることで撮像を行う。このときFPD3の温度を測定する温度センサ14を備えることで、FPD3の温度状況がわかることができる。   According to the X-ray fluoroscopic apparatus according to the first embodiment described above, the semiconductor thick film 31 converts the radiation into charge information that is a carrier by the incidence of X-rays, and reads the converted carrier to thereby obtain a flat panel type. The X-ray detector (FPD) 3 detects X-rays. Then, imaging is performed by obtaining a radiation image based on the X-ray detection signal (carrier) detected from the FPD 3. At this time, by providing the temperature sensor 14 for measuring the temperature of the FPD 3, the temperature state of the FPD 3 can be understood.

本実施例1では、温度センサ14によって測定された温度データを表示するモニタ13を備えることで、モニタ13によってFPD3の温度状況がより一層わかりやすくなる。また、本実施例1では、温度センサ14によって測定された温度データが所定の動作範囲を逸脱した場合に、異常を報知する報知手段としてモニタ13に兼用させている。このモニタ13を備えることで、モニタ13によってFPD3の異常状況がわかりやすくなる。さらに、本実施例1では、上述した動作範囲を逸脱した場合に、FPD3への給電を停止する機能を有している。所定の動作範囲を逸脱することによる温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行う事態を、かかる機能を有することで、FPD3への給電を停止してかかる事態を防止することができる。また、温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行うことで撮像に異常を来たす事態をも防止することができる。   In the first embodiment, the monitor 13 that displays the temperature data measured by the temperature sensor 14 makes it easier to understand the temperature state of the FPD 3 by the monitor 13. Further, in the first embodiment, when the temperature data measured by the temperature sensor 14 deviates from a predetermined operating range, the monitor 13 is also used as an informing means for informing an abnormality. By providing the monitor 13, the monitor 13 makes it easy to understand the abnormal state of the FPD 3. Further, the first embodiment has a function of stopping power supply to the FPD 3 when the operation range is deviated. By having such a function of detecting the occurrence of a temperature-related abnormality caused by deviating from the predetermined operating range, it is possible to prevent such a situation by stopping the power supply to the FPD 3. In addition, it is possible to prevent a situation in which an abnormality occurs in imaging by performing detection even though an abnormality relating to temperature has occurred.

また、本実施例1では、X線の入射によりX線をキャリアに変換する放射線感応型の半導体厚膜31を備え、その半導体厚膜31は、アモルファスセレンのようにセレンを主体として形成されている。ここで『セレン』を主体とは、100%のセレンで形成されたものの他に、セレンに電子や正孔などの不純物を拡散したものや、セレン化合物を含む。セレンの場合には温度特性にシビアで、特にアモルファスセレンの場合には温度が40℃を超えると結晶化してしまい、半導体厚膜31においてX線をキャリアに変換する機能が失われるという問題点がある。そこで、この発明がセレンに適用することで、FPD3の温度状況がわかり、セレンへの温度による被害を最小限にとどめることができる。   The first embodiment also includes a radiation-sensitive semiconductor thick film 31 that converts X-rays into carriers upon incidence of X-rays, and the semiconductor thick film 31 is formed mainly of selenium like amorphous selenium. Yes. Here, “selenium” mainly includes, in addition to those formed of 100% selenium, selenium in which impurities such as electrons and holes are diffused, and selenium compounds. In the case of selenium, the temperature characteristics are severe. In particular, in the case of amorphous selenium, crystallization occurs when the temperature exceeds 40 ° C., and the function of converting X-rays into carriers in the semiconductor thick film 31 is lost. is there. Therefore, when the present invention is applied to selenium, the temperature condition of the FPD 3 can be understood, and damage to the selenium due to the temperature can be minimized.

次に、図面を参照してこの発明の実施例2を説明する。
図4は、実施例2に係るX線透視撮影装置のブロック図である。実施例1と共通する箇所については、同じ符号を付して図示を省略するとともに、その説明を省略する。なお、フラットパネル型X線検出器(FPD)3については、図2、図3と同様の構成である。
Next, Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 4 is a block diagram of an X-ray fluoroscopic apparatus according to the second embodiment. The portions common to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the illustration thereof is omitted and the description thereof is omitted. The flat panel X-ray detector (FPD) 3 has the same configuration as that shown in FIGS.

