JP2006125096A - アジャスタボルト及びアジャスタボルトの固定具 - Google Patents

アジャスタボルト及びアジャスタボルトの固定具 Download PDF

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Abstract

【課題】 高価な固定用金具を使用しなくても、製造装置をグレーチング上に固定することができるようにしたアジャスタボルト及び、アジャスタボルトの固定具を提供する。
【解決手段】 グレーチング上で製造装置を支持して当該製造装置の該グレーチング表面からの高さを調整するアジャスタボルト100であって、グレーチング上に配置される台座10と、上端部にネジ溝を有し、下端部は台座に嵌合するネジ棒20とを有し、台座10にはその上面から下面に至る複数の貫通穴16が設けられている。台座10に設けられた貫通穴16とグレーチングの貫通穴とを平面視で重ね合わせ、この重ね合わせた2つの貫通穴に台座10の上方からボルトを通し、グレーチングの裏から出てきたボルトにナットを嵌めて締め付けることで、台座10をグレーチングにネジ止めすることができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、アジャスタボルト及びアジャスタボルトの固定具に関し、特に、クリーンルームの床面を構成するグレーチングに製造装置を固定する技術に関する。
LSIやTFT等の電子デバイスは、空気中の塵や微粒子を極力排除したクリーンルーム内で製造される。このようなクリーンルームは、その天井と床面とが共に空気を流通できる構造となっており、フィルタを通した清浄なエアが天井から床面方向に供給される構造(即ち、ダウンフロー構造)となっている。また、空気流通用の貫通穴を多数備えたクリーンルームの床面はグレーチングと呼ばれている(例えば、特許文献1,2参照。)。このようなグレーチング上に、電子デバイスを製造するための装置(以下、「製造装置」という。)が配置される。
ところで、製造装置をグレーチングに固定せずただ置いたままにしておくと、大きな揺れを伴う地震等が発生した場合には、製造装置が倒れてしまう可能性があり、製造装置の近くで作業する者にとって危険である。また、CVD装置やエッチング装置等の製造装置には、人体に対して極めて有毒なガスや薬液、引火性ガス等を供給するための配管が多数取り付けられているが、製造装置が転倒してしまうと、配管が壊れてこれらが外へ漏れてしまう危険性もある。そこで、このような危険性を無くすために、製造装置をグレーチングに固定する必要があった。
図10は、従来行っていた、製造装置90のグレーチング99への固定方法を示す概念図である。図10において、90は製造装置、91は製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト、93はアジャスタボルトのネジ棒に取り付けられた固定用金具、95はボルト、97はナットである。また、99はグレーチングである。アジャスタボルト91は、製造装置90の高さを調整したり、水平にしたりするための調整具である。このアジャスタボルト91は、通常、1台の製造装置90に4個以上取り付けられている。また、固定用金具93の一端はアジャスタボルト91のネジ棒に固定することが可能となっており、その他端には貫通穴が形成されている。
グレーチング99に対する製造装置90の固定方法は以下の通りである。まず始めに、少なくともアジャスタボルト91の個数だけ、固定用金具93を用意する。次に、全てのアジャスタボルト91のネジ棒に、固定用金具93の一端をそれぞれ取り付ける。次に、固定用金具93の他端にある貫通穴をグレーチング99の貫通穴に重ね合わせる。また、固定用金具93の貫通穴とグレーチング99の貫通穴とがうまく重なりあわない場合には、ドリルを用いてグレーチング99に貫通穴を形成することもある。
そして、作業者は、固定用金具93側から、固定用金具93の貫通穴とグレーチング99の貫通穴とにボルト95を差し込み、グレーチング99の裏側に出てきたボルト95にナット97をはめて締め付ける。このようにして、固定用金具93の他端をグレーチング99に固定する。
特開平09−302894号公報 特開2001−164687号公報
