JP2006102664A - スピンコータ及びsog液の塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板の表面上に滴下したSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができるようにしたスピンコータ及びSOG液の塗布方法を提供する。
【解決手段】 ウエーハ1の表面上にSOG液を滴下すると共に、当該ウエーハ1を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させることによって、当該ウエーハ1の表面上に該SOG液を塗布するスピンコータ100であって、ウエーハ1の裏面を回転可能に支持する回転ステージ10と、回転ステージの上方に吐出口を有し、回転ステージによって支持されたウエーハ1の表面上にその吐出口からSOG液を滴下するコータノズル30と、回転ステージ10をその側方から囲むコータカップ20と、少なくともコータノズル30の吐出口からコータカップ20の内側にかけての空間に有機ガスを供給する有機ガス導入管42及びガス処理室40等を備えたものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 ウエーハ1の表面上にSOG液を滴下すると共に、当該ウエーハ1を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させることによって、当該ウエーハ1の表面上に該SOG液を塗布するスピンコータ100であって、ウエーハ1の裏面を回転可能に支持する回転ステージ10と、回転ステージの上方に吐出口を有し、回転ステージによって支持されたウエーハ1の表面上にその吐出口からSOG液を滴下するコータノズル30と、回転ステージ10をその側方から囲むコータカップ20と、少なくともコータノズル30の吐出口からコータカップ20の内側にかけての空間に有機ガスを供給する有機ガス導入管42及びガス処理室40等を備えたものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、スピンコータ及びSOG(spin on glass)液の塗布方法に関し、特に、ウエーハの表面上に滴下したSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができるようにしたSOG液の塗布技術に関する。
従来から、塗布材料の持つ自然な粘性や流動性を利用することによって、配線間の埋め込みや、広い範囲での平坦化などを可能にする層間絶縁膜の形成技術として、例えば配線が形成されたウエーハ上の全面にSOG液を塗布する方法が知られている(例えば、特許文献1〜3参照。)。このようなSOG液の塗布処理にはスピンコート方式の塗布装置(以下、「スピンコータ」ともいう。)が用いられる。例えば、特許文献1には、被処理物上に塗布液を塗布するためのスピンナーと、このスピンナーに吸着された被処理物に向けて温度を調整した気体を供給するガス噴出孔とを備えたスピンコータが開示されている。
特開平6−170310号公報
特開平5−226482号公報
特開2003−229422号公報
ところで、SOG液を室温、大気圧下に置いた場合には、その組成成分である有機成分が蒸発してしまう。このため、使用前のSOG液は、通常、密閉した容器に入れられた状態で冷却保存されている。
しかしながら、このSOG液をスピンコータにセットして使用するとき、即ち、SOG液をウエーハ上に滴下するときには、SOG液はその冷却保存状態を解かれてウエーハの表面上に滴下される。
しかしながら、このSOG液をスピンコータにセットして使用するとき、即ち、SOG液をウエーハ上に滴下するときには、SOG液はその冷却保存状態を解かれてウエーハの表面上に滴下される。
ここで、ウエーハの表面上に滴下されたSOG液の塗布処理は、基本的に、室温で大気圧下にあるコータカップ内で行われる。そのため、コータノズルから滴下されたSOG液は、その滴下直後からその有機成分を蒸発により徐々に失い、その粘性は時間が経過するにしたがって高い方向へ変動してしまうという問題があった。SOG液の塗布を終了する前にその粘性が高くなりすぎてしまうと、SOG液の塗布厚さが不均一となり、配線間の埋め込み性が低下してしまうおそれがあった。
また、スピンコータを用いたSOG液の塗布処理では、ウエーハの表面上に滴下されたSOG液には遠心力が働き、その多くがコータカップ内に飛散する。従って、コータカップ内に付着したSOG液は、短時間の間に有機成分を失い続けて、固形化してしまうという問題があった。このようにコータカップ内で固形化したSOGは、パーティクルの発生源となり易い。
