JP2006063388A - アルミニウム真空蒸着方法 - Google Patents

Abstract

【課題】細い管状体の管内壁面に適確容易かつ安価にて均等な膜厚にアルミニウムを真空蒸着させること。
【解決手段】管状体１の内壁面にアルミニウムを真空蒸着するアルミニウム真空蒸着方法において、前記管状体１の内部にアルミニウム蒸着源５を線状に配置する一方、前記管状体１の外周囲に巻回配置した誘導加熱コイル６に通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発させて前記管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、管状体の内壁面に対して好適なアルミニウム真空蒸着方法に関する。

管状体であるガラス管の内壁面に対するアルミニウムの真空蒸着においては、そのガラス管内にアルミニウム蒸着源が設置される（特許文献１参照）。しかしながら、従来のアルミニウム真空蒸着方法においては、内径が小さいガラス管内へのアルミニウム蒸着源の設置には困難を伴い、特に、内径が小さすぎるガラス管内へのアルミニウム蒸着源の設置は実質不可能となる場合がある。勿論、アルミニウム蒸着源の設置が不可能な場合は、アルミニウムの真空蒸着ができない。一方、内径が小さいガラス管内部へのアルミニウム蒸着源の設置ができたとしても、内径が小さい割に管長が長すぎるガラス管の場合では、アルミニウム蒸着源から蒸発したアルミニウムがガラス管の両端側の内壁面にまで均等には行き届きにくく、管内壁面へのアルミニウム蒸着膜の膜厚が管長方向に不均等となってしまうおそれがある。

そして、本発明者が提供する蛍光管の中には、内径が極めて小さく管長が長いガラス管の内壁面に蛍光体を塗布し、その蛍光体表面にアルミニウムを蒸着して蛍光管を製作する必要があり、本発明者は、このような内径が小さくて管長が長いガラス管の内壁面に対して容易にかつ管長方向全体の内壁面に均等な膜厚でアルミニウムの蒸着ができる方法に関して鋭意研究を進めていた。
特開２００２−１８４３０５号公報

本発明は、上記技術背景に鑑みて創案されたものであり、上記のごとき管径が小さい管状体であっても当該管状体の内壁面に適確に均等な膜厚で容易かつ安価に蒸着可能とするアルミニウム真空蒸着方法を提供することを解決すべき課題とする。

本発明によるアルミニウム真空蒸着方法は、管状体の内壁面にアルミニウムを真空蒸着するアルミニウム真空蒸着方法において、前記管状体の内部に、アルミニウム蒸着源を管長方向に線状として挿入配置する一方、前記管状体の外周囲に巻回配置した誘導加熱コイルに通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発させて前記管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させることを特徴とするものである。

上記「アルミニウム蒸着源の加熱蒸発」にはアルミニウム蒸着源の全体を一度に加熱蒸発させる場合や、または、アルミニウム蒸着源を一部ずつ順次に加熱蒸発させる場合を含む。

また、上記「線状とされたアルミニウム蒸着源」はアルミニウム細線や、細径で線状のボートと、このボート上に載せたアルミニウム材とからなるアルミニウム蒸着源を含む。アルミニウム細線とは、絶縁体からなる細線の外周面にアルミニウムを被膜形成してなるアルミニウム細線、およびアルミニウムだけからなるアルミニウム細線を含む。上記「線状」には、断面において、円形、矩形、半円形、楕円形、多角形、波形、その他の形状を含む。

また、「管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させる」とは、管状体の内壁面に直接、アルミニウムを蒸着させる場合に限定されるものではなく、蛍光体を介して、管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させる場合も含む。

また、本発明における真空蒸着に言う「真空」は、完全な真空である必要はなく、当該管状体を用いて蛍光管等を製作する場合、蛍光管として必要な内部圧力や、あるいは真空蒸着する際にアルミニウムが酸化等されないようにするのに必要な真空ないしはほぼ真空の状態を含むものであり、特定の真空圧に限定されることは何等ない。

本発明によると、アルミニウム蒸着源が線状に構成されているので、内径が小さい細い管状体であっても、アルミニウム蒸着源を簡単かつ容易に管状体内に設置することができ、従来のように、細い管状体に対するアルミニウム蒸着源の設置が困難であるとか、その設置が不可能となるようなことなく、アルミニウム真空蒸着が可能である。