図10に示した従来の固定方法では、少なくともアジャスタボルト91の個数だけ、固定用金具93を用意する必要があった。グレーチング99に固定する製造装置90が1台だけならば、固定用金具93の個数は数個から多くても十数個で足りる。しかしながら、クリーンルーム内には多数の製造装置90が配置されており、大規模な揺れを伴う地震によって倒れる可能性のある製造装置90も少なくない。
従って、このような倒れる可能性のある製造装置90の全てをグレーチング99に固定する場合には、使用する固定用金具93の個数は膨大な数となってしまう。ここで、固定用金具93は高価であり、このような固定用金具93を数多く必要とする従来の方法では、地震対策に多くの費用がかかってしまうという問題があった。
そこで、この発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、高価な固定用金具を使用しなくても、製造装置をグレーチングに固定することができるようにしたアジャスタボルト及び、アジャスタボルトの固定具の提供を目的とする。
〔発明1〕 上記目的を達成するために、発明1のアジャスタボルトは、グレーチング上で被支持体を支持して当該被支持体の該グレーチング表面からの高さを調整するアジャスタボルトであって、前記グレーチング上に配置される台座と、上端部にネジ溝を有し、下端部は前記台座に嵌合するネジ棒と、を有し、前記台座にはその上面から下面に至る複数の貫通穴が設けられていることを特徴とするものである。ここで、被支持体としては、例えば電子デバイスを製造するための装置(以下、「製造装置」という。)が挙げられる。
発明1のアジャスタボルトによれば、台座に設けられた貫通穴とグレーチングの貫通穴とを平面視で重ね合わせ、この重ね合わせた2つの貫通穴に台座の上方からボルトを通し、グレーチングの裏から出てきたボルトにナットを嵌めて締め付けることで、台座をグレーチングにネジ止めすることができる。従って、従来例のように、高価な固定用金具を用いなくても被支持体をグレーチング上に固定することができる。
〔発明2〕 発明2のアジャスタボルトは、発明1のアジャスタボルトにおいて、前記台座は、前記ネジ棒の前記上端部に嵌合して固定される固定部と、前記固定部の外周面に掛合される掛合部とを備え、前記掛合部に前記複数の貫通穴が設けられていることを特徴とするものである。
このような構成であれば、掛合部に設けられた貫通穴とグレーチングの貫通穴とを平面視で重ね合わせ、この重ね合わせた2つの貫通穴にボルトを通し、グレーチングの裏から出てきたボルトにナットを嵌めて締め付けることで、掛合部をグレーチングにネジ止めすることができ、この掛合部が掛合する固定部をグレーチングに繋ぎ止めておくことができる。従って、従来例のように、固定用金具を用いなくても被支持体をグレーチング上に固定することができる。
〔発明3〕 発明3のアジャスタボルトは、発明2のアジャスタボルトにおいて、前記掛合部は、前記固定部を中心に回転可能であることを特徴とするものである。
このような構成であれば、ネジ棒を回転させなくても、掛合部に設けられた複数の貫通穴を固定部を中心に回転移動させることができるので、掛合部の貫通穴をグレーチングの貫通穴に位置合わせすることが容易である。
〔発明4〕 発明4のアジャスタボルトは、発明3のアジャスタボルトにおいて、前記固定部の外周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視での形状が順テーパであり、前記掛合部の内周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視での形状が逆テーパであり、前記固定部の外周面と前記掛合部の内周面は、前記台座を前記グレーチング上に載置した状態で互いに向かい合うことを特徴とするものである。ここで、「順テーパ」とは、上向き(即ち、円錐状)のテーパのことである。また、「逆テーパ」とは、下向き(即ち、逆円錐状)のテーパのことである。
発明4のアジャスタボルトによれば、掛合部を固定部を中心に回転可能とした状態で、この掛合部を固定部に容易に掛合させることができる。
〔発明5,6,7〕
発明5のアジャスタボルトは、発明1から発明4の何れか一のアジャスタボルトにおいて、前記複数の貫通穴は、平面視で格子上の各交点位置に配置されていることを特徴とするものである。
発明6のアジャスタボルトは、発明2から発明4の何れか一のアジャスタボルトにおいて、前記複数の貫通穴は、前記固定部を中心に平面視で放射線上に沿った位置に配置されていることを特徴とするものである。
