JP2006127687A - 転写装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スレーブディスクの表面及び端面の塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別し、汚染されたスレーブディスクの磁気転写を行わないことにより、マスターディスクの寿命を向上させる。
【解決手段】被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査し、検査結果によって、被転写用ディスクをＡランクとＢランクとに選別し、ホルダ部に保持された磁気パターンを有するマスターディスクに対向するようにＡランクの被転写用ディスクを供給し、供給された被転写用ディスクにマスターディスクを圧接させて挟持し、ホルダ部に磁界を加えてマスターディスク上の磁気パターンを被転写用ディスクに転写させ、Ｂランクの被転写用ディスクをクリーニング又は廃棄する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、転写装置及び方法に係り、特に、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する際の不良品の発生を防止するのに有効な転写装置及び方法に関する。

近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。

従来、この種の磁気転写技術として各種の提案がなされている（たとえば、特許文献１〜３参照。）。このうち、特許文献１は、被転写用ディスクを自動搬送しながら両面にマスターディスクを密着させて磁気転写を行う際の作業効率を向上させる旨の提案である。特許文献２は、マスターディスクのサーボ領域をデータ領域よりも凸状に形成して、転写信号の信号脱落等の欠陥を防ぐ旨の提案である。

ところが、このような従来技術においても、転写不良が多く転写歩留りが悪く、また、頻繁にマスターディスクを交換しなければならないという問題点が指摘されている。

すなわち、磁気転写を行う際に、マスターディスクと転写されるハードディスク（スレーブディスク）とを密着させる必要があるが、この環境における清浄度が悪いと、微粒子やゴミ等により、転写不良となったり、マスターディスクの表面に傷等を発生させることが多い。

特に、このようなマスターディスクの繰り返しの使用により、周辺環境で発生している塵埃や繊維くず等がマスターディスクの表面に付着しやすくなる。そして、塵埃や繊維くず等の異物がマスターディスクの表面に付着した状態でスレーブディスクと密着させた場合、異物を中心とした所定範囲において、マスターディスクとスレーブディスクとの密着が不十分となり、転写不良となりやすい。そして、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題があった。

また、マスターディスクとスレーブディスクとの密着を繰り返すことにより、上記異物のマスターディスク表面への付着力が増加していき、以降の密着転写において、同様の転写不良のものを再生産することとなりやすい。

更に、上記異物のマスターディスク表面への付着により、マスターディスクの表面を変形させたり、マスターディスクの表面に傷を発生させたりし、マスターディスクの正常な機能を損う問題をも生じる。

これに対し、特許文献３のように、磁気転写を行う前にスレーブディスクの検査を行い、汚染が発見されたスレーブディスクの磁気転写を行わないことにより、マスターディスクの汚染を防ぐ提案がなされている。
特開２００４−８７０９９号公報 特開２００２−７４６５５号公報 特開２００２−３３４４３０号公報

しかしながら、特許文献３のような検査では、特に汚染されやすいスレーブディスクの端面の検査ができず、検査の実効が得られないという問題点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、スレーブディスクの表面及び端面の塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別でき、これに対応して汚染されたスレーブディスクの磁気転写を行わないことにより、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができるとともに、密着転写作業の生産性を向上させることができる磁気転写及び方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は、マスターディスクのパターンを被転写用ディスクに転写させる転写手段と、前記被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。

本発明によれば、被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査するので、被転写用ディスクの表面及び端面の塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別でき、これに対応して汚染された被転写用ディスクの転写を行わないようにできるので、マスターディスクの汚染を防ぐことができ、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができるとともに、転写作業の生産性を向上させることができる。

なお、被転写用ディスクは、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体を指すものである。

また、本発明は、被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査工程と、前記検査工程による検査結果によって、前記被転写用ディスクをＡランクとＢランクとに選別する選別工程と、ホルダ部に保持された磁気パターンを有するマスターディスクに対向するようにＡランクの前記被転写用ディスクを供給する供給工程と、供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、Ｂランクの前記被転写用ディスクをクリーニング又は廃棄する再生工程と、を具備したことを特徴とする転写方法を提供する。

また、このために、本発明は、磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査手段と、前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように前記被転写用ディスクを供給する供給手段と、前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、を具備したことを特徴とする転写装置を提供する。

本発明によれば、被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査するので、スレーブディスクの表面及び端面の塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別でき、これに対応して汚染されたスレーブディスク（Ｂランクのもの）の磁気転写を行わないようにできるので、マスターディスクの汚染を防ぐことができ、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができるとともに、密着転写作業の生産性を向上させることができる。

本発明において、前記検査手段により検査された前記被転写用ディスクの表面及び／又は端面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング手段を具備したことが好ましい。このようなクリーニング手段を具備していれば、被転写用ディスクを廃棄せずにそのまま使用でき、密着転写作業の生産性を向上させることができる。

また、本発明において、前記検査手段により検査された前記被転写用ディスクの汚染状態を判別する判別手段と、前記判別手段による判別結果によって、前記磁界印加手段による磁気転写を行う第１の選択枝と、前記クリーニング手段によって前記被転写用ディスクのクリーニングを行う第２の選択枝と、前記磁界印加手段及び／又は前記クリーニング手段を経ずに前記被転写用ディスクを装置外部に排出させる第３の選択枝と、のいずれか１の選択枝を選ぶ選択手段と、を具備したことが好ましい。

