JP2006093662A - レ−ザ光の断面像の撮像方法及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レーザ光のある横断面における断面像(光強度分布)を高い空間分解能で、正確に、且つ短時間で撮像することが可能な撮像方法を提供する。
【解決手段】 断面像(光強度分布)の撮像が行われる断面に相当する高さに、レーザ光20をその断面の一部において遮るようにナイフエッジ30を配置する。ナイフエッジ30に向けてレーザ光20を照射し、ナイフエッジ30によって断面の一部が遮られたレーザ光の断面像を、撮像光学系40で二次元的に拡大してCCD50で撮像する。このようにして断面像を撮像しながら、ナイフエッジ30による陰の境界部分における光強度の勾配が、予め設定された目標値以上の急峻度になるように撮像光学系40の焦点合わせを行う。次いで、ナイフエッジ30をレーザ光の光路から退避させた状態で、レーザ光を撮像光学系40を介してCCD50に入射させて、その断面像を撮像する。
【選択図】 図1
【解決手段】 断面像(光強度分布)の撮像が行われる断面に相当する高さに、レーザ光20をその断面の一部において遮るようにナイフエッジ30を配置する。ナイフエッジ30に向けてレーザ光20を照射し、ナイフエッジ30によって断面の一部が遮られたレーザ光の断面像を、撮像光学系40で二次元的に拡大してCCD50で撮像する。このようにして断面像を撮像しながら、ナイフエッジ30による陰の境界部分における光強度の勾配が、予め設定された目標値以上の急峻度になるように撮像光学系40の焦点合わせを行う。次いで、ナイフエッジ30をレーザ光の光路から退避させた状態で、レーザ光を撮像光学系40を介してCCD50に入射させて、その断面像を撮像する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、レーザ光の断面像(即ち、ある横断面での光強度分布)を撮像するための方法に係る。本発明の方法は、特に、半導体薄膜のレーザアニールで用いられるレーザ光の二次元強度分布の測定に適している。
本発明は、
アクティブマトリクス型液晶表示装置や有機EL表示装置などのようなフラットパネル型表示装置では、各画素を個別に駆動するため、ガラスまたはプラスチックからなる絶縁基板上に多数の薄膜トランジスタ(以下、TFTと記す)が形成される。非晶質シリコン(a−Si)薄膜は、形成温度が低く、気相法で比較的容易に形成することが可能であり、量産性にも富むため、TFTソース、ドレイン、チャネル領域を形成するための半導体薄膜として広く用いられている。
しかし、非晶質シリコン薄膜は、導電率等の物性が多結晶シリコン(poly−Si)薄膜に比べて劣るという欠点がある(a−Siの移動度はpoly−Siのそれに比べて2桁以上低い)。このため、TFTの動作速度の高速化を図るべく、多結晶シリコン薄膜にTFTのソース、ドレイン、チャネル領域を形成する技術を確立することが求められている。
多結晶シリコン薄膜を形成する方法として、例えば、エキシマレーザを用いるアニール法(Excimer Laser Annealing;以下、ELA法と呼ぶ)が採用されている。このアニール方法は、汎用ガラス基板が使用可能な温度範囲(即ち、室温から500℃程度まで)で実施することができる。ELA法では、例えば、基板上に非晶質シリコン薄膜を所定の厚さ(例えば、50nm程度)に堆積した後、この非晶質シリコン薄膜にクリプトン弗素(KrF)エキシマレーザ光(波長248nm)あるいはキセノン塩素(XeCl)エキシマレーザ光(波長308nm)などを照射し、局所的に非晶質シリコン薄膜を溶融して再結晶化させ、多結晶シリコン薄膜を形成している。
なお、ELA法は、レーザ光の平均強度(フルエンス)を変えることにより、他の様々なプロセスにも適応可能である。例えば、レーザ光の強度を加熱作用のみを有する範囲に設定すれば、TFTの不純物活性化工程に用いることができる。また、レーザ光の強度を極端に上げれば、急激な温度上昇を引き起こすため、TFTにおける薄膜の除去に利用することもできる。なお、これらの現象の利用は、TFTに限定されるのみでなく、広く半導体製造プロセスに適応できるものである。
ところで、液晶表示装置や有機EL表示装置などのフラットパネル型表示装置において、動作速度の高速化を図るために、多結晶シリコン薄膜にTFTを作った場合、各TFTのチャネル領域内に含まれる結晶粒界の数や分布にバラツキがあると、各TFTのしきい値電圧(Vth)に大きなバラツキが生ずる。これは、表示装置全体としての動作特性を低下させる要因となる。このため、各チャネル領域内の結晶粒界の数をできるだけ均一にするか、あるいは、結晶粒をチャネル領域よりも大きく成長させ且つその位置を制御することにより、各チャネル領域内から結晶粒界を排除することが望まれている。
本願発明者らは、大きな結晶粒径のシリコン薄膜を形成するためのレーザアニール・プロセスを開発している。それによれば、レーザ光が照射される光路の途中に、「位相シフタ」と呼ばれる光学素子(位相変調素子)を挿入することにより、非晶質シリコン薄膜上でのレーザ光の二次元強度分布を調整して、大きな粒径の結晶粒を成長させる。ここで、位相シフタとは、透明な石英基板に、凹部または凸部からなる段差で微細な平面パターンが形成された光学素子である。位相シフタは、それを通過するレーザ光の一部に位相差を与え、レーザ光の回折及び位相の異なるレーザ光の干渉によって、レーザ光の二次元強度分布を作り出す。このようにして、レーザ光の二次元強度分布を調整することにより、被処理基板上に適切な温度分布を生じさせ、それによって、2〜7ミクロン程度の大きな粒径のシリコン単結晶を位置を制御して形成することができる。