発明7のアジャスタボルトは、発明2から発明4の何れか一のアジャスタボルトにおいて、前記複数の貫通穴は、前記固定部を中心に平面視で螺旋上に沿った位置に配置されていることを特徴とするものである。
発明5,6,7のアジャスタボルトによれば、台座(又は、掛合部)の貫通穴同士で、回転中心から貫通穴までの距離がそれぞれ異なるので、台座(又は、掛合部)の貫通穴とグレーチングの貫通穴との位置合わせが容易である。
〔発明8〕 発明8のアジャスタボルトの固定具は、グレーチング上で被支持体を支持して当該支持体の該グレーチング表面からの高さを調整するアジャスタボルトの固定具であって、当該固定具にはその上面から下面に至る複数の貫通穴が設けられており、前記台座の外周面に掛合されることを特徴とするものである。
このような構成であれば、固定具に設けられた貫通穴とグレーチングの貫通穴とを平面視で重ね合わせ、この重ね合わせた2つの貫通穴にボルトを通し、グレーチングの裏から出てきたボルトにナットを嵌めて締め付けることで、台座をグレーチングにネジ止めすることができる。従って、従来例のように、高価な固定用金具を用いなくても被支持体をグレーチング上に固定することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係るアジャスタボルト及びアジャスタボルトの固定具について説明する。
(1)第1実施形態
図1(A)及び(B)は、本発明の第1実施形態に係るアジャスタボルト100の構成例を示す平面図と、A−A´矢視断面図である。このアジャスタボルト100は、電子デバイスを製造するための装置(製造装置)をグレーチング上で支持して固定すると共に、この製造装置の底面からグレーチング表面までの高さを調整するためのものである。
図1(A)に示すように、このアジャスタボルト100は、台座10と、ネジ棒20とを有する。台座10には、その上面から下面に至る複数の貫通穴16が設けられている。図1(A)に示すように、これらの貫通穴16は、平面視で格子上の各交点位置に配置(以下、「格子状に配置」という。)されている。また、図1(B)に示すように、このネジ棒20の下端部は台座10の平面視での中心部分に嵌合して固定されており、ネジ棒20の上端部には図示しないネジ溝が形成されている。
製造装置の底面には、ネジ穴が形成されている。ネジ棒20のネジ溝が形成された方の端部をこのネジ穴にネジ嵌めし、回転させることによって、製造装置の底面から延び出るネジ棒の長さを調整することが可能である。
次に、このアジャスタボルト100を用いて、製造装置をグレーチングに固定する方法について説明する。まず始めに、製造装置の底面にあるネジ穴に、ネジ棒20のネジ溝が形成された方の端部をネジ嵌めする。例えば、製造装置の底面の四隅にそれぞれネジ穴が形成されている場合には、4個のアジャスタボルト100を用意する。そして、製造装置の底面をジャッキ等を用いてグレーチング上から持ち上げた状態で、これらのアジャスタボルト100を上記ネジ穴にそれぞれネジ嵌めする。そして、各々のアジャスタボルト100のネジ棒20を適宜回転させて、製造装置の底面からグレーチング表面までの高さを調整したり、製造装置を水平にしたりする。
図2は、台座10の貫通穴16と、グレーチング50の貫通穴52との重ね合わせの一例を示す平面図である。次に、図2に示すように、台座10に形成されている貫通穴16を平面視でグレーチング50の貫通穴52に重ね合わせる。
ここで、グレーチング50の貫通穴52の平面視での形状は、一方向に細長い形状のものが多い。このため、平面視で重なり合う台座10の貫通穴16と、グレーチング50の貫通穴52とにボルトを差し込みナットで固定しても、このボルトはグレーチング50の貫通穴52の長手方向に対しては固定されていないので、台座10とグレーチング50との固定が必ずしも十分ではない可能性がある。
そこで、図2の実線矢印で示すように、理想的には、台座10の一の貫通穴16とグレーチング50の一の貫通穴52の下側部分とを重ね合わせ、かつ台座10の他の貫通穴16とグレーチング50の他の貫通穴52の上側部分とを重ね合わせる。また、このような理想的な重ね合わせができない場合には、台座10の貫通穴16と平面視で重なる位置のグレーチング50にドリル等を用いて貫通穴を形成しても良い。