そこで、この発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、基板の表面上に滴下したSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができるようにしたスピンコータ及びSOG液の塗布方法の提供を目的とする。
〔発明1〕 上記目的を達成するために、発明1のスピンコータは、基板の表面上にSOG液を滴下すると共に、当該基板を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させることによって、当該基板の表面上に該SOG液を塗布するスピンコータであって、前記基板の裏面を回転可能に支持する回転ステージと、前記回転ステージの上方に吐出口を有し、前記回転ステージによって支持された前記基板の表面上に前記吐出口から前記SOG液を滴下するノズルと、前記回転ステージをその側方から囲むカップと、少なくとも前記ノズルの前記吐出口から前記カップの内側にかけての空間に有機ガスを供給する有機ガス供給手段と、を備えたことを特徴とするものである。
ここで、有機ガスとしては、例えばSOG液と反応しないアルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘプタノールなどで、異性体も含む)のガスを用いる。
発明1のスピンコータによれば、少なくともノズルの吐出口からカップの内側にかけての空間を占めるガス雰囲気を、SOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に近づけることができる。従って、ノズルの吐出口からSOG液を滴下した後も、この滴下されたSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができる。これにより、SOG液を滴下した直後からその塗布を終了するまでの間、SOG液の粘性をほぼ一定状態に維持することができるので、その塗布厚さを均一にすることができ、配線間の埋め込み性の低下を防止することができる。
発明1のスピンコータによれば、少なくともノズルの吐出口からカップの内側にかけての空間を占めるガス雰囲気を、SOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に近づけることができる。従って、ノズルの吐出口からSOG液を滴下した後も、この滴下されたSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができる。これにより、SOG液を滴下した直後からその塗布を終了するまでの間、SOG液の粘性をほぼ一定状態に維持することができるので、その塗布厚さを均一にすることができ、配線間の埋め込み性の低下を防止することができる。
また、カップの内側に付着したSOG液についても、その粘性を長時間にわたり低く維持することができ、その固形化を抑制することができる。
さらに、発明1のスピンコータでは、供給される有機ガスの温度は室温でも構わないので、例えば特許文献1と比べて、気体の温度調整機構(熱交換器等)を必要としないで済む。
さらに、発明1のスピンコータでは、供給される有機ガスの温度は室温でも構わないので、例えば特許文献1と比べて、気体の温度調整機構(熱交換器等)を必要としないで済む。
〔発明2〕 発明2のスピンコータは、発明1のスピンコータにおいて、前記有機ガス供給手段は、前記ノズルの前記吐出口とカップとを外側から包囲するガス処理室と、前記ガス処理室内に前記有機ガスを導入するガス導入手段と、前記ガス処理室内から前記有機ガスを排出するガス排出手段と、を有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、ガス処理室内を幾らか減圧することが可能であり、外部への有機ガス漏れを防ぐことができる。
このような構成であれば、ガス処理室内を幾らか減圧することが可能であり、外部への有機ガス漏れを防ぐことができる。
〔発明3〕 発明3のスピンコータは、発明2のスピンコータにおいて、前記ガス処理室内の前記有機ガスの濃度を測定する濃度測定手段と、前記濃度測定手段の測定結果に基づいて、前記ガス導入手段と前記ガス排出手段とをフィードバック制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
このような構成であれば、ガス処理室内の有機ガス濃度をほぼ一定レベル、例えばSOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に維持することが可能である。
このような構成であれば、ガス処理室内の有機ガス濃度をほぼ一定レベル、例えばSOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に維持することが可能である。
