KR20150098794A - 광학 공동 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치는 광학 공동 바디, 상기 광학 공동 바디의 일측과 이격 배치되는 제 1정렬표시자 및 상기 광학 공동 바디의 타측과 이격 배치되는 제 2정렬표시자를 포함하고, 레이저가 상기 제 1정렬표시자를 통하여 입사되어 상기 제 2정렬표시자를 통과하도록 상기 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔을 정렬한다.

Description

광학 공동 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 방법{BEAM ALIGNMENT APPARATUS FOR OFF-AXIS CAVITY SPECTROSCOPY AND METHOD THEREOF}
본 발명은 미량 기체의 검지 및 고감도 분광계로 사용되는 광학 공동 비축을 이용한 분광학적 기술에 관한 것으로써, 구체적으로는 광학 공동 내부에서의 빔의 경로를 최적화하기 위한 빔 정렬 장치 및 방법에 관한 것이다.
비축공진형 공진기를 사용하는 분광기법을 위한 빔 정렬 방법과 관련하여 종래의 경우 구체적으로 특화된 빔 정렬 방법이 없는 것으로 확인되고, 특히 광원으로써 비가시광 영역의 광원을 사용하는 경우 거울면이나 광학공동을 투과한 빔들의 패턴을 눈으로 확인하기 어렵고, 나아가 적합한 광검출기의 사용이 어려운 파장영역의 광원을 사용하는 경우에는 복잡한 빔정렬이 기술적으로 불가능한 문제점이 있다.
상기와 같은 이유로 숙련된 기술자나 연구원을 제외하고는 빔 정렬을 수행하기 어려운 경우가 많은 상황이다.
한편, 실험실 수준의 연구를 위한 다양한 형태의 빔 정렬이 숙련된 기술자에 의해 수행되고는 있지만, 사용자로 하여금 좀 더 용이하게 빔 정렬의 수행이 가능하기 위한 기계적 방법에 의한 빔 정렬 장치 및 방법은 아직 개발되고 있지 못한 상황이다.
하기 선행문헌은 오프-액시스 움직임을 광학 마스크 없는 리소그래피 시스템에 의하여 용인될 수 있는 값까지 저감시키기 위한 시스템에 관한 것으로써, 본 발명의 기술적 요지는 포함하고 있지는 않다.
한국공개특허공보 제10-2007-0122173호
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.
미량 기체의 고감도 검지 및 분석용 고품질 분광 도구를 개발하기 위한 핵심 기술인 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 방법을 기술적으로 정형화함으로써 사용하기 편리하고 단순화된 기술을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치는 광학 공동 바디, 상기 광학 공동 바디의 일측과 이격 배치되는 제 1정렬표시자 및 상기 광학 공동 바디의 타측과 이격 배치되는 제 2정렬표시자를 포함하고, 레이저가 상기 제 1정렬표시자를 통하여 입사되어 상기 제 2정렬표시자를 통과하도록 상기 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔을 정렬한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 광학 공동 바디의 일측 및 타측에 각각 제 1정렬표시자 및 제 2정렬표시자를 배치하는 제 1단계, 광학 공동 바디의 일측에 배치된 제 1정렬표시자로 레이저를 입사하는 제 2단계 및 상기 제 1정렬표시자로 입사된 레이저가 상기 제 2정렬표시자를 통과할 수 있도록 레이저의 입사각을 조정하여 빔을 정렬하는 제 3단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 아래와 같은 효과를 도출해 낼 수 있다.
1. 광학 공동 바디 양쪽의 특정한 위치에 두 개의 정렬표시자를 정해진 위치에 설치하고, 이를 이용하여 빔 정렬을 수행함으로써 광학 공동을 이루는 거울이 설치되기 전의 빔의 단일 경로만을 확인하여 광학 공동 내부에서 이루어질 복잡한 반사 경로를 예상함으로써 용이하게 빔 정렬을 수행할 수 있는 효과가 있다.
