JP2006053032A - 光スペクトラムアナライザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 同期制御手段25は、特性が所定周期で繰り返し変化する被測定光Sを被測定物1から受ける際に、被測定光Sの特性変化期間に対して、分光器21の波長掃引期間の開始タイミングが1掃引毎または複数掃引毎に所定時間ずつシフトするように、分光器21または被測定物1を制御する。また、スペクトラム波形生成手段26は、同期制御手段25によって前記特性変化期間に対して波長掃引期間が所定時間ずつシフトしている間にA/D変換器23から出力されたデータに対する並べ替え処理を行い、被測定光Sの前記特性変化期間内における各時刻のスペクトラム波形のデータを生成する。
【選択図】 図1
Description
被測定物(1)から出射された被測定光を受けて回折する回折格子(32)と、前記被測定光に対して前記回折格子から出射された光を受けて該回折格子に再入射するミラー(33)とを含み、該ミラーまたは前記回折格子を往復回転させ、前記ミラーから再入射された光に対して前記回折格子が特定方向に出射する光の波長を掃引する分光器(21)と、
前記分光器が前記特定方向に出射する光を受けてその強度を検出する光電変換素子(22)と、
前記光電変換素子の出力信号をデジタルのデータに順次変換するA/D変換器(23)とを有する光スペクトラムアナライザにおいて、
特性が所定周期で繰り返し変化する被測定光を前記被測定物から受ける際に、該被測定光の特性変化期間に対して、前記分光器の波長掃引期間の開始タイミングが1掃引毎または複数掃引毎に所定時間ずつシフトするように、前記分光器または被測定物を制御する同期制御手段(25)と、
前記同期制御手段によって前記特性変化期間に対して前記波長掃引期間が所定時間ずつシフトしている間に前記A/D変換器から出力されたデータに対する並べ替え処理を行い、前記被測定光の前記特性変化期間内における各時刻のスペクトラム波形のデータを生成するスペクトラム波形生成手段(26)とを設けたことを特徴としている。
前記同期制御手段は、被測定光の特性変化周期またはその整数倍と、前記分光器の波長掃引周期またはその整数倍との差が前記所定時間となるように、前記分光器または被測定物を制御することを特徴としている。
前記分光器のミラーは、薄い基板に対するエッチングによって一体的に形成され、枠状基板(34)と、該枠状基板の内側に配置され一面側に前記回折格子からの光を反射するための反射面が形成された反射板(35)と、前記枠状基板の内縁と前記反射板の外縁との間を連結し、且つその長さ方向に捩れ変形して、前記反射板を前記枠状基板に対して回転自在に支持する連結部(36、37)とを有し、
前記ミラーの反射板をその共振周波数またはその近傍の周波数で回転駆動する駆動回路(42)を備えていることを特徴としている。
前記分光器の回折格子は、薄い基板に対するエッチングによって一体的に形成され、枠状基板(44)と、該枠状基板の内側に配置され一面側に光を回折するための溝が形成された回折板(45)と、前記枠状基板の内縁と前記回折板の外縁との間を連結し、且つその長さ方向に捩れ変形して、前記回折板を前記枠状基板に対して回転自在に支持する連結部(46、47)とを有し、
前記回折板をその共振周波数またはその近傍の周波数で回転駆動する駆動回路(52)を備えていることを特徴としている。
図1は、本発明を適用した光スペクトラムアナライザ20の構成を示している。
このミラー33は、上板34a、下板34b、左右の側板34c、34dを有する矩形の枠状基板34、その内側に配置された矩形の反射板35および枠状基板34の上板34aの下縁中央部と反射板35の上縁中央部との間、下板34bの上縁中央部と反射板35の上縁中央部と間をそれぞれ連結して、反射板35を枠状基板34の枠内に支持する一対の連結部36、37とにより構成されている。
同期用クロック信号Cbを受けた被測定物1から、例えば図5に示すように、時間経過に伴いスペクトラムが変化する被測定光Sが入力されるものとする。
A・Ta=B・Tb±ΔT
を満足する1以上の整数A、Bを求め、波長掃引周期Taと特性変化周期Tbとが整数A、Bに対応した値となるように設定すればよい。
Claims (4)
- 被測定物(1)から出射された被測定光を受けて回折する回折格子(32)と、前記被測定光に対して前記回折格子から出射された光を受けて該回折格子に再入射するミラー(33)とを含み、該ミラーまたは前記回折格子を往復回転させ、前記ミラーから再入射された光に対して前記回折格子が特定方向に出射する光の波長を掃引する分光器(21)と、
前記分光器が前記特定方向に出射する光を受けてその強度を検出する光電変換素子(22)と、
前記光電変換素子の出力信号をデジタルのデータに順次変換するA/D変換器(23)とを有する光スペクトラムアナライザにおいて、
特性が所定周期で繰り返し変化する被測定光を前記被測定物から受ける際に、該被測定光の特性変化期間に対して、前記分光器の波長掃引期間の開始タイミングが1掃引毎または複数掃引毎に所定時間ずつシフトするように、前記分光器または被測定物を制御する同期制御手段(25)と、
前記同期制御手段によって前記特性変化期間に対して前記波長掃引期間が所定時間ずつシフトしている間に前記A/D変換器から出力されたデータに対する並べ替え処理を行い、前記被測定光の前記特性変化期間内における各時刻のスペクトラム波形のデータを生成するスペクトラム波形生成手段(26)とを設けたことを特徴とする光スペクトラムアナライザ。 - 前記同期制御手段は、被測定光の特性変化周期またはその整数倍と、前記分光器の波長掃引周期またはその整数倍との差が前記所定時間となるように、前記分光器または被測定物を制御することを特徴とする請求項1記載の光スペクトラムアナライザ。
- 前記分光器のミラーは、薄い基板に対するエッチングによって一体的に形成され、枠状基板(34)と、該枠状基板の内側に配置され一面側に前記回折格子からの光を反射するための反射面が形成された反射板(35)と、前記枠状基板の内縁と前記反射板の外縁との間を連結し、且つその長さ方向に捩れ変形して、前記反射板を前記枠状基板に対して回転自在に支持する連結部(36、37)とを有し、
前記ミラーの反射板をその共振周波数またはその近傍の周波数で回転駆動する駆動回路(42)を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光スペクトラムアナライザ。 - 前記分光器の回折格子は、薄い基板に対するエッチングによって一体的に形成され、枠状基板(44)と、該枠状基板の内側に配置され一面側に光を回折するための溝が形成された回折板(45)と、前記枠状基板の内縁と前記回折板の外縁との間を連結し、且つその長さ方向に捩れ変形して、前記回折板を前記枠状基板に対して回転自在に支持する連結部(46、47)とを有し、
前記回折格子の回折板をその共振周波数またはその近傍の周波数で回転駆動する駆動回路(52)が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の光スペクトラムアナライザ。
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JP2004234561A JP2006053032A (ja) | 2004-08-11 | 2004-08-11 | 光スペクトラムアナライザ |
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Family Applications (1)
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JP2004234561A Pending JP2006053032A (ja) | 2004-08-11 | 2004-08-11 | 光スペクトラムアナライザ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006208243A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Anritsu Corp | 光スペクトラムアナライザ |
JP2011053171A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Kitasato Institute | 波長可変光源の発光波長の測定方法 |
-
2004
- 2004-08-11 JP JP2004234561A patent/JP2006053032A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4557730B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2010-10-06 | アンリツ株式会社 | 光スペクトラムアナライザ |
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