JP2001249080A - 凸欠陥検査方法と装置、および磁気転写方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微細な凹部があるか凹部があり得る検査面を
凸欠陥のみを高精度に検出できるようにし、併せてディ
スクの凸欠陥によるマスタのダメージや磁気転写不良を
回避して磁気転写できるようにする。 【解決手段】 検査面１ａに対してほぼ平行、または小
さな角をなした光軸２上で照明光３を照射し、検査面１
ａと鋭角となる光軸４上で凸欠陥５により生じる後方散
乱光３ａを凸欠陥５として検出することにより、また、
ディスク１の磁気転写を受ける面１ａ上の凸欠陥５を検
出する検査工程と、検査工程にて凸欠陥５が検出されな
かったディスク１ｂにつき、検査に続いてマスタ３１を
接面させて磁気転写を行う磁気転写工程とを備えること
により、上記の目的を達成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は主として微細な凹部
があるか凹部があり得る面が検査面および磁気転写面と
なる対象物を取り扱う場合の付着異物を代表とする凸欠
陥を検出する凸欠陥検査方法と装置、および磁気転写方
法と装置に関するものであり、磁気ディスクの製造に利
用される。

【０００２】

【従来の技術】マスタからディスクへの磁気転写により
磁気ディスクを製造するのに、通常、マスタおよびディ
スクがクリーンボックス内で取扱われ処理される。これ
により、マスタおよびディスクは異物などの影響なしに
よく密着し合って精度よい磁気転写が行なわれ、また、
高価なマスタの転写面がダメージを受けるようなことも
回避される筈である。

【０００３】ところが、実際には、付着異物等の凸欠陥
の影響により通常の寿命よりは早期にマスタにダメージ
が発生したり、ディスクへの磁気転写不良が発生したり
することがときとして生じる。経験によれば０．５μｍ
程度以上の大きさの凸欠陥が１つでもあるとその約倍の
直径域でマスタとの間に隙間が生じて磁気転写不良が発
生しやすくなるし、その凸欠陥による変形や凸異物の累
積付着により早期にダメージを受ける。

【０００４】そこで、従来、高品質に管理され供給され
るマスタに合わせ、ディスクについても既存の検査装置
にて異物の検査を行い品質管理したものを用いるように
している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、そのような品
質管理によっても上記のような問題を解消することはで
きていない。これにつき、本発明者等が種々に実験をし
繰り返し検討したところ、既存のディスクの異物検査に
用いる検査装置の特性が原因であったり、上記のように
品質管理をしたディスクでも、磁気転写のために磁気転
写装置外と転写装置のクリーンボックス内とで多量に高
速で取り扱う途中に、まわりに浮遊する微小な異物が付
着したり、ディスクとそれを取り扱う各種取り扱い手
段、ないしは、まわりのものとの接触や衝突、引っ掛か
りなどによる欠けや削れによって発生した微小な異物が
付着することが原因であったりすることを知見した。

【０００６】ところで、問題となる０．５μｍ以上の大
きさの凸異物を十分な精度で検出できるディスク検査装
置は従来からある。従って、既存の検査装置を適正に選
択して用いると異物検査装置に起因した問題は解消す
る。

【０００７】例えば、以下の特性を持った検査装置が既
に提供されている。

【０００８】凸欠陥（異物、傷）、凹欠陥（スクラッ
チ）、平坦欠陥（シミ０．１μｍ）を２〜１０秒程度の
高速で検出する検査装置。ただし、これらの欠陥の種類
は弁別できない。または、弁別性能が低い。

【０００９】凸欠陥（異物、傷）、凹欠陥（スクラッ
チ）、平坦欠陥（シミ０．１μｍ）を弁別して検出する
検査装置。しかし、検査速度は３０〜２００秒と遅い。

【００１０】凸欠陥（異物、傷）、凹欠陥（スクラッ
チ）、平坦欠陥（シミ０．１μｍ）を弁別して高速で検
出する検査装置。ただし、装置は非常に高価。

【００１１】しかし、の検査装置では、磁気転写用の
ディスクを検査するのに、磁気転写上の欠陥になるとは
限らない凹欠陥の異物まで検出してそれを弁別できない
ので、磁気転写に供するディスクの歩留まりが徒に増大
する。の検査装置では、検査速度が遅いので能率が悪
く多数同時使用しないと高速化の要求に応えられず、高
速化には設備費、製品コストが共に上昇する。の検査
装置では１つの装置だけで高価につき、製品コストが上
昇する。

【００１２】一方、検査装置を問題なく選択して問題な
く検査できるにしても、検査後所定の品質管理を行なっ
て保管されているディスクを、転写装置に供給するまで
の転写装置外での取扱いや転写装置内での取扱い中に発
生する異物や傷による凸欠陥には対応できない。

【００１３】本発明の目的は、微細な凹部があるか凹部
があり得る検査面を凸欠陥のみを高精度に検出すること
ができる簡単な検査方法と装置、およびディスクの凸欠
陥によるマスタのダメージや磁気転写不良を回避できる
磁気転写方法と装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の凸欠陥検査方法は、検査対象の微小な凹
部を持ち、あるいは持つことのある検査面に対してほぼ
平行、または小さな角をなした第１の光軸上で検査面に
照明光を照射し、検査面とのなす角が鋭角となる第２の
光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる前記照明光の後
方散乱光を凸欠陥として検出することを主たる特徴とし
ている。

【００１５】このような構成では、以上のように検査対
象の検査面に対し、ほぼ平行または小さな角をなす第１
の光軸上で照射した照明光により検査面上の凸に対し後
方散乱、側方散乱、前方散乱が発生し、凹に対しては側
方散乱、前方散乱はあっても後方散乱はほとんど発生し
ないようにすることができる。一方、これら散乱光のう
ち後方散乱光を検査面に対し９０°未満の鋭角をなす第
２の光軸上で受光することにより、検査面上のあらゆる
凸からの後方散乱光のみを確実に受光し、それを凸欠陥
として検出することができ、微細な凹があり、あるいは
あり得る検査面であっても、凹による乱反射光を検出す
ることがないので、付着異物や傷などによるあらゆる凸
を欠陥として高精度に検出することができる。しかも、
照明光の照射光軸と受光光軸とを検査面に対して所定の
角度範囲に設定すれば足りるし、照明光はコヒーレント
光など特殊なものでなくて十分であり安価に実現する。

