JP2006071507A - 力学量センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】構造が簡単で、高い信頼性が得られ、かつ、予荷重の調整が容易な力学量センサを提供すること。
【解決手段】外輪部2と、内輪部3と、外輪部2と内輪部3との間に挟持される荷重センサ素子4とを有する。外輪部2の内周面は角度α(α<180°)をなす第1面21と第2面22とを有する山形面20よりなり、内輪部3の外周面は角度β(β=360°−α)をなす第3面31と第4面32とを有する谷形面30よりなる。第1面21と第3面31との間および第2面22と第4面32との間にそれぞれ荷重センサ素子4を挟持している。内輪部3は、第3面31と第4面32とを分離する2つの分割部品301、302を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム65が介設されており、シム65の厚みを変更することにより荷重センサ素子4への予荷重を調整可能に構成されている。
【選択図】図2
【解決手段】外輪部2と、内輪部3と、外輪部2と内輪部3との間に挟持される荷重センサ素子4とを有する。外輪部2の内周面は角度α(α<180°)をなす第1面21と第2面22とを有する山形面20よりなり、内輪部3の外周面は角度β(β=360°−α)をなす第3面31と第4面32とを有する谷形面30よりなる。第1面21と第3面31との間および第2面22と第4面32との間にそれぞれ荷重センサ素子4を挟持している。内輪部3は、第3面31と第4面32とを分離する2つの分割部品301、302を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム65が介設されており、シム65の厚みを変更することにより荷重センサ素子4への予荷重を調整可能に構成されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、1軸又は多軸方向の力成分を検出可能な力学量センサに関する。
自動車、産業用ロボット、その他の機械装置は、より多機能なものへと日々進歩を続けているが、その構成部品として高精度の力学量センサ類が必要不可欠になっている。
また、1つのセンサによって力の大きさと方向を正確に検出することができれば、非常に精密な制御を実現することができるようになる。そのため、これまでも、例えば特許文献1にあるような、多軸力センサの開発がなされてきた。
また、1つのセンサによって力の大きさと方向を正確に検出することができれば、非常に精密な制御を実現することができるようになる。そのため、これまでも、例えば特許文献1にあるような、多軸力センサの開発がなされてきた。
しかしながら、上記多軸力センサ及び1軸のセンサを含む従来の力学量センサにおいては、実際に荷重等を受ける起歪体と、これに付与された剪断力等を検出する歪みゲージなどを組み合わせた構造よりなるものが主流であって、構造が複雑で、製造コストが高く、測定精度についても十分とはいえず、さらなる向上が望まれていた。また、検知状態の調整、例えば予荷重の調整なども容易ではなかった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、構造が簡単で、高い信頼性が得られ、かつ、予荷重の調整が容易な力学量センサを提供しようとするものである。
本発明は、環状の外輪部と、該外輪部の内部に間隙を設けて配置される内輪部と、
上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面との間に挟持される複数の荷重センサ素子とを有し、
上記外輪部および上記内輪部の軸方向に沿った縦断面において、上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面のうち、一方は角度α(α<180°)をなす第1面と第2面とを有する山形面よりなり、他方は角度β(β=360°−α)をなす第3面と第4面とを有する谷形面よりなり、
上記第1面と上記第3面との間および上記第2面と上記第4面との間にそれぞれ上記荷重センサ素子を挟持しており、
かつ、上記谷形面を有する方の上記内輪部又は上記外輪部は、上記第3面と上記第4面とを分離するように分割された2つの分割部品を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシムが介設されており、該シムの厚みを変更することにより上記荷重センサ素子に付与される予荷重を調整可能に構成されていることを特徴とする力学量センサにある(請求項1)。
上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面との間に挟持される複数の荷重センサ素子とを有し、
上記外輪部および上記内輪部の軸方向に沿った縦断面において、上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面のうち、一方は角度α(α<180°)をなす第1面と第2面とを有する山形面よりなり、他方は角度β(β=360°−α)をなす第3面と第4面とを有する谷形面よりなり、
