JP2006090822A - 熱電式化学センサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 柱状のn型熱電半導体素子とp型熱電半導体素子とが複数配列し、各熱電半導体素子の両端面に設け、n型熱電半導体素子とp型熱電半導体素子を電気的に接続する配線電極を有し、温接点側の配線電極近傍に形成した触媒などを利用した反応層において、発熱反応などを伴う化学反応を発生させることで柱状素子の両端面に温度差を生じさせ、所定の物質を検出することを特徴とする熱電式化学センサ。
【選択図】図1
Description
分が大きくなり、熱電対の有効長を縮めてしまう。故に、構造的に感度を向上させることが難しい。さらには従来の熱電対は薄膜状であるため、抵抗値が大きくなりS/Nが小さくなってしまう。
面にある配線電極にたとえば触媒などの化学反応を起こさせる物質が固定されている。この構造から熱電対の長手方向には基板のような熱容量、熱伝導率の高い材料が接触せず独立しているため、端面にて発生した熱は外部への拡散がほとんど無く熱電対の温接点加熱に働くことから、従来よりも温度差が大きく取れ高感度素子となる。
層膜を用いている。この配線電極20は基本的には隣り合ったn型柱状素子10とp型柱状素子11の1本ずつを柱の端面において電気的に接続する構造になっている。配線電極20の膜厚はせいぜい1μm〜3μmと非常に薄いものであるが、柱が細いためにこの程度で十分である。
たときと同じように、アクリル系接着剤を充填し固着させ、再度保護層70を形成する。この横溝を形成することで熱電半導体は柱状に加工されることになり、熱電対数としては増加させることが出来る。ちなみに横溝6は90μm、横隔壁7は110μmである。
には固定部材42として絶縁性の熱伝導性接着剤などを浸透させて固化し、実装強度を高めるとともに冷接点部の熱をスムーズに基台50に拡散できるようにする。ここで、固定部材42が冷接点側の配線電極20すべてを覆える場合は、先に述べた白金膜が冷接点側にも形成されていてもかまわない。
変化以外の外乱因子を取り除けることで、さらに高感度の測定が可能となる。
。
2 縦隔壁
3 n型櫛歯素子
4 p型櫛歯素子
5 一体化櫛歯素子
6 横溝
7 横隔壁
10 n型柱状素子
11 p型柱状素子
20 配線電極
21 温接点
22 冷接点
30 反応層
40 引出電極
41 接合材
42 固定部材
50 基台
51 基台電極
60 リード線
70 保護層
80 第1のセンサ部
81 第2のセンサ部
Claims (13)
- n型熱電半導体からなる複数のn型柱状素子とp型熱電半導体からなる複数のp型柱状素子と、前記各n型柱状素子と前記各p型柱状素子の両端面に設け、前記n型柱状素子と前記p型柱状素子を電気的に接続する配線電極とを有し、温接点側の配線電極近傍において熱変化を伴う化学反応を発生させることで、前記柱状素子の両端面に温度差を生じさせ、所定の物質を検出する熱電式化学センサ。
- 前記n型柱状素子と前記p型柱状素子の少なくとも温接点側の端面に設けている配線電極には、検出対象物質の化学反応を誘起させる触媒物質または検出対象物質と直接反応する化学物質である反応層が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の熱電式化学センサ。
- 前記n型柱状素子と前記p型柱状素子の端面には微細な凹凸が設けられており、それを反映して前記反応層にも凹凸が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の熱電式化学センサ。
- 前記反応層は金属触媒材料であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の熱電式化学センサ。
- 前記反応層は酵素、抗原、抗体、DNA、RNAの中の少なくとも一つの有機物であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の熱電式化学センサ。
- 前記n型柱状素子と前記p型柱状素子との間隙には保護層が設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の熱電式化学センサ。
- 前記配線電極は前記n型柱状素子と前記p型柱状素子の半数ずつを直列に接続することで、第1のセンサ部と第2のセンサ部を形成しており、前記反応層は前記第1のセンサ部のみに設けられていることを特徴とする請求項2から請求項6のいずれか一項に記載の熱電式化学センサ。
- 前記所定の物質の検出は前記第1のセンサ部出力と前記第2のセンサ部出力との差を用いて行うことを特徴とする請求項7に記載の熱電式化学センサ。
- 前記n型柱状素子と前記p型柱状素子からなる複数の熱電対の配線端部に位置する引出電極と対向する位置に基台電極を配した基台を有し、前記配線電極と前記基台電極とは電気的に接合され、前記引出電極と同一面にある配線電極は固定部材を介して前記基台に固定されていることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の熱電式化学センサ。
- n型熱電半導体からなる複数のn型柱状素子とp型熱電半導体からなる複数のp型柱状素子とを保護層を介して固定する工程と、
前記n型柱状素子と前記p型柱状素子の端面に配線電極を形成して前記n型柱状素子とp型柱状素子とを接続する工程と、
前記配線電極の表面に反応層を設ける工程とを有する熱電式化学センサの製造方法。 - 前記配線電極と前記反応層とはいずれも金属材料からなり、メッキ法を用いて連続的に形成することを特徴とする請求項10に記載の熱電式化学センサの製造方法。
- 前記反応層には有機物質を用いており、電気化学的方法または選択的化学結合法を利用
して前記配線電極表面に形成することを特徴とする請求項10に記載の熱電式化学センサの製造方法。 - 前記反応層を設ける工程の直前または直後に前記保護層を溶解する工程を有することを特徴とする請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の熱電式化学センサの製造方法。
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