【００１６】したがって、凹が直ちに欠陥とならない検
査対象、例えば、マスタから磁気転写を受けるディスク
に適用すると、凹が欠陥として検出されてしまって使用
されずに歩留まりが徒に低下するようなことを安価な検
査方法にて防止することができる。

【００１７】以上のような方法を達成する凸欠陥検査装
置としては、検査対象の検査面に対してほぼ平行、また
は小さな角をなす光軸を持つように配置され、前記検査
対象の検査面に前記光軸上で照明光を照射する照明系
と、検査面とのなす角が鋭角となる光軸を持つように配
置され、この光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる後
方散乱光を光電面上に受光する受光部を持った凸欠陥検
出光学系と、受光部で得られた電気信号から凸欠陥を判
定する判定部と、を備えたもので足り、簡単かつ安価な
装置となる。

【００１８】本発明の磁気転写方法は、ディスクのマス
タからの磁気転写を受ける面上の凸欠陥を検出する検査
工程と、検査工程にて凸欠陥が検出されなかったディス
クにつき、検査に続いてマスタを接面させて磁気転写を
行う磁気転写工程と、を備えたことを主たる特徴として
いる。

【００１９】このような構成では、磁気転写に供される
ディスクにつきまず検査工程にて、マスタから磁気転写
を受けるべき面につき凸欠陥の検出を行なうので、磁気
転写に供される直前のディスクにそれまでの取り扱い中
に発生したり付着したりする凸欠陥があっても、それを
検査工程にて検出して凸欠陥のあるディスクを磁気転写
作業から除外することができるし、凸欠陥のないディス
クにつき検査工程に続いて、したがって新たな凸欠陥が
発生したり付着したりする機会や確率少なく、磁気転写
を行なうので、ディスクと接面して磁気転写を行なうマ
スタの転写面がディスク上の凸欠陥によりダメージを受
けて高価なマスクが早期に寿命に達するようなことを防
止することができる。また、凸欠陥により磁気転写不良
のある製品が発生することも防止して製品の歩留まりを
高めることができる。

【００２０】この場合、マスタの磁気転写面を清潔にす
る清潔化工程をも一連の工程として備えていると、必要
な時期にマスタを清潔化して異物が付着したり凸欠陥が
発生する機会や確率少なく磁気転写に用いることがで
き、マスタ自体に付着する異物により転写面にダメージ
が生じたりディスクへの転写に不良を来したりするよう
なことを防止することができる。

【００２１】上記の各工程は１つのクリーンボックス内
で行なうことにより、清潔化後のマスタや検査後のディ
スクに異物などの凸欠陥が付着したり発生したりする機
会や確率を十分に抑えることができる。

【００２２】このような磁気転写方法において、ディス
クを多数収容したカセットを順次にディスク供給・収納
位置に搬入し、検査工程にてディスク供給・収納位置に
供給されている１つのカセットにつきそれに収容されて
いる各ディスクを１つずつ取り出して順次に凸欠陥の検
出を行って後、凸欠陥が検出されないディスクについて
検査工程に続いて順次に磁気転写工程に移ってマスタか
らの磁気転写を行ない、磁気転写後のディスクを前記デ
ィスク供給・収納位置のカセットに順次戻して収納し、
戻し終えたカセットはディスク供給・収納位置から搬出
し次のカセットをディスク供給・収納位置に搬入するこ
とを繰り返すようにすると、ディスクをカセットに収納
した単位で大量に取り扱うのに、ディスクから取り出し
て凸欠陥につき検査した後、凸欠陥のないディスクはカ
セットに戻さず直接に磁気転写してから、元のカセット
に戻し収納するようにするので、凸欠陥のない検査後の
ディスクを磁気転写に供するのに、カセットに出し入れ
しない分凸欠陥の発生や付着の機会をさらに少なくし
て、マスタの凸欠陥によるダメージの発生や磁気転写不
良の発生をさらに抑えることができる。

【００２３】検査工程にて凸欠陥が検出されたディスク
は不良品として磁気転写工程に移行する良品のディスク
と区別して処理することにより、不良品が良品のディス
クの取り扱いを混乱させたり、混入したりするのを防止
することができる。

【００２４】検査工程を、ディスクの検査面に対してほ
ぼ平行、または小さな角をなした第１の光軸上で検査面
に照明光を照射し、検査面とのなす角が鋭角となる第２
の光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる前記照明光の
後方散乱光を凸欠陥として検出する方法を採用すること
により、ディスクに微細な凹があり、あるいはあり得る
ものであっても、直ちに欠陥とならない凹を欠陥として
検出してしまいディスクの歩留まりが低下するのを防止
することができる。

【００２５】以上のような磁気転写の方法を達成する磁
気転写装置としては、基本的に、ディスクのマスタから
の磁気転写を受ける面上の凸欠陥を検出する検査手段
と、ディスクにマスタによって磁気転写する磁気転写手
段と、検査手段にディスクを供給する検査前ディスク取
扱い手段と、検査手段にて凸欠陥が検出されなかったデ
ィスクのみを検査手段から磁気転写手段に供給するディ
スク取扱い手段と、磁気転写手段での磁気転写後のディ
スクを取り出し処理する転写後ディスク取扱い手段と、
を備えたもので足り、簡単かつ安価な装置にて自動的に
確実に遂行することができる。

【００２６】この場合、検査手段で凸欠陥が検出された
ディスクを、良品と区別して処理する不良品取扱い手段
を備えていると、良品の取り扱いおよび不良品の処理上
好適である。