また、アルミニウム蒸着源が線状とされて管状体の内壁面に対して管長方向でその一端側から他端側にかけて対向しているから、管内壁面へのアルミニウム蒸着をその全体にかけて均等な膜厚で蒸着させることが可能となり、また、その蒸着に要するコストも安価に済む。

本発明において、好ましくは、管状体の外周囲に誘導加熱コイルを配置し、この誘導加熱コイルを管状体の外周囲上を移動させつつアルミニウム蒸着源をその管長方向に一部ずつ順次に加熱蒸発する。

さらに、好ましくは、前記管状体の外周囲に該アルミニウム蒸着源の管長方向長さよりも短いコイル幅を有する誘導加熱コイルを配置し、この誘導加熱コイルを通電して該管状体の長さ方向に移動させることにより、アルミニウム蒸着源を一部ずつ順次に加熱蒸発する。

さらに、好ましくは、前記管状体の外周囲全体にわたって誘導加熱コイルを巻回配置して通電することにより、アルミニウム蒸着源全体を加熱蒸発する。

さらに、好ましくは、アルミニウム蒸着源を管状体の内径未満の外径を有するアルミニウム細線により構成する。

さらに、好ましくは、アルミニウム蒸着源をその配置方向に管状体の内径未満の外径を有しかつ線状とされたボートと、このボート上に載せたアルミニウム材とにより構成し、このアルミニウム蒸着源の挿通配置状態で管状体を自転させながら、該管状体の外周囲に配置した誘導加熱コイルに通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発する。

本発明によれば、細い管状体の管内壁面に適確容易かつ安価にて均等な膜厚にアルミニウムを真空蒸着させることができるアルミニウム真空蒸着方法を提供することができる。

以下、添付した図面を参照して、本発明の実施の形態に係るアルミニウム真空蒸着方法を詳細に説明する。

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１のアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置を示している。図２はこの真空蒸着に用いるアルミニウム蒸着源としてのアルミニウム細線の断面図が示されている。図３は、同アルミニウム真空蒸着装置により真空蒸着される細い管状体として適用される電界電子放出型蛍光管の断面図である。まず、図３を参照して、電界電子放出型蛍光管について説明する。この電界電子放出型蛍光管は、本発明者が鋭意研究の末に開発したものである。１はガラス管、２は線状陰極部、３は蛍光体付き陽極部を示す。ガラス管１は、管状体の一例であり、その管内壁面に対するアルミニウムの蒸着膜厚は例えば１００ｎｍないし２００ｎｍであり、管径は例えば２ｍｍないし２５ｍｍ程度である。ガラス管の肉厚は、例えば１ｍｍないし１．５ｍｍ程度である。ただし、本発明は、これに限定されるものではなく、アルミニウムの蒸着膜厚や、その他の条件により種々である。線状陰極部２は導電性ワイヤ２ａと、この導電性ワイヤ２ａの外周面に形成された多数の電界集中補助用凹凸部２ｂと、この電界集中補助用凹凸部２ｂの外周面に形成された多数の先鋭な微細部分からなるカーボン状膜例えばカーボンナノチューブやカーボンナノウォールからなる電界電子放出部２ｃとにより構成されている。蛍光体付き陽極部３は、ガラス管１の内壁面に形成された蛍光体３ａと、この蛍光体３ａの表面にアルミニウム蒸着された陽極３ｂとから構成されている。

本実施の形態１のアルミニウム真空蒸着方法は、上記電界電子放出型蛍光管におけるガラス管１の内壁面に塗布等の適宜の方法により形成した蛍光体３ａの表面に、陽極３ｂであるアルミニウムを真空蒸着する方法である。このガラス管１は内径が例えば２ｍｍないし２５ｍｍ程度の管状体である。特に、実施の形態１では、ガラス管１の内壁面に蛍光体３ａを介してアルミニウムを真空蒸着するための方法である。もちろん、本発明は、このようなガラス管１の内壁面にアルミニウムを真空蒸着する方法に限定されるものではなく、説明の都合で一例として示すものである。

