JP2006026584A - 液滴噴射装置及び表示装置製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布ヘッド15内のアクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得部34と、取得された電圧情報に基づいて塗布ヘッド15の異常を検知し、インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定部36とを設ける。
【選択図】図4
Description
このようなインク塗布方法の一例としては、インクを微小な液滴とし、これを基板等の対象物に向けて噴射させる方法(以下、適宜“I/J法”と呼称する)が挙げられる(例えば、特許文献1参照)。
なお、以下の実施例は、あくまでも本発明の説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であれば、これらの各要素又は全要素を含んだ各種の実施例を採用することが可能であるが、これらの実施例も本発明の範囲に含まれる。
また、以下の実施例を説明するための全図において、同一の要素には同一の符号を付与し、これに関する反復説明は省略する。
この液滴噴射装置1は、有機ELディスプレイ等の表示装置を製造するためのものであり、インク塗布ボックス2と、インク補給ボックス3とを有し、インク塗布ボックス2とインク補給ボックス3は互いに隣接して配置され、共に架台4の上面に固定されている。
この塗布ヘッド15は、電極21と、アクチュエータ(圧電素子)22、ダイヤフラム(弾性体)23、インク室24、オリフィスプレート26及びノズル27を備える。なお、本図においては、説明を容易にするため、アクチュエータ22、インク室24及びノズル27をそれぞれ3個のみ記載している。
この制御部20は、制御中枢部31、モータドライバ32、噴射制御部33、電圧情報取得部34、ADコンバータ35、検知判定部36及びメモリ37からなる。
気泡29が存在する場合、アクチュエータ22の機械的負荷のコンプライアンスが増加し、電圧波形は、図5に示すように振動的となる。
この場合、ダイヤフラム23が適切に変形させることができないため、電圧波形は、図11(a)の領域Cに示すようになる。したがって、この領域C内の波形を測定することにより上記の接着不良を検知することができる。
この場合、アクチュエータに電圧が印加されていないため、上記のような曲線等を有する電圧波形は生じず、図11(b)に示すように、図4の噴射制御部33から図4の電極21に送信された信号の矩形波のみが検出される。
基板9(図1)上には、透明画素電極としてのITO(Indium Tin Oxide)がパターンニングされ、これらの間には隔壁が設けられており、これにより開口部が形成されている。
Claims (6)
- 電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面が前記前記アクチュエータと接着され、他方の面が前記インク室を封止し、前記アクチュエータに電圧が印加された際に該アクチュエータとともに変形する弾性体とを有し、該弾性体を変形させることにより前記インク室の容積を変化させ、これにより前記インクの液滴を該インク室から噴射させる液滴噴射装置であって、
前記アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得手段と、
前記電圧情報に基づいて、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定手段と
を有することを特徴とする液滴噴射装置。 - インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶手段を有し、
前記検知判定手段は、前記正常時電圧情報と、前記電圧情報取得手段により取得された電圧情報とを比較することにより、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する
ことを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射装置。 - 前記検知判定手段により前記インクが正常に噴射されていないと判定された場合、前記アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴噴射装置。
- 電圧が印加されると変形するアクチュエータと、インクが充填されるインク室と、片方の面が前記前記アクチュエータと接着され、他方の面が前記インク室を封止し、前記アクチュエータに電圧が印加された際に該アクチュエータとともに変形する弾性体とを用い、該弾性体を変形させることにより前記インク室の容積を変化させ、これにより前記インクの液滴を該インク室から噴射させ、該噴射されたインクにより画素を形成せしめる表示装置製造方法であって、
前記アクチュエータの電圧値を含む電圧情報を取得する電圧情報取得工程と、
前記電圧情報に基づいて、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する検知判定工程と
を有することを特徴とする表示装置製造方法。 - インクが正常に噴射された際のアクチュエータの電圧値を含む正常時電圧情報を予め記憶する記憶工程を有し、
前記検知判定工程は、前記正常時電圧情報と、前記電圧情報取得工程において取得された電圧情報とを比較することにより、前記インク室内の異常、前記アクチュエータの破損、前記アクチュエータと前記弾性体の接着不良のうちの少なくともいずれかを検知し、前記インクが正常に噴射されているか否かを判定する
ことを特徴とする請求項4に記載の表示装置製造方法。 - 前記検知判定工程において前記インクが正常に噴射されていないと判定された場合、前記アクチュエータへの電圧の印加を停止させる電圧印加停止工程を有することを特徴とする請求項4又は5に記載の表示装置製造方法。
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