JP2006128081A - Plasma treatment device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、プロセスガスを放電空間に導入し基板のプラズマ処理を行なうプラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to a plasma processing apparatus for introducing a process gas into a discharge space and performing plasma processing on a substrate.
電源に接続された電極と接地された電極を例えば上下に対向配置し、これら電極間に常圧のプラズマ放電空間を形成し、この放電空間に基板を配置してプラズマ処理を行なう装置は、公知である(例えば特許文献1等)。各電極は、放電空間の形成面が露出されるようにしてフレームに収容されている。フレームの一端部は、放電空間へのプロセスガスの導入部となり、他端部は、放電空間からのガス導出部となっている。
放電空間からのガス導出部すなわち下流側では、導出ガスと接触する構成部材が腐食しやすい。例えば、CF4等のフッ素系ガスを主成分とし微量の水を添加する等したプロセスガスを用いたプラズマエッチングでは、放電空間での処理反応によってHF系ガスやオゾン等の腐食性の高い物質が生成される。この腐食性物質が下流へ流れ、装置の構成部材に接触して腐食させる。このような腐食はコンタミネーションの原因となり、歩留まりを低下させる。 In the gas outlet portion from the discharge space, that is, on the downstream side, the constituent members that come into contact with the outlet gas are easily corroded. For example, in plasma etching using a process gas in which a fluorine-based gas such as CF 4 is the main component and a small amount of water is added, a highly corrosive substance such as HF-based gas or ozone is generated by a treatment reaction in the discharge space. Generated. This corrosive substance flows downstream and contacts the components of the apparatus to cause corrosion. Such corrosion causes contamination and reduces the yield.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、
プロセスガスを放電空間に通してプラズマ処理を行なう装置であって、
前記放電空間を形成すべき面に固体誘電体が設けられた電極と、
前記放電空間形成面の固体誘電体を露出させるようにして前記電極を囲んで収容する筐体と、を備え、
前記筐体には、前記放電空間の上流側に連なる空間を画成する上流部材と、前記放電空間の下流側に連なる空間を画成する下流部材とが設けられ、
前記下流部材が、前記上流部材より耐腐食性の高い材料にて構成されていることを特徴とする。
これによって、放電空間での処理反応によって腐食性のガス成分が発生しても、この腐食性ガス成分と接触する下流部材が腐食するのを防止でき、コンタミネーションが起きるのを防止することができる。
The present invention has been made in view of the above circumstances,
An apparatus for performing plasma treatment by passing a process gas through a discharge space,
An electrode provided with a solid dielectric on the surface where the discharge space is to be formed;
A housing that encloses and accommodates the electrode so as to expose the solid dielectric of the discharge space forming surface,
The casing is provided with an upstream member that defines a space that continues to the upstream side of the discharge space, and a downstream member that defines a space that continues to the downstream side of the discharge space,
The downstream member is made of a material having higher corrosion resistance than the upstream member.
As a result, even if a corrosive gas component is generated by the treatment reaction in the discharge space, it is possible to prevent the downstream member in contact with the corrosive gas component from being corroded and to prevent contamination. .
前記上流部材が、金属にて構成されるとともに前記電極と絶縁され、前記下流部材が、耐腐食性の樹脂にて構成されていることが望ましい。
これによって、少なくとも下流部材の腐食を確実に防止できる。
It is desirable that the upstream member is made of metal and insulated from the electrode, and the downstream member is made of a corrosion-resistant resin.
Accordingly, at least corrosion of the downstream member can be reliably prevented.
前記固体誘電体が板状をなし、その両端部が前記上流部材と下流部材によって支持されていてもよい。 The solid dielectric may have a plate shape, and both ends thereof may be supported by the upstream member and the downstream member.
前記下流部材は、テフロン(登録商標)にて構成されていてもよく、PVDF(ポリ弗化ビニリデン)を主成分として構成されていてもよい。
前記下流部材が、PVDF(ポリ弗化ビニリデン)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)からなる群から選択される少なくとも1つを主成分として構成されていることが望ましい。
これによって、HF系やオゾン等に対する耐腐食性を確実に確保できる。
The downstream member may be composed of Teflon (registered trademark) or may be composed of PVDF (polyvinylidene fluoride) as a main component.