次に、例えばジャッキを降ろして、図3に示すように、アジャスタボルト100の台座10をグレーチング50上に接触させる。そして、台座10側から、この台座10の貫通穴とグレーチング50の貫通穴とにボルト72を差し込む。さらに、グレーチング50の裏側に出てきたボルト72の足にナット74を嵌めて締め付ける。このようにして、台座10をグレーチング50にネジ止めする。製造装置60の四隅にそれぞれネジ嵌めされた4つのアジャスタボルト100の台座10全てを、上記の手順でグレーチング50にネジ止めすることによって、製造装置60をグレーチング50上に固定することができる。
このように、本発明の第1実施形態に係るアジャスタボルト100によれば、台座10に設けられた貫通穴16とグレーチング50の貫通穴52とを平面視で重ね合わせ、この重ね合わせた2つの貫通穴16,52に台座10の上方からボルト72を通し、グレーチング50の裏から出てきたボルト72にナット74を嵌めて締め付けることで、台座10をグレーチング50にネジ止めすることができる。従って、従来例のように、高価な固定用金具を用いなくても、製造装置60をグレーチング50に固定することができる。
この第1実施形態では、製造装置60が本発明の「被支持体」に対応している。
(2)第2実施形態
第1実施形態では、台座10はネジ棒20に固定されており、このネジ棒20を中心に台座10を回転させることによって、台座10の貫通穴16をグレーチング50の貫通穴52に位置合わせしていた。
しかしながら、第1実施形態では、この位置合わせによってネジ棒20が回転してしまうので、製造装置60の高さ調整や、水平出しに若干の狂いを生じさせてしまう可能性がある。この第2実施形態では、このような可能性をなくすことができるアジャスタボルトについて説明する。
図4(A)及び(B)は、本発明の第2実施形態に係るアジャスタボルト200の構成例を示す平面図と、B−B´矢視断面図である。図4において、図1と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図4(A)及び(B)に示すように、このアジャスタボルト200の台座10は、ネジ棒20に嵌合して固定される固定部12と、この固定部12の外周面に掛合される掛合部14とから構成されている。固定部12の外周面は、平面視での形状が円形であり、かつその断面視での形状は順テーパである。また、掛合部14の内周面は、平面視での形状が円形であり、かつその断面視での形状は逆テーパである。ここで、順テーパとは上向き(即ち、円錐状)のテーパのことであり、逆テーパとは下向き(即ち、逆円錐状)のテーパのことである。
図4(B)に示すように、このアジャスタボルト200では、台座10をグレーチング50上に載置した状態で、固定部12の外周面と掛合部14の内周面とが向かい合うようになっている。また、図4(A)に示すように、上記複数の貫通穴16は、掛合部14の上面から下面にかけて形成されている。
このアジャスタボルト200を用いて、製造装置60(図3参照。)をグレーチング50に固定する際には、まず始めに、製造装置60の底面をジャッキ等を用いてグレーチング50(図3参照。)上から持ち上げる。次に、製造装置60の底面の例えば四隅にアジャスタボルト200をそれぞれネジ嵌めする。そして、各々のアジャスタボルト100のネジ棒20を適宜回転させて、製造装置60のグレーチング50表面からの高さを調整したり、製造装置60を水平にしたりする。
次に、上記高さ調整等を行った後でジャッキを降ろし、アジャスタボルトの台座10の下面をグレーチング50上に接触させる。そして、固定部12を中心に掛合部14を回転させて、この掛合部14の貫通穴16とグレーチング50の貫通穴52(図2参照。)とを平面視で重ね合わせる。次に、この重ね合わせた2つの貫通穴16,52にボルト72(図3参照。)を通し、グレーチング50の裏から出てきたボルト72にナット74(図3参照。)を嵌めて締め付ける。これにより、掛合部14をグレーチング50にネジ止めすることができ、この掛合部14が掛合する固定部12をグレーチング50に繋ぎ止めておくことができる。
このように、本発明の第2実施形態に係るアジャスタボルト200によれば、第1実施形態と同様に、従来例のように、固定用金具を用いなくても被支持体をグレーチング50上に固定することができる。
また、このアジャスタボルト200では、ネジ棒20を回転させなくても、掛合部14に設けられた複数の貫通穴16を固定部12を中心に回転移動させることができるので、掛合部14の貫通穴16をグレーチング50の貫通穴52に位置合わせすることが容易である。この第2実施形態では、第1実施形態と同様に、製造装置60が本発明の「被支持体」に対応している。