【００２７】また、ディスクを多数収容したカセットを
ディスク供給・収納位置に順次搬入しながら１つずつデ
ィスクの取り出し収納に供し、収納したディスク全てが
取り出されて検査され凸欠陥が検出されずに磁気転写を
受けたディスクが戻され収納し終わる都度、そのカセッ
トをディスク供給・収納位置から搬出するとともに次の
カセットを搬入するカセット取扱い手段と、ディスク供
給・収納位置に搬入されているカセットに収容されてい
るディスクを１枚ずつ取り出して検査前ディスク取扱い
手段に供給し、転写後ディスク取扱い手段からの磁気転
写後のディスクをディスク供給・収納位置に搬入されて
いるカセットに戻し収納するディスク供給・収納手段と
を備えたものとすると、多数のディスクを収納したカセ
ットを利用してディスクを１枚ずつ供給し前記検査およ
び良品についての転写を行ない、転写後のディスクを戻
して収納し取り扱う一連の作業を自動的に能率よく行な
うことができる。

【００２８】検査手段は、検査対象の検査面に対してほ
ぼ平行、または小さな角をなす光軸を持つように配置さ
れ、前記検査対象の検査面に前記光軸上で照明光を照射
する照明系と、検査面とのなす角が鋭角となる光軸を持
つように配置され、この光軸上で検査面上の凸欠陥によ
り生じる後方散乱光を光電面上に受光する受光部を持っ
た凸欠陥検出光学系と、受光部で得られた電気信号から
凸欠陥を判定する判定部と、を備えていると、簡単かつ
安価な検査手段を採用して、しかも直ちに欠陥とならな
い凹を欠陥として検出しない点で好適である。

【００２９】上記各場合の磁気転写装置において、各手
段はクリーンボックス内に設置されていると、磁気転写
装置でカセットに収容されたディスクを取り扱って検査
後に磁気転写を行なうのに、ディスクを装置で取り扱っ
ている間に凸異物が発生したり付着したりするのをよく
抑えることができ、その分マスタにダメージを受けるの
を低減することができるし、ディスクの歩留まりを高め
ることができる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
凸欠陥検査方法と装置、および磁気転写方法と装置につ
き図１〜図５を参照しながら詳細に説明し、本発明の理
解に供する。

【００３１】本実施の形態の凸欠陥検査方法と装置は、
マスタからの磁気転写対象物であるディスクを検査対象
とする場合の一例である。しかし、本発明の凸欠陥検査
方法と装置はこれに限られることはなく、微細な凹があ
りまたあり得る検査面の付着異物や傷などによるあらゆ
る凸を凸欠陥として検出する各種の検査対象につき適用
して有効であり、本発明の範疇に属する。

【００３２】本実施の形態の凸欠陥検査方法につき図２
に示す凸欠陥検査装置を参照して説明すると、検査対象
であるディスク１の微小な凹部を持ち、あるいは持つこ
とのある検査面１ａに対してほぼ平行、または小さな角
をなした第１の光軸２上で検査面１ａに照明光３を照射
し、検査面１ａとのなす角が鋭角となる第２の光軸４上
で検査面１ａ上の図３に示すような凸欠陥５により生じ
る前記照明光３の後方散乱光３ａを凸欠陥として検出す
る。

【００３３】ここに、「検査面１ａに対してほぼ平行、
または小さな角をなし」とは、前記第１の光軸２と検査
面１ａとのなす角がほぼ０°または小さくなるように前
記照明光３を照射することを意味し、例えば、図２にα
で示される入射角をほぼ０°または５°程度以下にする
ことを意味する。

【００３４】また、「検査面１ａとのなす角が鋭角」と
は、検出側である前記第２の光軸４と検査面１ａとのな
す角が９０°未満であることを意味し、例えば、図２に
θで示される検出角θが９０°未満であることを意味す
る。

【００３５】以上のようにディスク１の検査面１ａに対
し、ほぼ０°〜５°程度以下の角αをなす第１の光軸２
上で照射した照明光３によると、検査面１ａ上の図３に
しめすような付着異物などの凸欠陥５に対し後方散乱光
３ａ、側方散乱光３ｂ、前方散乱光３ｃが発生し、凹に
対しては側方散乱、前方散乱はあっても後方散乱はほと
んど発生しないようにすることができる。一方、これら
散乱光のうちの後方散乱光３ａを検査面１ａに対し９０
°未満の鋭角θをなす第２の光軸４上で受光することに
より、検査面１ａ上のあらゆる凸からの後方散乱光３ａ
のみを確実に受光し、それを凸欠陥５として検出するこ
とができ、微細な凹があり、あるいはあり得る検査面１
ａであっても、凹による散乱光を検出することがないの
で、凸欠陥５のみを高精度に検出することができる。し
かも、照明光３の照明光軸２と受光光軸４とを検査面１
ａに対して所定の角度範囲に設定すれば足り、安価に実
現する。特に後方散乱光３ａを受光するだけで凸欠陥５
を高精度に検出することができるので、コヒーレント光
を用いるまでもなく、通常光を集光させて照明しても十
分な検査結果が得られ、さらに安価に実現する。もっと
も、レーザービームなどのコヒーレント光を照射すれば
後方散乱光は凸欠陥による確度が高くなり検査精度をさ
らに高めることはできる。

【００３６】以上から、本実施の形態のディスク１のよ
うに凹が直ちに欠陥とならない検査対象に適用すると、
凹が欠陥として検出されてしまって使用されず歩留まり
が徒に低下するようなことを安価な検査方法にて防止す
ることができる。凹のために磁気転写が不良になった分
については転写後の信号読み取り検査などによって検出
し不良品として扱えばよい。