The downstream member is preferably composed mainly of at least one selected from the group consisting of PVDF (polyvinylidene fluoride), PET (polyethylene terephthalate), and PEEK (polyether ether ketone).
Thereby, it is possible to reliably ensure corrosion resistance against HF, ozone and the like.
前記筐体の下流側の外側面に耐腐食コーティングが施されていてもよい。
これによって、筐体の下流側部分の腐食をも防止でき、ひいてはコンタミネーションを確実に防止することができる。
A corrosion-resistant coating may be applied to the outer surface on the downstream side of the casing.
As a result, corrosion of the downstream portion of the housing can be prevented, and as a result, contamination can be reliably prevented.
本発明は、略常圧(大気圧近傍)の圧力環境での常圧プラズマ処理に特に効果的である。ここで、略常圧とは、1.013×104〜50.663×104Paの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、1.333×104〜10.664×104Paが好ましく、9.331×104〜10.397×104Paがより好ましい。 The present invention is particularly effective for atmospheric pressure plasma treatment in a pressure environment of substantially normal pressure (near atmospheric pressure). Here, “substantially normal pressure” refers to a range of 1.013 × 10 4 to 50.663 × 10 4 Pa, and considering the ease of pressure adjustment and the simplification of the apparatus configuration, 1.333 × 10 4 to 10.664 × 10 4 Pa is preferable, and 9.331 × 10 4 to 10.9797 × 10 4 Pa is more preferable.
本発明によれば、放電空間での処理反応によって腐食性のガス成分が発生しても、この腐食性ガス成分と接触する下流部材が腐食するのを防止でき、コンタミネーションが起きるのを防止することができる。 According to the present invention, even if a corrosive gas component is generated due to a treatment reaction in the discharge space, the downstream member in contact with the corrosive gas component can be prevented from corroding, and contamination can be prevented. be able to.
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図1に示すように、常圧プラズマ処理装置Mは、左右2つ(複数)の処理ヘッド10L,10R(プラズマ処理部)を有している。これら処理ヘッド10L,10Rの間には、狭い隙間11が形成されている。隙間11の厚さは、例えば1mm程度である。この隙間11の上端部にプロセスガス源2が接続されている。隙間11は、プロセスガスの導入路として提供されている。プロセスガスは、処理内容に応じたガス種が用いられる。例えば、エッチング処理では、CF4等のフッ素系ガスを主成分とし、これに微量の水等を添加した混合ガス等が用いられる。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the atmospheric pressure plasma processing apparatus M has two (a plurality of) left and
2つの処理ヘッド10L,10Rの下方には、処理すべき基板Wが配置されるようになっている。これによって、処理ヘッド10L,10Rと基板Wとの間に、中央部から左右方向へ向かう処理通路12が形成されるようになっている。処理通路12の厚さ(ワーキングディスタンス)は、例えば1mm〜2mmである。
基板Wまたはそれを設置するステージ(図示せず)は、電気的に接地され、後記印加電極30に対する接地電極となる。