上記第1面と上記第3面との間および上記第2面と上記第4面との間にそれぞれ上記荷重センサ素子を挟持しており、
かつ、上記谷形面を有する方の上記内輪部又は上記外輪部は、上記第3面と上記第4面とを分離するように分割された2つの分割部品を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシムが介設されており、該シムの厚みを変更することにより上記荷重センサ素子に付与される予荷重を調整可能に構成されていることを特徴とする力学量センサにある(請求項1)。
本発明の多軸力センサは、上記のごとく、外輪部、内輪部及びこれらの間に挟持された上記複数の荷重センサ素子により構成されており、構造が非常に簡単である。
また、外輪部と内輪部とは、いずれか一方に設けられた上記山形面を構成する第1面及び第2面と、他方に設けられた谷形面を構成する第3面及び第4面との間に、上記荷重センサ素子を挟持している。さらに、上記内輪部又は外輪部のうち、上記谷形面を有する部品は、上記分割部品を組み合わせて構成してある。
また、外輪部と内輪部とは、いずれか一方に設けられた上記山形面を構成する第1面及び第2面と、他方に設けられた谷形面を構成する第3面及び第4面との間に、上記荷重センサ素子を挟持している。さらに、上記内輪部又は外輪部のうち、上記谷形面を有する部品は、上記分割部品を組み合わせて構成してある。
そのため、上記分割部品の間隔を縮めれば、上記谷形面が山形面に近づいて荷重センサ素子が圧縮され、一方、上記分割部品の間隔を拡げれば上記荷重センサ素子への圧縮力が解放される。そして、ここで注目すべき点は、上記分割部品の間に上記シムを介在させてあることである。この構造により、シムの厚みを変えて分割部品によってシムを挟持すれば、非常に簡単に分割部品の間隔を変更することができる。さらに、分割部品の間にシムを挟持させるので、その間隔を安定的に維持することができる。
このように、分割部品の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面と山形面との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
このように、分割部品の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面と山形面との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
また、この構造によれば、複数の荷重センサ素子を用いる場合に、上記シムの厚みの変更のみで一度にすべての荷重センサ素子に対する予荷重を変更することが可能となる。そのため、非常に実使用上の調整が簡単である。
また、上記のごとく部品点数も少ないので、故障も少なく、高い信頼性が得られる。
また、上記のごとく部品点数も少ないので、故障も少なく、高い信頼性が得られる。
本発明の上記力学量センサは、上記外輪部の内周面が上記山形面よりなり、上記内輪部の外周面が上記谷形面よりなることが好ましい(請求項1)。この場合には、上記外輪部を分割する必要がないので、上記力学量センサの取付構造を比較的簡単にすることができる。
また、上記力学量センサは、少なくとも、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力3成分と、上記X軸及び上記Y軸回りのモーメントを検出可能な多軸力センサであり、上記外輪部又は上記内輪部のいずれかが有する上記山形面及び上記谷形面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面上に位置していることが好ましい(請求項2)。この場合には、1つの上記力学量センサにより、少なくとも上記軸方向の力3成分と、上記2つのモーメントを測定することができる。そのため、自動車、産業用ロボット、その他の機械装置に組み込むセンサとして非常に有効である。
また、上記荷重センサ素子は、平行な2つの外表面に受圧面を有すると共に、該受圧面から一軸荷重を受けた際に電気的特性を変化させる感圧体を有しており、一方の上記受圧面を上記第1面又は上記第3面に当接又は接合させ、他方の上記受圧面を上記第2面又は上記第4面に当接又は接合させていることが好ましい(請求項3)。このような一軸荷重を直接に受けて検出できる感圧体を有する荷重センサ素子を採用することにより、上記外輪部と内輪部との間に挟持する構造を容易に実現することができる。
上記感圧体としては、例えば、電気的絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に、圧力抵抗効果又は磁気抵抗効果を有する材料を電気的につながるように分散させた複合セラミックスを採用することが可能である。その他、受圧した応力に応じて電気的特性を変化しうる材料であれば、上記以外の構成の感圧体を採用することができることは言うまでもない。
また、感圧体の両面には、電気的絶縁性を有するセラミックス等よりなる絶縁部を設け、これを受圧面とすることが好ましい。これにより、外輪部および内輪部と荷重センサ素子との間の電気的絶縁性を容易に確保することができる。