【００３７】なお、第２の光軸４が検査面１ａとなす検
出角θを６０°以下になるように設定すると、万一にも
凸以外からの散乱光が前記後方散乱光３ａの近くに発生
したり、一部重なって発生することがあっても、それら
を受光域から外して、凸欠陥５の検出精度をさらに高め
ることができる。

【００３８】また、第２の光軸４と第１の光軸２との差
角が３０°以内、つまり第２の光軸４の検査面１ａへの
投影ベクトルと第１の光軸２の検査面１ａへの投影ベク
トルとのなす角、例えば図２にβで示される方位角が３
０°以内となるようにすると、小さな設置スペースにて
も第２の光軸４を第１の光軸２との干渉をさけて検査面
１ａとのなす検出角θを小さく設定しやすくすることが
できる。

【００３９】以上のような方法を達成する本実施の形態
の凸欠陥検査装置は、図２に示すように、検査対象であ
るディスク１の検査面１ａに対してほぼ平行、または小
さな入射角αをなす第１の光軸２を持つように配置さ
れ、前記検査面１ａに前記第１の光軸２上で照明光３を
照射する照明系１１と、検査面１ａとのなす検出角θが
鋭角をなす第２の光軸４を持つように配置され、この第
２の光軸４上で検査面１ａ上の図３に示す凸欠陥５によ
り生じる後方散乱光３ａを光電面１２ａ上に受光する受
光部１２を持った凸欠陥検出光学系１３と、受光部１２
で得られた電気信号から凸欠陥５を判定する判定部１４
とを備えている。

【００４０】照明系１１はライン光源２１からの照明光
３をレンズ２２、２３などにより検査面１ａ上にライン
状に集光させている。集光の度合は検出したい凸欠陥５
の大きさに対応して設定されればよいが、上記の条件で
照射し受光する方式ではノイズが発生しにくいので集光
度を低くしてもよく、一定の集光度で比較的幅広いサイ
ズの凸欠陥の検出に共用することができる。必要なら各
種の位置への集光度を調整できるようにしておけばよ
い。

【００４１】凸欠陥検出光学系１３は、凸欠陥５からの
後方散乱光３ａをレンズ２４、２５などにより受光部１
２の光電面１２ａに集光させて受光し、この受光の状態
を受光部１２で電気信号に変換し、この電気信号から判
定部１４が凸欠陥５かどうかを判定する。この判定は受
光量に比例した電気量で十分である。しかし、必要があ
れば受光のパターンの大きさや形を画像認識したりする
こともできる。

【００４２】照明系１１および凸欠陥検出光学系１３は
照明系１１からの図２に示すような集光ライン２６が円
形なディスク１の半径方向に向くようにして用いる。集
光ライン２６の長さは受光部１２側で決まる限度一杯と
するが、図２に示すようにディスク１の検査面１ａの半
径方向域の数分の１と小さいので、ディスク１の半径上
の複数位置につきディスク１を１回転ずつさせて検査を
行ない、検査面１ａの全域が検査できるようにする。

【００４３】本実施の形態の磁気転写方法は、図１、図
４、図５に示す磁気転写装置を参照して説明するとディ
スク１のマスタ３１からの磁気転写を受ける面を検査面
１ａとしてその上の図３に示すような凸欠陥５を検出す
る検査工程と、検査工程にて凸欠陥５が検出されなかっ
た良品のディスク１ｂにつき、検査に続いてマスタ３１
を図１に示すように接面させて、具体的には図４に示す
磁気転写手段５２により密着ないしは圧着させて磁気転
写を行う磁気転写工程と、を備えている。

【００４４】このように、磁気転写に供されるディスク
１につきまず検査工程にて、マスタ３１から磁気転写を
受けるべき面１ａにつき凸欠陥５の検出を行なうので、
磁気転写に供される直前のディスク１にそれまでの取り
扱い中に発生したり付着したりする凸欠陥５があって
も、それを検査工程にて検出して凸欠陥５のあるディス
ク１ｃを磁気転写作業から除外することができるし、凸
欠陥５のないディスク１ｂにつき検査工程に続いて、し
たがって新たな凸欠陥５が発生したり付着したりする機
会や確率少なく、磁気転写を行なうことになるので、デ
ィスク１ｂに密着ないしは圧着させて磁気転写を行なう
マスタ３１の転写面３１ａがディスク１ｂ上の凸欠陥５
によりダメージを受けて高価なマスタ３１が早期に寿命
に達するようなことを防止することができる。また、凸
欠陥５により磁気転写不良のある製品が発生することも
防止して製品の歩留まりを高めることができる。

【００４５】さらに、上記に加え、マスタ３１の磁気転
写面３１ａを清潔にする清潔化工程をも一連の工程とし
て備えていると、必要な時期にマスタ３１を清潔化して
異物が付着したり凸欠陥５が発生する機会や確率少なく
磁気転写に用いることができ、マスタ３１自体に付着す
る異物により転写面３１ａにダメージが生じたりディス
ク１ｂへの転写に不良を来したりするようなことを防止
することができる。マスタ３１の清潔化工程はその製造
に関連した品質管理上行なってもよいし、このような品
質管理の有無に関わりなく磁気転写に用いる段階で行う
こともでき、磁気転写の直前に行なうほど清潔な状態を
保って磁気転写に供しやすい利点がある。この際、製造
に関連した品質管理で清潔化処理を既に行なったもので
あると、磁気転写直前での清潔化が軽減され容易かつ短
時間に達成することができる。

【００４６】なお、本実施の形態では磁気転写における
上記の各工程は図５に示すように１つのクリーンボック
ス４１内で行なう。これにはクリーニング機能を有する
ディスクを磁気転写手段５２にダミーで供給してマスタ
３１の転写面３１ａとの接面や密着、圧着を図ることに
清潔化する方法がある。しかし、これに限られることは
なく、吸引、洗浄など人や装置によるあらゆる清潔化方
法を採用することができる。これにより、清潔化後のマ
スタ３１や検査後のディスク１ｂに異物などの凸欠陥５
が付着したり発生したりする機会や確率を十分に抑える
ことができる。

