JP2006029973A - スケール弾性保持方法及び位置測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スケールが内蔵された位置測定装置において、スケール20を、厚さ(X)方向及び幅(Y)方向にそれぞれ位置決めするための基準部材である球B、B'に押し当てた状態で、弾性層30、32を介してスケール固定具10に保持すると共に、該弾性層30、32に収縮する方向の初期弾性力Fx、Fyを付与する。又、スケール20の長手方向の任意の一箇所を、実質上弾性がない非弾性層34、36により接着することで伸縮の基準を明確にする。
【選択図】図1
Description
12…X方向基準面
14…Y方向基準面
20…スケール
22…X方向基準面
24…Y方向基準面
30…X方向弾性層
32…Y方向弾性層
34…X方向非弾性層
36…Y方向非弾性層
Claims (6)
- スケールを、厚さ方向及び幅方向にそれぞれ位置決めするための基準部材に押し当てた状態で、弾性層を介してスケール固定具に保持すると共に、
該弾性層に収縮する方向の初期弾性力を付与することを特徴とするスケール弾性保持方法。 - スケール及びスケール固定具の温度より予め高温にした接着剤を使って、スケールとスケール固定具とを接着し、前記弾性層を形成することにより前記初期弾性力を発生させることを特徴とする請求項1に記載のスケール弾性保持方法。
- スケールの長手方向の任意の一箇所を、実質上弾性がない非弾性層により接着することを特徴とする請求項1に記載のスケール弾性保持方法。
- 前記基準部材として、保持されるスケールを基準面に沿って案内する転がり案内手段を使用することを特徴とする請求項1に記載のスケール弾性保持方法。
- 前記基準部材として、保持されるスケールを基準面に沿って案内する滑り案内手段を使用することを特徴とする請求項1に記載のスケール弾性保持方法。
- 前記請求項1乃至5のいずれかに記載のスケール弾性保持方法により保持されたスケールが内蔵された位置測定装置。
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CN102095372A (zh) * | 2009-11-25 | 2011-06-15 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 具有固定在支座上的标尺的装置 |
EP2803949A3 (en) * | 2013-05-15 | 2015-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Scale holding device and encoder |
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