本実施例2に係るX線透視撮影装置は、上述した実施例1と同様に、天板1とX線管2とFPD3と天板制御部4とFPD制御部5とX線管制御部7とA/D変換器8と画像処理部9とコントローラ10とメモリ部11と入力部12とモニタ13とを備えている。   The X-ray fluoroscopic apparatus according to the second embodiment is similar to the first embodiment described above in that the top plate 1, the X-ray tube 2, the FPD 3, the top plate control unit 4, the FPD control unit 5, and the X-ray tube control unit 7. An A / D converter 8, an image processing unit 9, a controller 10, a memory unit 11, an input unit 12, and a monitor 13.

実施例1との相違点は、実施例1の温度センサ14や温度警告判定部15の替わりに本実施例2では温度維持部16を備えた点である。温度維持部16は、FPD3の温度を所定の温度に制御するもので、冷却機あるいは加熱機、または冷却および加熱の双方の機能を備えたもので構成されている。FPD3の温度が上昇する傾向にあるのであれば、冷却機で温度維持部16を構成してもよいし、FPD3の温度が下降する傾向にあるのであれば、加熱機で温度維持部16を構成してもよい。また、FPD3の温度が動作範囲外を上昇および下降する傾向にあるのであれば、冷却および加熱の双方の機能を備えたもので温度維持部16を構成してもよい。   A difference from the first embodiment is that a temperature maintaining unit 16 is provided in the second embodiment instead of the temperature sensor 14 and the temperature warning determination unit 15 of the first embodiment. The temperature maintaining unit 16 controls the temperature of the FPD 3 to a predetermined temperature, and is configured by a cooler or a heater, or one having both functions of cooling and heating. If the temperature of the FPD 3 tends to increase, the temperature maintaining unit 16 may be configured by a cooler, and if the temperature of the FPD 3 tends to decrease, the temperature maintaining unit 16 is configured by a heater. May be. If the temperature of the FPD 3 tends to rise and fall outside the operating range, the temperature maintaining unit 16 may be configured with both cooling and heating functions.

また、温度維持部16は、実施例1の温度警告判定部16の機能、すなわちFPD3の温度に関して異常を検出する機能を有して、その異常を報知するように構成されている。報知するときには、実施例1と同様にモニタ13に表示する(図4の温度警告132を参照)。また、本実施例2では、実施例1の温度センサ14を備えていない関係で、正確な温度データを測定しておらず、実施例1の図1の温度データ131に示すようにモニタ13に温度データを表示していない。なお、実施例1の温度センサ14のようにFPD3の温度を精密に測定する機能を温度維持部16に備えてもよい。温度維持部16は、この発明における温度制御手段に相当する。   The temperature maintaining unit 16 has the function of the temperature warning determination unit 16 of the first embodiment, that is, the function of detecting an abnormality with respect to the temperature of the FPD 3, and is configured to notify the abnormality. When notifying, it is displayed on the monitor 13 as in the first embodiment (see the temperature warning 132 in FIG. 4). Further, in the second embodiment, since the temperature sensor 14 of the first embodiment is not provided, accurate temperature data is not measured, and the monitor 13 displays the temperature data 131 as shown in the temperature data 131 of FIG. 1 of the first embodiment. Temperature data is not displayed. Note that the temperature maintaining unit 16 may be provided with a function of accurately measuring the temperature of the FPD 3 like the temperature sensor 14 of the first embodiment. The temperature maintaining unit 16 corresponds to the temperature control means in this invention.

異常を検出した場合には、温度維持部16は、実施例1と同様にモニタ13に表示する以外に、FPD制御部5内の電源ユニット51に給電停止信号を出力する。電源ユニット51がこの給電停止信号を受信することでFPD3への給電を停止する。   When an abnormality is detected, the temperature maintaining unit 16 outputs a power supply stop signal to the power supply unit 51 in the FPD control unit 5 in addition to displaying on the monitor 13 as in the first embodiment. When the power supply unit 51 receives this power supply stop signal, power supply to the FPD 3 is stopped.