【００４７】本実施の形態ではさらに、上記のような磁
気転写方法において、図１、図５に示すようにディスク
１を多数収容したカセット４２を順次にディスク供給・
収納位置４３に搬入し、検査工程においてディスク供給
・収納位置４３に搬入されている１つのカセット４２に
つきそれに収容されている各ディスク１を１つずつ取り
出して順次に凸欠陥５の検査を行って後、凸欠陥５が検
出されないディスク１ｂについて検査工程に続いて順次
に磁気転写工程に移ってマスタ３１からの磁気転写を行
ない、磁気転写後のディスク１ｂを前記ディスク供給・
収納位置４３のカセット４２に順次戻して収納し、戻し
終えたカセット４２はディスク供給・収納位置４３から
搬出し次のカセット４２をディスク供給・収納位置４３
に搬入することを繰り返すようにする。

【００４８】これにより、ディスク１をカセット４２に
収納した単位で大量に取り扱うのに、カセット４２から
ディスク１を取り出して凸欠陥５につき検査した後、凸
欠陥５のないディスク１ｂはカセット４２に戻さず直接
磁気転写に供して後、元のカセット４２に戻し収納すこ
とになるので、凸欠陥５のない検査後のディスク１ｂを
磁気転写に供するのに、カセット４２に出し入れしない
で取扱う分凸欠陥５の発生や付着の機会をさらに少なく
して、マスタ３１の凸欠陥によるダメージの発生や磁気
転写不良の発生をさらに抑えることができる。

【００４９】また、検査工程にて凸欠陥５が検出された
ディスク１ｃは不良品として磁気転写工程に移行する良
品のディスク１ｂと区別して処理する。これにより、不
良品のディスク１ｃが良品のディスク１ｂの取り扱いを
混乱させたり、混入したりするのを防止することができ
る。

【００５０】検査工程は、上記した検査方法により行な
う。これにより、ディスク１に微細な凹があり、あるい
はあり得る磁気転写用のディスク１などであっても、直
ちに欠陥とならない凹を欠陥として検出してしまって使
用されずディスク１の歩留まりが低下するのを防止する
ことができる。

【００５１】以上のような磁気転写の方法を達成するの
に本実施の形態の磁気転写装置は、基本的に、ディスク
１のマスタ３１からの磁気転写を受ける面１ａ上の凸欠
陥５を検出する検査手段５１と、ディスク１にマスタ３
１によって磁気転写する磁気転写手段５２と、検査手段
５１にディスク１を供給する検査前ディスク取扱い手段
５３と、検査手段５１にて凸欠陥５が検出されなかった
ディスク１ｂのみを検査手段５１から磁気転写手段５２
に供給する転写前ディスク取扱い手段５４と、磁気転写
手段５２にて磁気転写されたディスクを取り出し処理す
る転写後ディスク取扱い手段５５とを備えたもので足り
る。これにより、簡単かつ安価な装置にて自動的に確実
に遂行することができる。

【００５２】本実施の形態では、また、検査手段５１で
凸欠陥５が検出されたディスク１ｃを、良品のディスク
１ｂと区別して処理する不良品取扱い手段５６を備えて
いる。これにより、不良なディスク１ｃを不良品取り扱
い手段５６が磁気転写に供される良品のディスク１ｂと
区別するように自動的に取り扱うことができ、良品の取
り扱いに混乱を来したり不良品が混入するようなことを
確実に防止することができる。

【００５３】さらに、ディスク１は多数をカセット４２
に収納して取扱い、このカセット４２をディスク供給・
収納位置４３に順次搬入しながらディスク１の１つずつ
の取り出し、収納に供し、収納したディスク１全てが取
り出されて検査され凸欠陥５が検出されずに磁気転写を
受けたディスク１ｂが戻され収納し終わる都度、そのカ
セット４２をディスク供給・収納位置４３から搬出する
とともに次のカセット４２を搬入するカセット取扱い手
段６１と、ディスク供給・収納位置４３に搬入されたカ
セット４２に収納されている各ディスク１を１つずつ順
次に取り出して検査前ディスク取扱い手段５３に供給
し、また、転写後ディスク取扱い手段５５からの磁気転
写後のディスク１ｂを１つずつ収納するディスク供給・
収納手段６２とを備え、カセット４２を利用してディス
ク１を供給し前記検査および良品のディスク１ｂについ
ての磁気転写を行ない、転写後のディスク１ｂを戻して
カセット４２に収納し取り扱う一連の作業を自動的に能
率よく安定して行なうことができる。

【００５４】本実施の形態の磁気転写装置につき具体的
に説明すると、使用するカセット４２は多数のディスク
１を上方から縦向きに出し入れするように収納するもの
であり、磁気転写装置全体において検査手段５１が図２
に示すようにディスク１を水平にして取扱う以外はディ
スク１を縦向きにして用いる。これにより、ディスク１
を水平にして取扱う場合よりも装置の平面スペースを小
さく抑えられる。

【００５５】上記した図４に示す磁気転写手段５２で
は、転写前ディスク取扱い手段５４により供給されるデ
ィスク１ｂを吸着ノズル７１により縦向きに吸着保持
し、この吸着保持したディスク１ｂにマスタ３１を吸着
ノズル７２により吸着保持して離接機構７３により圧着
させて、ディスク１ｂおよびマスタ３１を回転させるこ
とにより、離接機構７３側にある固定磁石７４で走査し
てマスタ３１が担持している磁気パターンをディスク１
ｂに磁気転写する。磁気転写はディスク１ｂおよびマス
タ３１を停止状態に置いて固定磁石７４の側を旋回させ
ても行なえる。磁気転写は既に公知であるのでその詳細
な説明は省略する。

