JP2006046562A

JP2006046562A - 薬液弁

Info

Publication number: JP2006046562A
Application number: JP2004230400A
Authority: JP
Inventors: Tomoya Yamaguchi; 友也山口
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2004-08-06
Filing date: 2004-08-06
Publication date: 2006-02-16
Anticipated expiration: 2024-08-06
Also published as: JP4303177B2

Abstract

【課題】液溜まり部及び漏れ箇所を削減できる薬液弁を提供すること。
【解決手段】ボディ２Ａに第１ポート４と、第２ポート５と、共通ポート３とが設けられ、ボディ２Ａに取り付けられた第１ダイアフラム弁６Ａが第１ポート４と共通ポート３とに連通する一方、ボディ２Ａに取り付けられた第２ダイアフラム弁６Ｂが第２ポート５と共通ポート３に連通する薬液弁１Ａにおいて、第１ダイアフラム弁６Ａの第１弁室２５と第２ダイアフラム弁６Ｂの第２弁室２６とをＶ字流路３３で連通させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、共通ポートに連通する複数のダイアフラム弁をそれぞれ個別の出力ポートに連通させる薬液弁に関する。

半導体製造装置や液晶製造装置などでは、例えば、水や薬液等の複数の流体を所定流量で混合して供給したり、１つの流体に複数種の他の流体を適宜切り替えて混入して供給したり、さらには、１つの流体を複数の場所へ分配して供給したりするために、複数のポートを有する薬液弁が用いられている。図１７は、従来の薬液弁１００の平面図である。図１８は、図１７のＧ−Ｇ断面図である。

薬液弁１００は、ボディ１０１に設けられた共通ポート１０２、第１ポート１０３、第２ポート１０４を備え、第１ダイアフラム弁１０５と第２ダイアフラム弁１０６によってポートの連通状態を切り替える３ポート弁である。ボディ１０１は、樹脂を直方体のブロック状に成形したものであり、横穴１０７が側面から長手方向に水平に穿設されている。ボディ１０１は、上側面に開設された取付開口部に第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６を取り付けることにより、ダイアフラム１０８，１０９で区画された弁室１１０，１１１が形成され、弁室１１０，１１１と同軸上に弁孔１１２，１１３が上側面から横穴１０７に対して垂直に連通するように穿設されている。弁孔１１２，１１３の開口部には、弁座１１４，１１５が設けられ、ダイアフラム１０８，１０９が当接又は離間するようになっている。また、ボディ１０１には、弁室１１０と第１ポート１０３、及び、弁室１１１と第２ポート１０４とを連通させる流路１１６，１１７が形成されるとともに、共通ポート１０２と横穴１０７とを連通させる流路１１８が形成され、横穴１０７の開口部が封止部材１１９で密封されている。

従って、薬液弁１００は、共通ポート１０２が、流路１１８、横穴１０７，弁孔１１２、弁座１１４、弁室１１０、流路１１６を介して第２ポート１０３に連通する一方、横穴１０７，弁孔１１３、弁座１１５、弁室１１１、流路１１７を介して第３ポート１０４にそれぞれ連通し、第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６の開閉弁動作を制御すれば、共通ポート１０２を第１ポート１０３又は第２ポート１０４に連通させることができる。
なお、本明細書では、薬液弁１００が公然実施されるものであり、また、近似する先行技術文献を発見できなかったため、先行技術文献情報を開示していない。

しかしながら、従来の薬液弁１００は、共通ポート１０２が横穴１０７の途中に接続するため、その接続部分を挟んで第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６の反対側に空間Ｘが形成され、液溜まりを発生させていた。

