JP2006060131A - 光電変換装置およびその製造方法 - Google Patents
光電変換装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006060131A JP2006060131A JP2004242407A JP2004242407A JP2006060131A JP 2006060131 A JP2006060131 A JP 2006060131A JP 2004242407 A JP2004242407 A JP 2004242407A JP 2004242407 A JP2004242407 A JP 2004242407A JP 2006060131 A JP2006060131 A JP 2006060131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- type semiconductor
- photoelectric conversion
- atom
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Abstract
【解決手段】少なくともシリコン原子を含有する微結晶半導体からなるp型半導体層を有し、該p型半導体層、微結晶半導体からなるi型半導体層およびn型半導体層を積層して構成されるpin型光電変換層を少なくとも1つ有し、かつ前記p型半導体層が炭素原子およびホウ素原子を含有し、シリコン原子に対する炭素原子濃度A原子%およびホウ素原子濃度B原子%が、0.25−0.001A+0.015A2≦B≦0.35−0.01A+0.022A2で表される光電変換装置を提供することにより、上記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
したがって、ワイドバンドギャップ化のための添加元素を高濃度に加えた場合において、十分なキャリア濃度および結晶相の比率を維持することができれば、光電変換装置の更なる高効率化が期待できる。
基板11は、透光性基板11aの上に透明導電層11bを堆積させて作製される。透光性基板11aとしては、ガラス板あるいはポリイミド、ポリビニル等の耐熱性を有する透光性樹脂板、さらにそれらが積層されたものなどが好適に用いられるが、光透過性が高く光電変換装置全体を構造的に支持し得るものであれば特に限定されない。また、それらの表面に金属膜、透明導電膜、絶縁膜等を被覆したものであってもよい。ただし、光電変換装置をサブストレート型構造に適用する場合には、上記透光性基板11aの代わりにステンレスなどの不透光性基板を用いてもよい。
光電変換層10は、構成材料のうち主材料は、通常は、シリコンであり、特にアモルファスシリコン、微結晶シリコン等が好適に用いられる。ここで、本発明において、用語「アモルファスシリコン」および「微結晶シリコン」は、それぞれ、当該分野で一般的に使われる、「水素化アモルファスシリコン」および「水素化微結晶シリコン」を含むものとする。本実施の形態の光電変換層10は、基板11側からp型半導体層12、i型半導体層13、n型半導体層14をこの順に堆積させてpin接合構造が形成されている。各型の半導体層の膜厚は、特に限定されるものではないが、p型半導体層12が5〜50nm、i型半導体層13が100〜5000nm、n型半導体層14が5〜100nmの範囲とすることがよく、好ましくはp型半導体層12が10〜30nm、i型半導体層13が200〜
4000nm、n型半導体層14が10〜30nmである。
p型導電性決定元素が水素により不活性化されている場合には、赤外吸収測定スペクトルにおいて1800〜1950cm-1の波数範囲に、上記結晶シリコン−p型導電性決定元素結合に起因する鋭い赤外吸収ピークが観測されることが知られている。特にp型導電性決定元素がホウ素であった場合には、約1875cm-1付近に赤外吸収ピークが観測される。このような場合に、p型半導体層形成後に180℃〜350℃の加熱処理を行うとp型導電性決定元素を不活性化していた水素が脱離することにより、上記結晶シリコン−p型導電性決定元素結合に起因する赤外吸収ピークが消失すると共にキャリア濃度が約1桁増加することを見出した。したがって、p型半導体層12は、赤外吸収測定スペクトルにおいて1800〜1950cm-1の波数範囲に吸収ピークを持たない(水素によりp型導電性決定元素が不活性化されていない)ことが、キャリア濃度が高く光電変換効率を向上させることができるため望ましく、そのためにはp型半導体層形成後の180℃〜350℃の加熱処理が有効である。ここで、180℃以上の温度とすることで充分な水素の脱離が生じ、350℃以下の温度とすることで接合界面における不純物元素の拡散などが抑制され光電変換装置の特性低下を防ぐことができるので、上記温度範囲が望ましい。
電極16は、導電層が少なくとも1層以上あればよく、光反射率が大きく導電率が高い程好ましい。これらを満たす材料として、可視光反射率の高い銀、アルミニウム、チタン、パラジウム等の金属材料やその合金が用いられ、CVD法、スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、スプレー法、スクリーン印刷法等により上記光電変換層10の上に形成される。電極16は、光電変換層10で吸収されなかった光を反射して再度光電変換層10に戻すため、光電変換効率の向上に寄与する。さらに、光電変換層10と電極16との間に透明導電層15を形成すると、入射光に対する光閉じ込め向上効果や光反射率向上効果が得られることに加えて、電極16に含まれる元素の光電変換層10への拡散を抑制することができる。透明導電層15は透明導電層11bと同様の材料や製法にて形成することができる。ただし、本発明をサブストレート型構造に適用する場合には、上記電極16として、櫛形など表面を一様に覆わないグリッド形状であることが望ましい。
本実施例1〜15および比較例1〜11では、図1に示すスーパーストレート型光電変換装置100を以下のように作製した。
p型半導体層12は、原料ガスとしてSiH4、H2、B2H6およびCH4を用いた。H2/SiH4ガス流量比、B2H6/SiH4ガス流量比およびCH4/SiH4ガス流量比については表1記載のように変化させ、そのときの膜中炭素濃度およびホウ素濃度を表1に併記した。なお、膜中のシリコン原子に対する炭素濃度およびホウ素濃度は、p型半導体層12について高感度の二次イオン質量分析およびオージェ電子分光法を行った結果得られた値(原子%)を示す。p型半導体層12は、光活性層であるi型半導体層に入射する光量を多くするためにp型層としての機能を損なわない範囲で薄い方が望ましく、本実施例では20nmの膜厚とした。結晶化率は上述のIc/Iaで表すとIc/Ia≧3となるようにH2/SiH4ガス流量比を調節した。