また、感圧体の両面には、電気的絶縁性を有するセラミックス等よりなる絶縁部を設け、これを受圧面とすることが好ましい。これにより、外輪部および内輪部と荷重センサ素子との間の電気的絶縁性を容易に確保することができる。
また、上記荷重センサ素子は、圧縮応力のみを検知するよう構成されていることが好ましい。すなわち、圧縮応力のみを検知する荷重センサ素子を使用することにより、引張応力をも検知する場合と比べて感度を高めることができる。そして、本発明では、上記のごとく複数の荷重センサ素子を用いるので、これらの配置を工夫することにより、圧縮応力のみを検知する荷重センサ素子を用いても、上記の多軸力の測定を可能にすることができる。また、適度な予荷重を付与しておくことができるので、上記圧縮応力のみを検知する荷重センサ素子を用いても、引張の力成分を測定することも可能である。
また、上記複数の荷重センサ素子は、上記X軸に直交し上記座標原点を含む平面であるX面と、上記Y軸に直交し上記座標原点を含む平面であるY面の両方に対して対称な位置に配置されていることが好ましい。この場合には、複数の荷重センサ素子からの出力を演算して軸方向の力及びモーメントを算出する際に、少なくともX軸方向及びY軸方向において構造的に対称であることを利用して演算時の補正処理を簡単にすることができる。さらに、構造的に安定しているので、多軸力センサ全体の安定性、信頼性をさらに高めることができる。
また、上記複数の荷重センサ素子は、上記Z軸に直交し上記座標原点を含む平面であるZ面に対しても対称な位置に配置されていることが好ましい。この場合には、Z軸方向においても構造的に対称であるので、各荷重センサ素子からの出力の演算時の補正処理をさらに簡単にすることができると共に、さらに上記多軸力センサの構造的安定性、信頼性を高めることができる。
(実施例1)
本発明の実施例に係る力学量センサ1につき、図1〜図5を用いて説明する。
本例の力学量センサ1は、図1、図2に示すごとく、環状の外輪部2と、外輪部2の内部に間隙を設けて配置される内輪部3と、外輪部2の内周面(21、22)と内輪部3の外周面(31、32)との間に挟持される複数の荷重センサ素子4とを有している。
本発明の実施例に係る力学量センサ1につき、図1〜図5を用いて説明する。
本例の力学量センサ1は、図1、図2に示すごとく、環状の外輪部2と、外輪部2の内部に間隙を設けて配置される内輪部3と、外輪部2の内周面(21、22)と内輪部3の外周面(31、32)との間に挟持される複数の荷重センサ素子4とを有している。
図2に示すごとく、外輪部2および内輪部3の軸方向に沿った縦断面において、外輪部2の内周面は、角度α(α<180°)をなす第1面21と第2面22とを有する山形面20よりなり、内輪部3の外周面は角度β(β=360°−α)をなす第3面31と第4面32とを有する谷形面30よりなる。
また、第1面21と第3面31との間、および第2面22と第4面32との間にそれぞれ荷重センサ素子4を挟持している。
また、谷形面30を有する内輪部3は、第3面31と第4面32とを分離するように分割された2つの分割部品301、302を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム65が介設されている。そして、シム65の厚みを変更することにより荷重センサ素子4に付与される予荷重を調整可能に構成されている。
以下、これを詳説する。
また、谷形面30を有する内輪部3は、第3面31と第4面32とを分離するように分割された2つの分割部品301、302を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム65が介設されている。そして、シム65の厚みを変更することにより荷重センサ素子4に付与される予荷重を調整可能に構成されている。
以下、これを詳説する。
本例の力学量センサ1は、図1、図2に示すごとく、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力3成分と、X軸及びY軸回りのモーメントを検出可能な多軸力センサである。そして、上記外輪部2の山形面20及び内輪部3の谷形面30は、X軸及びY軸を含む基準平面上に位置している。
外輪部2の山形面20は、Z軸に対して傾斜した第1面21及びこれと傾斜方向が逆の第2面22を有し、内輪部3の谷形面30は、第1面21と第2面22にそれぞれ対面するようZ軸に対して傾斜した第3面31と第4面32を有している。
そして、上記外輪部2は、全体が円形リング状を呈しており、その厚み方向中央である上記山形面20の頂点部分が上記基準平面上に位置するように構成されている。また、内輪部3は、全体が円盤状を呈しており、その厚み方向の中央である谷形面30の底点部分が上記基準平面上に位置するように構成され、かつ、上述したように2つの分割部品301、302の間にリブ65を介在させてある。
そして、上記外輪部2は、全体が円形リング状を呈しており、その厚み方向中央である上記山形面20の頂点部分が上記基準平面上に位置するように構成されている。また、内輪部3は、全体が円盤状を呈しており、その厚み方向の中央である谷形面30の底点部分が上記基準平面上に位置するように構成され、かつ、上述したように2つの分割部品301、302の間にリブ65を介在させてある。