すなわち、例えば、共通ポート１０２から第１，第２ポート１０３，１０４に流体を供給するときに、流体の大部分は流路１１８から横穴１０７の第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６側に流れて第１，第２ポート１０３，１０４から出力されるものの、流体の一部は空間Ｘに流れ込む。流体は、流れやすい方向に流れを形成するため、空間Ｘに流れ込んだ流体は淀みやすい。しかも、薬液弁１００は、第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６が空間Ｘの下流側に配設されているため、第１，第２ダイアフラム弁１０５，１０６の開閉動作を切り替えても、空間Ｘ付近の流体を押し出すことができない。
また、例えば、第１，第２ポート１０３，１０４に供給する第１，第２流体を切り替えて共通ポート１０２から出力するときには、例えば、第２ダイアフラム弁１０６を閉弁した状態で第１ダイアフラム弁１０５を開弁し、第１ポート１０３に供給した第１流体を横穴１０７を介して共通ポート１０２から出力する。第１流体は、大部分が共通ポート１０２へと流れて流れを形成するため、空間Ｘに流れ込んだ第１流体が淀みやすい。その後、第１ダイアフラム弁１０５を閉弁して第２ダイアフラム弁１０６を開弁すると、第２ポート１０４に供給した第２流体が横穴１０７を介して共通ポート１０２から出力される。このとき、第２流体も、大部分が共通ポート１０２に流れて流れを形成するため、空間Ｘに滞留する流体を押し出しにくい。
このように、薬液弁１００は、共通ポート１０２、第１ポート１０３、第２ポート１０４の何れを加圧しても、空間Ｘが淀みやすく、液溜まりを発生しやすい。液溜まりは、流体の性質等を変え、製品品質に悪影響を及ぼすため、問題である。

また、薬液弁１００は、横穴１０７の開口部を封止部材１１９で密封するため、ボディ１０１と封止部材１１９との間から漏れを発生するおそれがある。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、液溜まり部及び漏れ箇所を削減できる薬液弁を提供することを目的とする。

本発明に係る薬液弁は、次のような構成を有している。
（１）ボディに第１ポートと、第２ポートと、第３ポートとが設けられ、ボディに取り付けられた第１ダイアフラム弁が第１ポートと第３ポートとに連通する一方、ボディに取り付けられた第２ダイアフラム弁が第２ポートと第３ポートに連通する薬液弁において、第１ダイアフラム弁の第１弁室と第２ダイアフラム弁の第２弁室とが斜めに形成された連通流路で連通していることを特徴とする。

（２）（１）に記載の発明において、連通流路が開口する第１弁室又は第２弁室の側壁が、連通流路に対して垂直であることを特徴とする。
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、連通流路がＶ字流路であることを特徴とする。

上記構成を有する薬液弁は、第１ダイアフラム弁の第１弁室と第２ダイアフラム弁の第２弁室とが、斜めに形成された連通流路を介して連通しているため、例えば、第３ポートから第１，第２ポートに供給した流体が連通流路内を一定方向に流れ、連通流路内に液溜まりを発生させにくい。また、ボディに連通流路を形成するため、ボディを封止部材などで密封する必要がなく、従来の薬液弁と比べて漏洩箇所が削減される。
よって、本発明の薬液弁によれば、液溜まり部及び漏れ箇所を削減することができる。

また、本発明の薬液弁では、連通流路が開口する第１，第２弁室の連側壁が、連通流路に対して垂直であるため、連通流路をドリルなどで形成しやすく、しかも、流体が第１，第２弁座の側壁に沿って流れを形成するため、第１，第２弁室と連通流路との間で流体を入出力しやすく、滞留部を発生させにくい。
また、本発明の薬液弁では、第１，第２弁室をＶ字流路で連通するため、漏れ箇所を増やすことなく連通流路を簡単に設けることができる。

（第１実施の形態）
次に、本発明に係る薬液弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、薬液弁１Ａの外観斜視図である。図２は、薬液弁１Ａの平面図である。
薬液弁１Ａは、従来の薬液弁１００（図１７、図１８参照）と同様、半導体製造装置や液晶製造装置に組み込まれ、１種類の流体を分配して供給したり、２種類の流体を切り替えて供給するために用いられる。薬液弁１Ａは、１個のボディ２Ａに第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを搭載され、ボディ２Ａに設けられた共通ポート（特許請求の範囲の「第３ポート」に相当するもの。）３、第１ポート４、第２ポート５の連通状態を第１ダイアフラム弁６Ａと第２ダイアフラム弁６Ｂにより切り替えるものである。薬液弁１Ａは、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂをボディ２Ａの上側面に載置し、ネジＮ…を第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂからボディ２Ａのネジ孔７…（図７参照）へと貫き通して締結することにより、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂをボディ２Ａに固定している。

図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。図４は、図３のＢ−Ｂ断面図である。図５は、図３のＣ−Ｃ断面図である。
第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂは、エアオペレイト式開閉弁であり、同一構造をなす。よって、ここでは、第１ダイアフラム弁６Ａの構成について説明し、第２ダイアフラム弁６Ｂの構成については、図面に同一符号を付して説明を省略する。