このようなレーザアニール・プロセスの開発の過程で、次のことが判明した。即ち、大きな粒径の結晶粒をその位置を制御して形成するためには、非晶質シリコン薄膜に照射されるレーザ光の、サブミクロンレベルの微小領域における強度分布のパターンが、極めて重要である。しかしながら、そのような強度分布を正確に測定することは、エキシマレーザ光が紫外線領域の不可視光であることにも一部起因して、非常に難しく、そのための方法は未だ確立されていない。
ELA法に使用されるレーザ光の強度分布を測定するための方法として、これまで、次のような方法が知られている。
その一つは、非晶質シリコン薄膜にレーザ光を照射し、その物性の変化に基づいてレーザ光の強度分布を評価するものである。即ち、処理対象となる非晶質シリコン薄膜に結晶化を誘起する程度の閾値の光強度(フルエンス)でレーザ光を照射すると、光強度が強いところだけが多結晶シリコンとなり、その物性が部分的に変化する。従って、非晶質シリコン薄膜にレーザ光を照射した後、その部分の組織を顕微鏡で観察することによって、レーザ光の強度分布を推定することができる。なお、このような物性の変化に基づく評価方法では、非晶質シリコン薄膜の結晶化のみならず、他の材料(例えば、フォトレジスト)の物理的性質あるいは化学的性質の変化を利用することもできる。
もう一つの方法は、表面に蛍光剤が塗布された専用の撮像用基板を使用するものである(特願2004−020104号)。この方法では、レーザ光の強度分布を測定しようとする横断面に、蛍光剤の塗膜の面を一致させて、上記の撮像用基板を保持し、その状態で、撮像用基板の表面側からレーザ光を照射する。このとき、蛍光剤から発せられる蛍光を、撮像用基板の裏面側から、撮像光学系を用いて二次元的に拡大して、レーザ光の断面像(光強度分布)を撮像している。
ここで、前者の、物性の変化に基づいてレーザ光の強度分布を測定する方法には、次のような問題があった。即ち、物性の変化は光強度の閾値に依存するため、レーザ光の強度を段階的に変化させなければならず、複数回のレーザ照射と物性評価が必要となる。従って、評価の結果には、レーザ照射の条件のバラツキが含まれることになる。また、物性の変化が生じる材料自体にもバラツキがあるので、光強度分布を「平面像」として捉えるのは非常に困難であるし、あまり正確な評価とはいえない。更に、物性評価はオフラインの検査となるので、結果が得られるまでに時間がかかる。
一方、後者の、蛍光に変換してレーザ光の断面像を撮像する方法には、次のような問題があった。即ち、蛍光が可視光であるため、得られる断面像の空間分解能は、蛍光の波長であるおおむね0.5μm以下にはならない。また、一般に、蛍光物質は有毒であり、環境に対する影響が大きい。
本発明は、以上のような従来のレーザ光の強度分布の測定方法についての問題点に鑑み成されたものである。本発明の目的は、レーザ光のある横断面における断面像(光強度分布)を高い空間分解能で、正確に、且つ短時間で撮像することが可能な撮像方法を提供することにある。
本発明は、ある横断面でのレ−ザ光の断面像の撮像方法であって、
レーザ光の進行方向に関して前記横断面の前方側に、撮像装置を配置し、
前記横断面内に、レーザ光の一部を遮るように遮光部材を配置し、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、
それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整し、
次いで、遮光部材をレーザ光の光路から退避させて、前記横断面でのレ−ザ光の断面像を、撮像装置を用いて撮像すること、を特徴とする。
レーザ光の進行方向に関して前記横断面の前方側に、撮像装置を配置し、
前記横断面内に、レーザ光の一部を遮るように遮光部材を配置し、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、
それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整し、
次いで、遮光部材をレーザ光の光路から退避させて、前記横断面でのレ−ザ光の断面像を、撮像装置を用いて撮像すること、を特徴とする。
本発明の方法によれば、前記明暗像の明るい部分と暗い部分の境界の鮮明度に基づき、撮像装置の光学系の焦点を前記横断面(例えば、被処理基板の表面に相当する位置)に正確に一致させることができる。それに加えて、レーザ光を直接検出しているので、前記横断面におけるレーザ光の断面像(光強度分布)を正確に撮像することができる。
例えば、前記遮光部材は、ナイフエッジ状の部材である。この部材を用いてレーザ光の一部を遮る際には、ナイフエッジの先端が前記横断面内にあるように配置される。
あるいは、前記遮光部材は、表面の一部に遮光性薄膜が被覆された透明基板である。この基板を用いてレーザ光の一部を遮る際には、前記遮光性薄膜が前記横断面内にあるように配置される。
また、レーザアニール装置において、上記の方法を用いてレ−ザ光の強度分布を監視することができる。その場合、レーザアニール装置は、
被処理基板上に形成された半導体薄膜に、光強度の勾配を有するレーザ光を照射して、半導体薄膜を結晶化するレーザアニール装置であって、
前記基板を保持する試料ステージと、
前記基板に向けてレーザ光を発射するレーザ光源と、
レーザ光源と試料ステージの間に配置され、レーザ光の強度を減少させるアッテネータと、
レーザ光の光路から試料ステージを退避させた状態で、前記基板と同一平面内で、レーザ光の一部を遮るように配置することができる遮光部材と、
レーザ光の光路に対して試料ステージ及び前記遮光部材を交互に進退させることができる駆動機構と、
