JP2006021081A - 放電型ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放電型ガス処理装置10は、突起15aを有する導体電極15と、導体電極15に対向する対向電極16と、対向電極16の導体電極15側を覆う誘電体17と、導体電極15と対向電極16との間に所要の電圧を印加して被処理ガスに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源13とを備える。突起15aの近傍から放電が開始されるように突起15aと誘電体17との間の距離が所要の距離以下あるいは未満となるようにした。
【選択図】 図2
Description
「静電気ハンドブック」 p81 図4・67 (a) (オーム社 静電気学会編)
11 配管
12 放電部
13 放電電源
14 リード線
15 導体電極
15a 突起
15b スペーサ
15c 電極
15d 導体
15e 棒状電極
15f 固定用電極
16 対向電極
17 誘電体
X 排気ガス
Claims (10)
- 突起を有する導体電極と、前記導体電極に対向する対向電極と、前記対向電極の前記導体電極側を覆う誘電体と、前記導体電極と前記対向電極との間に所要の電圧を印加して被処理ガスに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源とを備え、前記突起の近傍から放電が開始されるように前記突起と前記誘電体との間の距離が所要の距離以下あるいは未満となるようにしたことを特徴とする放電型ガス処理装置。
- 突起を有する導体電極と、前記導体電極に対向する対向電極と、前記対向電極の前記導体電極側を覆う誘電体と、前記導体電極と前記対向電極との間に所要の電圧を印加して被処理ガスに浄化処理を施すための放電プラズマを生成させる放電電源とを備え、前記突起と前記誘電体とを互いに接触させたことを特徴とする放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極および前記対向電極をそれぞれ筒状構造としたことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極および前記対向電極の一方を筒状構造とし、他方を棒状構造としたことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極および前記対向電極をそれぞれ板状構造としたことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極および前記対向電極をそれぞれ板状構造とし、かつ薄板を折り曲げることにより前記導体電極の前記突起を形成したことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極および前記対向電極をそれぞれ板状構造とし、かつ薄板の型抜きにより前記導体電極の前記突起を形成したことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記導体電極の前記突起が前記導体電極と前記誘電体との間隔を維持するスペーサを兼ねる構成としたことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記誘電体に界面が所要の面積となるように電極を接着し、この電極と前記導体電極とを導体により電気的に接続したことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
- 前記対向電極を板状構造とする一方、前記導体電極を棒状構造としたことを特徴とする請求項1または2記載の放電型ガス処理装置。
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2004
- 2004-07-06 JP JP2004199537A patent/JP2006021081A/ja active Pending
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