以下、図１および図２を参照して、本実施の形態１のアルミニウム真空蒸着方法に用いるアルミニウム真空蒸着装置は、真空チャンバ４を備える。この実施の形態では管状体としてガラス管１が適用されている。ガラス管１の内壁面には蛍光体３ａが塗布されている。ガラス管１は、真空チャンバ４の開口部に装着される。ガラス管１は、真空チャンバ４により内部が真空排気される。ガラス管１の内部には、その内壁面に沿って線状とされたアルミニウム蒸着源５が配置されている。実施の形態１のアルミニウム蒸着源５は、図２（ａ）で示すように、全部がアルミニウムからなるアルミニウム細線、図２（ｂ）で示すように、ガラス等の絶縁性を有するガラス等からなる細線５ａの外周面全体に所定の膜厚でアルミニウム５ｂが被膜形成されたアルミニウム細線、あるいは、により構成されている。図２（ａ）のアルミニウム細線５の線径は、細管の内壁面に対して形成すべきアルミニウムの膜厚により決定することができる。図２（ｂ）のアルミニウム細線５では、そのアルミニウムの膜厚は、ガラス管の内壁面に対して蒸着すべきアルミニウムの膜厚により決定することができる。

ガラス管１の外周囲には、誘導加熱コイル６がアルミニウム蒸着源の長さよりも短いコイル幅に適宜の巻回数で巻回されて配置されている。誘導加熱コイル６は、不図示の移動機構により、ガラス管１の外周囲を図で左右に移動可能に構成されている。誘導加熱コイル６に通電しつつ該誘導加熱コイル６を図で左右に移動することにより、ガラス管１内部のアルミニウム蒸着源５は一部ずつ順次に加熱蒸発させられてガラス管１の内壁面に蛍光体を介してアルミニウムを蒸着させることができる。

以上説明した本実施の形態１のアルミニウム真空蒸着方法においては、アルミニウム蒸着源５が線状に構成されたアルミニウム細線により構成されているので、内径が小さいガラス管１であっても、アルミニウム蒸着源５を簡単かつ容易にガラス管１内に設置することができるので、従来のように、ガラス管１に対するアルミニウム蒸着源５の設置が困難であるとか、その設置が不可能となるようなことなく、アルミニウム真空蒸着が可能となる。また、アルミニウム蒸着源５が線状とされてガラス管１の内壁面に対してその一端側から他端側にかけて対向しているから、その管内壁面へのアルミニウム蒸着をその全体にかけて均等な膜厚で蒸着させることが可能となり、また、その蒸着に要するコストも安価に済む。

（実施の形態２）
図４を参照して、本発明の実施の形態２に係るアルミニウム真空蒸着方法を説明する。図４は、実施の形態２のアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置を示す。このアルミニウム真空蒸着装置は、真空チャンバ４を備える。実施の形態２では、実施の形態１と同様の蛍光管が適用されている。内壁面に蛍光体が塗布されているガラス管１は、真空チャンバ４の開口部に装着されてその内部が真空排気されている。ガラス管１の内部には、その内壁面に沿ってアルミニウム蒸着源５が配置されている。このアルミニウム蒸着源５は、ガラス管１の内径より小さい外形の線状ボート５１と、この線状ボート５１上に一様な厚さで載せられたアルミニウム材５２とにより構成されている。ガラス管１の外周囲の全体には誘導加熱コイル６が均等な巻回密度で巻回されている。ガラス管１は、不図示の回転機構により自転可能に構成されている。

ガラス管１の内壁面にアルミニウム真空蒸着する際には、ガラス管１の内部にアルミニウム蒸着源５が挿通配置される。そして、回転機構によりガラス管１が自転させられる。一方、ガラス管１の外周囲に配置されている誘導加熱コイル６に通電され、これによって、アルミニウム蒸着源５全体が加熱蒸発され、ガラス管１の回転に伴い、ガラス管１の内壁面全体にアルミニウムが真空蒸着される。

以上説明した実施の形態２のアルミニウム真空蒸着方法においては、アルミニウム蒸着源５が線状のボート５１上にアルミニウム材５２を載せて構成されているので、内径が小さいガラス管１であっても、アルミニウム蒸着源５を簡単かつ容易にガラス管１内に設置することができるので、従来のように、ガラス管に対するアルミニウム蒸着源の設置が困難であるとか、その設置が不可能となるようなことなく、アルミニウム真空蒸着が可能となる。また、アルミニウム蒸着源が線状とされてガラス管の内壁面に対してその一端側から他端側にかけて対向しているから、その管内壁面へのアルミニウム蒸着をその全体にかけて均等な膜厚で蒸着させることが可能となり、また、その蒸着に要するコストも安価に済む。