レーザ光の光路上で、前記遮光部材の背面側に配置された撮像装置と、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整する焦点合わせ機構と、
を備えたことを特徴とする。
被処理基板上に形成された半導体薄膜に、光強度の勾配を有するレーザ光を照射して、半導体薄膜を結晶化するレーザアニール装置であって、
前記基板を保持する試料ステージと、
前記基板に向けてレーザ光を発射するレーザ光源と、
レーザ光源と試料ステージの間に配置され、レーザ光の強度を減少させるアッテネータと、
レーザ光の光路から試料ステージを退避させた状態で、前記基板と同一平面内で、レーザ光の一部を遮るように配置することができる遮光部材と、
レーザ光の光路に対して試料ステージ及び前記遮光部材を交互に進退させることができる駆動機構と、
レーザ光の光路上で、前記遮光部材の背面側に配置された撮像装置と、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整する焦点合わせ機構と、
を備えたことを特徴とする。
このレーザアニール装置においては、先の方法に従って、撮像装置の光学系の焦点合わせ及びレーザ光の断面像の撮像が行われる。その結果、被処理基板の表面に相当する位置におけるレーザ光の強度分布が、所定の条件を満足していることが確認された後、試料ステージを移動して、レーザ光の光路内に被処理基板をセットし、その状態で、被処理基板上の半導体薄膜にレーザ光を照射する。
好ましくは、上記のレーザアニール装置において、アッテネータと試料ステージの間のレーザ光の光路内に、ホモジナイズ光学系及び位相シフタを、順に配置する。ホモジナイズ光学系は、レーザ光の二次元強度分布を均一化する。位相シフタは、ホモジナイズ光学系の焦点位置に配置され、レーザ光の二次元強度分布を作り出す。
レーザアニール装置において本発明の方法を使用すれば、被処理基板の表面に相当する位置におけるレーザ光の強度分布を、正確に且つ比較的短時間で測定することができる。従って、レーザ光の強度分布を、良好な状態で維持することができる。また、レーザ光の強度分布を正確に調整することによって、基板上でアモルファスシリコン薄膜または多結晶シリコン薄膜から、目標とする大きな粒径のシリコン結晶を成長させることができる。
なお、上記と同様な構成は、レーザアニール装置以外にも、被加工基板に光強度の勾配を有するレーザ光を照射して被加工基板を加工する各種のレーザ加工装置に適用することができる。
(例1)
本発明に基づいて、レーザ光の断面像を撮像する方法について説明する。
本発明に基づいて、レーザ光の断面像を撮像する方法について説明する。
図1に、レーザ光の断面像を撮像するための装置の概略構成の一例を示す。レーザ光源1から発射されるレーザ光の光路20上に、アッテネータ2、ナイフエッジ30(遮光部材)、撮像装置51が、順に配置されている。アッテネータ2は、レーザ光の強度を所定の強度に調整する。ナイフエッジ30は、レーザ光の二次元強度分布を測定しようとする横断面を特定するため、その横断面内にレーザ光の一部を遮るように配置される。撮像装置51は、レーザ光の進行方向に関してナイフエッジ30の前方側に配置され、ナイフエッジ30の先端部分の像を撮像する。更に、撮像装置51は、ナイフエッジ30をレーザ光の光路から退避させた後に、上記の平面内でのレーザ光の断面像を撮像する。
撮像装置51は、撮像光学系40とCCD50を備える。撮像光学系40は、対物レンズ41と光学筒42を備える。CCD50は、光学筒42の後端(下面)に取り付けられている。対物レンズ41は、入射した光をCCD50の光電変換面に結像させる。CCD50は、入射した光を光電効果により電気信号に変換する。光学筒42は、対物レンズ41からCCD50までの光路を外部光から遮蔽する。
撮像装置51は、撮像ステージ60上に保持されている。撮像ステージ60は、X軸方向に移動するXステージ61と、Xステージ61上に支持されY軸方向に移動するYステージ62と、Yステージ62上に支持され上下方向(Z方向)に移動するZステージ62とから構成される。レーザ光20の光軸に対する撮像装置51の位置合わせは、Xステージ61及びYステージ62によって行われる。対物レンズ41の焦点合わせは、Zステージ63の上下動によって行われる。
なお、断面像の撮像を行わないとき、即ち、被処理基板のレーザアニールを行うときは、ナイフエッジ30、撮像装置51及び撮像ステージ60を、レーザ光の光軸の延長線上の外に退避させておくことができる。
CCD50の出力回路には、コンピュータ80が接続され、このコンピュータ80には、入力情報や出力情報を選択的に表示する表示装置81が接続されている。コンピュータ80は、レーザ光源1によるレーザ発振の制御、アッテネータ2によるレーザ光量の制御、ナイフエッジ30の陰による明暗像の情報に基づくアッテネータの制御及び撮像装置51のX−Y−Z軸方向の位置の制御などを、自動的に行う。
次に、このシステムを用いたレーザ光の断面像の撮像方法について設明する。
レーザ光の断面像の撮像に先立って、先ず、ナイフエッジ30を用いて撮像光学系40の焦点合わせを行う。即ち、ナイフエッジ30を、レーザ光20の光路上に、レーザ光20をその断面の一部において遮るように位置合わせして保持する。ナイフエッジ30の先端の高さは、レーザ光の強度分布を測定しようとする横断面(従って、レーザ光を用いてレーザアニールが行われる被処理基板の表面)と一致するように、調整される。