A substrate W to be processed is arranged below the two
The substrate W or a stage (not shown) on which the substrate W is installed is electrically grounded and serves as a ground electrode for the
2つの処理ヘッド10L,10Rは、左右対称状をなしている。以下、特に断らない限り、左側の処理ヘッド10Lについて説明する。
図1及び図2に示すように、処理ヘッド10Lは、処理ヘッド本体としての筐体20と、この筐体20の内部に収容された電極30とを備え、前後方向(図1の紙面と直交する方向、図2の左右方向)に長く延びている。
The two
As shown in FIGS. 1 and 2, the processing head 10 </ b> L includes a
筐体20は、図示しない架台に支持された筐体本体21と、この筐体本体21の内周面に設けられた内張り部材40とを有している。
筐体本体21は、左右の壁22と、前後の壁23と、上板25とを有し、底部が開放されている。この筐体本体21の各構成部材22,23,25は、ステンレス等の金属にて構成されている。筐体本体21の左右方向の外幅は、例えば100m程度であり、前後方向の長さは、例えば2m以上である。
The
The
内張り部材40は、筐体本体21の左右の壁22の内側面に設けられた内壁部42と、前後の壁23の内側面に設けられた内壁部43,44と、上板25の下面に設けられた天井部45とを含んでいる。この内壁部材40の各構成部材42,43,44,45は、樹脂などの絶縁性の材料にて構成されている。
The
筐体本体21の下部には、アルミナや石英等のセラミックからなる固体誘電体の板50が設けられている。固体誘電体板50は、前後方向に長く延びる薄い平板状をなしており、その厚さは、例えば2mm程度であり、幅は、例えば60mm程度であり、長さは、上記筐体20とほぼ同じで2m以上に及んでいる。この固体誘電体板50によって筐体本体21の底部が塞がれている。
A solid
固体誘電体板50は、次のようにして支持されている。
図1に示すように、固体誘電体板50の幅方向の両端面は、下向きの斜面になっている。一方、筐体本体21の左右の壁22の下端部には、一対の板支持部材61,62がボルト締めにて固定されている。これら板支持部材61,62の下端部には、互いに向き合う方向に突出する板支持部61a,62aがそれぞれ設けられている。板支持部61a,62aの端面は、上向きの斜面になっている。これら板支持部61a,62aの上向き斜端面(板支持面)の上に、固体誘電体板50の下向き斜端面がそれぞれ当接されている。これによって、固体誘電体板50が、両側の板支持部材61,62間に架け渡されるようにして支持されている。この支持状態で、固体誘電体板50が長手方向に変位可能になっている。固体誘電体板50の前端部又は後端部と筐体20の内壁部43又は44との間には変位を許容するクリアランスが形成されている。
The solid
As shown in FIG. 1, both end surfaces in the width direction of the solid
固体誘電体板50の上面の左右両側部は、筐体本体21の左右の壁22の下端面に当接されている。図示は省略するが、この固体誘電体50と壁22の下端面の間には、シール部材(図示せず)が介在されている。
The left and right side portions of the upper surface of the
処理ヘッド10Lの右側すなわち処理通路12の上流部分の板支持部材61は、筐体本体21と同じ金属(例えばステンレス)にて構成されている。処理ヘッド10Lの左側すなわち処理通路12の下流部分の板支持部材62は、樹脂にて構成されている。この板支持部材62を構成する樹脂材料は、オゾンやHF系ガス等の腐食性物質に対する耐腐食性の良好なものが望ましい。そのような樹脂として、テフロン(登録商標)系の樹脂が好適であり、PVDF(ポリ弗化ビニリデン)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)等がより好適である。樹脂製の板支持部材62は、金属製の板支持部材61より軟質であることは勿論、セラミック製の固体誘電体板50よりも軟質になっている。
The
金属製の板支持部材61の下面は、固体誘電体板50の右側部及び基板Wと協働して、処理通路12における後記放電空間12aより上流側の空間12bを画成している。
耐腐食性樹脂製の板支持部材62の下面は、固体誘電体板50の左側部及び基板Wと協働して、処理通路12における後記放電空間12aより下流側の空間12cを画成している。
The lower surface of the metal
The lower surface of the
次に、処理ヘッド10L内の電極30について説明する。