【００５６】図１、図５に示すように、カセット取扱い
手段６１は基台６０上のクリーンボックス４１前面にお
ける左側に搬入端６１ａと搬出端６１ｂとを持った搬送
コンベアよりなり、搬入端６１ａからクリーンボックス
４１内後方へ延びる第１コンベア６１−１、第１コンベ
ア６１−１からターンコンベア６１−２を介しクリーン
ボックス４１内後方を右方向に延びる第２コンベア６１
−３、第２コンベア６１−３から受け取ったカセット４
２をディスク供給・収納位置４３の側方にまで搬送する
ことを繰り返す往復コンベア６１−４、往復コンベア６
１―４によりディスク供給・収納位置４３の側方に送ら
れたカセット４２をディスク供給・収納位置４３に搬入
してディスク１の供給・収納に供した後、搬出する供給
・収納コンベア６１−５、供給・収納コンベア６１−５
から搬出されるカセット４２をクリーンボックス４１内
の左方に搬送する第３コンベア６１−６、第３コンベア
６１−６からターンコンベア６１−７を介し搬出端６１
ｂに延びる第４コンベア６１−８を有し、カセット４２
を順次に搬送して、供給・収納コンベア６１−５に１つ
のカセット４２を搬入する都度、そのカセット４２内の
ディスク１を供給し終わり、転写後のディスク１ｂが戻
され収納し終わるまで待機する。

【００５７】ディスク供給・収納手段６２はディスク１
を吸着保持して取扱うノズル７５を有している。ノズル
７５は図示しない機構により駆動されて、カセット取扱
い手段６１がディスク供給・収納位置４３の供給・収納
コンベア６１−５に搬入カセット４２を搬入しているカ
セット４２内のディスク１につき、それが順次に下方か
ら突き上げられるのに対応して、その突き上げられるデ
ィスク１を吸着保持することによりピックアップして供
給位置に持ち運んで検査前ディスク取扱い手段５３に渡
し、転写後ディスク取扱い手段５５から受け取った磁気
転写後のディスク１ｂを前記カセット４２に戻して収納
することを繰り返す。

【００５８】ここで、ディスク供給・収納手段６２の前
記供給位置と受け取り位置とは同じ位置である。一方、
ディスク１の供給から収納までの各取扱い手段は実際は
どのように統合し分離されてもよく、本実施の形態では
特に、ディスク供給・収納手段６２、検査前ディスク取
扱い手段５３、転写前ディスク取扱い手段５４、転写後
ディスク取扱い手段５５、および不良品取扱い手段５６
の相互におけるディスク１、１ｂのディスク受け渡し
に、ディスク１、１ｂを吸着保持するノズル７６が仲介
旋回ステージ７７の４つの割り出し位置に設けられた仲
介ディスク取扱い手段７８を介して行なうようにしてあ
る。また、転写前ディスク取扱い手段５４および転写後
ディスク取扱い手段５５とは、転写前後旋回ステージ７
９の２つの割り出し位置に対応した２つのノズル８１、
８２として設けた転写前後ディスク取扱い手段８０とし
て統合してあり、各ノズル８１、８２は互いに転写前デ
ィスク１ｂの取扱いと転写後ディスク１ｂの取扱いとに
共用されるようにしてある。

【００５９】仲介ディスク取扱い手段７８のノズル７６
が位置する４つの位置は、ディスク供給・収納手段６２
の供給、受け取り位置、検査手段５１への供給位置、不
良品取扱い手段５６への供給位置、転写前ディスク取扱
い手段５４および転写後ディスク取扱い手段５５との共
通した供給、受け取り位置のそれぞれに対応している。
これにより、仲介ディスク取扱い手段７８の１つのノズ
ル７６は、まずディスク供給・収納手段６２のノズル７
５から受け取り吸着保持したディスク１を検査前ディス
ク取扱い手段５３に供給する。

【００６０】検査前ディスク取扱い手段５３は向き変換
機構５３ａと、移載機構５３ｂとで構成され、向き変換
機構５３ａは仲介ディスク取扱い手段７８のノズル７６
から縦向きに受け取ったディスク１を水平な向きに変換
し、移載機構５３ｂに供給する。移載機構５３ｂは水平
な向きで受け取ったディスク１を検査手段５１が持って
いる検査ステージ８５上に移載し検査に供する。

【００６１】検査手段５１は検査ステージ８５にディス
ク１が移載される都度、検査ステージ８５を検査装置５
０による検査位置に位置決めする。この位置決めはＸ方
向アクチュエータ８６、Ｙ方向アクチュエータ８７によ
り行なう。位置決めが終了すると検査装置５０が働きデ
ィスク１の検査面１ａにおける半径域を吸う分割した例
えば３箇所につきＹ方向に位置を変えながら１周分ずつ
検査を行なう。

【００６２】検査後のディスク１は移載機構５３ｂ、向
き変換機構５３ａを介してノズル７６の位置に縦向きに
戻されて、ノズル７６がこれを再度吸着保持し、次のノ
ズル７６が次のディスク１を吸着保持して先のノズル７
６は次の不良品取扱い手段５６への供給位置に位置す
る。

【００６３】ここで、先のノズル７６が吸着保持したデ
ィスク１が良品のディスク１ｂであるときは、検査手段
５１での検査信号によって制御部８８の指令により不良
品取扱い手段５６が働かず、そのまま待機する。反対に
それが不良品であると不良品取扱い手段５６が働かされ
て、先のノズル７６が吸着保持している不良なディスク
１ｃを受け取り処理する。不良品取扱い手段５６は、タ
ーンテーブル９１に２つのカセット４２を受載して収納
位置と着脱位置とに切り替え位置させる切り替え機構５
６ａと、ノズル７６が保持する不良と判定されたディス
ク１ｃをノズル９２により受け取り吸着保持し、収納位
置にあるカセット４２に１枚ずつ収納する不良品収納機
構５６ｂとで構成され、収納位置のカセット４２が満杯
になる都度着脱位置にある空のカセット４２と位置を切
り替え、満杯になったカセット４２は着脱位置にて空の
ものと交換して次に備える。これにより、不良品のディ
スク１ｃは所定量になる都度一括で持ち運び、清潔化処
理にて再生したり廃棄処理したりすることができる。