図3に示すごとく、リブ65は、リング状を呈していると共に、複数の貫通穴650を有している。これらの貫通穴650は、内輪部3の一方の分割部品301に設けたボルト挿入用の貫通穴391および他方の分割部品302に設けたねじ穴392と同一軸線上に設けた。
また、本例のリブ65としては、鉄鋼材質を用いて作製したものであって、その厚みを900〜1000μmの範囲で10μmピッチで変更した複数のものから1枚又は複数枚を選んで適用することができる。
また、図2に示すごとく、内輪部3の2つの分割部品301、302は、ボルト6の締め付けにより一体化されるように構成されている。そして、上記のごとく、両者301、302の間には、締め力及び両者の間隔を調整するためのシム65が配設されている。
また、本例のリブ65としては、鉄鋼材質を用いて作製したものであって、その厚みを900〜1000μmの範囲で10μmピッチで変更した複数のものから1枚又は複数枚を選んで適用することができる。
また、図2に示すごとく、内輪部3の2つの分割部品301、302は、ボルト6の締め付けにより一体化されるように構成されている。そして、上記のごとく、両者301、302の間には、締め力及び両者の間隔を調整するためのシム65が配設されている。
また、図1、図2に示すごとく、荷重センサ素子4は、X軸に直交し座標原点Oを含む平面であるX面と、Y軸に直交し座標原点Oを含む平面であるY面と、Z軸に直交し座標原点Oを含む平面であるZ面の全てに対して対称な位置に配置されている。より具体的には、図1に示すごとく、基準平面上においては、X軸上及びY軸上の4箇所に等間隔で荷重センサ素子4を配置してある。また、Z軸方向に見れば、基準平面を挟んで対称に上下に分けて、つまり、第1面21と第3面31との間の第1の群と、第2面22と第4面32との間の第2の群とに分けて対称に配置してある。
また、本例では、第1面21及び第3面31のZ軸に対する傾斜角度γ1と、第2面22及び第4面32のZ軸に対する傾斜角度γ2とを同じ22.5°に設定した。
また、本例では、第1面21及び第3面31のZ軸に対する傾斜角度γ1と、第2面22及び第4面32のZ軸に対する傾斜角度γ2とを同じ22.5°に設定した。
また、本例の荷重センサ素子4は、図4に示すごとく、平行な2つの外表面に受圧面41、42を有し、受圧面41、42から一軸荷重を受けた際に電気的特性を変化させる感圧体400を有している。そして、感圧体400の両面には電気絶縁性を有するセラミックスよりなる絶縁部401、402を配置してあり、その表面がそれぞれ上記受圧面41、42となっている。また、絶縁部401、感圧体400、及び絶縁部402の積層方向と直交する方向の両端面には、感圧体400の電気抵抗の変化を取り出すための電極45を設けてあり、図示しない出力線に接続してある。
そして、荷重センサ素子4は、図2に示すごとく、一方の受圧面41を第1面21又は第2面22に当接又は接合させ、他方の上記受圧面42を第3面31又は第4面32に当接又は接合させている。
そして、荷重センサ素子4は、図2に示すごとく、一方の受圧面41を第1面21又は第2面22に当接又は接合させ、他方の上記受圧面42を第3面31又は第4面32に当接又は接合させている。
また、上記荷重センサ素子4を構成する感圧体400は、図5に示すごとく、電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材409中に圧力抵抗効果もしくは磁気抵抗効果を有するセンサ材料408が電気的につながるように分散してなる複合セラミックスよりなる。上記母材409となるセラミックスとしては様々な材料を使用することができるが、本例ではジルコニアを採用した。また、上記圧力抵抗効果あるいは磁気抵抗効果を有するセンサ材料408としても様々な材料を使用することができるが、本例では(La,Sr)MnO3を採用した。この感圧体400を用いた荷重センサ素子4は、圧縮応力のみを検知するよう構成される。
なお、上記感圧体400としては、受圧した圧力に応じて電気的特性を変化しうる材料であれば、上記以外の構成のものを採用可能であることは勿論である。
なお、上記感圧体400としては、受圧した圧力に応じて電気的特性を変化しうる材料であれば、上記以外の構成のものを採用可能であることは勿論である。
以上のように、本例の力学量センサ1は、外輪部2、内輪部3及びこれらの間に挟持された複数の荷重センサ素子4により構成されており、構造が非常に簡単である。
さらに、多重力センサ1は、荷重センサ素子4を上記のごとく配置し、これにより外輪部2と内輪部3とをつないでいる。このような構造をとり、外輪部2を固定し、内輪部3に測定しようとする力を入力させることにより、起歪体などの他部材を介さずに、荷重センサ素子4に直接的に上記力を伝達させることができる。そのため、入力された力をきわめて精度良く感知することができ、検出精度の向上を図ることができる。