（実施の形態３）
図５を参照して本発明の実施の形態３に係るアルミニウム真空蒸着方法を説明する。図５は、実施の形態３のアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置を示す。実施の形態３においては、電界電子放出型蛍光管を含め、一般に、内径が小さい管状体の内壁面にアルミニウムを真空蒸着する方法である。実施の形態１および実施の形態２においては、アルミニウム真空蒸着装置の原理的な構成が示されている。実施の形態３においては、アルミニウム真空蒸着装置のより具体的な構成が示されている。

実施の形態３のアルミニウム真空蒸着装置は、真空チャンバ１０を備える。真空チャンバ１０には、不図示の真空排気ポンプが排気管１１を介して接続されている。排気管１１の途中には電磁弁１２が配備されている。電磁弁１２は制御部１３により開閉を制御されるようになっている。真空計１４は、配管１５を介して真空チャンバ１０に接続されて、該真空チャンバ１０の真空圧を計測する。この真空計１４は、指針の位置で真空圧を指し示す一方、その計測信号を制御部１３に出力するようになっている。

真空チャンバ１０は底部中央に形成された凸部をアルミニウム細線固定部１６としており、その底部中央に対向する天井中央に管状体固定用開口部１７を設けられている。

アルミニウム細線１８は、アルミニウム蒸着源として、その一端側が、真空チャンバ１０のアルミニウム細線固定部１６に固定され、その他端側が、真空チャンバ１０の開口部１７を介して該開口部１７外に突出されている。

管状体１９は、一端側が閉じられ他端側が開口しており、該他端側は真空チャンバ１０の管状体固定用開口部１７に固定されている。管状体１９は、その他端側周囲を真空チャンバ１０の開口部１７周囲に設けた気密部２０により覆われており、これにより、管状体１９は、その内部を真空チャンバ１０に連通する一方、外部から完全密封されている。

アルミニウム細線１８は、図２で示すものである。

以上の構成により、管状体１９は、内部が真空チャンバ１０により真空排気可能な状態でかつ該真空チャンバ１０上に垂直方向に立設された状態に固定されており、内部にアルミニウム蒸着源であるアルミニウム細線１８が挿通された状態で、外周囲に、アルミニウム細線１８を加熱蒸発させて管状体１９内壁面にアルミニウムを真空蒸着させる誘導加熱コイル２１が所要巻回数で巻回されている。

誘導加熱コイル２１の両端２１ａは、高周波電源２２の一対の出力端子２２ａにそれぞれ接続されている。高周波電源２２は、制御部１３によりオン・オフを制御されており、数ｋＨｚないし数１００ｋＨｚの高周波電流を両出力端子２２ａから誘導加熱コイル２１に出力するようになっている。誘導加熱コイル２１は、その供給された高周波電流により、アルミニウム細線１８を電磁誘導加熱するようになっている。誘導加熱コイル２１の両端２１ａと高周波電源２２の両出力端子２２ａそれぞれの接続部２３は、不図示の冷却水供給タンクから配管２４を通じて冷却水を供給されて冷却されるようになっている。

誘導加熱コイル２１は、次に述べる昇降機構２５により、管状体１９の外周囲を上昇または下降するよう移動制御されるようになっている。

昇降機構２５を説明する。ガイド部材２６は、支持台２７上に立設されている。回転駆動軸２８は、支持台２７上にガイド部材２６と平行に立設されている。回転駆動軸２８はその外周面に螺子溝を形成されている。大径ギヤ２９は、回転駆動軸２８の支持台２７側寄りとなる下端部に固定されている。小径ギヤ３０は、昇降モータ３１の回転軸に固定されている。大径ギヤ２９と小径ギヤ３０は昇降モータ３１の回転を減速する減速機構を構成する。昇降モータ３１は、制御部１３によりその回転を制御される。昇降部材３２は、誘導加熱コイル２１の両端２１ａ側が固定されている本体部３２ａと、この本体部３２ａからガイド部材２６側に延びて該ガイド部材２６に摺動可能に入り込むガイド孔を備えたガイドアーム部３２ｂと、同じく上記本体部３２ａから回転駆動軸２８側に延びて該回転駆動軸２８が入り込む螺子孔を備えた昇降アーム部３２ｃとを有している。また、ガイド部材２６の上下端には昇降部材３２の昇降位置を検出する位置センサ３３，３４が設けられている。