上述した本実施例2に係るX線透視撮影装置によれば、FPD3の温度を所定の温度に制御する温度維持部16を備えることで、FPD3の温度を制御することができる。   According to the fluoroscopic imaging apparatus according to the second embodiment described above, the temperature of the FPD 3 can be controlled by including the temperature maintaining unit 16 that controls the temperature of the FPD 3 to a predetermined temperature.

また、本実施例2では、異常を検出した場合に、異常を報知する報知手段として実施例1と同様にモニタ13に兼用させている。このモニタ13に備えることで、モニタ13によってFPD3の異常状況がわかりやすくなる。さらに、本実施例2では、異常を検出した場合に、実施例1と同様にFPD3への給電を停止する機能を有している。したがって、温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行う事態を、かかる機能を有することで、FPD3への給電を停止してかかる事態を防止することができる。また、温度に関する異常が発生したにも関わらず検出を行うことで撮像に異常を来たす事態をも防止することができる。また、実施例1のようにアモルファスセレンで形成された半導体厚膜31(図2を参照)に適用することで、セレンへの温度による被害を最小限にとどめることができる。   In the second embodiment, when an abnormality is detected, the monitor 13 is also used as a notification means for notifying the abnormality as in the first embodiment. By providing the monitor 13, the monitor 13 makes it easy to understand the abnormal state of the FPD 3. Further, the second embodiment has a function of stopping power supply to the FPD 3 in the same manner as the first embodiment when an abnormality is detected. Therefore, by having such a function for detecting a situation where an abnormality relating to temperature has occurred, it is possible to prevent such a situation by stopping the power supply to the FPD 3. In addition, it is possible to prevent a situation in which an abnormality occurs in imaging by performing detection even though an abnormality relating to temperature has occurred. Moreover, by applying to the semiconductor thick film 31 (refer FIG. 2) formed with amorphous selenium like Example 1, damage to the selenium due to temperature can be minimized.

この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as follows.

(1)上述した各実施例では、図1、図4に示すようなX線透視撮影装置を例に採って説明したが、この発明は、例えばC型アームに配設されたX線透視撮影装置にも適用してもよい。また、この発明は、X線CT装置にも適用してもよい。   (1) In each of the above-described embodiments, the X-ray fluoroscopic apparatus as shown in FIGS. 1 and 4 has been described as an example. However, the present invention is, for example, X-ray fluoroscopic imaging disposed on a C-type arm. You may apply also to an apparatus. The present invention may also be applied to an X-ray CT apparatus.

(2)上述した各実施例では、入射した放射線を半導体厚膜1(半導体層)によって電荷情報に直接に変換した、「直接変換型」の放射線検出器をこの発明は適用したが、入射した放射線をシンチレータなどの変換層によって光に変換し、光感応型の物質で形成された半導体層によってその光を電荷情報に変換する「間接変換型」の放射線検出器をこの発明は適用してもよい。光感応型の半導体層については、上述した実施例と同じような厚膜で形成してもよいし、フォトダイオードで形成してもよい。   (2) In each of the above-described embodiments, the present invention is applied to a “direct conversion type” radiation detector in which incident radiation is directly converted into charge information by the semiconductor thick film 1 (semiconductor layer). Even if the present invention is applied to an "indirect conversion type" radiation detector that converts radiation into light by a conversion layer such as a scintillator and converts the light into charge information by a semiconductor layer formed of a photosensitive material. Good. The photosensitive semiconductor layer may be formed of a thick film similar to the above-described embodiment, or may be formed of a photodiode.

(3)上述した各実施例では、X線を検出するX線検出器を例に採って説明したが、この発明は、ECT(Emission Computed Tomography)装置のように放射性同位元素(RI)を投与された被検体から放射されるγ線を検出するγ線検出器に例示されるように、放射線を検出する放射線検出器であれば特に限定されない。同様に、この発明は、上述したECT装置に例示されるように、放射線を検出して撮像を行う装置であれば特に限定されない。   (3) In each of the above-described embodiments, the X-ray detector for detecting X-rays has been described as an example. However, in the present invention, a radioisotope (RI) is administered like an ECT (Emission Computed Tomography) apparatus. The radiation detector is not particularly limited as long as it is a radiation detector that detects radiation, as exemplified by a γ-ray detector that detects γ-rays emitted from the subject. Similarly, the present invention is not particularly limited as long as it is an apparatus that performs imaging by detecting radiation, as exemplified by the ECT apparatus described above.