さらに、多重力センサ1は、荷重センサ素子4を上記のごとく配置し、これにより外輪部2と内輪部3とをつないでいる。このような構造をとり、外輪部2を固定し、内輪部3に測定しようとする力を入力させることにより、起歪体などの他部材を介さずに、荷重センサ素子4に直接的に上記力を伝達させることができる。そのため、入力された力をきわめて精度良く感知することができ、検出精度の向上を図ることができる。
また、本例の内輪部3は、上記のごとく、分割部品301、302を組み合わせて構成してある。そのため、分割部品301、302の間隔を縮めれば、谷形面30が山形面20に近づいて荷重センサ素子4が圧縮され、一方、分割部品301、302の間隔を拡げれば荷重センサ素子4への圧縮力が解放される。
ここで、本例では、分割部品301、302の間にシム65を介在させてある。この構造により、シム65の厚みを変えて分割部品301、302によってシム65を挟持すれば、非常に簡単に分割部品301、302の間隔を変更することができる。さらに、分割部品301、302の間にシム65を挟持させるので、その間隔を安定的に維持することができる。
このように、分割部品301、302の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面30と山形面20との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子4に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
ここで、本例では、分割部品301、302の間にシム65を介在させてある。この構造により、シム65の厚みを変えて分割部品301、302によってシム65を挟持すれば、非常に簡単に分割部品301、302の間隔を変更することができる。さらに、分割部品301、302の間にシム65を挟持させるので、その間隔を安定的に維持することができる。
このように、分割部品301、302の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面30と山形面20との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子4に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
また、本例では、上記のごとく、荷重センサ素子4の配置が、X面、Y面及びZ面に対して対称である。そのため、各荷重センサ素子4の出力値から各方向の軸荷重及びモーメントの検出のための演算等を簡素化することができる。
(実施例2)
本例の力学量センサ102は、図6、図7に示すごとく、実施例1における力学量センサ1と対比して基本的構造は同じであるが、外輪部2及び内輪部3の細かな形状を変更したものである。
本例の力学量センサ102が実施例1の場合と大きく異なる点は、図6、図7に示すごとく、第1面21及び第3面31のZ軸に対する傾斜角度γ3と、第2面22及び第4面32のZ軸に対する傾斜角度γ4とを同じ45°に設定し、実施例1の場合よりも大きくした点である。このように傾斜角度γ3、γ4を大きくすることによって、Z軸方向の力をより感度よく測定することが可能となる。
その他は、実施例1と同様の作用効果が得られる。
本例の力学量センサ102は、図6、図7に示すごとく、実施例1における力学量センサ1と対比して基本的構造は同じであるが、外輪部2及び内輪部3の細かな形状を変更したものである。
本例の力学量センサ102が実施例1の場合と大きく異なる点は、図6、図7に示すごとく、第1面21及び第3面31のZ軸に対する傾斜角度γ3と、第2面22及び第4面32のZ軸に対する傾斜角度γ4とを同じ45°に設定し、実施例1の場合よりも大きくした点である。このように傾斜角度γ3、γ4を大きくすることによって、Z軸方向の力をより感度よく測定することが可能となる。
その他は、実施例1と同様の作用効果が得られる。
(実施例3)
本例は、図8に示すごとく、実施例2の構造を基本とし、荷重センサ素子4の基準平面上における配置を8箇所に変更した例である。
この場合には、荷重センサ素子4の増加によって、さらにきめ細かい精度の高い検出が可能となると共に、構造的にもより安定にすることができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
本例は、図8に示すごとく、実施例2の構造を基本とし、荷重センサ素子4の基準平面上における配置を8箇所に変更した例である。
この場合には、荷重センサ素子4の増加によって、さらにきめ細かい精度の高い検出が可能となると共に、構造的にもより安定にすることができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
(実施例4)
本例の力学量センサ104は、図9〜図11に示すごとく、外輪部5を2つの分割部品501、502により構成すると共に両者の間にシム66を介在させ、一方、内輪部7は分割することなく一体構造の部品とした例である。
すなわち、図9、図10に示すごとく、本例の力学量センサ104は、環状の外輪部5と、外輪部5の内部に間隙を設けて配置される内輪部7と、外輪部5の内周面51、52と内輪部7の外周面71、72との間に挟持される複数の荷重センサ素子4とを有している。