以上の構成を備えた昇降機構２５においては、昇降モータ３１の回転は減速機構である小径ギヤ３０と大径ギヤ２９とにより減速されつつ、回転駆動軸２８が回転させられる。昇降モータ３１の回転方向に従い回転駆動軸２８が一方向に回転すると、昇降部材３２は、回転駆動軸２８の外周面の螺子溝にその昇降アーム部３２ｃの螺子孔との係合により、回転駆動軸２８に沿って上昇させられる。回転駆動軸２８が他方向に回転すると、昇降部材３２は、回転駆動軸２８の外周面の螺子溝にその昇降アーム部の３２ｃ螺子孔との係合により、回転駆動軸２８に沿って下降させられる。昇降部材３２は、そのガイドアーム部３２ｂのガイド孔がガイド部材２６に入り込んでいることにより、その上昇および下降をガイドされ、これによって誘導加熱コイル２１は、昇降部材３２の上昇および下降により、管状体１９の外周囲を上昇および下降さられる。

次に、このアルミニウム真空蒸着装置を構成する高周波電源２２、昇降モータ３１、電磁弁１２、および真空排気ポンプ等の制御を操作員の手動操作により制御を行うことも可能であるが、制御部１３により自動的に制御することができる。制御部１３の構成は何でも良いが、例えば、マイクロコンピュータによりソフト的に制御する構成では、アルミニウム真空蒸着の精度の向上、等においてよい。例えば、マイクロコンピュータとして、ＣＰＵと、その制御動作に必要とするデータの格納に用いるデータメモリと、その制御動作の手順等のプログラムが格納されているプログラムメモリとを設け、ＣＰＵは、操作員のアルミニウム蒸着操作の指令入力および指令内容に応答して、ガイド部材２６の上下端に設けた位置センサ３３，３４のセンサ信号に従い、適宜のインタフェースを介して、高周波電源２２のオン・オフ、昇降モータ３１の駆動制御、電磁弁１２の開閉制御、真空排気ポンプの動作、等を制御することができる。

本実施の形態３によるアルミニウム真空蒸着方法を説明する。この方法の実施には上記説明したアルミニウム真空蒸着装置を用いる。

まず、真空チャンバ１０のアルミニウム細線固定部１６にアルミニウム細線１８の一端側を固定し、アルミニウム細線１８の他端側を真空チャンバ１０の開口部１７から外部に突出するように立設する。一方、真空チャンバ１０の開口部１７に管状体１９の他端側開口部を固定し、気密部２０で管状体１９内部を真空チャンバ１０に連通した状態で外部から完全に密封する。この状態で、アルミニウム細線１８は、管状体１９内に挿通され、該管状体１９のほぼ両端間の内壁面に対してギャップをあけて対向配置させられている。また、真空チャンバ１０へのアルミニウム細線１８と管状体１９との設置に伴い、誘導加熱コイル２１を管状体１９の外周囲に配置する。この誘導加熱コイル２１の位置は、例えば、管状体１９の上端側に位置させる。これには、制御部１３からの制御指令により、昇降モータ３１を駆動して、減速機構を介して、回転駆動軸２８を回転駆動する。回転駆動軸２８が回転すると、昇降部材３２の昇降アーム部３２ｃの螺子孔と回転駆動軸２８の螺子溝との係合により、昇降部材３２は、そのガイドアーム部３２ｂがガイド部材２６にガイドされつつ上昇させられる。こうして、昇降部材３２により、誘導加熱コイル２１が管状体１９の上端側に位置付けられる。制御部１３は、誘導加熱コイル２１が管状体１９の上端側に位置付けられたことを位置センサ３３からの位置センサ信号により検出することができる。

次に、制御部１３は位置センサ３３のセンサ信号から誘導加熱コイル２１が管状体１９の上端側に位置付けられたことを検出すると、制御部１３は、電磁弁１２を開くとともに、不図示の真空排気ポンプを作動させることにより真空チャンバ１０を通じて管状体１９内部を真空排気する。真空チャンバ１０内の真空圧は例えば１０^−６Ｔｏｒｒ程度である。真空チャンバ１０内の真空圧は真空計１４により計測され、その計測値は制御部１３に与えられる。

