JP2006090801A - 被検査体の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様に係る検査装置は、被検査体の表面または表面近傍に在る欠陥を検査する検査装置であって、被検査体の表面の所定領域を実質的に一様に加熱する加熱手段と、加熱された領域から放射された赤外線で形成される赤外線像を撮像する撮像手段と、前記赤外線像を画像解析してその赤外線像における特異部分を判別する画像処理手段とを有する被検査体の検査装置である。
【選択図】図1
Description
本発明の第1態様について図1〜4を参照しつつ説明する。図1は、鋼板Wの表面又は表面近傍(以下の説明では併せて「表面」と言う。)に生じた欠陥を検査する第1態様の検査装置1の概略構成図である。図2は、図1の鋼板Wの部分拡大平面視と部分拡大断面視であり、鋼板Wに生じた欠陥について説明する図である。図3は、図1の検査装置1で欠陥を検出する原理について説明する図である。図4は、図1の検査装置1の実施例を説明する図である。
本態様の加熱手段であるヒータ13は少なくとも鋼板Wに対応する領域が全体として一定の温度で発熱し、鋼板Wを一様に加熱するように構成されている。したがって、ヒータ13で底面から鋼板Wが加熱されると熱は表面に伝導し、表面の温度は上昇し、与えられる熱量と表面から空気中に伝達する熱量が均衡した時点で表面の温度は全体として一定で一様な温度となる。なお、例えば加熱する時間及び生じる熱量等を加熱パターンにおける制御因子として加熱制御手段18で温度制御して所定の温度までヒータ13を発熱させた後に一定の温度となるように制御してもよい。このヒータ13で加熱された鋼板Wは、その表面から赤外線を放射する。
本態様の撮像手段である赤外線カメラ14は、ヒータ13で加熱された鋼板Wの表面から放射される赤外線で形成される赤外線像を撮像するものであり、周知の赤外線カメラが使用される。なお、図において符号Sは赤外線カメラ14の鋼板Wの表面における視野の範囲であるが、このように視野範囲Sが鋼板Wの表面の検査をすべき領域をカバーできない場合には、その領域が赤外線カメラ14の視野範囲Sに収まるように位置決め手段12を位置制御手段18で制御して載置部材11を水平方向に移動させればよい。この載置部材11の移動速度は、赤外線カメラ14の撮像分解能と露光時間に基づいて決まる。
画像処理手段16が組み込まれた演算手段15は、具体的に言えばインターフェイス、CPU及びメモリーなどを備えたコンピュータである。画像処理手段16には、視野範囲Sにおいて赤外線カメラ14で撮像された赤外線像の画像データと位置制御手段19で生成された鋼板Wにおけるその視野範囲Sの位置データが送信される。画像処理手段16は、その画像データと位置データに基づいて鋼板Wの表面の温度に対応した2次元的な温度分布を例えば図4に示すようにマップ状に生成する。そして、画像処理手段16は、作成された温度分布について、図2(b)に示すように周囲の温度に対して温度差がある部分を特異部分として抽出し、その特異部分を欠陥と認識する。なお、生成された温度分布において特異部分を抽出する手法は周知の画像処理方法を採用することができ、例えば画像データを微分する等の信号処理を行って特異部分のエッジを強調し、より欠陥の識別を容易にすることもできる。また、この特異部分の温度変化が僅かであっても、線状あるいは断続的に連なっている特異部分の場合、この特異部分の長手方向に投影分布を作成する信号処理を行って特異部分を強調し、より欠陥の識別を容易にすることも可能である。
本発明の第2態様について図5を参照して説明する。図5は、連続的に搬送される鋼板Wの表面に在る欠陥を検査する検査装置2の概略構成図であって、実施態様1の検査装置1と同様な部分には同一符号を付し詳細な説明を省略する。
11 載置部材
12 位置決め手段
13 ヒータ
14 赤外線カメラ
15 演算手段
16 画像処理手段
18 加熱制御手段
19 位置制御手段
20 下搬送ローラ
21 上搬送ロール
23 ハロゲンランプ
Claims (5)
- 被検査体の表面または表面近傍に在る欠陥を検査する検査装置であって、被検査体の表面の所定領域を実質的に一様に加熱する加熱手段と、前記領域から放射された赤外線で形成される赤外線像を撮像する撮像手段と、前記赤外線像を画像解析してその赤外線像における特異部分を判別する画像処理手段とを有する被検査体の検査装置。
- 前記検査装置は、前記加熱手段の加熱量を制御する加熱制御手段を有する請求項1に記載の被検査体の検査装置。
- 平面視において前記領域を包含可能な大きさを有し前記被検査体が載置される平板状の加熱手段を有する請求項1または2のいずれかに記載の被検査体の検査装置。
- 前記被検査体は金属製の薄板である請求項1乃至3のいずれかに記載の被検査体の検査装置。
- 被検査体の表面または表面近傍に在る欠陥を検査する検査方法であって、被検査体の表面の所定領域を実質的に一様に加熱し、加熱された表面の所定領域から放射された赤外線で形成される赤外線像を撮像し、前記赤外線象を画像解析してその赤外線像における特異部分を判別する被検査体の検査方法。
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