その状態で、レーザ光源1からナイフエッジ30に向けてレーザ光20を出射し、ナイフエッジ30の陰による明暗像を、対物レンズ41で二次元的に拡大して、CCD50で撮像する。CCD50で得られたデータは、コンピュータ80で解析される。コンピュータ80は、撮像ステージ60、遮光部材用ステージ110(図8)、アッテネータ2、レーザ光源1を制御し、撮像を繰り返しながら、撮像装置51の視野及び焦点を調整する。即ち、コンピュータ80は、Xステージ61及びYステージ62を移動させて、撮像装置51の視野をナイフエッジ30の先端に合わせるとともに、Zステージ63を移動させて、撮像装置51の焦点をナイフエッジ30の先端に合わせる。
その後、ナイフエッジ30を退避させて、上記の横断面でのレーザ光20の断面像を撮像装置51で撮像する。この際に、レーザ光源1によるレーザ発振のタイミング制御、レーザ光の光量調整なども、コンピュータ80により自動的に行われる。
撮像装置51の焦点合わせの詳細について、更に説明する。ナイフエッジ30を、レーザ光20の光路上に、上記のように位置合わせした状態で、ナイフエッジ30の先端部分の像(明暗像)を、CCD50で撮像する。このようにしてナイフエッジ30の先端部分の像の撮像を繰り返しながら、ナイフエッジ30による陰の境界部分における光強度の勾配が、予め設定された目標値以上の急峻度になるように、撮像光学系40の焦点を調整する。
具体的には、図2に示す2次元像のように、ナイフエッジ30で遮ぎられた領域は暗く、それ以外の領域は明るく表示される。図2のA−A’における1次元の規格化光強度分布を、図3(a)に示す。A点では暗レベル(0)であるが、ナイフエッジ30の領域を出ると急激に上昇して、A’点では明レベル(1)となる。暗レベルから明レベルへの遷移領域の距離が最も短くなるときに、撮像装置51の焦点がナイフエッジ30の先端に一致している。なお、レーザ光20のコヒーレンシが良いとき、フレネル回折の効果によって、遷移領域の両端においてフリンジ(高周波成分)が発生する場合がある。その場合には、波形に対して適度なローパスフィルタかけて、除去することができる。焦点位置を明確にするために、図3(a)の波形を距離xについて微分する。その結果、図3(b)に示すような分布曲線が得られる。この分布曲線の最大値の半分の値の幅Dが最も短くなるときに、撮像装置51の焦点がナイフエッジ30の先端に一致している。
このシステムが、半導体薄膜の結晶化装置で使用される場合には、被処理基板の表面に相当する位置(即ち、同じ高さ)に、ナイフエッジ30が配置される。結晶化装置の運転中に、レーザ光の光強度分布を確認する必要が発生した場合には、被処理基板を退避させて、その位置にナイフエッジ30を配置する。その状態で、撮像装置51の位置および焦点合わせを行う。次いで、ナイフエッジ30を退避させた後、レーザ光を発振させると、CCD50の光電変換面に、焦点位置での断面像が結像される。このようにして、被処理基板の表面における光強度分布パターンを確認することができる。
好ましくは、上記のように、遮光部材としてナイフエッジが使用される。その場合には、ナイフエッジの先端の平面度を±0.1μm以下の精度で加工することにより、撮像装置51の焦点合わせの対象となる横断面(断面像の撮像が行われる対象面)を正確に特定することができる。更に、ナイフエッジを使用した場合には、ナイフエッジの外に外れた部分では、ナイフエッジの先端を通る面内にレーザ光の光路を遮るものが何も存在していないので、撮像装置51の焦点を、被処理基板の表面に相当する位置に正確に合わせることができる。
また、図4及び5に示すように、遮光部材として、透明基板31の表面の一部に遮光性薄膜32が被覆された遮光板33を使用することもできる。遮光板33の遮光性薄膜32の厚さは、1μm程度以下が好ましい。焦点合わせの対象面は、図4の配置の場合には遮光板33の裏面となり、図5の配置の場合には遮光板33の表面となる。図5の配置の場合、撮像装置の焦点合わせを行うときには、遮光板33の厚さt及び屈折を考慮した上で、レーザ光の光路内で、遮光性薄膜32の縁の部分が被処理基板の表面に相当する位置に来るように、遮光板33を配置する。
図6に、図1のシステムにおける制御系の構成を示す。バス82には、入出力手段83、メモリ84、中央制御装置(以下、CPUと略す)85、及び表示装置81が接続されている。メモリ84は、予め定められた操作プログラムを記憶する。CPU85は、メモリ84に記憶された操作プログラムによりシステムを制御する。表示装置81は、入・出力情報を表示する。
バス82には、更に、レーザ装置用制御情報記憶装置88、撮像装置用ステージ制御情報記憶装置87、基板ステージ制御情報記憶装置89、遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置90、及び共通ステージ制御情報記憶装置99が接続されている。レーザ装置用制御情報記憶装置88は、レーザ光源1の動作を自動的に制御するプログラムが記憶される。撮像装置用ステージ制御情報記憶装置87には、CCD50を支持する撮像ステージ60を制御するプログラムが記憶される。基板ステージ制御情報記憶装置89には、被処理基板10を支持する基板ステージ100を制御するプログラムが記憶される。遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置90には、遮光部材(例えばナイフエッジ)をレーザ光の一部を遮る位置に位置決めして出し入れする遮光部材用ステージ110を制御するプログラムが記憶される。共通ステージ制御情報記憶装置99には、基板と遮光部材と撮像装置の3つのステージを乗せる共通ステージ70を制御するプログラムが記憶される。
バス82には、更に、撮像・分析用制御情報記憶装置91が接続されている。この記憶装置91には、予め定められた撮像・分析作業を自動的に実行するためのプログラムが記憶される。