真空チャンバ１０内の真空圧が前記１０^−６Ｔｏｒｒ程度に達すると、制御部１３は、高周波電源２２を駆動すると同時に、昇降モータ３１を制御して、減速機構を介して、回転駆動軸２８を下降させる。高周波電源２２の駆動により、誘導加熱コイル２１に通電され、これによってアルミニウム細線１８が誘導加熱され、アルミニウム細線１８が蒸発させられる。蒸発したアルミニウムは、管状体１９の内壁面に蒸着させられる。データメモリは、蒸着させるべきアルミニウムの膜厚データ、例えば、膜厚、誘導加熱コイルの２１下降速度、誘導加熱コイル２１への通電値（高周波電流値）等のデータを格納しており、制御部１３は、データメモリに格納されているデータに従い、かつ、プログラムメモリで規定するプログラムに従う。これによって、高周波電源２２、昇降モータ３１が制御され、管状体１９の内壁面には、上端側である一端側から下端側である他端側にかけてアルミニウムが所要の膜厚で蒸着される。

こうして、制御部１３に、管状体１９の内壁面にアルミニウムが蒸着され、ガイド部材２６の下端側に設置した位置センサ３４から誘導加熱コイル２１が所定の下降位置に到達したことを示すセンサ信号が与えられると、制御部１３は、アルミニウム蒸着制御を終了するべく、高周波電源２２をオフにし、昇降モータ３１の駆動を停止する。こうして、管状体１９の内壁面へのアルミニウムの真空蒸着が完了する。

以上のように本実施の形態３においては、管状体の内壁面へのアルミニウム蒸着をその全体にかけて均等な膜厚で蒸着させることが可能となり、また、その蒸着に要するコストも安価に済む。

なお、本実施の形態３においては、管状体を固定して、誘導加熱コイルを昇降させたが、誘導加熱コイルを固定し、真空チャンバやアルミニウム細線と共に管状体を昇降させることでも、管状体の内壁面にアルミニウム真空蒸着を行うことが可能である。

本発明の実施の形態１に係るアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置の概略構成図 アルミニウム細線の部分拡大断面図 管状体の一例である電界電子放出型蛍光管の断面図 実施の形態２にアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置の概略構成図 実施の形態３にアルミニウム真空蒸着方法の実施に用いるアルミニウム真空蒸着装置の概略構成図

符号の説明

１ 管状体
４ 真空チャンバ
５ アルミニウム蒸着源
６ 誘導加熱コイル

Claims (5)

1. 管状体の内壁面にアルミニウムを真空蒸着するアルミニウム真空蒸着方法において、前記管状体の内部に、アルミニウム蒸着源を管長方向に線状として挿入配置する一方、前記管状体の外周囲に巻回配置した誘導加熱コイルに通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発させて前記管状体の内壁面にアルミニウムを蒸着させる、ことを特徴とするアルミニウム真空蒸着方法。
2. 前記管状体の外周囲に該アルミニウム蒸着源の配置方向の長さよりも短いコイル幅を有する誘導加熱コイルを配置し、この誘導加熱コイルを通電して該管状体の長さ方向に移動させることにより、アルミニウム蒸着源を一部ずつ順次に加熱蒸発させる、ことを特徴する請求項１に記載のアルミニウム真空蒸着方法。
3. 前記管状体の外周囲全体にわたって誘導加熱コイルを巻回配置して通電することにより、アルミニウム蒸着源全体を加熱蒸発させる、ことを特徴する請求項１に記載のアルミニウム真空蒸着方法。
4. アルミニウム蒸着源を管状体の内径未満の外径を有するアルミニウム細線により構成した、ことを特徴する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のアルミニウム真空蒸着方法。
5. アルミニウム蒸着源を、管状体の内径未満の外径を有しかつ配置方向に線状とされたボートと、このボート上に載せられたアルミニウム材とにより構成し、このアルミニウム蒸着源を挿通配置した状態で前記管状体を自転させながら、該管状体の外周囲に配置した誘導加熱コイルに通電してアルミニウム蒸着源を加熱蒸発させる、ことを特徴する請求項１ないし３のいずれか１項に記載のアルミニウム真空蒸着方法。

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