【００６４】さらに次のディスク１が検査前ディスク取
扱い手段５３に供給する動作に併せ、先のノズル７６が
転写前後ディスク取扱い手段８０への授受位置に移動し
たとき、それが良品のディスク１ｂを保持しているとき
は前記制御部８８からの指令によって転写前後ディスク
取扱い手段８０が働かされて、対向しているノズル８
１、８２のいずれかによってそのディスク１ｂを受け取
って吸着保持し、磁気転写に供する。

【００６５】磁気転写手段５２は、ノズル７２を持ち順
次供給される磁気転写を繰り返し行なう前記離接機構７
３に加え、転写前後ディスク取扱い手段８０によって供
給される良品のディスク１ｂを位置検出手段９３による
位置検出、初期設定手段９４による磁気ノイズを除去す
る初期設定に順次供した後に離接機構７３による磁気転
写に供し、磁気転写後のディスク１ｂを転写前後ディス
ク取扱い手段８０に戻す転写補助動作を行なう転写補助
手段９５を備えている。

【００６６】転写補助手段９５は前記の転写補助動作の
ために、回転ステージ９７の４つの割り出し位置に対応
してノズル９６が設けられ、各ノズル９６により転写前
後ディスク取扱い手段８０から順次に供給される良品の
ディスク１ｂを吸着保持して、位置検出手段９３、初期
設定手段９４、離接機構７３の各位置に順次持ち運ん
で、位置検出、初期設定、磁気転写に順次に供し、磁気
転写後のディスク１ｂを転写前後ディスク取扱い手段８
０に戻す。

【００６７】転写前後ディスク取扱い手段８０は、転写
補助手段９５によって戻され供給された磁気転写後のデ
ィスク１ｂをディスク１ｂをノズル８１、８２の対応す
るものによって吸着保持し、仲介ディスク取扱い手段７
８に供給する。仲介ディスク取扱い手段７８は供給され
た磁気転写後のディスク１ｂを対応するノズル７６によ
り吸着保持してディスク供給・収納手段６２に戻す。

【００６８】ディスク供給・収納手段６２は仲介ディス
ク取扱い手段７８から戻され供給された磁気転写後のデ
ィスク１ｂをノズル７５により吸着保持してカセット４
２の例えば元の位置に戻して収納する。

【００６９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の検査方法と装置によれば、検査面上のあらゆる凸から
の後方散乱光のみを確実に受光して、それを凸欠陥とし
て検出し、微細な凹があり、あるいはあり得る検査面で
あっても、凹による乱反射光を検出することがなく、付
着異物や傷などによるあらゆる凸を欠陥として高精度に
検出することができる。しかも、照射光軸と受光光軸と
を検査面に対して所定の角度範囲に設定すれば足りる
し、照明光はコヒーレント光など特殊なものでなくて十
分であり安価に実現する。

【００７０】また、本発明の磁気転写方法および装置に
よれば、磁気転写に供される直前のディスクにそれまで
の取り扱い中に発生したり付着したりする凸欠陥があっ
ても、それを検出して凸欠陥のあるディスクを磁気転写
作業から除外することができるし、凸欠陥のないディス
クにつき検査に続いて、新たな凸欠陥が発生したり付着
したりする機会や確率少なく、磁気転写を行なって、デ
ィスクと接面して磁気転写を行なうマスタの転写面がデ
ィスク上の凸欠陥によりダメージを受けて高価なマスク
が早期に寿命に達するようなことを防止することができ
る。また、凸欠陥により磁気転写不良のある製品が発生
することも防止して製品の歩留まりを高めることができ
る。

【００７１】また、必要な時期にマスタを清潔化して異
物が付着したり凸欠陥が発生する機会や確率少なく磁気
転写に用いることができ、マスタ自体に付着する異物に
より転写面にダメージが生じたりディスクへの転写に不
良を来したりするようなことを防止することができる。

【００７２】さらに、ディスクをカセットに収納した単
位で大量に取り扱うのに、ディスクを取り出して凸欠陥
の検査に供した後、凸欠陥のないディスクはカセットに
戻さず直接に磁気転写してから、元のカセットに戻し収
納するようにして、凸欠陥のない検査後のディスクを磁
気転写に供するのに、カセットに出し入れしない分凸欠
陥の発生や付着の機会をさらに少なくして、マスタの凸
欠陥によるダメージの発生や磁気転写不良の発生をさら
に抑えることができる。

【００７３】また、検査工程に上記の検査方法および装
置を適用することにより、ディスクに微細な凹があり、
あるいはあり得るものであっても、直ちに欠陥とならな
い凹を欠陥として検出してしまいディスクの歩留まりが
低下するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る磁気転写装置の全体
構成を示す平面図である。

【図２】図１の装置の検査装置を示す斜視図である。

【図３】図２の検査装置での照明による場合の凸から発
生する散乱光の状態を示す説明図である。

【図４】図１の装置の磁気転写手段の主要部を示す断面
図である。

【図５】図１の装置の全体構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１、１ｂ、１ｃ ディスク １ａ 検査面 ２ 第１の光軸（照明光軸） ３ 照明光 ３ａ 後方散乱光 ４ 第２の光軸（受光光軸） ５ 凸欠陥 １１ 照明系 １２ 受光部 １２ａ 光電面 １３ 凸欠陥検出光学系 １４ 判定部 ３１ マスタ ３１ａ 転写面 ４１ クリーンボックス ４２ カセット ４３ ディスク供給・収納位置 ５１ 検査手段 ５２ 磁気転写手段 ５３ 検査前ディスク取扱い手段 ５４ 転写前ディスク取扱い手段 ５５ 転写後ディスク取扱い手段 ５６ 不良品取扱い手段 ６１ カセット取扱い手段 ６２ ディスク供給・収納手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜田 泰三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松田 信英 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 蜂谷 修二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA71 AB02 BA10 BA20 BB01 CA03 CB05 DA05 DA08 DA13 5D112 AA24 JJ03

