JP2006086950A - 固体撮像装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産選別で必要な高い精度と短い時間を両立した検査を行う。
【解決手段】第２フィールドで蓄積期間ｔ１の信号電荷を、読み出しパルス１０１で垂直転送部に転送し、φＳＵＢパルスで蓄積信号電荷を排出し信号電荷を蓄積時間ｔ２で制御し、また第１フィールドで蓄積期間ｔ２の信号電荷を、読み出しパルス１０２で垂直転送部に転送し、φＳＵＢパルスで蓄積信号電荷を排出し信号電荷を蓄積時間ｔ１で制御する。第１，第２フィールドで信号電荷の蓄積と転送を複数繰り返し、垂直，水平転送されて電気信号に変換された画像信号を得る。この第１，第２フィールドの各画像信号での水平転送方向の前縁，後縁領域における電気信号の差から比率を計算し、水平転送効率を算出して精度よく良否判定をする。また信号電荷の垂直転送として試験領域は通常の垂直転送で１段転送とし、残りは垂直高速転送として信号電荷の掃き出し検査時間を短縮する。
【選択図】図１

Description

本発明は、固体撮像装置の検査方法であり、特に、固体撮像装置の水平転送部における転送効率の検査方法に関するものである。

近年、固体撮像装置を用いたデジタルスチルカメラは高画素化が進み、そのなかで、転送周波数も高くなっている。固体撮像装置において、信号電荷の転送に関しては、ゲートごとに蓄積された信号電荷が１００％転送される訳ではない。特に、水平転送部では２５ＭＨｚを超える動作スピードで、転送段数が２０００段を超えてきたため、転送劣化の検査を行うことが重要になっている（例えば、特願２００３−１２０５３４号参照）。

ここで、従来の固体撮像装置の構成を、図６，図７，図８を用いて説明する。

図６は、インターレース・スキャン方式インターライン構造を持つ固体撮像装置の構成図である。図６において、６１は半導体基板上のＸ方向にｉ列そしてＹ方向にｊ行配列して形成されたフォトダイオード、６２はＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４の４相のゲートからなる垂直転送部、６３はＨ１，Ｈ２の２相のゲートからなる水平転送部、６４は電荷検出部（出力部）を有している。

フォトダイオード６１は、それぞれ色フィルタを有しており、図７はＲ（赤），Ｂ（青），Ｇ（緑）の色フィルタを市松模様に配列したときの色フィルタアレイの構成図である。

図８は固体撮像装置における垂直転送部のゲート構成の一例を示す図である。垂直転送部６２のゲートは水平転送部６３側からＶ４，Ｖ３，Ｖ２，Ｖ１の順番で繰り返して配置する。このゲート構成は、ｉ列ｊ行からなる全てのフォトダイオード６１の信号電荷を偶数行と奇数行の２回に分けて転送して出力する、２：１インターレース構造である。

前記の構成において、従来の固体撮像装置の転送効率検査方法を説明する。２種類の撮像動作により、フォトダイオード６１の蓄積電荷量の少ない画像データＡおよび蓄積電荷量の多い画像データＢを取得する。そして、各画像データから、図９（ａ），（ｂ）に示すように、前縁領域の領域Ｉ内において水平方向に隣接し、異なる分光の色フィルタを有する各フォトダイオード６１の信号出力の差の平均値Ａ１および平均値Ｂ１を各々算出し、また、後縁領域の領域ＩＩ内において水平方向に隣接する各フォトダイオード６１の信号出力の差の平均値をＡ２および平均値Ｂ２を各々算出する（数１），（数２），（数３）を演算し、

転送効率ＴおよびＶより判定を行っている。
特開平５−１６８０５０号公報

しかしながら、このような構成の従来の検査方法では、生産選別で必要な、高い検査精度と短い検査時間の両立は困難であった。高い検査精度を得るためには、できるだけ水平転送部の両端（前縁領域および後縁領域の一部の領域）に試験領域を設定し領域Ｉと領域ＩＩとの間隔を広くとる必要があるが、各領域の面積を小さく設定すると空間的なランダムノイズの影響が強くなるため、取り込み回数を増やす必要があり、検査時間が長くなる。また検査時間を短くするには、取り込み回数を低減する必要があるが、時間軸方向のランダムノイズの影響が強くなるため、各領域（領域Ｉ，領域ＩＩ）の面積を広くとる必要があり、検査精度が低下するという問題があった。