図1及び図2に示すように、電極30は、アルミ等の金属にて構成され、断面四角形状をなして前後に長く延びている。この電極30の長さは、約2mである。電極30の上部には、リブ33が設けられている。リブ33の電極30への固定手段は、ボルト(図示せず)等が用いられている。リブ33は、電極30と同方向に延び、電極30を補強し撓みを防止している。リブ33は、電極30と同じ金属(ステンレス等)にて構成され、電極30と電気的に一体になっている。図示は省略するが、リブ33に給電ピンが突出され、この給電ピンから給電線が延び、電源に接続されている。これによって、電極30への給電がなされるようになっている。この給電によって、電極30とその下方の接地電極としての基板W等との間(処理通路12の中央部分12a)に常圧グロー放電プラズマが立ち、処理通路12の中央部分12aが放電空間となるようになっている。電極30の下面は、「放電空間形成面」となる。
Next, the
As shown in FIGS. 1 and 2, the
電極30(リブ33を含む)の単位長さあたりの重さは、例えば30〜60g/cmである。この電極30が、筐体20内に収容されるとともに、固体誘電体板50の上に非固定状態で単に載置されている。これにより、電極30(リブ33を含む)の全自重が、固体誘電体板50に掛かっている。この電極30の自重による押し当て力により、電極30の平らな下面の全体が、固体誘電体板50の平らな上面にぴったり押し当てられている。2mm厚のセラミック製の固体誘電体板50は、この電極荷重に十分耐え得る強度を有している。
The weight per unit length of the electrode 30 (including the rib 33) is, for example, 30 to 60 g / cm. The
電極30の前端部は、筐体20の前側の内壁部43で位置決めされている。一方、電極30の後端部と筐体20の後側の内壁部44との間にはクリアランスが形成されている。これによって、電極30は、長手方向にフリーになっている。
The front end portion of the
筐体20の天井部45には、絶縁樹脂からなる電極規制部材46が垂設されている。電極規制部材46の下面には、左右一対の電極規制部46aが下に突出するように設けられている。これら左右の電極規制部46aの間に、リブ33の上端部が差し入れられている。これら電極規制部46aとリブ33との間には、ある程度(例えば0.5mm程度)の遊びが設けられている。左右の電極規制部46aは、この遊びを許容しつつ、電極30の左右方向の位置を規制している。
An
電極30の内部には、2条の通路31,32が形成されている。これら電極内通路31,32は、互いに左右に並べられ、電極30の全長にわたって前後に延びている。一方の電極内通路31の前側(図2において左側)の端部は、前側の内壁部43と上板25に形成された窒素導入路71a及び窒素導入コネクタ71cを介して、窒素供給管71に接続されている。窒素供給管71は、図示しない窒素ガス源に接続されている。窒素ガス源には、実質的に純正(不可避的不純物を含む)の窒素ガスが圧縮されて蓄えられている。電極内通路31の後側の端部は、後側の内壁部44に形成された連通路44aを介して、もう1つの電極内通路32の後側の端部に連なっている。この電極内通路32の前側の端部は、前側の内壁部43と上板25に形成された窒素導出路72a及び窒素導出コネクタ72cを介して、窒素回収路72に接続されている。
Two
筐体20の内張り部材40と電極30との間には、2つの電極外空間13,14が画成されている。2つの電極外空間13,14は、電極30(リブ33を含む)及び電極規制部材46を挟んで左右両側に分かれている。一方の電極外空間13の前側の端部は、前側の内壁部43と上板25に形成された窒素導入路73a及び窒素導入コネクタ73cを介して、窒素供給管73に接続されている。窒素供給管73は、上記窒素ガス源に接続されている。電極外空間13の後側の端部は、後側の内壁部44に形成された連通路44bを介して、もう1つの電極外空間14の後側の端部に連なっている。この電極外空間14の前側の端部は、前側の内壁部43と上板25に形成された窒素導出路74a及び窒素導出コネクタ74cを介して、窒素回収路74に接続されている。
Two electrode
上記構成のプラズマ処理装置Mによって基板Wをプラズマ処理する際は、処理ヘッド10L,10Rの下方に基板Wを配置するとともに、プロセスガス源2のCF4等を含むプロセスガスをガス導入路11に送り込む。このプロセスガスは、ガス導入路11を通って左右の処理通路12に分流し、該処理通路12の上流側部分12bを経て、中央部分12aへ入ってくる。併行して、電源から電極30に電圧供給する。これにより、処理通路12の中央部分12aが、常圧のプラズマ放電空間になり、プロセスガスをプラズマ化できる。このプラズマ化されたプロセスガスが基板Wの表面に当たることにより、エッチング等のプラズマ処理を常圧下で行なうことができる。
When plasma processing is performed on the substrate W by the plasma processing apparatus M having the above-described configuration, the substrate W is disposed below the processing heads 10L and 10R, and a process gas including CF 4 of the