このように、被転写用ディスクの汚染状態の判別結果によって、３つの選択枝のいずれかを選ぶことができれば、密着転写作業の生産性を更に向上させることができる。

また、本発明において、前記検査手段が、前記被転写用ディスクの表面の汚染状態を検査する表面検査手段と、前記被転写用ディスクの端面の汚染状態を検査する端面検査手段と、よりなることが好ましい。

１の検査手段により被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査することも可能であるが、このように、被転写用ディスクの表面と端面とのそれぞれ専用の検査手段を設ければ、良好な検査精度が得られる。

以上説明したように、本発明によれば、被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査するので、スレーブディスクの表面及び端面の塵埃や繊維くず等の異物を容易に判別でき、これに対応して汚染されたスレーブディスクの磁気転写を行わないようにできるので、マスターディスクの汚染を防ぐことができ、マスターディスクの寿命を飛躍的に向上させることができるとともに、密着転写作業の生産性を向上させることができる。

以下、添付図面に従って、本発明に係る転写装置及び方法の好ましい実施の形態について詳説する。図１は、本発明に係る転写装置である磁気転写装置１０の全体構成を示す斜視図であり、図２は、ディスク用カセットの概要を示す斜視図である。磁気転写装置１０は、装置本体１２とクリーンユニット１４とよりなる。

装置本体１２は架台５８を備え、この架台５８上には水平方向に面をなすベース６０が設けられている。なお、太い矢印で示される側が、装置本体１２の前面である。この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット１４に囲われ、清浄度が確保されるようになっている。

クリーンユニット１４の天井部には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（図示略）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。

クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、図１に示されるように、ベース６０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン６４が複数配設されている。

ベース６０の前端部には被転写用ディスクであるスレーブディスク４０を収容するディスク供給カセット３８、及び、磁気情報が転写され排出されたスレーブディスク４０を回収するカセットとしてのディスク排出カセット５６が設けられている。ディスク供給カセット３８とディスク排出カセット５６とは同一形状のものが採用されている。

図２に示されるように、ディスク供給カセット３８及びディスク排出カセット５６は、スレーブディスク４０がディスクがなす面を対向させて複数枚収納可能となっている。すなわち、カセットの内面に並行して形成された複数の溝９２、９２…のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク４０が遊挿されるようになっており、溝９２がなす面によってスレーブディスク４０の外周が保持され、複数のスレーブディスク４０のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。

ベース６０の上面の略中央部には、インデックステーブル５０がベース６０に対して垂直方向の軸により回転自在に取り付けられている。インデックステーブル５０上には、一対のマスターディスク４６と１枚のスレーブディスク４０を保持する保持手段としてのホルダユニット２２が、インデックステーブル５０の回転方向に等間隔（９０度おき）に４台配設されている。

図３に断面図で示されるように、ホルダユニット２２は、一対のホルダ部である固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とよりなる。固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、各々マスターディスク４６を吸着または接着により外段取り等により位置決め固定し保持するとともに、スレーブディスク４０を吸着保持し、マスターディスク４６、４６によってスレーブディスク４０を密着状態で挟持させることができるようになっている。

固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４は、スレーブディスク４０のそれぞれの主面に記録する磁気情報に対応するべく、固定側ホルダ２３及び移動側ホルダ２４のそれぞれに、記録されている情報が異なったマスターディスク４６、４６を固定する。そして、これらの２枚１組のマスターディスク４６、４６をスレーブディスク４０のそれぞれの主面に密着させ挟み込むことができるようになっている。

固定側ホルダ２３は、円形カップ状の部材であり、カップ内にマスターディスク４６を固定できるようになっている。移動側ホルダ２４は、円盤状の部材であり、表面にマスターディスク４６を固定できるようになっている。そして、固定側ホルダ２３は、装置本体１２に固定されている。一方、移動側ホルダ２４は、駆動手段（図示略）を介して装置本体１２に固定されており、固定側ホルダ２３に対し接離可能に移動できるようになっている。

以上で説明したホルダユニット２２の構成により、スレーブディスク４０を供給したり、取り外したりする際には、図３に示されるように、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とが所定距離だけ離れた位置にセットされ、後述するディスク供給ユニット２６やディスク排出ユニット３４によるスレーブディスク４０のハンドリングが容易な状態にされる。

図１の装置本体１２において、インデックステーブル５０は、図示しない駆動モータにより間欠的に回転駆動され、各ホルダユニット２２が各割出位置に対応するように、各工程位置に順次送られて停止し、複数の作業が並行して行えるようになっている。インデックステーブル５０は、４つのホルダユニット２２が所定の４箇所の位置に常に配置されるように、間歇駆動される。すなわち、各ホルダユニット２２は、９０度移動毎に停止しするようになっている。

更に、図１の装置本体１２は、ベース６０上面の一側部側（図１では、正面より右側）にディスク供給ユニット２６を、ベース６０上面の他側部側（図１では、正面より左側）にディスク排出ユニット３４をそれぞれ備えている。

ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク供給カセット３８からマスターディスク４６、４６が取り付けられているホルダユニット２２へ、直接搬送できるディスク供給手段である。