第１ダイアフラム弁６Ａは、図３及び図４に示すように、一方に開口するシリンダ１１にカバー１２を取り付けられ、ピストン室１３を形成している。ピストン室１３は、ピストン１４が摺動可能に装填され、一次室１３ａと二次室１３ｂに気密に区画されている。一次室１３ａには、スプリング１５が縮設され、ピストン１４に図中下向きの力を常時作用させている。ピストン室１３は、カバー１２に開設された呼吸孔１６が一次室１３ａに連通する一方、シリンダ１１に開設された操作ポート１７が二次室１３ｂに連通しており、操作ポート１７に操作エアを供給して二次室１３ｂを加圧すれば、ピストン１４に図中上向きの力を作用させ、操作エアの供給を停止すれば、図中上向きの力を解除することができる。

かかる第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂは、ピストン１４の脚部１８がシリンダ１１の隔壁を貫いて二次室１３ｂからボディ２Ａ側に突き出し、第１，第２ダイアフラム１９，２０にそれぞれ螺合する。
なお、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂは、耐腐食性等の観点より、シリンダ１１、カバー１２などがＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂で形成されている。

一方、ボディ２Ａは、図３〜図５に示すように、耐腐食性等の観点より、ＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などの樹脂を射出成形や切削加工により略直方体形状に形成したものであり、共通ポート３が第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを介して第１，第２ポート４，５に個別に連通している。第１，第２ポート４，５は、共通ポート３が開口する側面と対向する側面に開口し、共通ポート３と１８０度反対方向に設けられている。ボディ２Ａの上側面には、図３及び図４に示すように、第１，第２有底孔２１，２２が開口し、第１，第２有底孔２１，２２の開口部に形成された凹部２３，２４に第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂがきっちり嵌め合わされて連結されている。第１，第２ダイアフラム１９，２０は、周縁部がボディ２Ａの凹部２３，２４と第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂとの間で狭持され、ボディ２Ａと第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂとの間に形成される空間を気密に区画して第１，第２弁室２５，２６を形成している。第１，第２ダイアフラム１９，２０は、接液面を構成するため、ＰＴＦＥなどの耐腐食性を有する樹脂を所定形状に削り出して形成されている。

ボディ２Ａは、第１，第２弁室２５，２６と同軸上に第１，第２弁孔２７，２８を形成され、第１，第２弁室２５，２６と第１，第２弁孔２７，２８との間に形成される段差を第１，第２ダイアフラム１９，２０が当接又は離間する第１，第２弁座２９，３０にしている。ボディ２Ａには、第１，第２ポート４，５を第１，第２弁孔２７，２８に連通させるように第１，第２流路３１，３２が形成されている。また、ボディ２Ａは、第１弁室２５と第２弁室２６を連通させるＶ字流路（特許請求の範囲の「連通流路」に相当するもの。）３３を形成され、図５に示すように、共通ポート３が共通流路３４がＶ字流路３３に連通している。

従って、薬液弁１Ａは、共通ポート３が、共通流路３４、Ｖ字流路３３、第１弁室２５、第１弁座２９、第１弁孔２７、第１流路３１を介して第１ポート４と連通する一方、共通流路３４、Ｖ字流路３３、第２弁室２６、第２弁座３０、第２弁孔２８、第２流路３２を介して第２ポート５と連通して、流路を形成されている。

ボディ２Ａの流路構造についてより詳細に説明する。図６は、ボディ２Ａの斜視図である。図７は、ボディ２Ａの平面図である。図８は、図７のＤ−Ｄ断面図である。
ボディ２Ａは、共通ポート３を挟んで共通流路３４、Ｖ字流路３３、第１，第２有底孔２１，２２、第１，第２弁孔２７，２８、第１，第２流路３１，３２、第１，第２ポート４，５がそれぞれ左右対称位置に設けられている。
第１，第２有底孔２１，２２は、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを並設するために必要な間隔を空けて、ボディ２Ａの上側面から垂直方向に開設されている。第１，第２有底孔２１，２２の側壁には、Ｖ字流路３３が開口している。