(3)第3実施形態
図5は、本発明の第3実施形態に係るアジャスタボルト300の構成例を示す概念図である。図5において、第2実施形態で説明したアジャスタボルト200と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図5に示すように、このアジャスタボルト300で、アジャスタボルト200と異なる部分は、固定部の外周面の形状と、掛合部の内周面の形状だけである。即ち、このアジャスタボルト300では、固定部12´の外周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視では段差を有する形状となっている。また、掛合部14´の内周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視では固定部の外周面に凹凸が対応した段差を有する形状となっている。
このような構成であれば、第2実施形態で説明したアジャスタボルト200と同様に、掛合部14´をグレーチング50(図3参照。)にネジ止めすることができ、この掛合部14´が掛合する固定部12´をグレーチング50に繋ぎ止めておくことができる。従って、従来例のように、固定用金具を用いなくても製造装置60(図3参照。)をグレーチング50上に固定することができる。
また、ネジ棒20を回転させなくても、掛合部14´に設けられた複数の貫通穴16を固定部12´を中心に回転移動させることができるので、掛合部14´の貫通穴16をグレーチング50の貫通穴52(図2参照。)に位置合わせすることが容易である。
なお、上記第1〜第3実施形態では、台座10、又は掛合部14,14´に形成された貫通穴16の平面視での配置が格子状である場合について説明したが、これらの貫通穴16の平面視での配置はこれに限られることはない。例えば、図6(A)に示すように、掛合部14に形成された複数の貫通穴16の平面視での配置形状は、固定部12を中心にした螺旋に沿った位置に配置されている形状(以下、「螺旋状」という。)であったり、又は図6(B)に示すように、固定部12を中心にした複数本の放射線上に沿った位置に配置されている形状(以下、「放射状」という。)であったりしても良い。
特に、貫通穴16の配置形状を螺旋状とする場合には、図7に示すように、1つの螺旋を構成する複数の貫通穴16の回転中心からの距離をそれぞれ異ならせることが好ましい。このような構成であれば、1つの螺旋を構成する複数の貫通穴16のそれぞれの軌跡の重複を防ぐことができるので、貫通穴16とグレーチング50の貫通穴52とが重なり合う確率を高めることができる。従って、貫通穴16とグレーチング50の貫通穴52との位置合わせがさらに容易となる。
(4)第4実施形態
図8は、本発明の第4実施形態に係る固定具30の構成例を示す断面図である。図8に示すアジャスタボルト80は、上端部にネジ溝を有するネジ棒20と、このネジ棒20の端部に嵌合して固定された台座82と、のみ有するものである。第1〜第3実施形態とは異なり、この台座82には、その上面から下面に至る貫通穴は形成されていない。この第4実施形態に係る固定具30は、このようなアジャスタボルト80の台座82の外周面に掛合して、このアジャスタボルト80をグレーチング上にネジ止めするためのものである。
図8に示すように、この固定具30は、アジャスタボルト80の上面と側面とを覆う空洞部31を内側に備えたカップ状の部材であり、このカップ状部材の平面視での中心部には、ネジ棒20を通すための貫通した開口部32が形成されている。また、この固定具30の台座82と重ならない部分には、その上面から下面に至る貫通穴16が複数形成されている。この貫通穴16の平面視での配置は、例えば格子状若しくは、開口部32を中心とする放射状又は螺旋状である。
図9は、アジャスタボルト80に対する固定具30の掛合例を示す図である。図9に示すように、この固定具30は、アジャスタボルト80を図示しない製造装置に取り付ける前に、固定具30の貫通した開口部32にアジャスタボルト80のネジ棒20を通して、この固定具30の内側の空洞部31にアジャスタボルト80の台座82を収容する。
次に、このアジャスタボルト80を製造装置の底面に取り付け、高さ調整等を行ってから、その台座82をグレーチング50上に配置する。そして、収容した台座82を中心に固定具30を回転させて、この固定具30の貫通穴16とグレーチング50の貫通穴52(図2参照。)とを平面視で重ね合わせる。次に、この重ね合わせた2つの貫通穴16、52にボルト72(図3参照。)を通し、グレーチング50の裏から出てきたボルト72にナット74(図3参照。)を嵌めて締め付ける。
