JP2006086167A - 窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 n型窒化ガリウムコンタクト層とp型窒化ガリウムコンタクト層の間に、n型窒化ガリウムコンタクト層より上に順に下位バリア層(Lower Barrier Layer)と少なくとも一層の中間層(Intermediate Layer)、及び、上位バリア層(Upper Barrier Layer)を形成し、即ち上位と下位バリア層で少なくとも一層の中間層を挟み、中間層の数が一より大きい時、即ち上位と下位バリア層で複数の中間層を挟む時、上下の隣接する中間層と中間層の間に更に中位バリア層(Intermediate Barrier Layer)を挟む。
【選択図】 図4
Description
該発光層が、下から上に順に、
(1)アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N、0≦x,y≦1)を材料とする下位バリア層、
(2)少なくとも一層が重複重畳された中間層であって、該中間層の数が1より大きい時、上下の隣り合う中間層の間に、中位バリア層が挟まれ、該中位バリア層がアンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-i-j Gai Inj N、0≦i,j≦1)で形成された、上記少なくとも一層が重複重畳された中間層、
(3)アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N、0≦x,y≦1)を材料とする上位バリア層、
以上を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が下から上に、窒化インジウムを材料とする第1超薄量子ドット層と、アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-m-n Gam Inn N、0≦m,n≦1)を材料とする量子井戸層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項3の発明は、請求項2記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層の量子井戸層の上に窒化インジウムを材料とする第2超薄量子ドット層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項4の発明は、請求項2記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄量子ドット層の厚さが2〜30Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項5の発明は、請求項3記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄量子ドット層、第2超薄量子ドット層の厚さがいずれも2〜30Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項6の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が下から上に、窒化インジウムを材料とする第1超薄層と、アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-m-n Gam Inn N、0≦m,n≦1)を材料とする量子井戸層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項7の発明は、請求項6記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層の量子井戸層の上に窒化インジウムを材料とする第2超薄層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項8の発明は、請求項6記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄層の厚さが2〜10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項9の発明は、請求項7記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄層、第2超薄層の厚さがいずれも2〜10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項10の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が、少なくとも一層の、窒化インジウムを材料とする第1超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第2超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子量子井戸層であることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項11の発明は、請求項10記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第1超薄モノ層と第2超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項12の発明は、請求項10記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項13の発明は、サファイヤを基板とし、このサファイヤ基板の上に下から上に順にn型窒化ガリウムコンタクト層、該n型窒化ガリウムコンタクト層の一部表面を被覆する発光層、及び該発光層を被覆するp型窒化ガリウムコンタクト層が設けられ、該p型窒化ガリウムコンタクト層と該n型窒化ガリウムコンタクト層の未被覆の表面に正電極と負電極が設けられた窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、
該発光層が、下から上に順に、
(1)インジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第5超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第6超薄モノ層が、交互に重畳されてなる超格子バリア層である下位バリア層、
(2)少なくとも一層が重複重畳された中間層であり、該中間層の数が1より大きい時、上下の隣り合う中間層の間に、中位バリア層が挟まれ、該中位バリア層がインジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第7超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第8超薄モノ層が、交互に重畳されてなる超格子バリア層である、上記少なくとも一層が重複重畳された中間層、
(3)インジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第9超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第10超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子バリア層である、上位バリア層、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項14の発明は、請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が、少なくとも一層の、窒化インジウムを材料とする第3超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第4超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子量子井戸層であることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項15の発明は、請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項16の発明は、請求項14記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第3超薄モノ層と第4超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項17の発明は、請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第5超薄モノ層と第6超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項18の発明は、請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第7超薄モノ層と第8超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
請求項19の発明は、請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第9超薄モノ層と第10超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造としている。
11 n型窒化ガリウムコンタクト層
12 窒化ガリウムインジウム発光層
13 p型窒化ガリウムコンタクト層
14 正電極
15 負電極
20 サファイヤ基板
21 n型窒化ガリウムコンタクト層
22 下位バリア層
23 中間層
23’ 中間層
231 窒化インジウム超薄量子ドット層
231’ 窒化インジウム超薄量子ドット層
232 量子井戸層
24 上位バリア層
25 p型窒化ガリウムコンタクト層
26 正電極