2. 광원의 파장이나 가시성과 관계없이 모든 광원을 동일한 기하학적 방법으로 정렬 가능하다는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 구성 중 제 1정렬표시자에 형성된 제 1빔통과홀의 위치를 결정하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 구성 중 제 2정렬표시자에 형성된 제 2빔통과홀의 위치를 결정하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법을 시계열적으로 도시한 플로우 차트이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
가스크로마토그래피 등의 전통적인 미량 기체 농도의 측정방법을 대체할 정밀 측정 방법으로서 레이저 흡수 분광법(Laser Absortion Spectroscoyp)이 1980년대 레이저의 발달에 힘입어 대두되었다. 흡수 분광법은 시료를 통과하는 빛의 세기가 Beer-Lambert 법칙에 의한 흡수에 따라 감소된 크기를 측정하는 것으로, 그 측정 한계는 사용된 빛의 선폭과 투과된 빛의 세기 변화 정도에 반비례하여 정밀해진다. 따라서 선폭이 좁고 파장이 가변적인 반도체 레이저를 이용한 흡수분광법(TDLAS, Tunable Diode Laser Absorption Spectroscoyp)이 발전하였으며, 큰 흡수 신호를 얻기 위한 방법으로서 광학 공동(Optical Cavity)을 사용하여 흡수 경로를 길게 하는 CEAS(Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy) 기술이 일반화되었다.
광학 공동을 사용하는 방법은 크게 두 가지로 구별된다. 광학 공동의 중심축상의 동일 경로에 빔이 무한히 중첩되도록 빔을 정렬하는 공진형(On-Resonant, On-Axis) 방법과 광학 공동의 중심축에서 벗어나 서로 다른 경로로 무한 반사를 하도록 빔을 정렬하는 비축공진형(Non-Resonant, Off-Axis) 방법이 그것이다.
CRDS(Cavity Ring-Down Spectroscopy)와 ICOS(Integrated Cavity Output Spectroscopy)는 대표적인 공진형 CEAS 방법이며, OA-ICOS(Off-Axis Integrated Cavity Output Spectroscopy) 및 OA-CRDS(Off-Axis Cavity Ring-Down Spectroscopy)는 비축공진형 CEAS의 대표적인 방법이다.
일반적으로 공진형 방법을 위해서는 공동의 반사율 측정을 위한 CRDS 기법의 활용 및 공동 및 레이저의 주파수를 동조(Cavity Lock)시키기 위한 복잡한 장치가 필요하기 때문에 현장에서 활용 가능한 실용적인 장비를 개발하기에는 기술적인 제약이 따른다. 비축공진형 방법의 경우는 측정 방법이 단순하고 구조적으로 단단(robust)하여 실용적인 장점을 가지고 있기 때문에, 이를 이용한 소형 장비의 개발이 활발히 이루어지고 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 비축공진형 방법을 사용하는 CEAS 기술에서 기술적인 문제로 지적되고 있는 정밀한 빔 정렬에 관한 것이다. 즉, 광학 공동을 이루는 두 거울 사이에서 반사되는 빔들이 서로 겹치지 않는 조건에서 반사점의 패턴이 거울면에 2차원적인 폐곡선을 형성할 수 있도록 함으로써 최대한의 흡수 경로를 확보하는 것이 핵심인데, 본 발명은 비축공진형 방법의 CEAS에서 요구되는 복잡하고 정밀한 빔 정렬을 간단히 수행할 수 있도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치 및 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 광학 공동 내부에서의 복잡한 빔의 진행 경로와 이로 인해 만들어지는 거울면에서의 반사점의 패턴을 직접 확인하지 않고 빔 정렬을 수행한다. 구체적으로 두 개의 정렬표시자를 사용함으로써 빔의 전체 진행 경로 중 극히 일부분인 광학 공동에 입사하게 되는 최초의 단일 경로만을 정렬함으로써 광학 공동 전체의 빔 정렬을 대신하게 된다.
