JP2006071384A - 粒径分布測定装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粒子群に光を照射する光源4aと、その光の照射によって発生する回折又は/及び散乱光の強度を検出する光検出器とを備え、前記光検出器5aからの出力値に基づいて前記粒子群の粒径分布を測定するものにおいて、一体品であるベース構造体7と、光源4a及びその光源の前方に配置される投光レンズ4bを一体的に保持して光源ユニット4を形成する保持体4cと、光源ユニット4に設けられ、当該光源ユニット4から射出される光の軌道を調整するための光軌道調整機構5eと、光源ユニット4及び光検出器5aを、前記ベース構造体7の所定位置に位置決めして取り付けるための位置決め構造とを設けた。
【選択図】図2
Description
さらに、従来であれば、光源と検出器との位置や姿勢のずれを許容していたため、光源や検出器をメンテナンス等で交換すると、ミラーの自動調整機構だけ吸収できないほどの位置や姿勢の違いが生じ、光学系全体の調整を再度行う必要があったが、この実施形態によれば、各ユニット4〜6が、付属する調整機構により予め調整されて所定規格内に担保され、しかもそれら各ユニット4〜6が一体品であるベース構造体7に位置決めして取り付けられるため、ミラーユニット6による自動調整可能な範囲に確実にすることができ、例えばメンテナンスにおいて、ユニット4〜6を交換するだけでよく、従来のように部品交換の後、再度光学調整等をするといった負担の多い作業を低減できる。
4a・・・光源(半導体レーザ)
4b・・・投光レンズ
4・・・光源ユニット
4c・・・保持体
4e・・・光軌道調整機構
5・・・検出器ユニット
5a・・・光検出器
5c・・・第2保持体
7・・・ベース構造体
E1・・・光軌道確認治具
E2・・・検出器位置確認治具
Claims (4)
- 粒子群に光を照射する光源と、その光の照射によって発生する回折又は/及び散乱光の強度を検出する光検出器とを備え、前記光検出器からの出力値に基づいて前記粒子群の粒径分布を測定するものにおいて、
一体品であるベース構造体と、
前記光源及びその光源の前方に配置される投光レンズを一体的に保持して光源ユニットを形成する保持体と、
前記光源ユニットに設けられ、当該光源ユニットから射出される光の軌道を調整するための光軌道調整機構と、
前記光源ユニット及び光検出器を、前記ベース構造体の所定位置に位置決めして取り付けるための位置決め構造とを備えていることを特徴とする粒径分布測定装置。 - 粒子群に検査光を照射する光源と、その検査光の照射によって発生する回折又は/及び散乱光の強度を検出する光検出器とを備え、前記光検出器からの出力値に基づいて前記粒子群の粒径分布を測定するものにおいて、
一体品であるベース構造体と、
前記光源及びその光源の前方に配置される投光レンズを一体的に保持して光源ユニットを形成する保持体と、
前記光源ユニットに設けられ、当該光源ユニットから射出される光の軌道を調整するための光軌道調整機構と、
前記光検出器を保持して検出器ユニットを形成する第2保持体と、
前記検出器ユニットに設けられ、前記第2保持体に対する光検出器の位置を調整するための検出器位置調整機構と、
前記光源ユニット及び検出器ユニットを、前記ベース構造体の所定位置に位置決めして取り付けるための位置決め構造とを備えていることを特徴とする粒径分布測定装置。 - 光源ユニットからでる光の軌道が規定内であるか否かを確認できる光軌道確認治具を設けておき、この光軌道確認治具を利用することによって、光源ユニット単体での光軌道が規格内となるように、前記光軌道調整機構を操作して調整し、その調整後の光源ユニットを前記ベース構造体に取り付けるようにしている請求項1又は2記載の粒径分布測定装置の製造方法。
- 前記第2保持体に対する光検出器の位置が、規格内であるか否かを確認できる検出器位置確認治具を設けておき、この検出器位置確認治具を利用することによって、前記検出器ユニットにおける検出器の位置が規格内となるように、前記検出器位置調整機構を操作して調整し、その調整後の検出器ユニットを、前記ベース構造体に取り付けるようにしている請求項2記載の粒径分布測定装置の製造方法。
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