Ｖ字流路３３は、図８に示すように、第１，第２有底孔２１，２２の中心を通るように縦方向に切断した断面上に形成され、第１弁室２５の側壁に対して斜めに連通する第１連通流路３３１と、第２弁室２６の側壁に対して斜めに連通する第２連通流路３３２とから構成される。第１連通流路３３１は、第１有底孔２１の軸線Ｌ１に対して第２有底孔２２側に所定の角度Ｐ１だけ傾斜する一方、第２連通流路３３２は、第２有底孔２２の軸線Ｌ２に対して第１有底孔２１側に所定の角度Ｐ２だけ傾斜している。ここで、所定の角度Ｐ１，Ｐ２は、第１，第２連通流路３３１，３３２と第１，第２有底孔２１，２２との間で流体をなだらかに入出力するために必要な角度をいい、４５〜７５度に設定することが望ましい。また、所定の角度Ｐ１，Ｐ２は、第１，第２連通流路３３１，３３２を第１，第２有底孔２１，２２の中間で連通させるために同一角度に設定することが望ましい。本実施の形態では、所定の角度Ｐ１，Ｐ２を６０度に設定している。

第１，第２連通流路３３１，３３２は、ボディ２Ａにドリルで断面を円形するように穿設してもよいし、流量を確保するために、エンドミルで断面を楕円形やＵ字形など非円形にするように穿設してもよい。この場合、ドリルやエンドミルなどが第１，第２有底孔２１，２２の側壁に当たり、側壁の一部を第１，第２連通流路３３１，３３２に対して垂直に傾斜させることがある。第１，第２有底孔２１，２２の側壁に凸凹ができると、流体が滞留する要因となり、好ましくない。そのため、第１，第２有底孔２１，２２は、第１，第２連通流路３３１，３３２に対して垂直になる角度のテーパが側壁に設けられ、下方から上方に向かって拡径する円錐台状に形成されている。なお、第１，第２有底孔２１，２２は、滞留部が第１，第２弁室２５，２６の隅に発生することを抑制するために、第１，第２連通流路３３１，３３２の流路径に合わせて側壁の幅を設定することが望ましい。

共通ポート３は、図６及び図７に示すように、第１，第２有底孔２１，２２の中間に配設され、共通流路３４を介して第１，第２連通流路３３１，３３２の連通部分に対して垂直に連通している。つまり、共通ポート３は、Ｖ字流路３３の中間に連通している。
また、ボディ２Ａは、図８に示すように、第１，第２有底孔２１，２２と同軸上に第１，第２弁孔２７，２８が形成され、図６及び図７に示すように、共通流路３４と平行に形成される第１，第２流路３１，３２が第１，第２弁孔２７，２８に対して垂直に連通している。第１，第２流路３１，３２の開口部には、第１，第２ポート４，５が開設されている。
なお、共通ポート３、共通流路３４、第１，第２流路３１，３２、第１，第２ポート４，５は、加工や配管を容易にするため、ボディ２Ａに対して同一断面上に形成されている。

このような薬液弁１Ａは、図２に示すように、共通ポート３、第１，第２ポート４，５に樹脂製の継手３５，３６，３７を装着されるとともに、図３に示すように、ＳＵＳなどの金属若しくはＰＰＳなどの樹脂からなる取付板３８をボディ２Ａの下側面に固設される。薬液弁１Ａは、取付板３８を介して半導体製造装置や液晶製造装置などに固定され、共通ポート３、第１，第２ポート４，５が継手３５，３６，３７を介して配管に接続され、さらに、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂの操作ポート１７に図示しない操作エア供給装置を接続される。

そして、薬液弁１Ａは、例えば、薬液を分配して供給する場合には、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂに操作エアを供給せずに閉弁した状態で共通ポート３に薬液を供給する。薬液は、共通ポート３から共通流路３４、Ｖ字流路３３の第１，第２連通流路３３１，３３２を介して第１，第２弁室２５，２６まで流れる。その後、例えば、第１ポート４から薬液を出力したければ、第１ダイアフラム弁４の操作ポート１７に操作エアを供給してピストン１４を上昇させ、第１ダイアフラム１９を第１弁座２９から離間させる。すると、薬液が第１弁室２５から第１弁座２９、第１弁孔２７、第１流路３１を介して第１ポート４へと流れ、第１ポート４から出力される。このとき、第２ダイアフラム弁６Ｂは、操作エアを供給されないため、第２ダイアフラム２０がスプリング１５の弾圧力で第２弁座３０をシールし、薬液を第２弁座３０より下流に流さない。従って、薬液は、第１ポート４のみから出力される。