이하 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치에 대해 구체적으로 살펴보도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치는 광학 공동 바디(100), 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)를 포함한다.
광학 공동 바디(100)는 좌, 우측에 각각 오목 거울을 배치함으로써 입사된 빛이 내부에서 서로 다른 경로로 무한 반사를 하는 광학 공동이 되는 구성으로써, 즉 광학 공동 바디(100)는 광학 공동에서 거울이 장착되기 전의 구성이라고 할 수 있다.
제 1정렬표시자(200)는 광학 공동 바디(100)의 일측과 이격되어 배치되고, 제 2정렬표시자(300)는 광학 공동 바디(100)의 타측과 이격되어 배치되고, 레이저가 제 1정렬표시자(200)를 통하여 입사되어 제 2정렬표시자(300)를 통과하도록 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔의 정렬이 수행된다.
이러한 빔의 정렬에 대해 더욱 구체적으로 설명하면, 제 1정렬표시자(200)에는 제 1빔통과홀(210)이 형성되고, 제 2정렬표시자(300)에는 제 2빔통과홀(310)이 형성되고, 레이저가 제 1빔통과홀(210)로 입사되어 제 2빔통과홀(310)을 통과하도록 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔의 정렬이 수행되는 것이다.
즉, 광학 공동의 양 쪽의 특정한 위치에 빔이 정렬되도록 하기 위하여 두 개의 정렬표시자를 정해진 위치에 설치하고, 각각의 정렬표시자의 특정한 위치에 형성된 홀을 이용하여 빔의 통과 여부를 확인하는 방법으로 빔의 정렬이 수행되며, 이러한 방법으로 빔을 정렬하기 위해서는 각각의 정렬표시자가 광학 공동으로부터 적당한 거리를 두고 설치되어야 한다.
한편, 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)에 각각 형성된 제 1빔통과홀(210) 및 제 2빔통과홀(310)의 위치에 관하여 하기 수학식 1 내지 수학식 3으로 정리할 수 있다.
Figure pat00001
Figure pat00002
Figure pat00003
상기 수학식 1 내지 수학식 3에서의 L은 도 1에 도시된 바와 같이 광학 공동 바디(100)의 길이를 의미하며, 구체적으로는 광학 공동에서의 거울면과 거울면 사이의 길이로 정의될 수 있다. F는 오목거울의 초점거리로 정의되고, 빔의 입사측 거울면에서 빔의 입사 위치 및 광학 공동의 광축(C)과 이루는 방위각은 각각
Figure pat00004
및
Figure pat00005
로 정의된다.
상기 수학식 1 내지 수학식 3을 참조하면, 반사점의 패턴은 원 또는 타원을 이루며, 거울 사이의 거리 L과 거울에 최초로 입사하는 광선의 입사각에 의해 패턴의 크기와 원을 이루는 점의 개수가 결정됨을 확인할 수 있다.
이것은 광학 공동을 이루는 거울면에서 연속적인 반사로 인해 만들어지는 복잡한 빔의 경로와 반사점의 패턴 전체를 고려하지 않고, 최초 입사하는 빔 하나만으로도 비축 광학 공동의 정렬이 가능함을 의미한다.
이는 광원의 세기가 약하거나 비가시광 영역의 광원을 사용하기 때문에 전체적인 빔의 진행 패턴을 확인하기 어려운 조건에서도 최초 입사빔의 경로를 정의함으로써 기술적으로 간단한 빔 정렬이 가능할 수 있음을 알 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 구성 중 제 1정렬표시자(200)에 형성된 제 1빔통과홀(210)의 위치를 결정하는 원리를 설명하기 위한 도면 및 제 2정렬표시자(300)에 형성된 제 2빔통과홀(310)의 위치를 결정하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 입사빔쪽의 제 1정렬표시자(200)와 광학 공동 바디(100) 뒤쪽의 제 2정렬표시자(300)에는 광학 공동의 광축에 해당하는 점을 원점(C)으로 가상의 직교좌표계가 설정되어 있으며, 가상의 원은 사용되는 거울의 크기를 표시한 것이다.