本例の力学量センサ104は、図9〜図11に示すごとく、外輪部5を2つの分割部品501、502により構成すると共に両者の間にシム66を介在させ、一方、内輪部7は分割することなく一体構造の部品とした例である。
すなわち、図9、図10に示すごとく、本例の力学量センサ104は、環状の外輪部5と、外輪部5の内部に間隙を設けて配置される内輪部7と、外輪部5の内周面51、52と内輪部7の外周面71、72との間に挟持される複数の荷重センサ素子4とを有している。
図10に示すごとく、外輪部5および内輪部7の軸方向に沿った縦断面において、内輪部7の外周面は、角度α2(α2<180°)をなす第1面71と第2面72とを有する山形面70よりなり、外輪部5の内周面は角度β2(β2=360°−α2)をなす第3面51と第4面52とを有する谷形面50よりなる。
また、本例では、第1面71及び第3面51のZ軸に対する傾斜角度γ5と、第2面72及び第4面52のZ軸に対する傾斜角度γ6とを同じ22.5°に設定した。
また、本例では、第1面71及び第3面51のZ軸に対する傾斜角度γ5と、第2面72及び第4面52のZ軸に対する傾斜角度γ6とを同じ22.5°に設定した。
また、第1面71と第3面51との間、および第2面72と第4面52との間にそれぞれ荷重センサ素子4を挟持している。
また、谷形面50を有する外輪部5は、第3面51と第4面52とを分離するように分割された2つの分割部品501、502を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム66が介設されている。
また、谷形面50を有する外輪部5は、第3面51と第4面52とを分離するように分割された2つの分割部品501、502を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシム66が介設されている。
図11に示すごとく、リブ66は、リング状を呈していると共に、複数の貫通穴660を有している。これらの貫通穴660は、外輪部5の一方の分割部品501に設けたボルト挿入用の貫通穴591および他方の分割部品502に設けたねじ穴592と同一軸線上に設けた。
そして、シム66の厚みを変更して、ボルトにより締め付けることにより、荷重センサ素子4に付与される予荷重を調整可能に構成されている。
その他の構造は、実施例1と同様である。
そして、シム66の厚みを変更して、ボルトにより締め付けることにより、荷重センサ素子4に付与される予荷重を調整可能に構成されている。
その他の構造は、実施例1と同様である。
本例の力学量センサ104は、上記のごとく、分割部品501、502を組み合わせて外輪部5を構成してある。そのため、分割部品501、502の間隔を縮めれば、谷形面50が山形面70に近づいて荷重センサ素子4が圧縮され、一方、分割部品501、502の間隔を拡げれば荷重センサ素子4への圧縮力が解放される。
また、分割部品501、502の間にシム66を介在させてある。この構造により、シム66の厚みを変えて分割部品501、502によってシム65を挟持すれば、非常に簡単に分割部品501、502の間隔を変更することができる。さらに、分割部品501、502の間にシム66を挟持させるので、その間隔を安定的に維持することができる。
このように、分割部品501、502の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面50と山形面70との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子4に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
また、分割部品501、502の間にシム66を介在させてある。この構造により、シム66の厚みを変えて分割部品501、502によってシム65を挟持すれば、非常に簡単に分割部品501、502の間隔を変更することができる。さらに、分割部品501、502の間にシム66を挟持させるので、その間隔を安定的に維持することができる。
このように、分割部品501、502の間隔の変更によって、上記のごとく谷形面50と山形面70との間隔を容易かつ安定して調整することができるので、これにより、荷重センサ素子4に予め付与する荷重、すなわち予荷重の値を容易に調整することができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
1 多軸力センサ
2、5 外輪部
20、70 山形面
21、71 第1面
22、72 第2面
3、7 内輪部
30、50 谷形面
31、51 第3面
32、52 第4面
4 荷重センサ素子
6 ボルト
65、66 シム
2、5 外輪部
20、70 山形面
21、71 第1面
22、72 第2面
3、7 内輪部
30、50 谷形面
31、51 第3面
32、52 第4面
4 荷重センサ素子
6 ボルト
65、66 シム
Claims (4)
- 環状の外輪部と、該外輪部の内部に間隙を設けて配置される内輪部と、