(4)上述した各実施例では、X線などに代表される放射線検出器を例に採って説明したが、この発明は、光を検出する光検出器にも適用できる。したがって、光を検出して撮像を行う装置であれば特に限定されない。   (4) In each of the above-described embodiments, the radiation detector typified by X-rays has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a photodetector that detects light. Therefore, the device is not particularly limited as long as the device detects light and performs imaging.

(5)上述した実施例1と実施例2とを互いに組み合わせてもよい。実施例1の温度センサ14のように検出器(実施例1,2ではFPD3)の温度を測定する温度測定手段を備えるとともに、実施例2の温度維持部16のように検出器の温度を所定の温度に制御する温度制御手段を備えてもよい。また、温度センサ14の温度データに基づいて温度維持部16がFPD3の温度を制御するように構成してもよい。これによりFPD3の温度をより精密に制御することができる。   (5) The first embodiment and the second embodiment described above may be combined with each other. Like the temperature sensor 14 of the first embodiment, a temperature measuring unit for measuring the temperature of the detector (FPD 3 in the first and second embodiments) is provided, and the temperature of the detector is set to a predetermined value like the temperature maintaining unit 16 of the second embodiment. A temperature control means for controlling the temperature may be provided. Further, the temperature maintaining unit 16 may be configured to control the temperature of the FPD 3 based on the temperature data of the temperature sensor 14. Thereby, the temperature of the FPD 3 can be controlled more precisely.

(6)上述した実施例1では、温度センサ14によって測定された測定値である温度データを表示するモニタ13を備えたが、モニタ13に温度データを表示せずに、温度センサ14からの温度データに基づいて異常を報知する、あるいはFPD3への給電を停止するのみの機能であってもよい。   (6) In the first embodiment described above, the monitor 13 that displays the temperature data that is the measurement value measured by the temperature sensor 14 is provided. However, the temperature from the temperature sensor 14 is not displayed on the monitor 13. A function of notifying abnormality based on the data or only stopping power supply to the FPD 3 may be used.

(7)上述した各実施例では、異常があったときにモニタ13に異常を報知して温度警告を行ったが、異常を報知せずに、FPD3への給電を停止するのみの機能であってもよい。また、異常を報知する手段は、モニタ13に表示してオペレータの視覚に訴える手段に限定されず、警告音を出してオペレータの聴覚に訴える手段であってもよく、オペレータの五感に訴える手段であれば、報知手段については特に限定されない。   (7) In each of the above-described embodiments, when there is an abnormality, the monitor 13 is notified of the abnormality and a temperature warning is given, but this is a function that only stops power supply to the FPD 3 without notifying the abnormality. May be. The means for notifying the abnormality is not limited to means for displaying on the monitor 13 and appealing to the operator's vision, but may be a means for making a warning sound and appealing to the operator's senses. If there is, the notification means is not particularly limited.

(8)上述した各実施例では、異常があったときにFPD3への給電を行ったが、FPD3への給電を停止せずに、実施例2の温度維持部16による温度制御のみを行ってもよいし、異常を報知するのみでもよいし、実施例1のように測定値である温度データをモニタ13に表示するのみでもよい。   (8) In each of the above-described embodiments, power is supplied to the FPD 3 when there is an abnormality. However, only temperature control by the temperature maintaining unit 16 of the second embodiment is performed without stopping power supply to the FPD 3. Alternatively, the abnormality may be notified only, or the temperature data as the measurement value may be displayed on the monitor 13 as in the first embodiment.

実施例1に係るX線透視撮影装置のブロック図である。1 is a block diagram of an X-ray fluoroscopic apparatus according to Embodiment 1. FIG. X線透視撮影装置に用いられている側面視したフラットパネル型X線検出器の等価回路である。2 is an equivalent circuit of a flat panel X-ray detector as viewed from the side, which is used in an X-ray fluoroscopic apparatus. 平面視したフラットパネル型X線検出器の等価回路である。2 is an equivalent circuit of a flat panel X-ray detector in plan view. 実施例2に係るX線透視撮影装置のブロック図である。6 is a block diagram of an X-ray fluoroscopic apparatus according to Embodiment 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