〔発明4〕 発明4のSOG液の塗布方法は、基板の表面上にSOG液を塗布する方法であって、有機ガスを含む雰囲気中で前記基板の表面上にSOG液を滴下する工程と、前記有機ガスを含む雰囲気を維持した状態で、前記SOG液が滴下された前記基板を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させる工程と、を含むことを特徴とするものである。
このような構成であれば、基板の表面上に滴下したSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができる。これにより、SOG液を滴下した直後からその塗布を終了するまでの間、SOG液の粘性をほぼ一定状態に維持することができるので、その塗布厚さを均一にすることができ、配線間の埋め込み性の低下を防止することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係るスピンコータ及びSOG液の塗布方法について説明する。
(1)第1実施形態
図1は、本発明の第1実施形態に係るスピンコータ100の構成例を示す概念図である。このスピンコータ100は、例えば、配線が形成されたウエーハ1の表面上にSOG液を滴下し当該ウエーハ1を高速回転させ、このウエーハ1の表面上にSOG液を均一な厚さに塗布する装置である。
(1)第1実施形態
図1は、本発明の第1実施形態に係るスピンコータ100の構成例を示す概念図である。このスピンコータ100は、例えば、配線が形成されたウエーハ1の表面上にSOG液を滴下し当該ウエーハ1を高速回転させ、このウエーハ1の表面上にSOG液を均一な厚さに塗布する装置である。
図1に示すように、このスピンコータ100は、回転ステージ10と、コータカップ20と、コータノズル30と、ガス処理室40等から構成されている。
これらの中で、回転ステージ10は、ウエーハ1の裏面を回転可能に支持するものである。この回転ステージ10のウエーハ1の裏面と接触する面(以下で、接触面という)には多数の孔が設けられおり、これらの孔は真空ポンプ(図示せず)に接続されている。ウエーハ1を回転ステージ10上に載置した状態で、これらの孔から吸気すると、ウエーハ1の裏面は回転ステージ10の接触面に吸着されて固定される。
これらの中で、回転ステージ10は、ウエーハ1の裏面を回転可能に支持するものである。この回転ステージ10のウエーハ1の裏面と接触する面(以下で、接触面という)には多数の孔が設けられおり、これらの孔は真空ポンプ(図示せず)に接続されている。ウエーハ1を回転ステージ10上に載置した状態で、これらの孔から吸気すると、ウエーハ1の裏面は回転ステージ10の接触面に吸着されて固定される。
また、図1の矢印で示すように、この回転ステージ10は、その接触面の中心を通る鉛直線回りに回転可能になっている。このため、回転ステージ10の接触面の中心と、ウエーハ1の中心とを重ね合わせるようにして、この回転ステージ10上にウエーハ1を固定し、この回転ステージ10を回転動作させることにより、ウエーハ1をその表面の中心を通る鉛直線回りに回転させることができる。この回転ステージ10は、例えば金属材料からなり、アースに接続されている。
コータカップ20は、上面に開口部を、下面に底部を有した容器状のものである。図1に示すように、このコータカップ20は、回転ステージ10に支持されたウエーハ1の側方及び下方をやや離れた位置から取り囲むようにして配置されている。このコータカップ20によって、ウエーハ1の回転によるSOG液の周囲への飛散が防止される。また、このコータカップ20の底部には、図示しない排気系に通じる排気口22と、図示しない排液系に通じる排液口24とが設けられている。
このスピンコータ100では、排気口22からの排気はSOG液の塗布処理と関係なく常時行われる。従って、ガス処理室40内を漂うガスはカップ20内に常時流れ込み、この流れ込んだガスは底部にある排気口20aから常時排出される。このコータカップ20は、例えば金属製である。
図1に示すように、コータノズル30は、その先端に吐出口を有し、その後端がSOG液を圧送するSOG液圧送部(図示せず)に接続されている。このコータノズル30は、例えば金属製の管部材である。このコータノズル30は、その吐出口が回転ステージ10の接触面の中心部上方にくるように、その位置が調整されている。このため、SOG液は、SOG液圧送部の圧送動作によって、コータノズル30を通ってその吐出口まで圧送され、回転ステージ10上に固定されたウエーハ1の表面の中心部上に滴下される。