その後、第２ポート５から薬液を出力したい場合には、第１ダイアフラム弁６Ａへの操作エアの供給を停止して閉弁した後に第２ダイアフラム弁６Ｂに操作エアを供給して開弁すれば、上記と同様の作用によって薬液を第３ポート５のみから出力することができる。このとき、第２弁室２６には、第１ダイアフラム弁６Ａを開弁した際の薬液が残留しているが、第２ダイアフラム弁６Ｂを開弁したときに、第２連通流路３３２から第２弁室２６に噴出する薬液が第２弁室２６に残留する薬液を押し出すため、古い薬液が滞留しない。特に、第２連通流路３３２から第２弁室２６に噴出する薬液が第２ダイアフラム２０にぶつかった後、第２ダイアフラム２０の薄膜部に沿って向きを変え、その後さらに第２弁室２６の側壁に沿って流れてから第２弁孔１３に流入するため、第２ダイアフラム２０の薄膜部付近や第２弁室２６の隅などに滞留部を発生しにくい。

しかも、薬液弁１Ａは、第１ポート４と第２ポート５が共通ポート３を挟んで左右対称位置に設けられ、ボディ２Ａの流路構造が共通ポート３を挟んで左右対称であるため、共通ポート３に供給した薬液がＶ字流路３３の側壁にぶつかった後に第１，第２連通流路３３１，３３２を介して第１，第２弁室２５，２６に略均一に分配され、第１ポート４と第２ポート５から薬液を略同一の流量で出力することが可能である。

次に、例えば、薬液弁１Ａが第１薬液と第２薬液を切り替えて出力する場合には、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを閉弁させた状態で第１ポート４に第１薬液を供給し、第２ポート５に第２薬液を供給する。第１薬液は、第１ポート４から第１流路３１、第１弁孔２７を通って第１弁座２９まで流れる一方、第２薬液は、第２ポート５から第２流路３２、第２弁孔２８を通って第２弁座３０まで流れる。その後、第１薬液を出力したい場合には、第１ダイアフラム弁６Ａに操作エアを供給してピストン１４を上昇させ、第１ダイアフラム１９を第１弁座２９から離間させる。すると、第１薬液が、第１弁座２９から第１弁室２５に流入し、Ｖ字流路３３の第１連通流路３３１、共通流路３４を介して共通ポート３へと流れ、共通ポート３から出力される。このとき、第１薬液は、Ｖ字流路３３の第２連通流路３３２を介して第２弁室２６にも流入するが、第２ダイアフラム２０がスプリング１５の弾圧力で第２弁座３０をシールするため、第１薬液と第２薬液とが混合しない。

その後、第２薬液を共通ポート３から出力したい場合には、第１ダイアフラム弁６Ａを閉弁した後に第２ダイアフラム弁６Ｂを開弁すれば、上記と同様の作用によって第２薬液を共通ポート３から出力することができる。第１薬液を第２薬液に切り替える際には、第２弁室２６に第１薬液が残留しているが、第２薬液を供給する際に、第１薬液が第２薬液によって第２弁室２６からＶ字流路３３、共通流路３４、共通ポート３へと押し出されて置換されるため、滞留しない。特に、第２連通流路３３２が第２弁室２６の側壁に開口しているため、第２薬液が第２弁座３０から噴出されて第２ダイアフラム２０の薄膜部にぶつかった後、第２弁室２６の側壁に沿って流れて第２連通流路３３２へと流れ込みやすい。

従って、本実施の形態の薬液弁１Ａでは、第１ダイアフラム弁６Ａの第１弁室２５と第２ダイアフラム弁６Ｂの第２弁室２６とが、斜めに形成された第１連通流路３３１と斜めに形成された第２連通流路３３２とからなるＶ字流路３３を介して連通しているため、共通ポート３から第１ポート４又は第２ポート５に薬液を供給する場合や、第１ポート４又は第２ポート５から共通ポート３に薬液などの薬液を供給する場合に、薬液がＶ字流路３３を一定方向に流れ、Ｖ字流路３３内に液溜まりを発生させにくい。また、ボディ２ＡにＶ字流路３３を形成するため、ボディ２Ａを封止部材などで密封する必要がなく、従来の薬液弁１００（図１８参照）と比べて漏洩箇所が削減される。
よって、本実施の形態の薬液弁１Ａによれば、液溜まり部及び漏れ箇所を削減することができる。