3 … フラットパネル型X線検出器(FPD)
13 … モニタ
14 … 温度センサ
16 … 温度維持部
31 … 半導体厚膜
3 ... Flat panel X-ray detector (FPD)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 13 ... Monitor 14 ... Temperature sensor 16 ... Temperature maintenance part 31 ... Semiconductor thick film

Claims (8)

光または放射線の入射により前記光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで光または放射線を検出する光または放射線検出器を備え、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得る撮像装置であって、前記検出器の温度を測定する温度測定手段を備えることを特徴とする撮像装置。   A light or radiation detector that detects light or radiation by converting the light or radiation information into charge information by the incidence of light or radiation and reading the converted charge information is detected from the light or radiation detector. An imaging apparatus for obtaining an image based on the charge information, comprising temperature measuring means for measuring the temperature of the detector. 請求項1に記載の撮像装置において、前記温度測定手段によって測定された測定値を表示する表示手段を備えることを特徴とする撮像装置。   The imaging apparatus according to claim 1, further comprising a display unit that displays a measurement value measured by the temperature measurement unit. 請求項1または請求項2に記載の撮像装置において、前記温度測定手段によって測定された測定値が所定の動作範囲を逸脱した場合に、異常を報知する報知手段を備えることを特徴とする撮像装置。   3. The imaging apparatus according to claim 1, further comprising a notifying unit for notifying an abnormality when a measured value measured by the temperature measuring unit deviates from a predetermined operation range. . 請求項1から請求項3のいずれかに記載の撮像装置において、前記温度測定手段によって測定された測定値が所定の動作範囲を逸脱した場合に、前記検出器への給電を停止する機能を前記装置に有することを特徴とする撮像装置。   4. The imaging device according to claim 1, wherein when the measurement value measured by the temperature measurement unit deviates from a predetermined operation range, the function of stopping power supply to the detector is provided. An imaging device comprising the device. 光または放射線の入射により前記光または放射線の情報を電荷情報に変換し、その変換された電荷情報を読み出すことで光または放射線を検出する光または放射線検出器を備え、光または放射線検出器から検出された電荷情報に基づいて画像を得る撮像装置であって、前記検出器の温度を所定の温度に制御する温度制御手段を備えることを特徴とする撮像装置。   A light or radiation detector that detects light or radiation by converting the light or radiation information into charge information by the incidence of light or radiation and reading the converted charge information is detected from the light or radiation detector. An image pickup apparatus that obtains an image based on the charged information, and further comprises temperature control means for controlling the temperature of the detector to a predetermined temperature. 請求項5に記載の撮像検出装置において、前記検出器の温度に関して異常を検出する機能を前記温度制御手段に有し、その温度制御手段から前記異常を検出したときに、異常を報知する報知手段を前記装置に備えることを特徴とする撮像装置。   6. The imaging detection apparatus according to claim 5, wherein the temperature control unit has a function of detecting an abnormality with respect to the temperature of the detector, and a notification unit that notifies the abnormality when the abnormality is detected from the temperature control unit. An imaging apparatus comprising: the apparatus. 請求項5または請求項6に記載の撮像装置において、前記検出器の温度に関して異常を検出する機能を前記温度制御手段に有し、その温度制御手段から前記異常を検出したときに、前記検出器への給電を停止する機能を前記装置に有することを特徴とする撮像装置。   7. The imaging apparatus according to claim 5, wherein the temperature control unit has a function of detecting an abnormality with respect to the temperature of the detector, and the detector is detected when the abnormality is detected from the temperature control unit. An image pickup apparatus having a function of stopping power supply to the apparatus. 請求項1から請求項7のいずれかに記載の撮像装置において、前記検出器は、光または放射線の入射により前記光または放射線の情報を電荷情報に変換する半導体層を備え、その半導体層は、セレンを主原料として形成されていることを特徴とする撮像装置。
The imaging device according to any one of claims 1 to 7, wherein the detector includes a semiconductor layer that converts light or radiation information into charge information by incidence of light or radiation, and the semiconductor layer includes: An imaging device characterized by being formed using selenium as a main raw material.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010249701A (en) * 2009-04-16 2010-11-04 Yoshida Denzai Kogyo Kk Heat insulation device for flat panel
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