제 1정렬표시자(200)에서의
Figure pat00006
의 위치 및 제 2정렬표시자(300)에서의
Figure pat00007
의 위치에는 각각 제 1빔통과홀(210) 및 제 2빔통과홀(310)이 형성되어 있으며, 제 1빔통과홀(210)을 통과해 들어온 빔이 제 2빔통과홀(310)으로 통과해 나가도록 광원을 정렬하면 간단히 빔 정렬이 수행된다.
상기 각각의 좌표는 기하학적 계산에 의하여 아래의 수학식 4 내지 수학식 6으로 정리될 수 있다.
Figure pat00008
Figure pat00009
Figure pat00010
상기 수학식 4 내지 수학식 6에서의 S는 빔의 입사측에 배치된 제 1정렬표시자(200)로부터 광학 공동 바디(100)까지의 거리이고, D는 광학 공동 바디(100)로부터 제 2정렬표시자(300)까지의 거리이다.
수학식 4 내지 수학식 6에 의해 산출된 좌표를 기초로 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)에 각각 제 1빔통과홀(210) 및 제 2빔통과홀(310)을 형성시킨 후에, 빔이 제 1빔통과홀(210) 및 제 2빔통과홀을 모두 통과할 수 있도록 광원의 각도 또는 위치를 조정함으로써 빔 정렬을 간단히 수행할 수 있다.
이때, 정렬 과정 중에는 광학 공동을 이루는 거울이 설치되지 않은 상태에서 정렬이 수행되어야 하며, 빔 정렬이 완료된 후 거울을 설치함으로써 일반적인 흡수분광용 광학 공동이 완성된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치는 레이저의 입사 각도를 조정하기 위한 광원 위치 조절 장치(400)를 더 포함할 수 있다.
나아가, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치는 광학 공동 바디(100), 제 1정렬표시자(200), 제 2정렬표시자(300) 및 광원 위치 조절 장치(400) 중 적어도 하나를 수용하는 베이스 마운트(500)를 더 포함하는 것이 바람직하고, 특히 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300) 중 적어도 하나는 베이스 마운트(500)로부터 탈부착이 가능하도록 배치되는 것이 바람직하다.
즉, 이러한 베이스 마운트(500)에 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 각 구성들을 일체화시키고, 정렬표시자(200, 300)의 탈부착이 가능하도록 구성함으로써, 빔의 정렬과 신호의 관측이 하나의 베이스 위에서 이루어지는 단일 모듈 형태로 구성하는 것이 가능해진다.
이하 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법에 대해 구체적으로 살펴보도록 한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법을 시계열적으로 도시한 플로우 차트이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은, 광학 공동 바디(100)의 일측 및 타측에 각각 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)를 배치하는 제 1단계(S100), 광학 공동 바디(100)의 일측에 배치된 제 1정렬표시자(200)로 레이저를 입사하는 제 2단계(S200) 및 제 1정렬표시자(200)로 입사된 레이저가 상기 제 2정렬표시자(300)를 통과할 수 있도록 레이저의 입사각을 조정하여 빔을 정렬하는 제 3단계(S300)를 포함한다.
특히, 제 1정렬표시자(200)에는 제 1빔통과홀(210)이 형성되고, 제 2정렬표시자(300)에는 제 2빔통과홀(310)이 형성되고, 레이저가 제 1 빔통과홀(210)로 입사되어 제 2빔통과홀(310)을 통과하도록 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔의 정렬이 수행된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법은 광학 공동을 이루는 거울이 설치되지 않은 상태에서 수행되어야 하며, 빔 정렬이 완료된 후에 광학 공동 바디(100)에 거울을 설치함으로써 광학 공동 바디(100)가 일반적인 흡수분광용 광학 공동이 된다.