図1に示すように、コータノズル30は、その先端に吐出口を有し、その後端がSOG液を圧送するSOG液圧送部(図示せず)に接続されている。このコータノズル30は、例えば金属製の管部材である。このコータノズル30は、その吐出口が回転ステージ10の接触面の中心部上方にくるように、その位置が調整されている。このため、SOG液は、SOG液圧送部の圧送動作によって、コータノズル30を通ってその吐出口まで圧送され、回転ステージ10上に固定されたウエーハ1の表面の中心部上に滴下される。
ガス処理室40は、例えば塩化ビニル等からなる透明、又は半透明な板部材を複数組み合わせて、コータノズル30の吐出口側と、コータカップ20とをその外側から包囲するように形成されたものである。このガス処理室40には、ウエーハ1をガス処理室40内に搬入出するためのシャッタ(図示せず)が設けられている。このシャッタは、ウエーハ1を搬入出ときだけ開き、それ以外のときは閉じるようになっている。
また、このガス処理室40には、有機ガスをガス処理室40内に導入するための有機ガス導入管42と、有機ガスが導入されたガス処理室40内を排気するための排気管44とが設けられている。さらに、このガス処理室40には、クリーンルームの清浄な空気をガス処理室40内に取り込むための空気孔(図示せず)が複数設けられている。
図1に示すガス導入管42には、例えばマスフローコントローラ(以下、「MFC」という。)が取り付けられており、有機ガスの流量を調整可能となっている。例えば、このスピンコータ100では、その稼働時(即ち、SOG液の塗布時)の流量をF、その待機時の流量をF´としたとき、流量の大小関係は、F>F´>0に設定されている。また、排気管44にも例えばMFCが取り付けられており、このMFCを介して排気系に通じている。
図1に示すガス導入管42には、例えばマスフローコントローラ(以下、「MFC」という。)が取り付けられており、有機ガスの流量を調整可能となっている。例えば、このスピンコータ100では、その稼働時(即ち、SOG液の塗布時)の流量をF、その待機時の流量をF´としたとき、流量の大小関係は、F>F´>0に設定されている。また、排気管44にも例えばMFCが取り付けられており、このMFCを介して排気系に通じている。
ところで、このスピンコータ100を用いてウエーハ1の表面上にSOG液を塗布する場合には、まず始めに、有機ガス導入管42からガス処理室40内へ導入される有機ガスの流量をF´からFに増やす。また、排気管44に取り付けられたMFCを制御して、排気管44による排気を開始する。さらに、ガス処理室40内の温度は、例えば室温とする。
ここで、コータカップ20の底部に設けられた排気口22と、ガス処理室40に設けられた排気管44とから、ガス処理室40内の有機ガスを含む雰囲気をそれぞれ排気するので、ガス処理室40に設けられた空気孔を通して、このガス処理室40内にクリーンルームの清浄な空気を取り込みつつ、このガス処理室40内を大気圧に比べて幾らか減圧状態にすることができる。従って、ガス処理室40の外部への有機ガス漏れを防ぐことができる。
また、有機ガス導入管42からガス処理室40内に導入する有機ガスとしては、例えばSOG液と反応しないアルコール類(メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘプタノールなどで、異性体も含む)のガスを用いる。ここでは、万一ガス漏れ等のトラブルが発生した場合でも、人体への悪影響を最小限に押さえるために、有機ガスの中では比較的安全性が高いと思われるエタノールを使用する。
次に、一定時間が経過し、ガス処理室40内の有機ガス濃度が安定したら、配線が形成されたウエーハ1を回転ステージ10上に1枚載せる。そして、このウエーハ1の表面上にSOG液を滴下すると共に、このウエーハ1を載せた回転ステージ10を回転させる。この回転により、SOG液を遠心力で拡散させ、ウエーハ1の表面上全体にSOG液を塗布する。
このスピンコータ100では、このようなSOGの塗布処理を枚葉式で行い、枚葉処理を開始してから終了するまでの間、ガス導入管42から反応処理室40に導入される有機ガスの設定流量を流量Fとする。また、この有機ガスが導入されたガス処理室40内を排気口22と排気管44との両方で排気し続ける。
そして、最後のウエーハ1にSOG液を塗布し、枚葉処理を終了したら、有機ガス導入管42からガス処理室40内に導入される有機ガスの設定流量を流量F´とし、その流量を低くする。また、MFCを制御して排気管44を閉じ、ガス処理室40内を排気口22だけで排気するようにする。
そして、最後のウエーハ1にSOG液を塗布し、枚葉処理を終了したら、有機ガス導入管42からガス処理室40内に導入される有機ガスの設定流量を流量F´とし、その流量を低くする。また、MFCを制御して排気管44を閉じ、ガス処理室40内を排気口22だけで排気するようにする。