続いて、図6のブロック図を参照しながら、図1のシステムの自動焦点合わせの方法について説明する。先ず、焦点合わせのための操作の前に、CPU85は、メモリ84に記憶されている基本プログラムを読み出して作業を開始する。次に、CPU85は、共通ステージ制御情報記憶装置99からデータを読み出す。このデータに基づき、レーザ光20の光路から被処理基板10や、被処理基板10を支持するステージ100を予め定められた退避位置に移動制御する。このときCPU85は、基板ステージ制御情報記憶装置89および遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置90を動作させる。CPU85は、退避制御された確認情報が、入出力手段83に入力されたことを認識する。
次に、CPU85は、CCD50の焦点合わせのプロセスを自動的に実行する。CPU85は、レーザ光20の光路に被処理基板10や撮像ステージ60の無いことを、メモリ84に記憶させ、認識した後、遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置90から制御プログラムを読み出し、遮光部材を、レーザ光20の一部を遮る予め定められた位置に移動制御する。同時又は次に、CPU85は、撮像装置用ステージ制御情報記憶装置87からから制御プログラムを読み出し、撮像・分析用装置を、レーザ光20の光路内の予め定められた位置に移動する。
遮光部材および撮像装置が移動した情報が、入出力手段83を介して、メモリ84に記憶されたとき、CPU85は、レーザ装置用制御情報記憶装置88からレーザ光源制御情報を読み出し、レーザ光源1を制御してレーザ光の出射を行う。CPU85は、撮像・分析用制御情報記憶装置91から焦点合わせ制御プログラムを読み出し、撮像装置が撮像した遮光部材の像の明暗信号を、メモリ84に記憶すると同時に表示装置81に表示する。CPU85は、明暗信号の暗レベルから明レベルへの遷移領域の距離が最も短くなる条件(即ち、明暗信号の距離についての微分値から得られる、ピークの全高半値幅)を焦点位置情報として出力し、メモリ85に記憶すると同時に、表示装置81の表示画面に表示する。
次に、図7を使用して、焦点合わせの具体的なフローをについて説明する。最もピントが合っている像データをBとする。像データBは、予めメモリに記憶しておいても良い(ステップ(a))。これを距離Xで微分して得られた波形の全高半値幅(FWHM)をDbとする(ステップ(b))。このDbをデータベースとしてメモリに記憶しておいても良い。
測定された1次元像データCについて、入力が行われる(ステップ(c))。このとき、前に述べたフリンジが発生していたら、適度なローパスフィルタをかけて、フリンジを除去する。1次元像データCを距離Xについて微分することにより、1次元像データCについての全高半値幅FWHM値Dcが得られる(ステップ(d))。このDcと予め記憶されているDbとの差から、Dsが得られる。
この差Dsが0であれば、撮像光学系は焦点位置にある。しかし、Dsが0でなければ、それに合わせて、撮像光学系のZステージ63のz方向への送り量信号値Δzを算出し、Zステージ63を移動させ、再度1次元像を撮像する。このフローは、Ds=0となるまで行う。その結果、焦点位置となる最適な撮像光学系Zステージ63の値が決定される。これによって、ナイフエッジ30の先端によって特定された高さ(即ち、被処理基板の表面に相当する高さ)における、レーザ光の断面像を直接的に撮像する準備が完了する。
CPU85は、焦点位置情報を確認した後、遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置90からのプログラムにより、ナイフエッジ30を、レーザ光20の光路から、予め定められた退避位置へ退避させる。CPU85は、ナイフエッジ30がレーザ光20の光路から退避した事を、入出力手段83を介して確認した後、レーザ装置用制御情報記憶装置89からデータを読み出して、レーザ光源1からレーザ光を出射する。これとともに、CPU85は、アッテネータ2によりレーザ強度を調整して、レーザ光の強度分布を撮像装置により撮像する。CPU85は、撮像出力信号を、入出力手段83を介してメモリ84に記憶すると同時に、表示装置81に記憶する。このようにして、CPU85は、レーザ光の断面像を撮像する。
なお、レーザ光の断面像を撮像する際には、ナイフエッジ30、撮像光学系40及びCCD50の保護のため、レーザ光の強度は、実際のレーザアニールの際と比べて低く設定される。なお、エキシマレーザ光を位相シフタ(後述)を介して照射したときの被処理面における断面像は、エキシマレーザ光の出力を変えても、光強度の絶対値が変わるだけで、その分布形状(ビームプロファイル)は変化しない。
代表的なケースにおいて、断面像が撮像されるレーザ光20のビーム形状は、レーザ照射領域2mm角のうち、100μmφ程度であり、これが、対物レンズ41で、例えば、100〜200倍程度に二次元的に拡大され、10〜20mmφ程度の画像として、CCD50上に投影される。ここで、CCD50自体のピクセルサイズを、例えば、10μm以下とすると、被処理面の位置における空間分解能(即ち、レーザ光のビームプロファイルに対する空間分解能)は、0.2〜0.1μm以下となる。
(例2)
プロキシミティ方式によるレーザアニール装置の例:
図8に、本発明に基づく断面像の撮像方法が採用される、レーザアニール装置の概略構成の一例を示す。この装置では、プロキシミティ方式の光学系が採用されており、光強度が変調されたレーザ光を被処理基板に照射するために、基板直上に位相シフタ5が配置される。この光学系の一例は、結晶化装置である。図1と同一部分には、同一符号を付与し、その詳細な説明は省略する。