また、光電変換層10作製後に窒素雰囲気中で200℃、1時間の加熱処理を行った。
以下、実施例1〜15の比較結果(●)および比較例1〜11の比較結果(△)に関して、表1および図2に基づいて考察する。
(式1)B≧0.25−0.001A+0.015A2
という相関関係を持っているときにシート抵抗300kΩ/□以下が実現できることが明らかになった。このような相関関係を有するp型半導体層を光電変換装置に適用した結果、炭素濃度を次第に増加させると炭素濃度30原子%まで光電変換効率は向上し、その後炭素濃度40原子%まで比較的高い光電変換効率を維持することが明らかになった。この理由は、以下のように考えられる。p型半導体層が炭素原子を含有することによって、(a)p型半導体層のバンドギャップが広がって拡散電位が増加するとともに、(b)炭素添加による結晶粒界の界面パッシベーションおよびp/i層界面パッシベーションにより界面再結合が低減する等の効果により開放電圧が向上する。ここで、炭素原子濃度が増加するにつれてホウ素の活性化効率の低下を補償するようにホウ素濃度を増加させるので、高炭素濃度においてもp型半導体層のキャリア濃度の低下を伴わない。したがって、高炭素濃度の場合であっても開放電圧および光電変換効率が向上すると考えられる。次に、ホウ素濃度Bが式1を下回った場合の比較例について考えると、シート抵抗300kΩ/□を越えているためキャリア濃度不足による拡散電位の低下が生じ変換効率も低下していると考えられる。したがって、ホウ素濃度B(原子%)が式1を満たしていることが高い変換効率が得られる条件の一つになっているといえる。
(式2)B≦0.35−0.01A+0.022A2
という相関関係を持っているときに高い変換効率が得られることも明らかになっている。
すなわち、ホウ素濃度が式2を越えて高い側にズレた場合には、シート抵抗は十分低いにもかかわらず、変換効率が低下しているのである。この理由は、ホウ素濃度の増加に伴いp層またはp/i界面で欠陥が増加していることによるものと思われる。すなわち、成長表面の水素被覆率が高いほど欠陥の少ない膜が形成できることが知られているが、ホウ素は化学的に成長表面の水素を引き抜くため欠陥を増加させるのである。本実施例および比較例においては、結晶相の比率を維持するために、ホウ素濃度を増加させたときには[H2]/ [SiH4]ガス流量比も同時に増加させているが、ホウ素濃度が式2よりも高い場合には、十分な低欠陥密度化ができていないと考えられる。
11 基板
11a 透光性基板
11b 透明導電層
12 p型半導体層
13 i型半導体層
14 n型半導体層
15 透明導電層
16 電極
100 スーパーストレート型光電変換装置
Claims (11)
- p型半導体層、i型半導体層およびn型半導体層を積層して構成されるpin型光電変換層を備え、p型半導体層およびi型半導体層が、微結晶半導体からなり、p型半導体層がシリコン原子、炭素原子およびホウ素原子を含有し、シリコン原子に対する炭素原子濃度A原子%およびホウ素原子濃度B原子%が、0.25−0.001A+0.015A2≦B≦0.35−0.01A+0.022A2で表されることを特徴とする光電変換装置。
- p型半導体層は、シリコン原子に対する炭素原子濃度Aが1原子%以上40原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- p型半導体層は、シリコン原子に対する炭素原子濃度Aが20原子%以上40原子%以下であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- p型半導体層は、結晶体積分率がIc/Ia≧3であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の光電変換装置。
- p型半導体層は、格子振動分光測定スペクトルにおいて1800〜1950cm-1の波数範囲に吸収ピークを持たないことを特徴とする請求1〜4のいずれか1つに記載の光電変換装置。
- i型半導体層は、少なくとも結晶シリコン相を有する請求項1〜5のいずれか1つに記載の光電変換装置。
- p型半導体層、i型半導体層およびn型半導体層を備えた光電変換層を形成する工程を有し、前記光電変換層のp型半導体層を形成する工程において、シリコン原子、ホウ素原子および炭素原子を含む原料ガスを用いて、前記p型半導体層が、その中に含まれるシリコン原子に対する炭素原子濃度A原子%およびホウ素原子濃度B原子%が、0.25−0.001A+0.015A2≦B≦0.35−0.01A+0.022A2で表される比率で含まれるように形成されることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
- p型半導体層を形成するための原料ガスがCH4及びB2H6を含み、 [B2H6]/[SiH4]ガス流量比を0.3〜10.5の範囲に、かつ、[CH4]/[SiH4]ガス流量比を0.125〜10.0の範囲に制御する請求項7に記載の光電変換装置の製造方法。
- p型半導体層を形成するための原料ガスがH2をさらに含み、[H2]/ [SiH4]のガス流量比を150〜900の範囲に制御する請求項7または8に記載の光電変換装置の製造方法。
- p型半導体層形成工程後に180℃〜350℃の加熱工程を有する請求項7〜9のいずれか1つに記載の光電変換装置の製造方法。
- 光電変換層形成工程後に180℃〜350℃の加熱工程を有する請求項7〜10のいずれか1つに記載の光電変換装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004242407A JP4215694B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | 光電変換装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004242407A JP4215694B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | 光電変換装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006060131A true JP2006060131A (ja) | 2006-03-02 |
