JP2006066708A - 受光素子の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の受光領域を備える受光面部を有する受光素子の検査方法であって、容易に受光素子と照射位置とを位置決めすることができる受光素子の検査方法を提供する。
【解決手段】 受光素子の検査方法によれば、第１方向Ｘに伸びる長手状の照射領域２１となるように検査用の光１２を照射し、受光部２０の全域にわたって検査用の光１２が照射されるように、第２方向Ｙに検査用の光１２を走査し、走査している期間にわたって各受光領域１９の出力を検出する。照射領域２１が１つの受光領域１９だけではなく、複数の受光領域１９を含む照射領域２１となるように照射されるので、受光領域１９と照射領域２１との位置決めを容易に行うことができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数の受光領域を備える受光面部を有する受光素子の各受光領域の出力を検査する受光素子の検査方法に関する。

図１２は、従来の技術の受光素子の検査方法に用いられる検査装置１を簡略化して示すブロック図である。検査装置１では、複数の受光領域を有する受光素子２の出力を検査する。検査装置１による検査方法では、レーザ３から出射されるレーザビーム３ａを円形に絞込手段によって絞込み、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにレーザビーム３ａの照射位置を走査手段４によって走査する。各受光領域の面積よりも充分小さなビーム径で各受光領域の１つだけにレーザビームを照射し、各受光領域毎の出力を測定する。走査手段４によって、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにレーザビームを移動し、順次、他の分割された受光領域を同様にして測定する。

特開２００２−１８１６５８号公報

従来の技術の受光素子の検査方法では、受光素子２のパッケージ外形を基準に位置決めを行うので、受光素子２のパッケージ外形と受光面との位置関係のばらつき、およびパッケージ外形のバリによって、１０μｍ〜１００μｍ程度受光面に対する照射位置がばらつく。レーザビーム３ａは、分割された１つの受光領域だけに照射し、他の受光領域には照射しないよう制御されるので、画像認識システム５を用いた高精度の位置決め機構６によって照射位置の位置補正を行い、走査手段４によって第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにレーザビームを動かす必要がある。このような位置補正を行って、分割された各受光領域毎に、順次、レーザビーム３ａを照射して検査すると、レーザビーム３ａの照射位置の位置決めに多くの時間が必要であり、作業性が悪い。

したがって本発明の目的は、複数の受光領域を備える受光面部を有する受光素子の検査方法であって、容易に受光素子と照射位置とを位置決めすることができる受光素子の検査方法を提供することである。

本発明は、複数の受光領域を有する受光部を備える受光素子を検査する方法であって、
走査方向に垂直な幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を、走査方向へ走査して照射し、
各受光領域における受光量を求めることを特徴とする受光素子の検査方法である。

本発明に従えば、幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を、走査方向へ走査して照射し、各受光領域における受光量を求める。これによって照射領域に検査用の光の光強度分布にばらつきがあっても、走査方向に関しての受光量のばらつきを抑えることができ、高精度に受光量を求めることができる。また受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有するので、受光素子と照射領域との位置決めを容易に行うことができる。

また本発明は、各受光領域が複数の列方向に並んで配置される受光部を備える受光素子を検査する方法であって、
検査用の光を各列方向へ走査して照射し、
各列方向への走査毎に、各受光領域における受光量を求めることを特徴とする。

本発明に従えば、検査用の光を各列方向へ走査して照射し、各列方向への走査毎に、各受光領域における受光量を求める。各列方向の各受光領域における受光量を比較することによって、走査方向による受光量の傾向性を判断することができる。これによって高精度に各受光領域の出力を検出することができる。

さらに本発明は、検査用の光を一定速度で走査させることを特徴とする。
本発明に従えば、検査用の光を一定速度で走査させるので、求められた受光量と各受光領域における位置との関係を容易に求めることができる。これによって求められた受光量に基づいて、異常のある部位を特定することができる。

さらに本発明は、幅方向に関して、受光部の寸法に２つの受光領域の寸法を加えた寸法の照射領域を有する検査用の光を照射することを特徴とする。

本発明に従えば、幅方向に関して、受光部の寸法に２つの受光領域の寸法を加えた寸法の照射領域を有する検査用の光を照射する。したがって受光素子と照射領域とを容易に位置決めすることができる。

さらに本発明は、各列方向に関して、各受光領域における受光量を比較することを特徴とする。

本発明に従えば、各列方向に関して、各受光領域における受光量を比較する。このように比較することによって、１つの受光領域に対する、他の受光領域との比率を求めることができる。

さらに本発明は、検査用の光をガルバノミラーによって走査することを特徴とする。
本発明に従えば、ガルバノミラーを用いて、検査用の光を走査するので、高速で高精度に検査用の光を走査することができる。

さらに本発明は、検査用の光をボールねじを用いて走査することを特徴とする。
本発明に従えば、ボールねじを用いて、検査用の光を走査するので、高速で高精度に検査用の光を走査することができる。

さらに本発明は、前記受光素子の検査方法によって検査されたことを特徴とする受光素子である。

本発明に従えば、受光素子は、前述の受光素子の検査方法によって検査されるので、受光素子の各受光領域の出力を明確にすることができる。

さらに本発明は、複数の受光領域を有する受光部を備える受光素子を検査する装置であって、
走査方向に垂直な幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を照射する照射手段と、
検査用の光を走査方向へ走査する走査手段と、
各受光領域における受光量を求める演算手段とを含むことを特徴とする受光素子の検査装置である。

本発明に従えば、照射手段は、幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を照射する。したがって照射領域と受光素子とを容易に位置決めすることができる。走査手段は、検査用の光を走査方向へ走査し、演算手段は、各受光領域における受光量を求める。これによって照射領域に検査用の光の光強度分布にばらつきがあっても、走査方向に関しての受光量のばらつきを抑えることができ、高精度に受光量を求めることができる。

本発明によれば、照射領域に検査用の光の光強度分布にばらつきがあっても、走査方向に関しての受光量のばらつきを抑えることができ、高精度に受光量を求めることができる。また受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有するので、受光素子と照射領域との位置決めを容易に行うことができる。

また本発明によれば、各列方向の各受光領域における受光量を比較することによって、走査方向による受光量の傾向性を判断することができる。これによって高精度に各受光領域の出力を検出することができる。

さらに本発明によれば、求められた受光量に基づいて、異常のある部位を特定することができる。

さらに本発明によれば、受光素子と照射領域とを容易に位置決めすることができる。
さらに本発明によれば、１つの受光領域に対する、他の受光領域との比率を求めることができる。

さらに本発明によれば、ガルバノミラーを用いることによって、検査の再現性を確実に得ることができる。

さらに本発明によれば、ボールねじを用いることによって、検査の再現性を確実に得ることができる。

さらに本発明によれば、受光素子の各受光領域の出力を明確にすることができる。
さらに本発明によれば、照射領域と受光部とを容易に位置決めすることができる。照射領域に検査用の光の光強度分布にばらつきがあっても、走査方向に関しての受光量のばらつきを抑えることができ、高精度に受光量を求めることができる。

図１は、本発明の実施の一形態である受光素子の検査装置１０を示すブロック図である。図２は、受光素子の検査装置１０を簡略化して示すブロック図である。図１および図２では、理解を容易にするため、受光素子１１を固定する固定手段、受光素子１１のリードピンに接続されるコンタクトプローブ、レーザの制御系、および受光素子１１の信号処理系などは省略して示す。検査装置１０は、検査用の光１２を出射する第１レーザ１３と第２レーザ１４と、各レーザ１３，１４の照射位置を操作する第１ステージ１５と第２ステージ１６と、各ステージ１５，１６を制御するＣＰＵ部１７、および受光素子１１が載置される位置決め機構１８を含んで構成される。

受光素子１１は、複数、本実施の形態では４つの受光領域１９を備える受光部２０を有する。各受光領域１９は、光が照射されると、照射された光の光量に応じて、各受光領域１９毎に照射された光の光量に基づく情報を出力する。

第１レーザ１３および第２レーザ１４は、照射手段であって、走査方向に垂直な幅方向に関して、受光部２０の寸法よりも大きい寸法の照射領域２１を有する検査用の光１２を照射する。第１レーザ１３は、光軸に対して略垂直な照射領域２１が、光軸を法線とする仮想平面における予め定める第２方向Ｙに伸びる長手状になるように検査用の光１２を出射する。第２レーザ１４は、光軸に対して略垂直な照射領域２１が、光軸を法線とする仮想平面における第２方向Ｙに略直交する第１方向Ｘに伸びる長手状になるように検査用の光１２を出射する。受光部２０における照射領域２１の形状は、受光部２０の寸法よりも大きく、幅方向に関して、受光部２０の寸法に２つの受光領域１９の寸法を加えた寸法の照射領域２１を有する検査用の光１２を照射する。本実施の形態では、照射領域２１の長さ方向の長さ寸法を３００μｍ、長さ方向に垂直な幅方向の幅寸法を３０μｍとなるように設定する。

第１ステージ１５および第２ステージ１６は、走査手段であって、検査用の光１２を走査方向へ走査する。第１ステージ１５は、第１レーザ１３の照射位置を走査方向である第１方向Ｘに走査する。第２ステージ１６は、第２レーザ１４の照射位置を第２方向Ｙに走査する。第１ステージ１５および第２ステージ１６は、受光部２０における照射位置を一定の速さで走査する。

ＣＰＵ部１７は、第１ステージ１５および第２ステージ１６を制御して、第１レーザ１３および第２レーザ１４の照射位置を受光部２０の各受光領域１９の大きさに基づいて制御する。ＣＰＵ部１７は、演算手段であって、各受光領域１９における受光量を求める。ＣＰＵ部１７は、各受光領域１９に電気的に接続され、各受光領域１９からの受光量に基づく情報に基づいて、受光量を求める。

位置決め機構１８は、受光素子１１が載置され、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙにスライド変位可能に構成される載置台２２、および載置台２２を前記２方向へスライド変位駆動する駆動手段２３を含んで構成される。駆動手段２３に与えられる駆動指令に基づいて、載置台２２をスライド変位させて、第１レーザ１３および第２レーザ１４の照射位置に対して受光素子１１の位置決めを行う。位置決め機構１８は、ＣＰＵ部１７から与えられる駆動指令に基づいて制御される。

図３は、第１レーザ１３の構成の簡略化して示す斜視図である。第１レーザ１３は、対物レンズ２４、スリット板２５、コリメータレンズ２６および光源２７を含んで構成される。光源２７から出射された検査用の光１２は、コリメータレンズ２６に導かれ、平行光に変換され、スリット板２５に導かれる。スリット板２５には、厚み方向に貫通するスリット２５ａが形成されており、検査用の光１２はスリット２５ａを通過して、対物レンズ２４に導かれる。対物レンズ２４に導かれた検査用の光１２は、集光されて、受光素子１１に導かれる。このように第１レーザ１３は構成されるので、スリット板２５に形成されるスリット２５ａの形状を選択することによって、照射領域２１の形状を選択することができる。第１レーザ１３では、前述したように、照射領域２１が第２方向Ｙに伸びる長手状になるようにスリット２５ａの形状が選択される。第２レーザ１４は、第１レーザ１３の構成に対して、スリット板２５に形成されるスリット２５ａの形状が異なり、照射領域２１が第１方向Ｙに伸びる長手状になるように形成され、残余の構成は同様の構成であるので、説明を省略する。

図４は、第１ステージ１５の構成を簡略化して示す正面図である。光源２７は、ボールねじ３０を用いて、第１方向Ｘにスライド変位可能に構成される。ボールねじ３０は、サーボモータ３１から与えられる駆動力によって、第１方向Ｘにスライド変位して、光源２７を変位させる。第２ステージ１６に関しても同様の構成であるので、説明を省略する。このようにボールねじ３０を用いて検査用の光１２を走査するので、高速で高精度に検査用の光１２を走査することができる。したがって検査の再現性を確実に得ることができる。

図５は、検出用の光１８の照射領域２１と、受光部２０とを示す平面図である。受光部２０は、各受光領域が複数、本実施の形態では２つの列方向に並んで配置される。受光部２０は、たとえば４つの受光領域１９に分割される。各受光領域１９の面積および光電変換効率は、互いに等しくなるように構成される。受光部２０は、略正方形状であって、各受光領域１９も略正方形状に形成される。各受光領域１９は、受光部２０にマトリクス状に配置され、隣接する受光領域１９とは間隔をあけて設けられる。４つの受光領域１９の内、第１方向Ｘ他方および第２方向Ｙ一方に位置する領域を第１領域Ａとし、他の受光領域１９を、時計周りに、順次、第２領域Ｂ、第３領域Ｃ、および第４領域Ｄとする。

受光部２０は、長さ方向および幅方向がそれぞれ第１方向Ｘおよび第２方向Ｙと略平行となるように配置される。したがって第１レーザ１３の照射領域２１の長手方向と、受光部２０の長さ方向は略直交し、第２レーザ１４の照射領域２１の幅方向と、受光部２０の幅方向は略直交する。

図６は、本発明の実施の一形態である受光素子の検査方法を示すフローチャートである。ステップａ０では、受光素子１１が位置決め機構１８に載置され、受光素子の検査方法が開始され、ステップａ１に移る。ステップａ１では、ＣＰＵ部１７は、受光素子１１の位置を位置決め機構１８に駆動指令を与えて位置決めし、ステップａ２に移る。ステップａ２では、ＣＰＵ部１７は、第１レーザ１３が検査用の光１２を出射するように制御し、ステップａ３に移る。

ステップａ３では、ＣＰＵ部１７は、第１ステージ１５を制御して、第１レーザ１３から出射された検査用の光１２の照射位置を第１方向Ｘに走査し、ステップａ４に移る。照射位置は、受光部２０の全域にわたって検査用の光１２が照射されるように、走査される。ステップａ４では、ＣＰＵ部１７は、第１方向Ｘへの走査したときの、各受光領域における受光量を求め、ステップａ５に移る。

ステップａ５では、ＣＰＵ部１７は、第２レーザ１４が検査用の光１２を出射するように制御し、ステップａ６に移る。ステップａ６では、ＣＰＵ部１７は、第２ステージ１６を制御して、第２レーザ１４から出射された検査用の光１２の照射位置を第２方向Ｙに走査し、ステップａ７に移る。ステップａ７では、ＣＰＵ部１７は、第２方向Ｙへの走査したときの、各受光領域における受光量を求め、ステップａ８に移る。ステップａ８にて、ステップａ０からの一連の処理を終了する。このように受光素子１１を検査することによって、位置決めが容易であっても、確実に受光素子１１を検査することができる。

図７は、受光領域１９の出力と走査時刻との関係を示すグラフである。縦軸は、受光領域１９の出力を示し、横軸は走査時刻を示す。図７では、第１レーザ１３の照射位置を第１方向Ｘに走査した場合の、第１領域Ａと第２領域Ｂとの出力が示されている。図７に示すように、先ず、時刻Ｔ１にて照射領域２１が第１領域Ａに重なると、照射領域２１と第１領域Ａとが重なっている領域に応じて、第１領域Ａからの出力が得られ、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３にわたって、最大の出力が得られる。換言すると、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３にわたって、照射領域２１のすべてが第１領域Ａと重なっている。

次に、時刻Ｔ３から照射領域２１の一部が第２領域Ｂに重なり、照射領域２１と第２領域Ｂとが重なっている領域に応じて、第２領域Ｂからの出力が得られ、時刻Ｔ４から時刻Ｔ５にわたって、最大の出力が得られる。時刻Ｔ６にて、照射領域２１と第２領域Ｂとの重なる領域が無くなる。これらの波形は、第３領域Ｃと第４領域Ｄとにおいても同様の波形となる。

受光部２０のたとえば第２領域Ｂに異物がある場合、異物によって検査用の光１２が遮られるので、図４に示すように凹部ができる。凹部の幅寸法ｄを計測することによって、異物の大きさを特定することができる。また凹部の位置を計測することによって、異物の位置を特定することができる。

第１レーザ１３の照射位置を第１方向Ｘに走査した場合、第１方向Ｘに関して、照射強度の均一性を保つことができるので、第１領域Ａおける時刻Ｔ２から時刻Ｔ３までの出力の平均値と最小値との差ＡＸと、第２領域Ｂにおける時刻Ｔ４から時刻Ｔ５までの出力の平均値と最小値との差ＢＸとは等しい。これは第３領域Ｃと第４領域Ｄとにおいても同様である。

第２レーザ１４の照射位置を第２方向Ｙに走査した場合、第２方向Ｙに関して、照射強度の均一性を保つことができるので、前述したように、第１領域Ａにおける最大出力の平均値と最小値との差ＡＹと、第４領域Ｄにおける最大出力の平均値と最小値との差ＤＹとは等しい。これは第２領域Ｂと第３領域Ｃとにおいても同様である。

各受光領域１９Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの各出力の比率検査をするとき、第１領域Ａの第１向方向に走査した場合の出力ＡＹ、第２方向Ｙに走査した場合の出力ＡＹが予め定める値になるように第１レーザ１３、および第２レーザ１４の出力を調整する。そして出力ＢＸと出力ＡＸとの比率（ＢＸ／ＡＸ）、出力ＤＹと出力ＡＹの比率（ＤＸ／ＡＹ）、ＢＸ／ＡＸ×ＣＹ／ＢＹ、またはＤＹ／ＡＹ×ＣＸ／ＤＸの比率を計算することによって第１領域Ａの出力に対しての第２領域Ｂ、第３領域Ｃおよび第４領域Ｄの比率を求めることができる。

以上説明したように、本発明の受光素子の検査方法によれば、幅方向に関して、受光部２０の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を、走査方向へ走査して照射し、各受光領域１９における受光量を求める。これによって照射領域２１に検査用の光の光強度分布にばらつきがあっても、走査方向に関しての受光量のばらつきを抑えることができ、高精度に受光量を求めることができる。また受光部２０の寸法よりも大きい寸法の照射領域２１を有するので、受光素子１１と照射領域２１との位置決めを容易に行うことができる。これによって位置決めを行う機構を、従来の技術のような高精度な位置決め機構にする必要が無く、簡単な構成で検査装置を実現することができる。検査装置１０の製造コストを低減することができる。

受光部２０の全域を覆う照射領域となるように検査用の光１２を制御すると、受光面部の面積を大きくなると、照射領域における光量の強度分布にばらつきができ、精度よく検出することが困難であるが、照射領域２１を線状にすることによって光量の強度分布のばらつきを可及的に抑えて、複数の受光領域１９に検査用の光１２を照射することができ、精度よく検出することができる。

また検査用の光１２を各列方向へ走査して照射し、各列方向への走査毎に、各受光領域１９における受光量を求める。各列方向の各受光領域１９における受光量を比較することによって、走査方向による受光量の傾向性を判断することができる。これによって高精度に各受光領域１９の出力を検出することができる。各列方向は、本実施の形態では、２方向であったけれども、これに限ることはない。

また検査用の光１２を走査させる速さは、一定であるので、検出された出力と各受光領域１９における位置との関係を容易に求めることができる。これによって検出された出力に異常がある場合、検出された出力に基づいて、異常のある部位を特定することができる。

また受光部２０における照射領域２１の第１方向Ｘの寸法は、受光面部の第１方向Ｘの寸法より大きくなるように設定される。したがって受光面部と照射領域２１とを容易に位置決めすることができる。

また各列方向に関して、各受光領域１９における受光量を比較する。このように比較することによって、１つの受光領域１９に対する、他の受光領域１９との比率を求めることができる。

図８は、検査用の光１２を走査する走査手段の他の構成を簡略化して示す斜視図である。走査手段は、第１方向Ｘ周りに回転駆動される第１軸ガルバノミラー２８、および第２方向Ｙ周りに回転駆動される第２軸ガルバノミラー２９によって実現される。ガルバノミラーの光軸に対して角変位させることによって、検査用の光１２を走査することができる。このようにガルバノミラーを用いて検査用の光１２を走査するので、高速で高精度に検査用の光１２を走査することができる。したがって検査の再現性を確実に得ることができる。

図９は、第２レーザ１４の照射領域２１と、２つの受光部２０とを示す平面図である。図１０は、２つの受光素子１１が電気的に接続される電気回路図である。本発明の受光素子の検査方法を用いて、２つの受光素子１１の照射領域２１に接続されるスイッチ４０の動作を確認する方法を示す。２つの受光素子１１は、第２方向Ｙに間隔をあけて、受光部２０の幅方向および長さ方向が略平行となるように配置される。各受光部２０の第１領域Ａ１，Ａ２は、図９に示す２つのダイオード４１のアノード側の端子にそれぞれ接続される。２つのダイオード４１のカノードのいずれか一方が、スイッチによって、オペアンプ４２の負の入力端子に接続されている。これによってスイッチ４０のスイッチング態様を切換えることによって、オペアンプ４２の出力は、いずれか一方の第１領域Ａ１、Ａ２の出力となる。