上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面との間に挟持される複数の荷重センサ素子とを有し、
上記外輪部および上記内輪部の軸方向に沿った縦断面において、上記外輪部の内周面と上記内輪部の外周面のうち、一方は角度α(α<180°)をなす第1面と第2面とを有する山形面よりなり、他方は角度β(β=360°−α)をなす第3面と第4面とを有する谷形面よりなり、
上記第1面と上記第3面との間および上記第2面と上記第4面との間にそれぞれ上記荷重センサ素子を挟持しており、
かつ、上記谷形面を有する方の上記内輪部又は上記外輪部は、上記第3面と上記第4面とを分離するように分割された2つの分割部品を有しており、これらの間には両者の間隔を調整するシムが介設されており、該シムの厚みを変更することにより上記荷重センサ素子に付与される予荷重を調整可能に構成されていることを特徴とする力学量センサ。 - 請求項1において、上記外輪部の内周面が上記山形面よりなり、上記内輪部の外周面が上記谷形面よりなることを特徴とする力学量センサ。
- 請求項1又は2において、上記力学量センサは、少なくとも、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力3成分と、上記X軸及び上記Y軸回りのモーメントを検出可能な多軸力センサであり、
上記外輪部又は上記内輪部のいずれかが有する上記山形面及び上記谷形面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面上に位置していることを特徴とする力学量センサ。 - 請求項1〜3のいずれか1項において、上記荷重センサ素子は、平行な2つの外表面に受圧面を有すると共に、該受圧面から一軸荷重を受けた際に電気的特性を変化させる感圧体を有しており、一方の上記受圧面を上記第1面又は上記第3面に当接又は接合させ、他方の上記受圧面を上記第2面又は上記第4面に当接又は接合させていることを特徴とする力学量センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004256237A JP2006071507A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 力学量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004256237A JP2006071507A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 力学量センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006071507A true JP2006071507A (ja) | 2006-03-16 |
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ID=36152292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004256237A Pending JP2006071507A (ja) | 2004-09-02 | 2004-09-02 | 力学量センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006071507A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7856890B2 (en) | 2007-09-28 | 2010-12-28 | Denso Corporation | Pressure detector and method of manufacturing the same |
US9770826B2 (en) | 2013-11-05 | 2017-09-26 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus |
-
2004
- 2004-09-02 JP JP2004256237A patent/JP2006071507A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7856890B2 (en) | 2007-09-28 | 2010-12-28 | Denso Corporation | Pressure detector and method of manufacturing the same |
US9770826B2 (en) | 2013-11-05 | 2017-09-26 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus |
US9975250B2 (en) | 2013-11-05 | 2018-05-22 | Seiko Epson Corporation | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus |
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