ディスク排出ユニット３４は、この逆に、磁気転写作業が完了したスレーブディスク４０を途中で他のチャック機構に受け渡すことをせずに、ディスク排出カセット５６に直接搬送できるディスク排出手段である。

ディスク供給ユニット２６により、ディスク供給カセット３８から取り出されたスレーブディスク４０は、検査工程の後に、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に予め装着されているマスターディスク４６に対して相対的に位置決めが行われ、マスターディスク４６に設けられる空隙越しにホルダユニット２２によって吸着されて受け渡され、マスターディスク４６の磁気情報記録面とスレーブディスク４０の磁気情報被転写面とが密着されて保持される。固定側ホルダ２３の内側にはスレーブディスク４０の内径付近を吸着する吸着溝（図示略）が設けられ、この吸着溝によりスレーブディスク４０が吸着保持される。

ディスク供給ユニット２６は、図２に示されるように、スレーブディスク４０の内径を把持するための２片の保持具であるチャック４２ａ、４２ｂからなるチャック機構４２と、図１に示されるような、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット２７、２８、２９と、スレーブディスク４０をＹ−Ｚ平面内で１８０度回転するように、チャック４２ａ、４２ｂを回動させる、Ｘ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ４４から構成される。

すなわち、ディスク供給ユニット２６は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック４２ａ、４２ｂを、ロータリシリンダ４４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック４２の向きを反転するようになっている。

ディスク排出ユニット３４は、ホルダユニット２２が開かれた後、磁気転写後のスレーブディスク４０を受け取り、ディスク排出カセット５６に対して直接搬送し収納するディスク取出手段である。

ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持する２つの保持具であるチャック５２ａ、５２ｂからなるチャック機構５２と、Ｘ−Ｙ−Ｚ軸の各ロボット３５、３６、３７と、スレーブディスク４０をＸ−Ｚ平面内で１８０度回転させるようにチャック５２ａ、５２ｂを回動させる、Ｙ軸方向に回動軸を有するロータリシリンダ５４から構成される。

すなわち、ディスク排出ユニット３４は、スレーブディスク４０の内径を把持したチャック５２ａ、５２ｂを、ロータリシリンダ５４により１８０度回転させ、スレーブディスク４０及びチャック５２の向きを反転するようになっている。

図４に示されるように、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３の下面部には、基準マーク２１Ａが予め取り付けられており、ディスク供給ユニット２６のチャック４２ａ、４２ｂには認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが予め取り付けられている。基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１Ｂは認識ユニット３０で視覚認識される。

この認識ユニット３０は、ベース６０上面で、ディスクディスク供給カセット３８が設けられた側面と反対の側面に近い位置に配設されている。認識ユニット３０は、ディスク供給ユニット２６が搬送してきたスレーブディスク４０をマスターディスク４６に位置決めする際に、ホルダユニット２２とディスク供給ユニット２６のそれぞれに予め取り付けられた基準マーク２１Ａと認識マーク２１Ｂ、２１ＢをＣＣＤカメラ等によって視覚的に認識する。

認識ユニット３０には位置決め手段としての制御手段３０Ａが接続され、制御手段３０Ａは認識された基準マーク２１Ａからマスターディスク４６の中心を算出し、また、認識された認識マーク２１Ｂ、２１Ｂからスレーブディスク４０の中心を算出する。そして、マスターディスク４６とスレーブディスク４０との中心が一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸のロボット２８、２９を駆動制御するようになっている。

位置決めされたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に保持されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動し、固定側ホルダ２３の内側に吸着保持される。

このとき、固定側ホルダ２３に設けられた基準マーク２１Ａと、固定側ホルダ２３において保持されているマスターディスク４６の中心位置との位置関係は、予め制御手段３０Ａにティーチングされている。

一方、ディスク供給ユニット２６に設けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとスレーブディスク４０の中心位置との関係は、チャック機構４２のチャッキング動作によってチャック４２ａ、４２ｂの当接する部位を結ぶ直線上にスレーブディスク４０の中心があるものと見立てたときに、その中心位置と認識マーク２１Ｂ、２１Ｂとの関係が、制御手段３０Ａに予めティーチングされている。

これらのティーチングされた位置関係を基に、間接的にスレーブディスク４０とマスターディスク４６との位置関係が算出されるようになっている。

コイルユニット３２、３２は、ホルダユニット２２を閉じて、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４とのそれぞれに固定されたマスターディスク４６、４６によって、スレーブディスク４０を挟持した状態のものに対し、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０との積層方向からみて両側にコイルを離間して配置したものである。このコイルユニット３２、３２は、マスターディスク４６、４６とスレーブディスク４０に対して、磁気転写作用を促進するための所定の強度の磁界を印加するものである。

次に、本発明の特徴部分である、スレーブディスク４０の汚染状態を検査する検査手段と、この検査手段により検査されたスレーブディスク４０の表面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング手段について説明する。この検査手段は、スレーブディスク４０の表面の汚染状態を検査する表面検査手段と、スレーブディスク４０の端面の汚染状態を検査する端面検査手段とよりなる。