図１１は、図１０におけるオペアンプ４２の出力と、走査時刻との関係を示すグラフである。縦軸は、オペアンプ４２の出力を示し、横軸は走査時刻を示す。図１１では、第２レーザ１４の照射位置を第２方向Ｙに走査し、スイッチング態様を切換えた場合のオペアンプ４２の出力が示されている。図１１では、オペアンプ４２の負の入力端子が第１領域Ａ１に接続されているときの波形を実線Ｌ１で示し、オペアンプ４２の負の入力端子が第１領域Ａ２に接続されているときの波形を破線Ｌ２で示す。図１１に示すように、オペアンプ４２の負の入力端子が第１領域Ａ１に接続されているときの波形は、第１領域Ａ２に接続されている波形よりも、早い時刻で高い出力を得ている。このように走査開始時刻からの各出力と走査時刻との関係を比べることにより、２つの各受光領域１９の接続を切換えるスイッチ４０が正常に動作している否かを調べることができる。

前述の実施の形態は、本発明の例示に過ぎず、本発明の範囲内において構成を変更することができる。

本発明の実施の一形態である受光素子の検査装置１０を示すブロック図である。 受光素子の検査装置１０を簡略化して示すブロック図である。 第１レーザ１３の構成の簡略化して示す斜視図である。 第１ステージ１５の構成を簡略化して示す正面図である。 検出用の光１８の照射領域２１と、受光部２０とを示す平面図である。 本発明の実施の一形態である受光素子の検査方法を示すフローチャートである。 受光領域１９の出力と走査時刻との関係を示すグラフである。 検査用の光１２を走査する走査手段の他の構成を簡略化して示す斜視図である。 第２レーザ１４の照射領域２１と、２つの受光部２０とを示す平面図である。 ２つの受光素子１１が電気的に接続される電気回路図である。 図１０におけるオペアンプ４２の出力と、走査時刻との関係を示すグラフである。 従来の技術の受光素子の検査方法に用いられる検査装置１を簡略化して示すブロック図である。

符号の説明

１０ 受光素子の検査装置
１１ 受光素子
１２ 検査用の光
１３ 第１レーザ
１４ 第２レーザ
１５ 第１ステージ
１６ 第２ステージ
１７ ＣＰＵ部
１８ 位置決め機構
１９ 受光領域
２０ 受光面部
２１ 照射領域
２８ 第１軸ガルバノミラー
２９ 第２軸ガルバノミラー
３０ ボールねじ

Claims (9)

1. 複数の受光領域を有する受光部を備える受光素子を検査する方法であって、
   走査方向に垂直な幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を、走査方向へ走査して照射し、
   各受光領域における受光量を求めることを特徴とする受光素子の検査方法。
2. 各受光領域が複数の列方向に並んで配置される受光部を備える受光素子を検査する方法であって、
   検査用の光を各列方向へ走査して照射し、
   各列方向への走査毎に、各受光領域における受光量を求めることを特徴とする請求項１に記載の受光素子の検査方法。
3. 検査用の光を一定速度で走査させることを特徴とする請求項１または２記載の受光素子の検査方法。
4. 幅方向に関して、受光部の寸法に２つの受光領域の寸法を加えた寸法の照射領域を有する検査用の光を照射することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の受光素子の検査方法。
5. 各列方向に関して、各受光領域における受光量を比較することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載の受光素子の検査方法。
6. 検査用の光をガルバノミラーによって走査することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の受光素子の検査方法。
7. 検査用の光をボールねじを用いて走査することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の受光素子の検査方法。
8. 請求項１〜７に記載の受光素子の検査方法によって検査されたことを特徴とする受光素子。
9. 複数の受光領域を有する受光部を備える受光素子を検査する装置であって、
   走査方向に垂直な幅方向に関して、受光部の寸法よりも大きい寸法の照射領域を有する検査用の光を照射する照射手段と、
   検査用の光を走査方向へ走査する走査手段と、
   各受光領域における受光量を求める演算手段とを含むことを特徴とする受光素子の検査装置。

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