また、固体撮像装置の信号電荷は、水平転送部６３では、一定の時間内には次段に転送する必要があり、信号電荷量が少なくなるほど移動力が低下して転送劣化が起こりやすい。したがって、水平転送部６３を単一のバイアス条件で駆動させる場合、固体撮像装置によっては、転送する信号電荷量が多いときには水平転送効率が９９％以上あり問題がなくても、転送する信号電荷量が少ないときには水平転送効率が９４％以下となり問題となる場合がある。

本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、生産選別で必要な、高い検査精度と短い検査時間の両立を行う、新しい駆動方法を用いた固体撮像装置の検査方法を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明に係る固体撮像装置の検査方法は、半導体基板上に形成された複数のフォトダイオードと、フォトダイオードの上に形成された色フィルタと、フォトダイオードに蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部および水平転送部とを有し、水平転送部から転送された信号電荷を電気信号に変換して出力する固体撮像装置の検査方法であって、信号電荷の蓄積時間が蓄積時間ｔ１の第１蓄積期間と、蓄積時間ｔ２（≠ｔ１）の第２蓄積期間とを含む１周期の蓄積動作を複数周期繰り返して電気信号の出力を行い、第１蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号を複数周期分加算あるいは平均した第１の加算画像と、第２蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号を複数周期分加算あるいは平均した第２の加算画像とを生成し、第１の加算画像および第２の加算画像の水平転送方向の前縁領域の信号と、第１の加算画像および第２の加算画像の水平転送方向の後縁領域の信号とから転送効率を判定することを特徴とする。

また、前記固体撮像装置の検査方法に、水平転送方向の前縁領域の少なくとも一部の領域における第１の加算画像と第２の加算画像との信号の比率Ａ１と、水平転送方向の後縁領域の少なくとも一部の領域における第１の加算画像と第２の加算画像との信号の比率Ｂ１から転送効率を判定すること、さらに、比率Ａ１と比率Ｂ１との比率Ｃ１を演算し、比率Ａ１，比率Ｂ１，比率Ｃ１の少なくとも２つから転送効率を判定することを特徴とする。

また、半導体基板上に形成された複数のフォトダイオードと、フォトダイオードの上に形成された色フィルタと、フォトダイオードに蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部および水平転送部とを有し、水平転送部から転送された信号電荷を電気信号に変換して出力する固体撮像装置の検査方法であって、信号電荷の蓄積時間が蓄積時間ｔ１の第１蓄積期間と、蓄積時間ｔ２（≠ｔ１）の第２蓄積期間とを含む１周期の蓄積動作を複数周期繰り返して電気信号の出力を行い、水平転送部から転送される水平転送方向の前縁領域の少なくとも一部の領域における第１蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号と第２蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号との比率Ａ２と、水平転送方向の後縁領域の少なくとも一部の領域における第１蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号と第２蓄積期間のフォトダイオードの信号電荷に対応する信号との比率Ｂ２を周期ごとに演算し、比率Ａ２を複数周期分加算あるいは平均した比率Ａ３を演算し、比率Ｂ２を複数周期分加算あるいは平均した比率Ｂ３を演算し、比率Ａ３および比率Ｂ３から転送効率を判定することを特徴とする。

さらに、比率Ａ３と比率Ｂ３との比率Ｃ３を演算し、比率Ａ３，比率Ｂ３，比率Ｃ３の少なくとも２つから転送効率を判定することを特徴とする。

また、前記固体撮像装置の検査方法であって、信号電荷の垂直転送において、水平転送方向の前縁領域および後縁領域の一部の領域を含まない行の信号電荷の水平転送部への垂直転送は、垂直高速転送により高速掃き出しすること、さらに、固体撮像装置に単色光を照射して検査することを特徴とする。

前記構成によれば、転送効率の測定に使用する画像領域の空間的な広がりを最小限に抑えることで、水平転送方向の前縁領域と後縁領域の間隔を確保して測定精度を向上させることができる。