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象の微小な凹部を持ち、あるいは
   持つことのある検査面に対してほぼ平行、または小さな
   角をなした第１の光軸上で検査面に照明光を照射し、検
   査面とのなす角が鋭角となる第２の光軸上で検査面上の
   凸欠陥により生じる前記照明光の後方散乱光を凸欠陥と
   して検出することを特徴とする凸欠陥検査方法。
2. 【請求項２】 検査対象はマスタから磁気転写を受ける
   ディスクである請求項１に記載の凸欠陥検査方法。
3. 【請求項３】 検査対象の検査面に対してほぼ平行、ま
   たは小さな角をなす光軸を持つように配置され、前記検
   査対象の検査面に前記光軸上で照明光を照射する照明系
   と、検査面とのなす角が鋭角となる光軸を持つように配
   置され、この光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる後
   方散乱光を光電面上に受光する受光部を持った凸欠陥検
   出光学系と、受光部で得られた電気信号から凸欠陥を判
   定する判定部と、を備えたことを特徴とする凸欠陥検査
   装置。
4. 【請求項４】 ディスクのマスタからの磁気転写を受け
   る面上の凸欠陥を検出する検査工程と、検査工程にて凸
   欠陥が検出されなかったディスクにつき、検査に続いて
   マスタを接面させて磁気転写を行う磁気転写工程と、を
   備えたことを特徴とする磁気転写方法。
5. 【請求項５】 マスタの少なくとも磁気転写面を清潔に
   する清潔化工程と、ディスクのマスタからの磁気転写を
   受ける面上の凸欠陥を検出する検査工程と、検査工程に
   て凸欠陥が検出されなかったディスクにつき、清潔化工
   程により清潔にされたマスタを接面させて磁気転写を行
   う磁気転写工程と、を備えたことを特徴とする磁気転写
   方法。
6. 【請求項６】 各工程は１つのクリーンボックス内で行
   なう請求項４、５のいずれか１項に記載の磁気転写方
   法。
7. 【請求項７】 ディスクを多数収容したカセットを順次
   にディスク供給・収納位置に搬入し、検査工程にてディ
   スク供給・収納位置に供給されている１つのカセットに
   つきそれに収容されている各ディスクを１つずつ取り出
   して順次に凸欠陥の検出を行って後、凸欠陥が検出され
   ないディスクについて検査工程に続いて順次に磁気転写
   工程に移ってマスタからの磁気転写を行ない、磁気転写
   後のディスクを前記ディスク供給・収納位置のカセット
   に順次戻して収納し、戻し終えたカセットはディスク供
   給・収納位置から搬出し次のカセットをディスク供給・
   収納位置に搬入することを繰り返す請求項４〜６のいず
   れか１項に記載の磁気転写方法。
8. 【請求項８】 検査工程にて凸欠陥が検出されたディス
   クは不良品として磁気転写工程に移行するディスクと区
   別して処理する請求項７に記載の磁気転写方法。
9. 【請求項９】 検査工程は、ディスクの検査面に対して
   ほぼ平行、または小さな角をなした第１の光軸上で検査
   面に照明光を照射し、検査面とのなす角が鋭角となる第
   ２の光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる前記照明光
   の後方散乱光を凸欠陥として検出する請求項４〜８のい
   ずれか１項に記載の磁気転写方法。
10. 【請求項１０】 ディスクのマスタからの磁気転写を受
    ける面上の凸欠陥を検出する検査手段と、ディスクにマ
    スタによって磁気転写する磁気転写手段と、ディスクを
    検査手段に供給する検査前ディスク取扱い手段と、検査
    手段にて凸欠陥が検出されなかったディスクのみを検査
    手段から磁気転写手段に供給する転写前ディスク取扱い
    手段と、磁気転写手段での磁気転写後のディスクを取り
    出し処理をする転写後ディスク取扱い手段と、を備えた
    ことを特徴とする磁気転写装置。
11. 【請求項１１】 検査手段で凸欠陥が検出されたディス
    クを、良品と区別して処理する不良品取扱い手段を備え
    た請求項１０に記載の磁気転写装置。
12. 【請求項１２】 ディスクを多数収容したカセットをデ
    ィスク供給・収納位置に順次搬入しながら１つずつディ
    スクの取り出し収納に供し、収納したディスク全てが取
    り出されて検査され凸欠陥が検出されずに磁気転写を受
    けたディスクが戻され収納し終わる都度、そのカセット
    をディスク供給・収納位置から搬出するとともに次のカ
    セットを搬入するカセット取扱い手段と、ディスク供給
    ・収納位置に搬入されているカセットに収容されている
    ディスクを１枚ずつ取り出して検査前ディスク取扱い手
    段に供給し、転写後ディスク取扱い手段からの磁気転写
    後のディスクをディスク供給・収納位置に搬入されてい
    るカセットに戻し収納するディスク供給・収納手段とを
    備えた請求項１０、１１のいずれか１項に記載の磁気転
    写装置。
13. 【請求項１３】 検査手段は、検査対象の検査面に対し
    てほぼ平行、または小さな角をなす光軸を持つように配
    置され、前記検査対象の検査面に前記光軸上で照明光を
    照射する照明系と、検査面とのなす角が鋭角となる光軸
    を持つように配置され、この光軸上で検査面上の凸欠陥
    により生じる後方散乱光を光電面上に受光する受光部を
    持った凸欠陥検出光学系と、受光部で得られた電気信号
    から凸欠陥を判定する判定部と、を備えている請求項１
    ０〜１２のいずれか１項に記載の磁気転写装置。
14. 【請求項１４】 各手段はクリーンボックス内に設置さ
    れている請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の磁気
    転写装置。