プロキシミティ方式によるレーザアニール装置の例:
図8に、本発明に基づく断面像の撮像方法が採用される、レーザアニール装置の概略構成の一例を示す。この装置では、プロキシミティ方式の光学系が採用されており、光強度が変調されたレーザ光を被処理基板に照射するために、基板直上に位相シフタ5が配置される。この光学系の一例は、結晶化装置である。図1と同一部分には、同一符号を付与し、その詳細な説明は省略する。
レーザ光20の光路上に、アッテネータ2、ホモジナイズ光学系21、ミラー3、位相シフタ5が、順に配置されている。位相シフタ5は、ホモジナイズ光学系21と被処理基板10の間に挿入され、支持台(図示せず)によって、被処理基板10から一定のギャップdを保って保持される。また、この位相シフタ5は、レーザ光の光軸に対して移動させることが可能で、レーザ光20の光路から外すこともできる。ギャップdは、おおよそ60から500μm程度である。ホモジナイズ光学系21の焦点は、位相シフタ5の厚さ分の屈折によって変動するので、予め計算を行って焦点位置を決め、その位置に被処理基板10を配置するように設定しておく。
共通ステージ70上には、(被処理基板用ステージ100を介して)被処理基板10と、(遮光部材用ステージ110を介して)ナイフエッジ30と、断面像を得るための撮像装置(40、50、60)が、並んで保持される。被処理基板10の高さとナイフエッジ30の高さと位相シフタ5の高さは、ハイトセンサ65で測定される。ナイフエッジ30の背面側には、撮像装置(40、50、60)が配置されている。撮像装置は、先に図1を用いて説明したものと同じであって、撮像光学系40、CCD50、撮像ステージ60などから構成されている。
レーザ光源1から照射されたレーザ光20は、アッテネータ2で減衰された後、ホモジナイズ光学系21を通りミラー3に至る。被処理基板10とナイフエッジ30は、位相シフタ5を介したホモジナイズ光学系21の焦点に配置される。
なお位相シフタ5は、光の位相を変調することによって、被処理基板10の表面において、被処理基板10の処理の目的に適合した光強度分布を形成する光強度変調素子である。位相シフタ5は、例えば、石英基材にエッチングで段差を形成することによって作製される。レーザ光20は、位相シフタ5によって位相変調され、二次元的な光強度分布が与えられて、被処理基板10の表面に入射し、結像される。
この結像されたレーザ光のパターンを確認したいとき、即ち、被処理基板10の表面に入射するレーザ光の断面像を撮像するときには、先ず共通ステージ70、遮光部材用ステージ110、撮像ステージ60を駆動して、ナイフエッジ30、撮像装置(40、50、60)を、レーザ光20の光軸の延長線上に移動する。そして、位相シフタ5を、レーザ光20の光路から外す。ナイフエッジ30の高さ及び位置、レーザ光20の光軸に対する撮像光学系40及びCCD50のアライメント等が終了した後、ナイフエッジ30にレーザ光20を照射して、先に記載した手順に従って、撮像光学系40の焦点合わせを行う。撮像光学系40の焦点合わせが終了した後、ナイフエッジ30を退避させて、位相シフタ5をレーザ光20の光路に入れて、断面像の撮像を行う。
また、位相シフタ5により位相変調されたレーザ光のパターンを確認する場合には、位相シフタ5を光軸から退避させず、撮像装置で撮像する。
レーザ光の断面像(被処理基板の表面に相当する高さにおける光強度分布)は、撮像光学系40で二次元的に拡大され、CCD50で撮像される。CCD50は、撮像されたレーザ光の像をデジタル信号に変換して、コンピュータ80に送る。処理されたデータ(即ち、撮像されたレーザ光の強度分布)は、表示装置81に表示される。
表示装置81上で、撮像された断面像と、予め記憶されている目標の断面像とを比較し、両者の差が、予め定められている許容限度内に収まっていることを確認する。両者の差が、許容限度内から外れている場合には、被処理基板10と位相シフタ5の距離d(すなわち、レーザ光20の光軸方向の微調整)を行い、両者の差を許容限度内に収める。なお、このような断面像の確認及び調整は、コンピュータ80を用いて自動的に行われる。
上記のような断面像のチェックは、レーザ光による処理中に、被処理基板の処理枚数あるいは時間についての適当なインターバルを設定して行われる。調整によってレーザアニールに適した断面像(光強度分布)であることが確かめられたら、共通ステージ70および被処理基板用ステージ100を駆動してレーザ光20光軸上に被処理基板を配置し、適切なレーザフルエンスとなるようにアッテネータ2を調節した後、レーザアニールを行う。
なお、アモルファスシリコン薄膜14を溶融して結晶化させる際のエキシマレーザ光のエネルギー(フルエンスの値)は、例えば、200mJ/cm2であり、大粒径のシリコン粒を形成するには、例えば800mJ/cm2程度のフルエンスが必要である。これに対して、エキシマレーザ光の断面像を撮像する際のエネルギーは、例えば、10mJ/cm2〜30mJ/cm2程度である。
(例3)
プロジェクション方式によるレーザアニール装置の例:
図9に、本発明に基づく断面像の撮像方法が採用される、他のレーザアニール装置の構成例を示す。この装置では、被処理基板にレーザ光を照射するために、プロジェクション方式の光学系が採用されている。図1及び図8と同一部分には、同一符号を付与し、その詳細な説明は省略する。
プロジェクション方式によるレーザアニール装置の例:
図9に、本発明に基づく断面像の撮像方法が採用される、他のレーザアニール装置の構成例を示す。この装置では、被処理基板にレーザ光を照射するために、プロジェクション方式の光学系が採用されている。図1及び図8と同一部分には、同一符号を付与し、その詳細な説明は省略する。