先ず、表面検査手段について説明する。図１における、ロータリシリンダ４４により支持されたチャック機構４２の側面には、表面検査手段が設けられている。なお、図１においては、表面検査手段のうち、撮像素子であるＣＣＤカメラ９６のみ図示されており、光照射手段である照明手段９７やミラー９８は図示されていない。

図５は、表面検査手段とスレーブディスク４０との位置関係を示す正面図であり、図６は、同じく平面図である。この表面検査手段は、撮像素子であるＣＣＤカメラ９６と、照明手段９７と、ミラー９８とよりなる。このうち、ＣＣＤカメラ９６は、カメラ本体９６Ａとレンズ鏡筒９６Ｂより構成される。このＣＣＤカメラ９６は、既述の制御手段３０Ａと接続されている。

ＣＣＤカメラ９６は、支持手段９６Ｃにより支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の両表面の被検査部位に対応できるようになっている。

更に、ＣＣＤカメラ９６は、検査終了時に、ディスク供給ユニット２６の各ロボット２７、２８、２９と干渉しないように、退避可能となっている。

このＣＣＤカメラ９６のレンズ鏡筒９６Ｂに使用されるレンズの解像度及び明るさは重要である。したがって、このレンズとして０．５〜２倍の高解像度レンズを使用する場合、レンズの解像度は、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。

このレンズの明るさは、スレーブディスク４０の表面の汚染（付着物）の散乱光を検出するため、口径が大きい方が好ましく、Ｆ値で８以下が好ましく、Ｆ６以下がより好ましい。

ＣＣＤカメラ９６のセンサ部として、ラインイメージセンサ以外にエリアイメージセンサも使用できる。この場合、いずれのセンサであっても、センサの感度と画素数が大きいほど検出感度が上げられる。その意味で、センサの画素ピッチは１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましい。センサの画素数はラインイメージセンサでは５０００〜８０００画素が好ましく、エリアイメージセンサでは６００万画素クラスが好ましい。

なお、ＣＣＤカメラ９６のセンサ部がラインイメージセンサの場合、回転したまま画像を取り込むが、エリアイメージセンサの場合には、停止して画像を取り込むか、高輝度ストロボで静止画像を取り込む必要がある。

照明手段９７は、チャック機構４２により内径を把持されたスレーブディスク４０のうち、検査する表面の方を斜方より照明するものである。この照明手段９７としては、ハロゲン光光源が好ましく採用できる。特に、スレーブディスク４０の表面の汚染が微小な付着物である場合、これを検出できるべく、波長が６００ｎｍ以下の緑、青成分が大きいメタルハライド光源が好ましく採用できる。

照明手段９７より照射される照明光の輝度も重要であり、少なくとも１０万Ｌｘのものが好ましい。照明光の輝度が１０万Ｌｘ以上あると、サブミクロンクラスの付着物も検出が可能である。

なお、照明手段９７が１個設けられているが、照明手段９７を２個設け、同一光軸上の反対側からも照明すると、スレーブディスク４０の被検査部位における輝度が向上するとともに、片側からの照明では反射しにくい付着物も光らせることができ、更に検出感度を上げられる。

これ以外の構成として、反対側の照明手段の代わりに反射鏡を置く構成も採用できる。この場合、凹面鏡等の反射鏡で集光すれば、スレーブディスク４０の被検査部位を効率よく照明することができる。

なお、照明手段９７からの照明が結像用のミラー９８に当たると、フレアなどのノイズ成分となるため、照明光はレンズ等で充分に絞り込む必要がある。

また、照明手段９７として、ハロゲン光光源に代えて高輝度レーザも使用できる。この場合、アルゴンレーザやＹＡＧ２倍波レーザ等の波長が短い方が検出感度の点で好ましい。

また、偏光は被検査部位の面に平行であるＳ偏光を使用した方が、よりパターンの反射が減少する点で好ましい。偏光は通常の照明手段でもパターン反射を減少させる効果があるが、照明手段の明るさを充分に上げないと、輝度が減少し検出感度が下がる場合がある。同様に偏光板を乱反射時に発生するＰ偏光のみを通過するように、ＣＣＤカメラ９６の受光レンズに付けてもよい。その場合も、光源の輝度をできるだけ上げておくことが好ましい。

照明手段９７は、図示しない支持手段により支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＹ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の両面の被検査部位に対応できるようになっている。そして、照明手段９７の光軸がスレーブディスク４０の表面の被検査部分における径方向に対し１〜３０度の角度をなして支持されるようになっている。

ミラー９８は、図示しない支持手段により、スレーブディスク４０の両面の被検査部位に対応できるように移動可能となっている。また、ミラー９８は、スレーブディスク４０の検査終了時に、ディスク供給ユニット２６の各ロボット２７、２８、２９と干渉しないように、退避可能となっている。

このミラー９８は、スレーブディスク４０の表面に対して傾斜して配されており、スレーブディスク４０の被検査部位の映像が、ミラー９８を介してＣＣＤカメラ９６で撮像できる位置に配されている。

このミラー９８は、両表面が鏡面に形成されており、制御手段３０Ａの指示によりＺ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の両面の被検査部位に対応できるようになっている。