레이저 광원의 입사 각도는 광원 위치 조절 장치(400)에 의해서 조정되고, 광학 공동 바디(100), 제 1정렬표시자(200), 제 2정렬표시자(300) 및 광원 위치 조절 장치(400) 중 적어도 하나를 수용하는 베이스 마운트(500)를 더 구비하는 것도 가능하며, 나아가 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)는 베이스 마운트(500)로부터 탈부착이 가능하도록 형성시키는 것이 바람직하고, 이에 대한 자세한 설명은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치의 설명시 언급하였으므로 자세한 설명은 생략하도록 하겠다.
이러한 빔 정렬 방법을 통해서 난이도가 높은 분광학적 빔 정렬을 단순한 구성으로 간단히 구현이 가능하게 되므로, 전문 기술의 기술적, 상업적 활용을 용이하게 할 수 있게 된다.
본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것이 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 광학 공동 바디
200: 제 1정렬표시자
210: 제 1빔통과홀
300: 제 2정렬표시자
310: 제 2빔통과홀
400: 광원 위치 조절 장치
500: 베이스 마운트

Claims (10)

  1. 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치에 있어서,
    광학 공동 바디(100);
    상기 광학 공동 바디(100)의 일측과 이격 배치되는 제 1정렬표시자(200); 및
    상기 광학 공동 바디(100)의 타측과 이격 배치되는 제 2정렬표시자(300);
    를 포함하고,
    레이저가 상기 제 1정렬표시자(200)를 통하여 입사되어 상기 제 2정렬표시자(300)를 통과하도록 상기 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔을 정렬하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1정렬표시자(200)에는 제 1빔통과홀(210)이 형성되고,
    상기 제 2정렬표시자(300)에는 제 2빔통과홀(310)이 형성되고,
    상기 레이저가 상기 제 1 빔통과홀(210)로 입사되어 상기 제 2빔통과홀(310)을 통과하도록 상기 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔을 정렬하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저의 입사 각도를 조정하기 위한 광원 위치 조절 장치(400)를 더 포함하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 광학 공동 바디(100), 상기 제 1정렬표시자(200), 상기 제 2정렬표시자(300) 및 광원 위치 조절 장치(400) 중 적어도 하나를 수용하는 베이스 마운트(500)를 더 포함하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1정렬표시자(200) 및 상기 제 2정렬표시자(300) 중 적어도 하나는 상기 베이스 마운트(500)로부터 탈부착이 가능한 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 장치.
  6. 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법에 있어서,
    광학 공동 바디(100)의 일측 및 타측에 각각 제 1정렬표시자(200) 및 제 2정렬표시자(300)를 배치하는 제 1단계;
    광학 공동 바디(100)의 일측에 배치된 제 1정렬표시자(200)로 레이저를 입사하는 제 2단계; 및
    상기 제 1정렬표시자(200)로 입사된 레이저가 상기 제 2정렬표시자(300)를 통과할 수 있도록 레이저의 입사각을 조정하여 빔을 정렬하는 제 3단계;
    를 포함하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1정렬표시자(200)에는 제 1빔통과홀(210)이 형성되고,
    상기 제 2정렬표시자(300)에는 제 2빔통과홀(310)이 형성되고,
    상기 레이저가 상기 제 1 빔통과홀(210)로 입사되어 상기 제 2빔통과홀(310)을 통과하도록 상기 레이저의 입사 각도를 조정함으로써 빔을 정렬하는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 제 3단계에서.
    상기 레이저 광원의 입사 각도는 광원 위치 조절 장치(400)에 의해서 조정되는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 광학 공동 바디(100), 상기 제 1정렬표시자(200), 상기 제 2정렬표시자(300) 및 광원 위치 조절 장치(400) 중 적어도 하나를 수용하는 베이스 마운트(500)가 구비되는 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1정렬표시자(200) 및 상기 제 2정렬표시자(300)는 상기 베이스 마운트(500)로부터 탈부착이 가능한 광학 공동의 비축을 이용한 빔 정렬 방법.
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