この処理反応によってオゾンやHF系ガス等の腐食性物質が発生する。この腐食性物質を含む処理済みのガスは、放電空間12aより下流側の通路空間12cを通り、図示しない排気系によって排気される。ここで、下流側の通路空間12cを画成する板支持部材62は、耐腐食性であるので、上記腐食性物質に曝されても腐食を来たさないようにすることができる。これによって、コンタミネーションの発生を防止することができる。
This processing reaction generates corrosive substances such as ozone and HF gas. The treated gas containing the corrosive substance passes through the
電極30は、上記の放電によって熱を持ち、主に長手方向に膨張しようとする。この電極30は、長手方向にフリーになっており、長手方向に自由熱膨張できるので、内部に筐体20の拘束による熱応力が発生することがない。同様に、固体誘電体板50も、長手方向に自由熱膨張でき、筐体20による熱応力が生じることがない。しかも、電極30が固体誘電体板50の上に非固定状態で単に載せられているだけであるので、電極30と固体誘電体板50は互いに独立して熱膨張でき、互いの熱膨張差による熱応力を及ぼし合うことがない。したがって、電極30は、長手方向にまっすぐ伸び変形するだけで撓み変形を来たすことがなく、固体誘電体板50も撓まないようにすることができる。しかも、電極30が自重で固体誘電体板50に押し当てられているので、電極30の下面と固体誘電体板50の上面との接触状態を常に維持することができる。これによって、電極30と固体誘電体板50の間に隙間が形成されるのを確実に防止することができる。この結果、電極30と固体誘電体板50の間にアーキングが発生するのを防止することができる。
The
上述のように、固体誘電体板50は、電極30との熱膨張差による熱応力を受けることがないのに加えて、左右両端部の支持機構と前後端面のクリアランスによって長手方向の変位を許容されているので、筐体20等の拘束による熱応力を受けることもない。これによって、固体誘電体板50が熱応力で割れるのを防止することができる。
As described above, the
上記プロセスガスの流通と併行して、上記窒素ガス源の純正窒素ガスを流通させる。この窒素ガスの一部は、窒素供給管71、窒素導入コネクタ71c、窒素導入路71aを順次経て、電極30内の一方の通路31の前端部に導入される。そして、電極内通路31を端部から後端部へ流れる。次いで、連通路44aを経て、他方の電極内通路32を後端
部から前端部へ流れる。そして、窒素導出路72aから窒素導出コネクタ72cを経て、窒素回収路72へ送出される。これによって、電極30を内部から冷却・温調することができる。しかも、電極30の長手方向に沿って窒素が往復することになるので、電極30の全体を偏り無く均一に冷却・温調でき、温度分布が形成されるのを防止できる。冷媒(温調媒体)として窒素を用いているので、漏電等を起こす心配が無い。
In parallel with the circulation of the process gas, pure nitrogen gas from the nitrogen gas source is circulated. Part of this nitrogen gas is introduced into the front end of one
更に、上記窒素ガス源の窒素ガスの他の一部は、窒素供給管73、窒素導入コネクタ73c、窒素導入路73aを順次経て、電極30の外側の通路13の前端部に導入される。そして、電極外通路13を前端部から後端部へ流れる。次いで、連通路44bを経て、他方の電極外通路14を後端部から前端部へ流れる。そして、窒素導出路74aから窒素導出コネクタ74cを経て、窒素回収路74へ送出される。これによって、電極30を外側からも冷却・温調することができる。しかも、内部と同様に偏り無く均一に冷却・温調できる。これによって、電極30の冷却・温調効率を向上できるとともに、電極30の長さ方向は勿論、厚さ方向にも温度分布が形成されるのを防止することができる。
Further, another part of the nitrogen gas of the nitrogen gas source is introduced into the front end portion of the
金属製の筐体本体21の内側には樹脂製の内張り部材40が設けられているだけでなく、この内張り部材40と電極30との間に電極外空間13,14が形成されているので、
電極30と筐体本体21との絶縁を確保することができる。加えて、空間13,14内は、純正の窒素ガスで満たされるようになっているので、絶縁性を一層高めることができる。これによって、電極30と筐体本体21の間で異常放電が起きるのを確実に防止することができる。
更には、電極30と固体誘電体板50の間に、万が一、隙間が形成されたとしても、そこに窒素ガスが入り込むことになって、アーキングの発生を防止することができる。
Since not only the
Insulation between the
Furthermore, even if a gap is formed between the