また、本実施の形態の薬液弁１Ａでは、Ｖ字流路３３が開口する第１，第２弁室２５，２６の側壁が、第１，第２連通流路３３１，３３２に対して垂直であるため、Ｖ字流路３３の第１，第２連通流路３３１，３３２をドリルなどで形成しやすい。しかも、第１，第２弁室２５，２６が、第１，第２弁座２９，３０に向かって小径になるため、共通ポート３から第１，第２ポート３，４に薬液を流す場合に、薬液が第１弁座２９，３５に流れ込みやすく、また逆に、第１，第２ポート４，５から共通ポート３に薬液を流す場合にも、第１，第２弁座２９，３０から第１，第２室２３，２４に噴出された薬液が第１，第２ダイアフラム１９，２０にぶつかった後に第１，第２弁室２５，２６の側壁に沿って集められて第１，第２連通流路３３１，３３２へと流れ込みやすい。このように、薬液弁１Ａは、薬液が第１，第２弁室２５，２６に沿って流れを形成するため、Ｖ字流路３３と第１，第２弁室２５，２６との間で薬液を入出力しやすく、第１，第２室２３，２４内に滞留部を発生させにくい。
さらに、本実施の形態の薬液弁１Ａでは、第１，第２弁室２５，２６をＶ字流路３３で連通するため、漏れ箇所を増やすことなく連通流路を簡単に設けることができる。

（第２実施の形態）
続いて、本発明の薬液弁に係る第２実施の形態について図面を参照して説明する。図９は、薬液弁１Ｂの平面図である。図１０は、図９に示す薬液弁１Ｂの中央縦断面図である。図１１は、薬液弁１Ｃの平面図である。図１２は、図１１に示す薬液弁１Ｃの中央縦断面図である。
本実施の形態の薬液弁１Ｂ，１Ｃは、１つの共通ポート３に対して３個以上のポートを設けている点で、第１，第２ポート４，５のみを備える第１実施の形態の薬液弁１Ａと相違し、その他の点は共通している。よって、ここでは、第１実施の形態と相違する構成を中心に説明し、共通する構成は図面に同一符号を付して説明を適宜省略する。

薬液弁１Ｂは、ボディ２Ｂに共通ポート３と１８０度反対方向に第１〜第３ポート４，５，４１が設けられ、同一構造をなす第１〜第３ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂ，６Ｃを介して共通ポート３を第１〜第３ポート４，５，４１に個別に連通させる。薬液弁１Ｂは、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂと同様に、ボディ２Ｂと第３ダイアフラム弁６Ｃとの間に第３ダイアフラム４２で区画された第３弁室４３を備え、第３弁室４３が第１，第２弁孔２７，２８及び第１，第２流路３１，３２と同様に形成された第３弁孔４４、第３流路４５を介して第３ポート４１に連通している。第３弁室４３と第３弁孔４４との段差は、第３ダイアフラム４２が当接又は離間する第３弁座４６になっている。ボディ２Ｂは、第２弁室２６に共通ポート３が共通流路４７を介して連通している。第２弁室２６は、Ｖ字流路３３Ａを介して第１弁室２５に連通する一方、Ｖ字流路３３Ｂを介して第３弁室４３に連通しており、共通ポート３を共通流路４７やＶ字流路３３Ａ，３３Ｂ等を介して第１〜第３ポート４，５，４１に連通させて流路を形成している。なお、ボディ２Ｂの流路構造は、共通ポート３を挟んで対称になっている。