ミラー９８のサイズは、ＣＣＤカメラ９６のレンズ鏡筒９６Ｂに使用されるレンズに見合った十分な大きさ（レンズ口径と同等）であることが好ましい。また、ミラー９８は高精度な表面反射鏡であることが好ましい。ミラー９８の表面精度は１／４波長以下が好ましく、１／１０波長以下がより好ましい。

なお、図１に示される位置と異なる位置（たとえば、チャック機構４２により内径を把持されたスレーブディスク４０の表面がＹ軸方向を向く位置）において、表面検査手段により検査を行うか、ＣＣＤカメラ９６がディスク供給ユニット２６の各ロボット２７、２８、２９と干渉しない位置に移動可能な構造であれば、ミラー９８を設けずに、ＣＣＤカメラ９６でスレーブディスク４０の被検査部位を直接撮像する構成も採用できる。

表面検査手段の以上の構成により、スレーブディスク４０の表面が検査可能となっている。そして、ＣＣＤカメラ９６により撮像されたスレーブディスク４０の被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）が、既述の制御手段３０Ａに記憶されるようになっている。

なお、表面検査手段として、上記の構成のもの以外に、たとえば、スレーブディスク４０の表面にレーザ光をスキャンして、この反射光をフォトマルやフォトダイオード等で捕らえ、反射光の変化で付着塵埃を検査する方法や、スレーブディスク４０の表面にハロゲン光等の光を照射して、ＣＭＯＳラインイメージセンサ、エリアイメージセンサ等で反射光を捕らえて検査する方法等、公知の各種検査方法が採用できる。

次に、端面検査手段とクリーニング手段について説明する。図１における、ディスク供給工程位置８２のホルダユニット２２の側面には、端面検査手段及びクリーニング手段が設けられている。なお、図１においては、端面検査手段のうち、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６と光照射手段である照明手段１７のみ図示されており、クリーニング手段は退避してホルダユニット２２の反対側面にあることより、図示されていない。

図７は、端面検査手段とスレーブディスク４０との位置関係を示す正面図である。この端面検査手段は、撮像素子であるＣＣＤカメラ１６と、照明手段１７とよりなる。このうち、ＣＣＤカメラ１６は、カメラ本体１６Ａとレンズ鏡筒１６Ｂより構成される。このＣＣＤカメラ１６は、既述の制御手段３０Ａと接続されている。

この端面検査手段に使用されるＣＣＤカメラ１６と照明手段１７は、既述の表面検査手段に使用されるＣＣＤカメラ９６及び照明手段９７と同様のものが採用できる。したがって、ＣＣＤカメラ１６及び照明手段１７の詳細な説明は省略する。

ＣＣＤカメラ１６は、支持手段１６Ｃにより支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の被検査部位に対応できるようになっている。

更に、ＣＣＤカメラ１６は、検査終了時に、ディスク供給ユニット２６の各ロボット２７、２８、２９と干渉しないように、退避可能となっている。

照明手段１７は、図示しない支持手段により支持されており、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＹ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の被検査部位（端面）に対応できるようになっている。

そして、照明手段１７の光軸がスレーブディスク４０の端面の被検査部分における接線方向に対しαの角度をなして支持されるようになっている。この角度αは、０〜２０度の範囲が好ましく、５〜１５度の範囲がより好ましい。また、照明手段１７の光軸はスレーブディスク４０の表面に対して±５度の角度をなして支持されることが好ましい。

スレーブディスク４０の端面の全周を検査する場合には、ホルダユニット２２によってスレーブディスク４０を一定速度で回転させながら、ＣＣＤカメラ１６により撮像すればよい。

この場合、スレーブディスク４０の内外周の端面を検査する場合には、先ず、ＣＣＤカメラ１６の焦点を、内外周のいずれか一方の端面に合わせてこの端面の全周を撮像し、次いで、ＣＣＤカメラ１６の焦点を、他方の端面に合わせてこの端面の全周を撮像すればよい。

スレーブディスク４０の端面の特に汚染されやすい部分、具体的には、ディスク供給カセット３８の溝９２と接触する外周の２箇所を検査する場合には、ホルダユニット２２によってスレーブディスク４０を間欠的に回転させ、その部分のみＣＣＤカメラ１６により撮像すればよい。また、スレーブディスク４０を回転させずに、ディスク供給カセット３８の溝９２と接触する箇所を検査できるように、ＣＣＤカメラ１６と照明手段１７とを複数組設ける構成も採用できる。

検査手段の以上の構成により、スレーブディスク４０の端面が検査可能となっている。そして、ＣＣＤカメラ１６により撮像されたスレーブディスク４０の被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）が、既述の制御手段３０Ａに記憶されるようになっている。

次に、クリーニング手段について説明する。図８は、クリーニング手段とホルダユニット２２との位置関係を示す斜視図である。クリーニング手段は、エアノズル１９と吸引ノズル２０よりなる。

エアノズル１９は、先端部が小径の円筒状部材であり、図示しないエア供給源よりの高圧ジェット流を、スレーブディスク４０の被清浄化部位へ吹き付けできるようになっている。すなわち、エアノズル１９は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に保持されたスレーブディスク４０と、移動側ホルダ２４に保持されたマスターディスク４６の間に移動できるようになっており、また、制御手段３０Ａの指示によりＸ軸回り及びＺ軸回りに若干量回転可能となっており、スレーブディスク４０の被清浄化部位に対応できるようになっている。

