JP2006019438A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5048283B2 (ja) * 2006-07-20 2012-10-17 キヤノン株式会社 偏向器アレイ、描画装置およびデバイス製造方法
US8198601B2 (en) * 2009-01-28 2012-06-12 Ims Nanofabrication Ag Method for producing a multi-beam deflector array device having electrodes
NL2007604C2 (en) * 2011-10-14 2013-05-01 Mapper Lithography Ip Bv Charged particle system comprising a manipulator device for manipulation of one or more charged particle beams.
NL2006868C2 (en) 2011-05-30 2012-12-03 Mapper Lithography Ip Bv Charged particle multi-beamlet apparatus.
JP6500383B2 (ja) * 2014-10-03 2019-04-17 株式会社ニューフレアテクノロジー ブランキングアパーチャアレイ及び荷電粒子ビーム描画装置
JP5816739B1 (ja) * 2014-12-02 2015-11-18 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置、及びマルチビームのブランキングアパーチャアレイ装置の製造方法
JP6587994B2 (ja) 2016-09-09 2019-10-09 株式会社ニューフレアテクノロジー ブランキングアパーチャアレイ装置、荷電粒子ビーム描画装置、および電極テスト方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07142359A (ja) * 1993-11-19 1995-06-02 Fujitsu Ltd 荷電粒子ビーム露光装置及び方法
JPH11186144A (ja) * 1997-12-25 1999-07-09 Advantest Corp 荷電粒子ビーム露光装置
JP4234242B2 (ja) * 1997-12-19 2009-03-04 株式会社東芝 電子ビーム描画装置
JP2000114147A (ja) * 1998-10-05 2000-04-21 Advantest Corp 荷電粒子ビーム露光装置
JP3494068B2 (ja) * 1999-03-30 2004-02-03 株式会社日立製作所 荷電粒子線装置
JP2003028999A (ja) * 2001-07-11 2003-01-29 Ebara Corp 荷電粒子ビーム制御装置、及びそれを用いた荷電粒子ビーム光学装置、荷電粒子ビーム欠陥検査装置、並びに荷電粒子ビーム制御方法

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