このような構成であれば、固定具30をグレーチング50上にネジ止めすることができ、この固定具30が収納する台座82をグレーチング50に繋ぎ止めておくことが可能となり、床の振動を直接伝えることを嫌う製造装置に対して有効な固定ができる。従って、従来例のように、高価な固定用金具を用いなくても製造装置60(図3参照。)をグレーチング50上に固定することができる。
この第4実施形態では、第1実施形態と同様に、製造装置60が本発明の「被支持体」に対応している。
第1実施形態に係るアジャスタボルト100の構成例を示す図。 貫通穴16,52の重ね合わせの一例を示す図。 製造装置60をグレーチング50に固定する方法を示す図。 第2実施形態に係るアジャスタボルト200の構成例を示す図。 第3実施形態に係るアジャスタボルト300の構成例を示す図。 複数の貫通穴16の平面視での配置形状の例を示す図。 螺旋を構成する複数の貫通穴16の回転中心からの距離の違いを示す図。 第4実施形態に係る固定具30の構成例を示す図。 固定具30の掛合例を示す図。 従来例を示す図。
符号の説明
10,82 台座、12,12´ 固定部、14,14´ 掛合部、16 (台座、または掛合部の)貫通穴、20 ネジ棒、30 固定具、31 空洞部、32 開口部、50,99 グレーチング、52 (グレーチングの)貫通穴、60,90、 製造装置、72,95 ボルト、74,97 ナット、80,91,100,200,300 アジャスタボルト、93 固定用金具

Claims (8)

  1. グレーチング上で被支持体を支持して当該被支持体の該グレーチング表面からの高さを調整するアジャスタボルトであって、
    前記グレーチング上に配置される台座と、
    上端部にネジ溝を有し、下端部は前記台座に嵌合するネジ棒と、を有し、
    前記台座にはその上面から下面に至る複数の貫通穴が設けられていることを特徴とするアジャスタボルト。
  2. 前記台座は、
    前記ネジ棒の前記上端部に嵌合して固定される固定部と、
    前記固定部の外周面に掛合される掛合部とを備え、
    前記掛合部に前記複数の貫通穴が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアジャスタボルト。
  3. 前記掛合部は、前記固定部を中心に回転可能であることを特徴とする請求項2に記載のアジャスタボルト。
  4. 前記固定部の外周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視での形状が順テーパであり、
    前記掛合部の内周面は、平面視での形状が円形であり、かつ断面視での形状が逆テーパであり、
    前記固定部の外周面と前記掛合部の内周面は、前記台座を前記グレーチング上に載置した状態で互いに向かい合うことを特徴とする請求項3に記載のアジャスタボルト。
  5. 前記複数の貫通穴は、平面視で格子上の各交点位置に配置されていることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載のアジャスタボルト。
  6. 前記複数の貫通穴は、前記固定部を中心に平面視で放射線上に沿った位置に配置されていることを特徴とする請求項2から請求項4の何れか一項に記載のアジャスタボルト。
  7. 前記複数の貫通穴は、前記固定部を中心に平面視で螺旋上に沿った位置に配置されていることを特徴とする請求項2から請求項4の何れか一項に記載のアジャスタボルト。
  8. グレーチング上で被支持体を支持して当該支持体の該グレーチング表面からの高さを調整するアジャスタボルトの固定具であって、
    当該固定具にはその上面から下面に至る複数の貫通穴が設けられており、前記台座の外周面に掛合されることを特徴とするアジャスタボルトの固定具。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108407071A (zh) * 2018-03-30 2018-08-17 中铁十局集团第二工程有限公司 预制梁台座吊装孔伸缩装置

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