一方、薬液弁１Ｃは、ボディ２Ｂに共通ポート３と１８０度反対方向に第１〜第４ポート４，５，４１，５１が設けられ、同一構造をなす第１〜第４ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを介して共通ポート３を第１〜第４ポート４，５，４１，５１に個別に連通させる。薬液弁１Ｃは、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂと同様に、ボディ２Ｃと第３，第４ダイアフラム弁６Ｃ，６Ｄとの間に第３，第４ダイアフラム４２，５２で区画された第３，第４弁室４３，５３を備え、第３，第４弁室４３，５３が、第１，第２弁孔２７，２８及び第１，第２流路３１，３２と同様に形成された第３，第４弁孔４４，５４、第３，第４流路４５，５５を介して第３，第４ポート４１，５１に連通している。第３，第４弁室４３，５３と第１，第２弁孔４４，５４との間の段差は、第３，第４ダイアフラム４２，５２が当接又は離間する第３，第４弁座４６，５６になっている。ボディ２Ｃは、隣り合う弁室同士を連通させるＶ字流路３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃが形成され、Ｖ字流路３３Ｂに共通ポート３が共通流路５７を介して連通しており、共通ポート３を共通流路５７やＶ字流路３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ等を介して第１〜第３ポート４，５，４１に連通させて流路を形成している。なお、ボディ２Ｃの流路構造は、共通ポート３を挟んで対称になっている。

従って、本実施の形態の薬液弁１Ｂ，１Ｃは、３個以上のポートを設けた場合でも、隣り合う弁室をＶ字流路３３で連通させれば、１個の共通ポート３に対して３個以上のポートにダイアフラム弁を介して個別に連通させることができるので、ボディ２Ｂ，２Ｃに流路を簡単に形成してポートを増設することができる。また、Ｖ字流路３３で弁室同士を連通させるので、ポートの増設に伴って、液溜まり部や漏れ箇所が増えることもない。

（第３実施の形態）
続いて、本発明の薬液弁に係る第３実施の形態について図面を参照して説明する。図１３は、薬液弁１Ｄの外観斜視図である。図１４は、薬液弁１Ｄの平面図である。図１５は、図１４のＥ−Ｅ断面図である。図１６は、図１４のＦ−Ｆ断面図である。
本実施の形態の薬液弁１Ｄは、流路構造が第１実施の形態の薬液弁１Ａと相違し、その他の点は共通している。よって、ここでは、第１実施の形態と相違する構成を中心に説明し、共通する構成は図面に同一符号を付して説明を適宜省略する。

薬液弁１Ｄのボディ２Ｄには、共通ポート６０と９０度方向を変えて第１ポート６１が設けられ、１８０度反対側に第３ポート６２が設けられており、共通ポート６０が第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを介して第１，第２ポート６１，６２に個別に連通している。ボディ２Ｄと第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂとの間には、第１，第２弁室２５，２６が形成され、Ｖ字流路３３を介して連通している。第１弁室２５は、第１弁孔２７及び第１流路３１を介して第１ポート６１と連通する一方、第２弁室２５は、第２弁孔２８と第２流路６３を介して第２ポート６２と連通している。ボディ２Ｄは、共通流路６４が第１弁室２５のＶ字流路３３と反対側に開口し、共通ポート６０と第１弁室２５とを連通させている。

かかる薬液弁１Ｄでは、薬液を第１，第２ポート６１，６２から分配して出力する場合には、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを閉弁した状態で共通ポート６０に薬液を供給する。薬液は、共通流路６４から第１弁室２５、Ｖ字流路３３、第２弁室２６へと流れて充填される。そして、例えば、第１ポート６１から薬液を出力する場合には、第１ダイアフラム弁６Ａを開弁すると、薬液が弁室２５から第１弁座２９、第１弁孔２７、第１流路３１を介して第１ポート６１まで流れ、第１ポート６１から出力される。その後、第２ポート６２から薬液を出力する場合には、第１ダイアフラム弁６Ａを閉弁した後に、第２ダイアフラム弁６Ｂを開弁すると、薬液が第２弁室２６から第２弁座３０、第２弁孔２８、第２流路６３を介して第２ポート６２まで流れ、第２ポート６２から出力される。このとき、薬液は、第１，第２弁室２５，２６がＶ字流路３３で連通しているため、Ｖ字流路３３を一方向に流れ、滞留部や漏れを発生しない。

また、薬液弁１Ｄは、薬液を切り替えて出力する場合には、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂを閉弁した状態で、第１ポート６１に第１薬液を、第２ポート６２に第２薬液をそれぞれ供給する。第１薬液は、第１ポート６１から第１流路３１、第１弁孔２７を介して第１弁座２９まで流れ、第２薬液は、第２ポート６２から第２流路６３、第２弁孔２８を介して第２弁座３０まで流れる。そして、第１薬液を出力する場合には、第１ダイアフラム弁６Ａを開弁すれば、第１薬液が第１弁座２９から第１弁室２５に流入し、共通流路６４を介して共通ポート６０から出力される。その後、第２薬液を出力する場合には、第１ダイアフラム弁６Ａを閉弁した後に第２ダイアフラム弁６Ｂを開弁すれば、第２薬液が第２弁座３０から第２弁室２６に流入し、Ｖ字流路３３、第１弁室２５、共通流路６４を介して共通ポート６０から出力される。このとき、第２薬液が第１薬液を押し出すため、Ｖ字流路３３などに第１薬液が滞留しない。