共通ステージ70上には、(被処理基板用ステージ100を介して)被処理基板10と、(遮光部材用ステージ110を介して)ナイフエッジ30と、撮像装置(40、50、60)が並んで保持される。被処理基板10の高さとナイフエッジ30の高さは、ハイトセンサ65で測定される。ナイフエッジ30の背面側には、撮像装置(40、50、60)が配置されている。撮像装置は、先に図1を用いて説明したものと同じであって、撮像光学系40、CCD50、撮像ステージ60などから構成されている。
レーザ光20の光路には、アッテネータ2、ホモジナイザ21、位相シフタ5a、ミラー3及びプロジェクションレンズ4が順に配置されている。被処理基板10およびナイフエッジ30の高さは、ハイトセンサ65で測定される。
レーザ光源1から発射されたレーザ光20は、アッテネータ2で適切な強度に減衰される。次いで、ホモジナイザ21に入って光強度分布がホモジナイズ(均一化)される。光強度が均一化される位置に配置された位相シフタ5aによって、レーザ光20は位相変調される。位相変調されたレーザ光20はミラー3へ至り、次いでプロジェクションレンズ4に入り、プロジェクションレンズ4の持つ倍率に変換されて、被処理基板10の上で結像して照射される。ここで、光強度が均一化される位置に配置された位相シフタ5aの像は、プロジェクションレンズ4を通して基板表面位置で再び像を結ぶ共役の関係になっている。この像面に基板を配置することで、位相変調されたレーザアニールが行われる。この像面を撮像することで、プロジェクション方式のレーザアニールの制御性を高めることができる。
像面を撮像する方法は、先に示したプロキシミティ方式によるレーザアニール装置(図9)の場合と類似しているが、調整個所が若干異なる。
被処理基板10の表面に入射するレーザ光の断面像を撮像するときには、先ず、共通ステージ70、遮光部材用ステージ110、撮像ステージ60を駆動して、ナイフエッジ30、撮像装置(40、50、60)を、レーザ光20の光軸の延長線上に移動する。そして位相シフタ5aを、レーザ光20の光路から外す。ナイフエッジ30の高さ及び位置、レーザ光20の光軸に対する撮像光学系40及びCCD50のアライメント等が終了した後、ナイフエッジ30にレーザ光20を照射して、先に記載した手順に従って、撮像光学系40の焦点合わせを行う。撮像光学系40の焦点合わせが終了した後、ナイフエッジ30を退避させて、位相シフタ5aをレーザ光20の光路に入れて、断面像の撮像を行う。
レーザ光の断面像(被処理基板の表面に相当する高さにおける光強度分布)は、撮像光学系40で二次元的に拡大され、CCD50で撮像される。CCD50は、撮像されたレーザ光の像をデジタル信号に変換して、コンピュータ80に送る。処理されたデータ(即ち、測定されたレーザ光の強度分布)は、表示装置81に表示される。
表示装置81上で、撮像された断面像と、予め記憶されている目標の断面像と比較することで、両者の差が、予め定められている許容限度内に収まっているかを確認する。両者の差が、許容限度内から外れている場合には、被処理基板10と位相シフタ5aの配置(すなわち、レーザ光20の光軸と平行な方向の距離や、レーザ光20の光軸と垂直な面での回転など)を行い、両者の差を許容限度内に収める。なお、このような断面像の確認及び調整は、コンピュータ80を用いて自動的に行う。
上記のような断面像のチェックは、被処理基板の処理枚数あるいは時間についての適当なインターバルを設定して行われる。調整によってレーザアニールに適した断面像(光強度分布)であることが確かめられたら、共通ステージ70および被処理基板用ステージ100を駆動してレーザ光20光軸上に被処理基板を配置し、適切なレーザフルエンスとなるようにアッテネータ2を調節した後、レーザアニールを行う。
1・・・レーザ光源、2・・・アッテネータ、3・・・ミラー、4・・・プロジェクションレンズ、5、5a・・・位相シフタ、10・・・被処理基板、20・・・レーザ光、21・・・ホモジナイザ(ホモジナイズ光学系)、30・・・ナイフエッジ(遮光部材)、40・・・撮像光学系 、41・・・対物レンズ、42・・・光学筒、50・・・CCD(撮像部品)、60・・・撮像ステージ、61、101、111・・・Xステージ、62、102、112・・・Yステージ、63、103、113・・・Zステージ、65・・・ハイトセンサ、70・・・共通ステージ、80・・・コンピュータ、81・・・表示装置、82・・・バス、83・・・入出力手段、84・・・メモリ、85・・・CPU
87・・・撮像装置用ステージ制御情報記憶装置、88・・・レーザ装置用制御情報記憶装置、89・・・基板ステージ制御情報記憶装置、90・・・遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置、91・・・撮像・分析用制御情報記憶装置、99・・・共通ステージ制御情報記憶装置、100・・・被処理基板用ステージ、110・・・遮光部材用ステージ、d・・・ギャップ。
87・・・撮像装置用ステージ制御情報記憶装置、88・・・レーザ装置用制御情報記憶装置、89・・・基板ステージ制御情報記憶装置、90・・・遮光部材用ステージ制御用情報記憶装置、91・・・撮像・分析用制御情報記憶装置、99・・・共通ステージ制御情報記憶装置、100・・・被処理基板用ステージ、110・・・遮光部材用ステージ、d・・・ギャップ。
Claims (7)
- ある横断面でのレ−ザ光の断面像の撮像方法であって、
レーザ光の進行方向に関して前記横断面の前方側に、撮像装置を配置し、