エアノズル１９には、図示しないフィルタ及び超音波笛が内蔵されており、振動が付与されたクリーンエアが噴出できるようになっている。

吸引ノズル２０は、断面が矩形の薄い筒状部材であり、図示しない吸引手段に接続されている。この吸引ノズル２０は、図示しない支持手段により、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に保持されたスレーブディスク４０と、移動側ホルダ２４に保持されたマスターディスク４６の間であって、エアノズル１９に対向する位置に移動できるようになっており、エアノズル１９により吹き付けられた高圧ジェット流のエア、及びスレーブディスク４０上の異物を吸引できるようになっている。

クリーニング手段の以上の構成により、制御手段３０Ａに記憶された被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）にしたがって、スレーブディスク４０上の欠点（汚染）が選択的（局所的）に除去可能となっている。

なお、クリーニング手段は、上記の位置（スレーブディスク４０が端面検査手段により検査される位置）以外に、スレーブディスク４０が表面検査手段により検査される位置にも設けることができる。

なお、クリーニング手段として、上記の構成のもの以外に、たとえば、ドライアイスの微粒子の吹き付け手段、エキシマレーザの部分的照射手段、弱粘着性を有するクリーニングローラ又はクリーニングシートを押し付ける構成のもの、クリーニングクロスによってワイピングする構成のもの、回転するスレーブディスク４０の表面にグライドヘッドを近接させるバーニッシング手段等、公知の各種クリーニング方法が採用できる。

次に、上記のように構成された磁気転写装置の運転方法について説明する。なお、クリーニング手段は、上記の位置（スレーブディスク４０が端面検査手段により検査される位置）以外に、スレーブディスク４０が表面検査手段により検査される位置にも設けられている。

図９は、磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャートである。

運転開始により、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）がディスク供給カセット３８内のスレーブディスク４０を把持して、順次１枚づつ取り出す（ステップＳ−１０）。

取り出されたスレーブディスク４０は、図１に示される検査位置８０において把持された状態を維持している。

次いで、図５及び図６に示される検査手段のミラー９８をスレーブディスク４０に対向する位置に移動させるとともに、ＣＣＤカメラ９６と、照明手段９７とを適正位置に調整し、スレーブディスク４０の付着物検査を行い、被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）を、制御手段３０Ａに記憶させるとともに、制御手段３０Ａが付着物検査の結果の良否を判断する（ステップＳ−１２）。

付着物検査の結果、制御手段３０Ａが良好（ＯＫ）と判断した場合には、定常フローの次ステップ（ステップＳ−１４）に移り、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合には、クリーニング手段によるクリーニング工程（ステップＳ−１６）に移る。

クリーニング工程（ステップＳ−１６）において、検査手段のミラー９８をスレーブディスク４０の近傍より退避させるとともに、エアノズル１９と吸引ノズル２０をスレーブディスク４０の近傍の所定位置に移動させる。

そして、エアノズル１９より、振動が付与されたクリーンエアが噴出され、スレーブディスク４０表面上の異物を除去するとともに、吸引ノズル２０により、吹き付けられた高圧ジェット流のエア、及びスレーブディスク４０表面上の異物を吸引する。これにより、スレーブディスク４０表面上の欠点（汚染）が選択的（局所的）に除去される。

このステップＳ−１６において、クリーニング工程が終了したスレーブディスク４０は、そのままの位置で再検査される（ステップＳ−１２）。

なお、ステップＳ−１２において、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合であって、既にクリーニング工程を経ている場合には、スレーブディスク４０を廃棄する。具体的には、ディスク供給ユニット２６により、装置本体１２内部に配置してある廃棄カセット（図示略）にスレーブディスク４０を収納する。この廃棄カセットは、所定枚数（たとえば、２５枚）の廃棄用スレーブディスク４０が収納された時点で、装置本体１２外部に排出される。

ステップＳ−１４において、表面の検査が終了したスレーブディスク４０は、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、Ｘ軸ロボット２７によって、ディスク供給工程位置８２に配置された開かれたホルダユニット２２により形成されたマスターディスク４６、４６間の空隙の、ホルダユニット２２の開閉方向に直交する方向上まで移動され、Ｙ軸ロボット２８によって、マスターディスク４６、４６の間にある間隙に挿入される。

このとき、ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４の各内側には、それぞれマスターディスク４６、４６が予め外段取り等によって、ホルダユニット２２の中心とマスターディスク４６の中心とが一致する位置に精度良く吸着または接着にて固定されている。

ホルダユニット２２の固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に供給されたスレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによってその中心が固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６の中心とほぼ一致し、かつマスターディスク４６との隙間が０．５ｍｍ程度となる認識位置に移動される。

次いで、固定側ホルダ２３の下面に予め取り付けられた基準マーク２１Ａと、ディスク供給ユニット２６のチャック機構４２（チャック４２ａ、４２ｂ）に予め取り付けられた認識マーク２１Ｂ、２１Ｂが認識ユニット３０によって認識される。

この認識により、基準マーク２１Ａから算出されるマスターディスク４６の中心と、チャック機構４２の認識マーク２１Ｂ、２１Ｂから算出されるスレーブディスク４０の中心とが一致するように、ディスク供給ユニット２６のＹ−Ｚ軸ロボット２８、２９により、スレーブディスク４０が位置決めされる。