JP4215694B2 JP4215694B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=36107325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004242407A Expired - Fee Related JP4215694B2 (ja) | 2004-08-23 | 2004-08-23 | 光電変換装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4215694B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8859887B2 (en) | 2008-10-31 | 2014-10-14 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Photovoltaic device and process for producing photovoltaic device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102169925B (zh) * | 2011-03-21 | 2012-10-10 | 牡丹江旭阳太阳能科技有限公司 | 一种非晶硅薄膜太阳能电池缓冲层的制备方法 |
-
2004
- 2004-08-23 JP JP2004242407A patent/JP4215694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8859887B2 (en) | 2008-10-31 | 2014-10-14 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Photovoltaic device and process for producing photovoltaic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4215694B2 (ja) | 2009-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9812599B2 (en) | Method of stabilizing hydrogenated amorphous silicon and amorphous hydrogenated silicon alloys | |
US7915520B2 (en) | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof | |
US8691613B2 (en) | Method for manufacturing photoelectric conversion device | |
US20110259395A1 (en) | Single Junction CIGS/CIS Solar Module | |
JP2001267611A (ja) | 薄膜太陽電池及びその製造方法 | |
US9859454B2 (en) | Photoelectric conversion device and fabrication method thereof | |
US20120318335A1 (en) | Tandem solar cell with improved tunnel junction | |
JPH05110125A (ja) | 光起電力素子 | |
JPWO2005109526A1 (ja) | 薄膜光電変換装置 | |
WO2008059857A1 (fr) | Dispositif de conversion photoélectrique en film mince | |
JP4864077B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4215697B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JPH10242492A (ja) | 非晶質シリコンゲルマニウム薄膜の製造方法及び光起電力素子 | |
EP3349257B1 (en) | Method of manufacturing solar cell | |
JP4443274B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP4215694B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4441377B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4441298B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JPWO2006049003A1 (ja) | 薄膜光電変換装置の製造方法 | |
WO2013031906A1 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4864078B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP5123444B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2014063848A (ja) | 集積型光電変換装置の製造方法 | |
JP5307280B2 (ja) | 薄膜光電変換素子 | |
Gordon et al. | Processing and characterization of efficient thin-film polycrystalline silicon solar cells |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060912 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081001 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081028 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |