JP2006024862A - 有機トランジスタおよび有機トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上に有機半導体膜を形成する工程と、前記有機半導体膜に接続される、第1の電極および第2の電極を形成する工程と、を有する有機トランジスタの製造方法であって、前記ゲート絶縁膜に前記有機半導体膜の配向性を制御するための表面処理を行う、表面処理工程を有することを特徴とする有機トランジスタの製造方法。
【選択図】 図1
Description
また、従来、トランジスタのゲート絶縁膜には、例えばSiO2が用いられることが一般的であったが、さらにSiO2よりも比誘電率の高い、チタン酸バリウムストロンチウムや、ジルコニウム酸チタン酸バリウムなどの高誘電率材料をゲート絶縁膜に用いることが試みられている。(例えば特許文献1、非特許文献3、参照。)
Y.Y.Lin et at., IEEE Electron Device Letters, Vol.18,606(1997) S.Sze,"Physics of Semiconductor Devices", Wiley, New York, 1981 C.D.Dimitrakopoulos,SCIENCE, vol.283,822(1999)
である。
11 基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14 有機半導体膜
15 ソース電極
16 ドレイン電極
17,18 バリア層
P 偏光手段
H、V 偏光方向
Claims (9)
- 基板上にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に有機半導体膜を形成する工程と、
前記有機半導体膜に接続される、第1の電極および第2の電極を形成する工程と、を有する有機トランジスタの製造方法であって、
前記ゲート絶縁膜に前記有機半導体膜の配向性を制御するための表面処理を行う、表面処理工程を有することを特徴とする有機トランジスタの製造方法。 - 前記表面処理工程は、光、電子ビーム、イオンビーム、およびプラズマのいずれかの照射物を前記ゲート絶縁膜に照射する工程であることを特徴とする請求項1記載の有機トランジスタの製造方法。
- 前記照射物の照射エネルギーが、前記ゲート絶縁膜を構成する材料の結合エネルギーより大きいことを特徴とする請求項2記載の有機トランジスタの製造方法。
- 前記表面処理工程は、前記ゲート絶縁膜に前記照射物を照射する照射角度を変更する工程を含むことを特徴とする請求項2または3記載の有機トランジスタの製造方法。
- 前記照射物は、光からなり、当該光は、偏光されていることを特徴とする請求項2乃至4のうち、いずれか1項記載の有機トランジスタの製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜を加熱する工程をさらに有することを特徴とする請求項1乃至5のうち、いずれか1項記載の有機トランジスタの製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜を構成する材料は、可溶性ポリイミド、シクロブタン型ポリイミド、ベンゾフェノン型ポリイミド、BPDA/DPEポリイミド、アゾベンゼンを側鎖に含むポリイミド、長鎖アルキル基を含むポリイミド、含フッ素ポリイミド、および液晶性ポリイミドよりなる群より選ばれることを特徴とする請求項1乃至6のうち、いずれか1項記載の有機トランジスタの製造方法。
- 基板上に形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成された有機半導体膜と、
前記有機半導体膜に接続された、第1の電極および第2の電極を有する有機トランジスタであって、
前記ゲート絶縁膜は、前記有機半導体膜の配向性を制御するための表面処理がされていることを特徴とする有機トランジスタ。 - 前記ゲート絶縁膜を構成する材料は、可溶性ポリイミド、シクロブタン型ポリイミド、ベンゾフェノン型ポリイミド、BPDA/DPEポリイミド、アゾベンゼンを側鎖に含むポリイミド、長鎖アルキル基を含むポリイミド、含フッ素ポリイミド、および液晶性ポリイミドよりなる群より選ばれることを特徴とする請求項8記載の有機トランジスタ。
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