次いで、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ軸ロボット２７によって、固定側ホルダ２３の内側に固定されているマスターディスク４６に密着する位置まで移動され、固定側ホルダ２３の内側に吸着固定される（以上、ステップＳ−１４）。

次いで、端面検査手段のＣＣＤカメラ１６と、照明手段１７とを適正位置に調整し、スレーブディスク４０の端面の付着物検査を行い、被検査部位の情報（欠点（汚染）およびその位置情報）を、制御手段３０Ａに記憶させるとともに、制御手段３０Ａが付着物検査の結果の良否を判断する（ステップＳ−１８）。

付着物検査の結果、制御手段３０Ａが良好（ＯＫ）と判断した場合には、定常フローの次ステップ（ステップＳ−２０）に移り、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合には、クリーニング手段によるクリーニング工程に移る（ステップＳ−２２）。

クリーニング工程（ステップＳ−２２）において、エアノズル１９と吸引ノズル２０をホルダユニット２２の固定側ホルダ２３に保持されたスレーブディスク４０と、移動側ホルダ２４に保持されたマスターディスク４６との間の所定位置に移動させる。

そして、エアノズル１９より、振動が付与されたクリーンエアが噴出され、スレーブディスク４０の端面の異物を除去するとともに、吸引ノズル２０により、吹き付けられた高圧ジェット流のエア、及びスレーブディスク４０の端面の異物を吸引する。これにより、スレーブディスク４０の端面の欠点（汚染）が選択的（局所的）に除去される。

なお、ステップＳ−２２において、制御手段３０Ａが不良（ＮＧ）と判断した場合であって、既にクリーニング工程を経ている場合には、スレーブディスク４０を廃棄する。具体的には、ディスク供給ユニット２６により、装置本体１２内部に配置してある廃棄カセット（図示略）にスレーブディスク４０を収納する。

次いで、制御手段３０Ａは、１枚前のスレーブディスク４０もクリーニング工程を経たか（クリーニング工程が連続しているか）否かを判断し（ステップＳ−２４）、連続している場合（Ｙｅｓ）には、定常作業を中止させ、チャック機構４２等の把持機器の清掃作業等に移行させる（ステップＳ−２６）。

一方、ステップＳ−２４において、クリーニング工程が連続していない場合（Ｎｏ）には、スレーブディスク４０は、ディスク供給ユニット２６のＸ−Ｙ−Ｚ軸のロボットによって検査位置（表面検査手段の位置）８０まで搬送され、ロータリシリンダ４４の回動によりＹＺ平面内で反転された後、表面検査手段によって再検査される（ステップＳ−１２）。

定常フローの次ステップ（ステップＳ−２０）において、移動側ホルダ２４をロボット７０によって固定側ホルダ２３に向かって移動させ、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６で挟む。このようにして、スレーブディスク４０の両面を２枚のマスターディスク４６、４６に対して密着させた状態で挟持する（ステップＳ−２０）。

次いで、インデックステーブル５０を９０度回転させ（ステップＳ−２８）、ホルダユニット２２を次工程の磁気転写工程位置８４に位置決めする。そして、コイルユニット３２、３２をホルダユニット２２の両側に移動させ（ステップＳ−３０）、ホルダユニット２２を回転させながら両側から磁界を加える（ステップＳ−３２）。これにより、スレーブディスク４０の両面にマスターディスク４６、４６の磁気情報パターンが磁気転写される。

磁気転写後、コイルユニット３２、３２を初期の位置に退避させ（ステップＳ−３４）、インデックステーブル５０を９０度回転させて、ホルダユニット２２を次工程のディスク排出工程位置８６に位置決めする（ステップＳ−３６）。

次いで、移動側ホルダ２４を移動させて固定側ホルダ２３から離間させる（ステップＳ−３８）。このとき、磁気転写されたスレーブディスク４０は、供給時と同様に固定側ホルダ２３の内側に吸着されている。

次いで、ディスク排出ユニット３４のチャック５２（図２参照）が、固定側ホルダ２３と移動側ホルダ２４との間に入り込み、スレーブディスク４０の内径を把持する。そして、固定側ホルダ２３のスレーブディスク４０の吸着を解除し、ディスク排出ユニット３４のチャック５２をディスク排出ユニット３４のＸ軸ロボット３５で動かすことにより、スレーブディスク４０を固定側ホルダ２３のマスターディスク４６から剥離する。

次いで、スレーブディスク４０がディスク排出ユニット３４のチャック５２により把持された状態で、Ｙ軸ロボット３６により、開かれたホルダユニット２２の空隙からＹ軸方向に退避させる。そして、ロータリシリンダ５４により、ＹＺ平面内で、かつ装置外方を通る円弧の経路で１８０度回動され、チャック５２を含めて上下方向の向きが反転される。

次いで、スレーブディスク４０及びチャック５２がディスク排出ユニット３４のＸ−Ｙ−Ｚロボット３５、３６、３７によってディスク排出カセット５６上に移動し、スレーブディスク４０をディスク排出カセット５６内に順次１枚づつ収納する（ステップＳ−４０）。