27 負電極
28 中位バリア層
30 サファイヤ基板
31 n型窒化ガリウムコンタクト層
32 下位バリア層
33 中間層
33’ 中間層
331 窒化インジウム超薄量子ドット層
331’ 窒化インジウム超薄量子ドット層
332 量子井戸層
34 上位バリア層
35 p型窒化ガリウムコンタクト層
36 正電極
37 負電極
38 中位バリア層
40 サファイヤ基板
41 n型窒化ガリウムコンタクト層
42 下位バリア層
43 中間層
43’ 中間層
431 超薄窒化インジウムモノ層
431’ 超薄窒化インジウムモノ層
432 超薄窒化ガリウムモノ層
432’ 超薄窒化ガリウムモノ層
44 上位バリア層
45 p型窒化ガリウムコンタクト層
46 正電極
47 負電極
48 中位バリア層
50 サファイヤ基板
51 n型窒化ガリウムコンタクト層
52 下位バリア層
53 中間層
53’ 中間層
531 超薄窒化インジウムモノ層
531’ 超薄窒化インジウムモノ層
532 超薄窒化ガリウムモノ層
532’ 超薄窒化ガリウムモノ層
54 上位バリア層
55 p型窒化ガリウムコンタクト層
56 正電極
57 負電極
58 中位バリア層
Claims (19)
- サファイヤを基板とし、このサファイヤ基板の上に下から上に順にn型窒化ガリウムコンタクト層、該n型窒化ガリウムコンタクト層の一部表面を被覆する発光層、及び該発光層を被覆するp型窒化ガリウムコンタクト層が設けられ、該p型窒化ガリウムコンタクト層と該n型窒化ガリウムコンタクト層の未被覆の表面に正電極と負電極が設けられた窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、
該発光層が、下から上に順に、
(1)アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N、0≦x,y≦1)を材料とする下位バリア層、
(2)少なくとも一層が重複重畳された中間層であって、該中間層の数が1より大きい時、上下の隣り合う中間層の間に、中位バリア層が挟まれ、該中位バリア層がアンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-i-j Gai Inj N、0≦i,j≦1)で形成された、上記少なくとも一層が重複重畳された中間層、
(3)アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-x-y Gax Iny N、0≦x,y≦1)を材料とする上位バリア層、
以上を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。 - 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が下から上に、窒化インジウムを材料とする第1超薄量子ドット層と、アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-m-n Gam Inn N、0≦m,n≦1)を材料とする量子井戸層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項2記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層の量子井戸層の上に窒化インジウムを材料とする第2超薄量子ドット層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項2記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄量子ドット層の厚さが2〜30Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項3記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄量子ドット層、第2超薄量子ドット層の厚さがいずれも2〜30Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が下から上に、窒化インジウムを材料とする第1超薄層と、アンドープの窒化アルミニウムガリウムインジウム(Al1-m-n Gam Inn N、0≦m,n≦1)を材料とする量子井戸層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項6記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層の量子井戸層の上に窒化インジウムを材料とする第2超薄層を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項6記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄層の厚さが2〜10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項7記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされ、第1超薄層、第2超薄層の厚さがいずれも2〜10Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項1記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が、少なくとも一層の、窒化インジウムを材料とする第1超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第2超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子量子井戸層であることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項10記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第1超薄モノ層と第2超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項10記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- サファイヤを基板とし、このサファイヤ基板の上に下から上に順にn型窒化ガリウムコンタクト層、該n型窒化ガリウムコンタクト層の一部表面を被覆する発光層、及び該発光層を被覆するp型窒化ガリウムコンタクト層が設けられ、該p型窒化ガリウムコンタクト層と該n型窒化ガリウムコンタクト層の未被覆の表面に正電極と負電極が設けられた窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、
該発光層が、下から上に順に、
(1)インジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第5超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第6超薄モノ層が、交互に重畳されてなる超格子バリア層である下位バリア層、
(2)少なくとも一層が重複重畳された中間層であり、該中間層の数が1より大きい時、上下の隣り合う中間層の間に、中位バリア層が挟まれ、該中位バリア層がインジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第7超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第8超薄モノ層が、交互に重畳されてなる超格子バリア層である、上記少なくとも一層が重複重畳された中間層、
(3)インジウムドープの、少なくとも一層の、窒化アルミニウムを材料とする第9超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第10超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子バリア層である、上位バリア層、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。 - 請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、中間層が、少なくとも一層の、窒化インジウムを材料とする第3超薄モノ層、及び少なくとも一層の、窒化ガリウムを材料とする第4超薄モノ層が交互に重畳されてなる超格子量子井戸層であることを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、上位バリア層、中位バリア層、下位バリア層の厚さがいずれも5〜300Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項14記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第3超薄モノ層と第4超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第5超薄モノ層と第6超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第7超薄モノ層と第8超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
- 請求項13記載の窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造において、第9超薄モノ層と第10超薄モノ層の層数は同じで、且つ最多で各5層を超過せず、その厚さは2〜20Åの間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系発光ダイオードの発光層の構造。
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