しかも、上記窒素ガスに圧を与えることによって、電極外空間13,14をプロセスガス導入路11及び処理通路12より高圧にでき、プロセスガスが電極外空間13,14内に浸み込むのを確実に防止できる。これによって、電極30と筐体本体21の間の絶縁性を確実に維持でき、異常放電を一層確実に防止することができる。更に、窒素ガスは、上述した通り、一方の電極外空間13を往路とし、他方の電極外空間14を復路として流通しているので、たとえプロセスガスが電極外空間13,14内に浸み込んで来たとしても、上記の窒素ガスと一緒に速やかに排出することができる。これによって、電極30と筐体本体21の間の絶縁性を一層確実に維持でき、異常放電をより一層確実に防止することができる。
In addition, by applying pressure to the nitrogen gas, the electrode
筐体本体21は、金属にて構成され、断面門型をなしているので、撓みに対する剛性を確実に発揮することができ、長尺化が可能となる。
固体誘電体板50は、平板状であり、形状が単純であるので、製造が容易であり、2m以上にわたる長尺寸法にも容易に対応することができる。
固体誘電体板50の下向き斜面をなす一端部に対する支持部材61は、金属にて構成される一方、他端部に対する支持部材62は、樹脂にて構成されているので、固体誘電体板50や支持部材61,62等の寸法誤差があっても、固体誘電体板50の下向き斜面部に無理な力が掛からないようにすることができる。これによって、セラミック製の固体誘電体板50を装置Mに組み付け等する際、その下向き斜面部が破損するのを防止することができる。
Since the
Since the
Since the
図3は、電極の他の態様を示したものである。
この電極80は、断面四角形状をなす2本の金属製角パイプ81,82を平行に並べ、これら角パイプ81,82を金属製平板83,84にて上下から挟むことによって構成され、前後方向に長く延びている。上側の平板83の上面には、金属製リブ85が長手方向に沿って設けられている。この電極80が、固体誘電体板50(図示省略)上に単に載置され、下側の平板84の放電空間形成面としての下面が、固体誘電体板50の上面に当接される。
FIG. 3 shows another embodiment of the electrode.
The
角パイプ81,82は、市販のものを使用することができる。角パイプ81,82の内部空間は、窒素ガスを通す電極内通路として提供される。したがって、前述した実施形態の電極30のように、2mに及ぶ電極内通路をざぐり加工等で開穿する必要がなく、コストの低廉化を図ることができる。
Commercially available
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変をなすことができる。
下流部材62は、PVDF(ポリ弗化ビニリデン)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)等の耐食性材料を主成分としていればよく、他の材料が含まれていてもよい。PVDF(ポリ弗化ビニリデン)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)等の複数の耐食性成分が混じっていてもよい。
筐体本体21における処理通路12の下流側の外側面に、テフロン(登録商標)等からなる耐腐食性のコーティングを施すことにしてもよい。
セラミック製の固体誘電体50の破損を防止するとの観点からは、処理通路12の下流側の板支持部材62を金属にする一方、上流側の板支持部材61を固体誘電体50より軟質の樹脂等で構成してもよく、2つの部材61,62を共に固体誘電体50より軟質の樹脂等で構成してもよい。
金属製の板支持部材61は、筐体本体21と一体になっていてもよい。
本発明は、基板を放電空間内に配置する所謂ダイレクト式のプラズマ処理だけに限られず、基板を放電空間の外部に配置し、これに向けてプラズマガスを吹付ける所謂リモート式のプラズマ処理にも適用できる。
本発明は、エッチング、成膜、表面改質等の種々のプラズマ処理に適用でき、常圧プロセスに限らず、減圧プロセスにも適用できる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
The
A corrosion-resistant coating made of Teflon (registered trademark) or the like may be applied to the outer surface of the
From the viewpoint of preventing breakage of the ceramic
The metal
The present invention is not limited to the so-called direct plasma processing in which the substrate is disposed in the discharge space, but also in the so-called remote plasma processing in which the substrate is disposed outside the discharge space and plasma gas is blown toward the substrate. Applicable.