上記の一連の動作は、順次インデックステーブル５０を間欠回転させながら、ホルダユニット２２を各工程位置に位置決めすることにより、各工程を並行して処理することができる。

以上、本発明に係る磁気転写装置及び方法の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、各種の態様が採り得る。

たとえば、上記実施形態において、検査手段は、表面検査手段と端面検査手段の２種類のものよりなるが、スレーブディスク４０の表面検査と端面検査とを１台の検査手段によって行うこともできる。図１０は、この構成を示す部分拡大断面図である。

図１０において、照明手段をスレーブディスク４０の表面用及び端面用にそれぞれ別個に設け、スレーブディスク４０の表面の照明は光束Ｂｓにより、スレーブディスク４０の外周部端面の照明は光束Ｂｏにより、スレーブディスク４０の内周部端面の照明は光束Ｂｉにより行う。

この場合、光束Ｂｓのスレーブディスク４０の表面に対する傾斜角度は０〜３０度とするのが好ましく、光束Ｂｏ及びは光束Ｂｉのスレーブディスク４０の表面の垂線に対する傾斜角度は０〜３０度とするのが好ましい。

そして、図１０の太矢印で示される方向より、ラインセンサにより撮像すればよい。なお、外周部端面及び内周部端面のうち、垂直面（テーパ面でない面）における反射画像を確実に撮像するために、ラインセンサのレンズ（図示略）にテレセントリック光学系のものを使用することが好ましい。

更に、上記実施形態において、磁気ディスクの転写について説明されているが、本発明は、磁気ディスクのみならず、光ディスク（光磁気ディスクも含む）等の各種媒体の転写にも好適に適用できる。

また、磁気転写装置１０の構成も、上記実施形態のロータリーインデックス方式に限定されるものではなく、インラインインデックス方式等各種の態様のものが採用できる。

本発明に係る磁気転写装置の一部を破断して示す斜視図 ディスク用カセットにスレーブディスクを出し入れする状態を示す斜視図 ホルダユニットの構成を示す断面図 マスターディスクとスレーブディスクとの位置合せ状態を示す斜視図 表面検査手段とスレーブディスクとの位置関係を示す正面図 表面検査手段とスレーブディスクとの位置関係を示す平面図 端面検査手段とスレーブディスクとの位置関係を示す正面図 クリーニング手段とホルダユニットとの位置関係を示す斜視図 磁気転写装置の運転方法について説明するフローチャート 検査手段の他の構成を示す部分拡大断面図

符号の説明

１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…クリーンユニット、１６、９６…ＣＣＤカメラ（撮像素子）、１７、９７…照明手段、９８…ミラー、１９…エアノズル、２０…吸引ノズル、２２…ホルダユニット（保持手段）、２３…固定側ホルダ、２４…移動側ホルダ、２６…ディスク供給ユニット、３２…コイルユニット、３４…ディスク排出ユニット、３８…ディスク供給カセット、４０…スレーブディスク（被転写用ディスク）、４６…マスターディスク、５６…ディスク排出カセット、７０…ロボット（駆動手段）

Claims (6)

1. マスターディスクのパターンを被転写用ディスクに転写させる転写手段と、
   前記被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査手段と、
   を具備したことを特徴とする転写装置。
2. 磁気パターンを有するマスターディスクをホルダ部により保持するディスク保持手段と、
   被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査手段と、
   前記ホルダ部によって保持された前記マスターディスクに対向するように前記被転写用ディスクを供給する供給手段と、
   前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスクの磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる磁界印加手段と、
   を具備したことを特徴とする転写装置。
3. 前記検査手段により検査された前記被転写用ディスクの表面及び／又は端面の汚染箇所を選択的にクリーニングするクリーニング手段を具備した請求項１又は２に記載の転写装置。
4. 前記検査手段により検査された前記被転写用ディスクの汚染状態を判別する判別手段と、
   前記判別手段による判別結果によって、前記磁界印加手段による磁気転写を行う第１の選択枝と、前記クリーニング手段によって前記被転写用ディスクのクリーニングを行う第２の選択枝と、前記磁界印加手段及び／又は前記クリーニング手段を経ずに前記被転写用ディスクを装置外部に排出させる第３の選択枝と、のいずれか１の選択枝を選ぶ選択手段と、
   を具備した請求項３に記載の転写装置。
5. 前記検査手段が、前記被転写用ディスクの表面の汚染状態を検査する表面検査手段と、前記被転写用ディスクの端面の汚染状態を検査する端面検査手段と、よりなる請求項１〜４のいずれか１項に記載の転写装置。
6. 被転写用ディスクの表面及び端面の汚染状態を検査する検査工程と、
   前記検査工程による検査結果によって、前記被転写用ディスクをＡランクとＢランクとに選別する選別工程と、
   ホルダ部に保持された磁気パターンを有するマスターディスクに対向するようにＡランクの前記被転写用ディスクを供給する供給工程と、
   供給された前記被転写用ディスクに前記マスターディスクを圧接させて挟持する圧接工程と、
   前記ホルダ部に磁界を加えて前記マスターディスク上の磁気パターンを前記被転写用ディスクに転写させる転写工程と、
   Ｂランクの前記被転写用ディスクをクリーニング又は廃棄する再生工程と、
   を具備したことを特徴とする転写方法。
   

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