前記横断面内に、レーザ光の一部を遮るように遮光部材を配置し、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、
それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整し、
次いで、遮光部材をレーザ光の光路から退避させて、前記横断面でのレ−ザ光の断面像を、撮像装置を用いて撮像する、
ことを特徴とするレ−ザ光の断面像の撮像方法。 - 前記遮光部材は、ナイフエッジ状の部材であって、レーザ光の一部を遮る際には、そのナイフエッジの先端が前記横断面内にあるように配置されることを特徴とする請求項1に記載のレ−ザ光の断面像の撮像方法。
- 前記遮光部材は、表面の一部に遮光性薄膜が被覆された透明基板であって、レーザ光の一部を遮る際には、前記遮光性薄膜が前記横断面内にあるように配置されることを特徴とする請求項1に記載のレ−ザ光の断面像の撮像方法。
- ある横断面でのレ−ザ光の断面像を撮像するための装置であって、
レーザ光の進行方向に関して前記横断面の前方側に配置された撮像装置と、
前進位置と後退位置の間で移動可能であり、前進位置において、前記横断面内でレーザ光の一部を遮るように配置される遮光部材と、
前記撮像装置を操作し、且つ前記遮光部材を移動させるための制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、
それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整し、
次いで、遮光部材をレーザ光の光路から退避させて、前記横断面でのレ−ザ光の断面像を、撮像装置を用いて撮像する、
ことを特徴とするレ−ザ光の断面像を撮像するための装置。 - 被加工基板に光強度の勾配を有するレーザ光を照射して前記被加工基板を加工するレーザ加工装置であって、
前記基板を保持する試料ステージと、
前記基板に向けてレーザ光を発射するレーザ光源と、
レーザ光源と試料ステージの間に配置され、レーザ光の強度を減少させるアッテネータと、
レーザ光の光路から試料ステージを退避させた状態で、前記基板と同一平面内で、レーザ光の一部を遮るように配置することができる遮光部材と、
レーザ光の光路に対して試料ステージ及び前記遮光部材を交互に進退させることができる駆動機構と、
レーザ光の光路上で、前記遮光部材の背面側に配置された撮像装置と、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整する焦点合わせ機構と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 被処理基板上に形成された半導体薄膜に、光強度の勾配を有するレーザ光を照射して、半導体薄膜を結晶化するレーザアニール装置であって、
前記基板を保持する試料ステージと、
前記基板に向けてレーザ光を発射するレーザ光源と、
レーザ光源と試料ステージの間に配置され、レーザ光の強度を減少させるアッテネータと、
レーザ光の光路から試料ステージを退避させた状態で、前記基板と同一平面内で、レーザ光の一部を遮るように配置することができる遮光部材と、
レーザ光の光路に対して試料ステージ及び前記遮光部材を交互に進退させることができる駆動機構と、
レーザ光の光路上で、前記遮光部材の背面側に配置された撮像装置と、
遮光部材によって一部が遮られたレーザ光の強度分布を表す明暗像を、撮像装置を用いて撮像し、それにより得られた明暗像のパターンが、予め定められた条件を満足するように、撮像装置の光学系の焦点を調整する焦点合わせ機構と、
を備えたことを特徴とするレーザアニール装置。 - アッテネータと試料ステージの間のレーザ光の光路内に配置され、レーザ光の二次元強度分布を均一化するホモジナイズ光学系と、
このホモジナイズ光学系の焦点位置に配置され、レーザ光の二次元強度分布を作り出す位相シフタと、
を更に備えたことを特徴とする請求項6に記載のレーザアニール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005217611A JP2006093662A (ja) | 2004-08-26 | 2005-07-27 | レ−ザ光の断面像の撮像方法及び方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004246896 | 2004-08-26 | ||
JP2005217611A JP2006093662A (ja) | 2004-08-26 | 2005-07-27 | レ−ザ光の断面像の撮像方法及び方法 |
Publications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN117516415A (zh) * | 2024-01-05 | 2024-02-06 | 南京施密特光学仪器有限公司 | Zernike拟合刀口阴影图波前重构面形检测方法、装置和系统 |
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2005
- 2005-07-27 JP JP2005217611A patent/JP2006093662A/ja not_active Abandoned
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CN117516415B (zh) * | 2024-01-05 | 2024-03-08 | 南京施密特光学仪器有限公司 | Zernike拟合刀口阴影图波前重构面形检测方法、装置和系统 |
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