The present invention can be applied to various plasma treatments such as etching, film formation, and surface modification, and can be applied not only to a normal pressure process but also to a pressure reduction process.
本発明は、例えば半導体製造における基板のプラズマ表面処理に利用可能である。 The present invention can be used, for example, for plasma surface treatment of a substrate in semiconductor manufacturing.
M プラズマ処理装置M
W 基板
10L,10R 処理ヘッド(プラズマ処理部)
11 プロセスガス導入路
12 処理通路
12a 放電空間
12b 処理通路における放電空間の上流側に連なる空間
12c 処理通路における放電空間の下流側に連なる空間
13,14 電極外空間
20 筐体
30 電極
31,32 電極内通路
46a 電極規制部
50 固体誘電体板
61 上流側の金属製板支持部材(上流部材)
61a 上流側の板支持部
62 下流側の樹脂製板支持部材(下流部材)
62a 下流側の板支持部
73a 窒素導入路
74a 窒素導出路
M Plasma processing equipment M
11 Process
61a
62a
Claims (4)
前記放電空間を形成すべき面に固体誘電体が設けられた電極と、
前記放電空間形成面の固体誘電体を露出させるようにして前記電極を囲んで収容する筐体と、を備え、
前記筐体には、前記放電空間の上流側に連なる空間を画成する上流部材と、前記放電空間の下流側に連なる空間を画成する下流部材とが設けられ、
前記下流部材が、前記上流部材より耐腐食性の高い材料にて構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 An apparatus for performing plasma treatment by passing a process gas through a discharge space,
An electrode provided with a solid dielectric on the surface where the discharge space is to be formed;
A housing that encloses and accommodates the electrode so as to expose the solid dielectric of the discharge space forming surface,
The casing is provided with an upstream member that defines a space that continues to the upstream side of the discharge space, and a downstream member that defines a space that continues to the downstream side of the discharge space,
The plasma processing apparatus, wherein the downstream member is made of a material having higher corrosion resistance than the upstream member.
前記放電空間を形成すべき面に固体誘電体が設けられた電極と、
前記放電空間形成面の固体誘電体を露出させるようにして前記電極を囲んで収容する筐体と、を備え、
前記筐体には、前記放電空間の上流側に連なる空間を画成する上流部材と、前記放電空間の下流側に連なる空間を画成する下流部材が設けられ、
前記上流部材が、金属にて構成されるとともに前記電極と絶縁され、前記下流部材が、耐腐食性の樹脂にて構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 An apparatus for performing plasma treatment by passing a process gas through a discharge space,
An electrode provided with a solid dielectric on the surface where the discharge space is to be formed;
A housing that encloses and accommodates the electrode so as to expose the solid dielectric of the discharge space forming surface,
The casing is provided with an upstream member that defines a space that continues to the upstream side of the discharge space, and a downstream member that defines a space that continues to the downstream side of the discharge space,
The plasma processing apparatus, wherein the upstream member is made of metal and insulated from the electrode, and the downstream member is made of a corrosion-resistant resin.
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