スピンコータ100の待機時は、排気管44を閉じることで、その排気能力は多少低下してしまうものの、有機ガス導入管42から導入される有機ガスの流量もFからF´に小さくなるので、ガス処理室40内の有機ガス濃度をSOGの塗布処理時とさほど変わらないレベルに維持することが可能である。また、この待機時も、コータカップ20の底部に設けられた排気口22からガス処理室40内の有機ガスを含む雰囲気を排気するので、ガス処理室40内を幾らか減圧状態にすることができ、ガス処理室40の外部への有機ガス漏れを防ぐことができる。
このように、本発明の第1実施形態に係るスピンコータ100によれば、少なくともコータノズル30の吐出口からコータカップ20の内側にかけての空間を占めるガス雰囲気を、SOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に近づけることができる。
従って、コータノズル20の吐出口からSOG液を滴下した後も、この滴下されたSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができる。これにより、SOG液を滴下した直後からその塗布を終了するまでの間、SOG液の粘性をほぼ一定状態に維持することができるので、その塗布厚さを均一にすることができ、配線間の埋め込み性の低下を防止することができる。
従って、コータノズル20の吐出口からSOG液を滴下した後も、この滴下されたSOG液からの有機成分の蒸発を抑制することができる。これにより、SOG液を滴下した直後からその塗布を終了するまでの間、SOG液の粘性をほぼ一定状態に維持することができるので、その塗布厚さを均一にすることができ、配線間の埋め込み性の低下を防止することができる。
また、コータカップ40の内側に付着したSOG液についても、その粘性を長時間にわたり低く維持することができ、その固形化を抑制することができる。さらに、このスピンコータ100では、供給される有機ガスの温度は室温でも構わないので、例えば特許文献1と比べて、気体の温度調整機構(熱交換器等)を必要としないで済む。
この第1実施形態では、ウエーハ1が本発明の基板に対応し、コータノズル30が本発明のノズルに対応し、コータカップ20が本発明のカップに対応している。また、有機ガス導入管42と、排気口22及び排気管24と、ガス処理室40とが、本発明の有機ガス供給手段に対応している。さらに、有機ガス導入管42が本発明のガス導入手段に対応し、排気口22と排気管44とが本発明のガス排出手段に対応している。
(2)第2実施形態
図2は、本発明の第2実施形態に係るスピンコータ200の構成例を示す概念図である。図2に示すスピンコータ200において、第1実施形態で説明したスピンコータ100と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
この第1実施形態では、ウエーハ1が本発明の基板に対応し、コータノズル30が本発明のノズルに対応し、コータカップ20が本発明のカップに対応している。また、有機ガス導入管42と、排気口22及び排気管24と、ガス処理室40とが、本発明の有機ガス供給手段に対応している。さらに、有機ガス導入管42が本発明のガス導入手段に対応し、排気口22と排気管44とが本発明のガス排出手段に対応している。
(2)第2実施形態
図2は、本発明の第2実施形態に係るスピンコータ200の構成例を示す概念図である。図2に示すスピンコータ200において、第1実施形態で説明したスピンコータ100と同一の機能を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図2に示すように、このスピンコータ200は、ガス処理室40内の有機ガス濃度を測定する濃度センサ50と、この濃度センサ50による測定値に基づいて、ガス導入管42に取り付けられたMFC72と、排気管44に取り付けられたMFC74とをそれぞれフィードバック制御する制御部60とを有する。制御部60と濃度センサ50との間、制御部60とMFC72との間、制御部60とMFC74との間は、有線又は無線によってそれぞれ双方向に通信可能に接続されている。
このスピンコータ200では、例えば、濃度センサ50による有機ガス濃度の測定値が制御部60にリアルタイムに送られる。制御部60は、このリアルタイムに送られてくる測定値から、ガス処理室40内の有機ガス濃度を常時監視する。
そして、送られてくる測定値から、ガス処理室40内の有機ガス濃度が基準値よりも高いと制御部60が判断した場合には、制御部60はMFC72とMFC74とにそれぞれ制御信号を送信して、ガス導入管42から導入される有機ガスの流量を小さくし、排気管44による排気の流量を大きくする。また、ガス処理室40内の有機ガス濃度が基準値よりも低いと制御部60が判断した場合には、制御部60はMFC72とMFC74とにそれぞれ制御信号を送信して、ガス導入管42から導入される有機ガスの流量を大きくし、排気管44による排気の流量を小さくする。