従って、薬液弁１Ｄによれば、第１，第２弁室２５，２６をＶ字流路３３で連通させれば、半導体製造装置や液晶製造装置などの配管レイアウトに合わせて共通ポート６０、第１，第２ポート６１，６２の配置を任意に設計し、液溜まり部や漏れ箇所を削減することができる。

尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施の形態では、ダイアフラム弁としてエアオペレイト式開閉弁を用いたが、流量調整弁であってもよい。この場合には、例えば、薬液弁１Ａの第１ポート４に第１薬液を供給し、第２ポート４，５に第２薬液を供給し、第１，第２ダイアフラム弁６Ａ，６Ｂの弁開度を調整すれば、第１，第２薬液をＶ字流路３３から共通流路３４に流入する際に所定割合で混合し、共通ポート３から出力することが可能である。
（２）例えば、上記実施の形態では、薬液弁１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄが薬液を制御する場合について説明したが、制御対象は純水、Ｎ２ガス、空気など各種流体でもよい。
（３）例えば、上記実施の形態では、エアオペレイト式のダイアフラム弁６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを使用したが、駆動方式はこれに限定されず、手動弁等であってもよい。
（４）例えば、上記実施の形態では、第１，第２連通流路３３１，３３２が左右対称のＶ字流路３３を連通流路とした。これに対して、第１，第２連通流路３３１，３３２が第１，第２有底孔２１，２２の軸線Ｌ１，Ｌ２に対して傾斜する角度Ｐ１，Ｐ２を同一角度とせず、第１，第２連通流路３３１，３３２が左右非対称の流路を連通流路としてもよい。また、第１，第２弁室を斜め直線状の連通流路で連通させてもよい。この場合にも、流体が連通流路を一方向に流れて液溜まりを発生せず、流路を任意に設計することができる。

本発明の第１実施の形態に係り、薬液弁の外観斜視図である。同じく、薬液弁の平面図である。同じく、図２のＡ−Ａ断面図である。同じく、図３のＢ−Ｂ断面図である。同じく、図３のＣ−Ｃ断面図である。同じく、ボディの斜視図である。同じく、ボディの平面図である。同じく、図７のＤ−Ｄ断面図である。本発明の第２実施の形態に係り、薬液弁の平面図である。同じく、図９に示す薬液弁の中央縦断面図である。同じく、薬液弁の平面図である。同じく、図１１に示す薬液弁の中央縦断面図である。本発明の第３実施の形態に係り、薬液弁の外観斜視図である。同じく、薬液弁の平面図である。同じく、図１４のＥ−Ｅ断面図である。同じく、図１４のＦ−Ｆ断面図である。従来の薬液弁の平面図である。図１７のＧ−Ｇ断面図である。

符号の説明

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ薬液弁
２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄボディ
３共通ポート
４第１ポート
５第２ポート
６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄダイアフラム弁
３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３ＣＶ字流路
３３１第１連通流路
３３２第２連通流路
２５第１弁室
２６第２弁室

Claims

ボディに第１ポートと、第２ポートと、第３ポートとが設けられ、前記ボディに取り付けられた第１ダイアフラム弁が前記第１ポートと前記第３ポートとに連通する一方、前記ボディに取り付けられた第２ダイアフラム弁が前記第２ポートと前記第３ポートに連通する薬液弁において、
前記第１ダイアフラム弁の第１弁室と前記第２ダイアフラム弁の第２弁室とが斜めに形成された連通流路で連通していることを特徴とする薬液弁。
請求項１に記載する薬液弁において、
前記連通流路が開口する前記第１弁室又は前記第２弁室の側壁が、前記連通流路に対して垂直であることを特徴とする薬液弁。
請求項１又は請求項２に記載する薬液弁において、
前記連通流路がＶ字流路であることを特徴とする薬液弁。