また、垂直転送において、水平転送効率の算出に用いる画像領域に対しては通常の垂直転送を行い、水平転送方向の前縁領域および後縁領域の一部の領域を含まない水平転送効率の算出に不要な画像領域に対しては垂直高速転送を行うことで、検査時間の短縮が実現できる。例えば、試験領域の面積を１／２として２つの領域間隔を広げて、取り込み回数を４倍として検査すれば、ノイズレベルを１／√２にすることができ、検査精度を高めることが可能となり、さらに、検査に不要な領域においては高速転送することにより、装置全体の駆動時間を８０％以下にでき、検査時間を大幅に削減することができる。

また、単色光を照射して検査することで、水平転送効率の算出に用いる、水平転送部で転送する隣り合った信号電荷量の差（色差信号）を大きくとることができ、ランダムノイズに強い高精度な水平転送効率の検査を行うことができる

本発明の固体撮像装置の検査方法によれば、転送効率の測定に使用する画像領域の空間的な広がりを最小限に抑え、水平転送方向の前縁領域と後縁領域の間隔を確保して測定精度を向上させ、また画像領域において通常の垂直転送と垂直高速転送とを行うことで駆動時間を短縮でき、また単色光を照射して検査することで、水平転送部で転送する隣り合った信号電荷量の差（色差信号）を大きくとることができ、より高精度な水平転送効率の検査を行うことができるという効果を奏する。

以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。

本発明の実施の形態における固体撮像装置は、従来例において説明したように、図６の固体撮像装置の構成図に示すインターライン構造を有し、図７のＲ，Ｂ，Ｇの色フィルタアレイを有し、図８の垂直転送部にゲートＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４を配置した２：１インターレース・スキャン方式の固体撮像装置である。ここで、色フィルタアレイとは、特定波長成分の光のみを通過させるフィルタ配列を指す。

まず、本実施の形態における固体撮像装置の検査方法に用いる駆動方法について説明する。

図１に本発明の実施の形態における固体撮像装置の駆動タイミングチャートを示す。φＨＤは水平同期信号、φＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４はそれぞれ図８の垂直転送部のゲートＶ１，ゲートＶ２，ゲートＶ３，ゲートＶ４に印加する垂直転送パルス信号、φＳＵＢはフォトダイオード６１の蓄積信号電荷を半導体の深さ方向へ排出するための電荷排出パルス信号である。図２は、図１の通常の垂直転送（１水平走査期間中に垂直１段転送）を行う区間Ａを拡大したタイミングチャートである。図３は、図１の垂直高速転送（１水平走査期間中に垂直複数段転送）を行う区間Ｂを拡大したタイミングチャートである。

図１に示すように、本実施の形態における固体撮像装置の検査方法に用いる駆動タイミングは第１フィールドと第２フィールドとの繰り返しで構成され、各フィールドは図２に示す通常の垂直転送区間と図３に示す垂直高速転送区間を持ち、各フィールドで異なる信号電荷蓄積期間（ｔ１，ｔ２）を有する。また、図４に固体撮像装置（イメージャ）表面の図を示し、図４中には試験領域である領域４１と領域４２、および通常の垂直転送区間と垂直高速転送区間を示す。

図１の第２フィールドで蓄積期間ｔ１に制御した信号電荷（垂直転送部のゲートＶ１につながるフォトダイオードの信号電荷）を、第１フィールドのφＶ１に立つ読み出しパルス１０１により図６に示す垂直転送部６２に転送する。信号電荷を垂直転送部６２に転送した後、φＳＵＢパルスを印加してフォトダイオード６１に蓄積する信号電荷を排出し、信号電荷蓄積期間を蓄積時間ｔ２（例えば、ｔ２×８＝ｔ１）に制御する。読み出しパルス１０１により垂直転送部６２に転送した信号電荷は、垂直転送と水平転送により電荷検出部６４に転送され、電荷検出部６４で電圧あるいは電流といった電気信号に変換され画像信号として出力される（図６参照）。

このとき、垂直転送は、試験領域である領域４１と領域４２に相当するフォトダイオード６１において全ての信号電荷が電荷検出部６４より出力されるまで、通常の垂直転送により１段分の垂直転送を行い、以降、垂直転送部６２に残る信号電荷は、不要な信号電荷として、垂直高速転送を行い垂直転送部６２から掃き出す。言うまでもなく、垂直転送の総段数は、垂直転送部６２に読み出される（ｊ行÷２）段以上行う必要がある。

第１フィールドで蓄積期間ｔ２に制御した信号電荷を第２フィールドのφＶ１に立つ読み出しパルス１０２により垂直転送部６２に転送する。信号電荷を垂直転送部６２に転送した後、φＳＵＢパルスの印加をはじめてフォトダイオードに蓄積する信号電荷を排出し、信号電荷蓄積期間を蓄積時間ｔ１（例えば、ｔ１＝ｔ２×８）に制御する。読み出しパルス１０２により垂直転送部６２に転送した信号電荷は、垂直転送，水平転送され、電荷検出部６４で電圧あるいは電流といった電気信号に変換され画像信号として出力される。

このとき、垂直転送は、第１フィールドと同様に、通常の垂直転送と垂直高速転送を行う。そして、第１フィールド，第２フィールドの信号電荷蓄積および転送を複数回繰り返してデータの取り込みを行う。

次に、前記した駆動方法における、固体撮像装置の検査方法を説明する。

まず、ランダムノイズに強い高精度な水平転送効率を求めるために、赤色の単色光を照射し、水平転送に有利な条件と不利な条件とを測定する。これは水平転送をいくら良化させても、固体撮像装置の信号出力がシェーディングをはじめから持つ場合があるためである。

そして、赤色の単色光により、主に、Ｒ（赤）の色フィルタを施したフォトダイオードに信号電荷を蓄積させる。この信号電荷をフレーム読み出しまたはフィールド読み出しを行うことで、水平転送部６３に信号電荷のある画素とない画素が繰り返される、くし型に変調された状態をつくることができる。図７に示す色フィルタアレイの配列においては、くし型に変調された信号電荷の出力は、赤色信号出力，緑色信号出力，赤色信号出力，緑色信号出力，・・・といった形で繰り返す。またこの例では、赤色の単色光としたが、青色、緑色の単色光であっても構わない。

図６に示す水平転送部６３の転送効率を求めるに際し、赤色の単色光を照射して、固体撮像装置を駆動すると、赤色の単色光により、Ｒ（赤）の色フィルタを施したフォトダイオード６１のみ信号電荷が蓄積される。電荷検出部６４より出力された信号電荷は、ＣＤＳ（相関２重サンプリング）回路６５でリセット雑音を低減された後、Ａ／Ｄコンバータ６６でデジタル変換され、フレームメモリ６７に記録される。

ここで、第１フィールド，第２フィールドの信号電荷蓄積および転送を複数回繰り返して取り込まれるため、フレームメモリ６７には複数回のデータが累積加算して記録される。例えば、フレームメモリ６７の値を読み出して、この値と現在値を加算し、再度フレームメモリ６７に書き込むことで累積加算可能である。また、信号電荷を測定回数で割り算して求めた、平均値をフレームメモリ６７に書き込んでも構わない。

図５は、前記の駆動方法によって得られる信号電荷に対応する信号の、フレームメモリ６７内の記録状態を示す図である。Ｒは赤色フィルタを施したフォトダイオードの出力、Ｇは緑色フィルタを施したフォトダイオードの出力である。撮像領域５１は蓄積期間ｔ１に制御した信号の領域であり、水平転送効率の良好な領域である。撮像領域５２は蓄積期間ｔ２に制御した信号の領域であり、水平転送効率の優劣がつく領域である。試験領域５３と試験領域５５は、共に図４に示す領域４１で蓄積された信号の領域であり、電荷検出部６４までの水平転送段数の少ない領域（前縁領域）である。また、試験領域５４と試験領域５６は、共に領域４２で蓄積された信号の領域であり、電荷検出部６４までの水平転送段数の多い領域（後縁領域）である。

試験領域５３内のＲ平均値（Ｒ５３）とＧ平均値（Ｇ５３）、および試験領域５４内のＲ平均値（Ｒ５４）とＧ平均値（Ｇ５４）から（数４），（数５）により

試験領域の色差信号出力を算出する。

また、試験領域５５内のＲ平均値（Ｒ５５）とＧ平均値（Ｇ５５）、および試験領域５６内のＲ平均値（Ｒ５６）とＧ平均値（Ｇ５６）から（数６），（数７）により

試験領域の色差信号出力を算出する。

次に、各試験領域の色差信号出力により（数８），（数９），（数１０）から

水平転送効率を算出し、それぞれ判定値（任意）と比較して、良否判定を行う。

本実施の形態における固体撮像装置の検査方法によれば、転送効率の測定に使用する画像領域の空間的な広がりを最小限に抑えることで、水平転送方向の前縁領域（試験領域５３，５５）と後縁領域（試験領域５４，５６）の間隔を確保して測定精度を向上させることが可能である。

なお、本実施の形態では複数回の信号データを加算または平均処理してから水平転送効率（ηＨ１，ηＨ２，ηＨ３）を算出したが、１周期の第１フィールドと第２フィールドのデータを取り込んで、水平転送効率（ηＨ１，ηＨ２，ηＨ３）を求め、複数周期分のデータ数だけ加算または平均するものであっても同等の結果を得ることが可能である。

また、水平転送効率の算出に用いる画像領域に対しては通常の垂直転送を行い、水平転送効率の算出に不要な画像領域に対しては垂直高速転送を行うことで、駆動時間の短縮が実現できる。

例えば、垂直方向の１０％に対しては１段転送を行い、垂直方向の残り９０％に対しては２０段転送を行うことで、従来の２０％以下に駆動時間を短縮することができる。駆動時間の短縮は検査時間の短縮につながり、生産選別に有利な検査コストの削減が可能となる。また、試験領域の面積を１／２として２つの領域（前縁および後縁）間隔を広げ、取り込み回数を４倍として検査すれば、ノイズレベルを１／√２にすることができ、検査精度を高められ、さらに、検査に不要な領域の信号電荷を高速転送することにより、装置全体の駆動時間を８０％以下にでき、検査時間を大幅に削減することが可能である。

また、１周期の駆動方法の中に２つの蓄積期間（ｔ１，ｔ２）を組み込むことで、これまで２回の駆動条件設定を行う必要があった検査が、１回の駆動条件設定で済むことから、条件設定時間を５０％に短縮することができ、検査時間の短縮から生産選別に有利な検査コストの削減が可能である。

単色光を照射して検査することで、水平転送効率の算出に用いる、水平転送部で転送する隣り合った信号電荷量の差（色差信号）を大きくとることができるため、ランダムノイズに強い高精度な水平転送効率の検査を行うことが可能となる。さらに、色差信号を大きくとるため単色光を照射する例を挙げたが、固体撮像装置のもつ色フィルタで、色差信号が大きくとるものであれば、単色光の照射に限らず、通常の白色光を照射しても構わない。

さらに、本実施の形態では、水平転送部のシェーディングによるオフセットを除いた転送効率を求めるため、色差信号を算出したが、水平転送部のシェーディングが無視できる程度に小さいものであれば、色差信号に限らず、Ｒ，Ｇ，Ｂの画素を均等に加算して処理するものであって構わない。

また、水平転送効率の良好な状態と優劣のつく状態を明確につくるため、フォトダイオードの信号電荷蓄積時間比を８：１と、８倍を選択して水平転送効率の算出に８倍したが、例えば１２．３４５倍といった実数倍でもよい。しかし、倍率が大きいほど水平転送効率の良好な状態と優劣のつく状態を明確にできる反面、信号電荷蓄積時間が長くなり、検査時間の短縮効果が弱まる。

なお、本発明の実施の形態では、インターライン構造を有し、２：１インターレース・スキャン方式の固体撮像装置を用いたが、フォトダイオードと垂直転送部が一体化したフレーム・トランスファー構造であっても、またノンインターレース・スキャン方式やｎ：１インターレース・スキャン方式（ｎは３以上の整数）といったスキャン方式であっても、本発明の実施の形態と同じく水平転送部に色差信号を得ることができ、発明の効果が得られることは言うまでもない。

本発明に係る固体撮像装置の検査方法は、転送効率測定に使用する画像領域の空間的な広がりを最小限に抑え、水平転送方向の前縁領域と後縁領域の間隔を確保して測定精度を向上でき、固体撮像装置の水平転送部における転送効率の検査に有用である。

本発明の実施形態にかかる固体撮像装置の駆動タイミングチャート 図１の垂直転送を行う区間Ａを拡大したタイミングチャート 図１の垂直高速転送を行う区間Ｂを拡大したタイミングチャート 本発明の実施形態の駆動方法を示す固体撮像装置（イメージャ）表面の構成図 本発明の実施形態の駆動方法によって得られる信号電荷をメモリに記録した、画像データのイメージ図 固体撮像装置の構成図 色フィルタアレイの構成図 固体撮像装置の垂直転送部のゲート構成図 従来の駆動方法によって得られる信号電荷をメモリに記録した、画像データのイメージ図

符号の説明

４１，４２ 領域
５１，５２ 撮像領域
５３，５４，５５，５６ 試験領域
６１ フォトダイオード
６２ 垂直転送部
６３ 水平転送部
６４ 電荷検出部
６５ ＣＤＳ（相関２重サンプリング）回路
６６ Ａ／Ｄコンバータ
６７ フレームメモリ

Claims (7)

1. 半導体基板上に形成された複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードの上に形成された色フィルタと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部および水平転送部とを有し、前記水平転送部から転送された信号電荷を電気信号に変換して出力する固体撮像装置の検査方法であって、
   前記信号電荷の蓄積時間が蓄積時間ｔ１の第１蓄積期間と、蓄積時間ｔ２（≠ｔ１）の第２蓄積期間とを含む１周期の蓄積動作を複数周期繰り返して前記電気信号の出力を行い、
   前記第１蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号を前記複数周期分加算あるいは平均した第１の加算画像と、前記第２蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号を前記複数周期分加算あるいは平均した第２の加算画像とを生成し、
   前記第１の加算画像および前記第２の加算画像における水平転送方向の前縁領域の信号と、前記第１の加算画像および前記第２の加算画像における水平転送方向の後縁領域の信号とから転送効率を判定することを特徴とする固体撮像装置の検査方法。
2. 水平転送方向の前縁領域の少なくとも一部の領域における前記第１の加算画像と前記第２の加算画像との信号の比率Ａ１と、水平転送方向の後縁領域の少なくとも一部の領域における前記第１の加算画像と前記第２の加算画像との信号の比率Ｂ１から転送効率を判定することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置の検査方法。
3. 前記比率Ａ１と前記比率Ｂ１との比率Ｃ１を演算し、前記比率Ａ１，前記比率Ｂ１，前記比率Ｃ１の少なくとも２つから転送効率を判定することを特徴とする請求項２記載の固体撮像装置の検査方法。
4. 半導体基板上に形成された複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードの上に形成された色フィルタと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を転送する垂直転送部および水平転送部とを有し、前記水平転送部から転送された信号電荷を電気信号に変換して出力する固体撮像装置の検査方法であって、
   前記信号電荷の蓄積時間が蓄積時間ｔ１の第１蓄積期間と、蓄積時間ｔ２（≠ｔ１）の第２蓄積期間とを含む１周期の蓄積動作を複数周期繰り返して前記電気信号の出力を行い、
   前記水平転送部から転送される水平転送方向の前縁領域の少なくとも一部の領域における前記第１蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号と前記第２蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号との比率Ａ２と、前記水平転送方向の後縁領域の少なくとも一部の領域における前記第１蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号と前記第２蓄積期間の前記フォトダイオードの信号電荷に対応する信号との比率Ｂ２を周期ごとに演算し、
   前記比率Ａ２を前記複数周期分加算あるいは平均した比率Ａ３を演算し、前記比率Ｂ２を前記複数周期分加算あるいは平均した比率Ｂ３を演算し、前記比率Ａ３および前記比率Ｂ３から転送効率を判定することを特徴とする固体撮像装置の検査方法。
5. 前記比率Ａ３と前記比率Ｂ３との比率Ｃ３を演算し、前記比率Ａ３，前記比率Ｂ３，前記比率Ｃ３の少なくとも２つから転送効率を判定することを特徴とする請求項４記載の固体撮像装置の検査方法。
6. 前記信号電荷の垂直転送において、前記水平転送方向の前縁領域および後縁領域の一部の領域を含まない行の信号電荷の前記水平転送部への垂直転送は、垂直高速転送により高速掃き出しすることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置の検査方法。
7. 前記固体撮像装置に単色光を照射して検査することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の固体撮像装置の検査方法。

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