そして、送られてくる測定値から、ガス処理室40内の有機ガス濃度が基準値よりも高いと制御部60が判断した場合には、制御部60はMFC72とMFC74とにそれぞれ制御信号を送信して、ガス導入管42から導入される有機ガスの流量を小さくし、排気管44による排気の流量を大きくする。また、ガス処理室40内の有機ガス濃度が基準値よりも低いと制御部60が判断した場合には、制御部60はMFC72とMFC74とにそれぞれ制御信号を送信して、ガス導入管42から導入される有機ガスの流量を大きくし、排気管44による排気の流量を小さくする。
このような構成であれば、ガス処理室40内の有機ガス濃度をほぼ一定レベル、例えばSOG液に含まれる有機成分の飽和蒸気圧に維持することが可能である。
この第2実施形態では、濃度センサ50が本発明の濃度測定手段に対応し、制御部60が本発明の制御手段に対応している。その他の対応関係は、第1実施形態と同じである。
なお、上記の第1、第2実施形態では、コータノズル30の吐出口側と、コータカップ20とをその外側から包囲するガス処理室40を設ける場合について説明したが、本発明のガス処理室はこれに限られることはなく、例えば、スピンコータ100の筐体も含めた全体を包囲するようなものでも良い。
この第2実施形態では、濃度センサ50が本発明の濃度測定手段に対応し、制御部60が本発明の制御手段に対応している。その他の対応関係は、第1実施形態と同じである。
なお、上記の第1、第2実施形態では、コータノズル30の吐出口側と、コータカップ20とをその外側から包囲するガス処理室40を設ける場合について説明したが、本発明のガス処理室はこれに限られることはなく、例えば、スピンコータ100の筐体も含めた全体を包囲するようなものでも良い。
1 ウエーハ、10 回転ステージ、20 コータカップ、22 排気口、24 排液口、30 コータノズル、40 ガス処理室、42 有機ガス導入管、44 排気管、50 濃度センサ、60 制御部、72,74 MFC、100,200 スピンコータ
Claims (4)
- 基板の表面上にSOG液を滴下すると共に、当該基板を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させることによって、当該基板の表面上に該SOG液を塗布するスピンコータであって、
前記基板の裏面を回転可能に支持する回転ステージと、
前記回転ステージの上方に吐出口を有し、前記回転ステージによって支持された前記基板の表面上に前記吐出口から前記SOG液を滴下するノズルと、
前記回転ステージをその側方から囲むカップと、
少なくとも前記ノズルの前記吐出口から前記カップの内側にかけての空間に有機ガスを供給する有機ガス供給手段と、を備えたことを特徴とするスピンコータ。 - 前記有機ガス供給手段は、
前記ノズルの前記吐出口とカップとを外側から包囲するガス処理室と、
前記ガス処理室内に前記有機ガスを導入するガス導入手段と、
前記ガス処理室内から前記有機ガスを排出するガス排出手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載のスピンコータ。 - 前記ガス処理室内の前記有機ガスの濃度を測定する濃度測定手段と、
前記濃度測定手段の測定結果に基づいて、前記ガス導入手段と前記ガス排出手段とをフィードバック制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項2に記載のスピンコータ。 - 基板の表面上にSOG液を塗布する方法であって、
有機ガスを含む雰囲気中で前記基板の表面上にSOG液を滴下する工程と、
前記有機ガスを含む雰囲気を維持した状態で、前記SOG液が滴下された前記基板を回転させ該SOG液を遠心力で拡散させる工程と、を含むことを特徴とするSOG液の塗布方法。
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- 2004-10-06 JP JP2004293736A patent/JP2006102664A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015084371A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 東京応化工業株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
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