JP2006013480A5 - - Google Patents

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絶縁表面を有する基板上に形成され、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された導電層と、A conductive layer formed on a substrate having an insulating surface and containing at least one of the substances forming the insulating surface;
前記導電層上に形成された絶縁膜と、An insulating film formed on the conductive layer;
前記絶縁層上に形成された半導体層と、を有し、A semiconductor layer formed on the insulating layer,
前記導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接していることを特徴とする半導体装置。The semiconductor device, wherein the substance contained in the conductive layer is in contact with the insulating surface.
絶縁表面を有する基板上に形成され、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された導電層
前記導電層上に形成され、有機材料からなる第1の絶縁膜と
前記第1の絶縁上に形成され、無機材料からなる第2の絶縁膜と
前記第2の絶縁上に形成された半導体層と、を有し、
前記導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接していることを特徴とする半導体装置。
Formed over a substrate having an insulating surface, of the material forming the insulating surface, the same material as at least one is contained conductive layer,
It is formed on the conductive layer, a first insulating film made of an organic material,
Formed on the first insulating film, a second insulating film made of an inorganic material,
A semiconductor layer formed on the second insulating film ,
The semiconductor device, wherein the substance contained in the conductive layer is in contact with the insulating surface.
請求項1又は請求項2において、In claim 1 or claim 2,
前記導電層は液滴吐出法により形成されたことを特徴とする半導体装置。A semiconductor device, wherein the conductive layer is formed by a droplet discharge method.
絶縁表面を有する基板上に形成され、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第1の導電層
前記第1の導電層上に形成された絶縁膜と、
記絶縁に形成された第1の半導体層
前記第1の半導体層上に形成された一導電型を有する第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に形成され、前記第2の半導体層を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第2の導電層と、を有し、
前記第1の導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接しており、
前記第2の導電層に含有された前記物質は、前記第2の半導体層に接していることを特徴とする半導体装置。
Formed over a substrate having an insulating surface, of the material forming the insulating surface, a first conductive layer of the same material as at least one is contained,
An insulating film made form the first conductive layer,
A first semiconductor layer made form on prior Symbol insulating film,
A second semiconductor layer having one conductivity type formed on the first semiconductor layer;
A second conductive layer formed on the second semiconductor layer and containing at least one of the substances forming the second semiconductor layer ;
The substance contained in the first conductive layer is in contact with the insulating surface;
The semiconductor device, wherein the substance contained in the second conductive layer is in contact with the second semiconductor layer.
絶縁表面を有する基板上に形成され、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第1の導電層
前記第1の導電層上に形成され、有機材料からなる第1の絶縁膜と
前記第1の絶縁上に形成され、無機材料からなる第2の絶縁膜と
前記第2の絶縁上に形成された第1の半導体層
前記第1の半導体層上に形成された一導電型を有する第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に形成され、前記第2の半導体層を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第2の導電層
前記第2の導電層上に形成され、有機材料からなる第3の絶縁膜と
前記第3の絶縁上に形成され、無機材料からなる第4の絶縁膜と、を有し、
前記第1の導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接しており、
前記第2の導電層に含有された前記物質は、前記第2の半導体層に接していることを特徴とする半導体装置。
Formed over a substrate having an insulating surface, of the material forming the insulating surface, a first conductive layer of the same material as at least one is contained,
It is formed on the first conductive layer, a first insulating film made of an organic material,
Formed on the first insulating film, a second insulating film made of an inorganic material,
A first semiconductor layer formed on the second insulating film,
A second semiconductor layer having one conductivity type formed on the first semiconductor layer;
A second conductive layer formed on the second semiconductor layer and containing at least one of the materials forming the second semiconductor layer; and
It is formed on the second conductive layer, a third insulating film formed of an organic material,
It formed on the third insulating film, a fourth insulating film made of an inorganic material, and
The substance contained in the first conductive layer is in contact with the insulating surface;
The semiconductor device, wherein the substance contained in the second conductive layer is in contact with the second semiconductor layer.
絶縁表面を有する基板上に、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された導電層を液滴吐出法により形成し、On a substrate having an insulating surface, a conductive layer containing at least one of the substances forming the insulating surface is formed by a droplet discharge method.
前記導電層上に絶縁膜を形成し、Forming an insulating film on the conductive layer;
前記絶縁膜上に半導体層を形成し、Forming a semiconductor layer on the insulating film;
前記導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接していることを特徴とする半導体装置の作製方法。The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the substance contained in the conductive layer is in contact with the insulating surface.
絶縁表面を有する基板上に、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された導電層を液滴吐出法により形成し、
前記導電層上に、有機材料からなる第1の絶縁を形成し、
前記第1の絶縁上に、無機材料からなる第2の絶縁を形成し、
前記第2の絶縁に半導体層を形成し、
前記導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接していることを特徴とする半導体装置の作製方法。
On a substrate having an insulating surface , a conductive layer containing at least one of the substances forming the insulating surface is formed by a droplet discharge method .
On the conductive layer, forming a first insulating film made of an organic material,
On the first insulating film, forming a second insulating film made of an inorganic material,
The semi-conductor layer is formed on the second insulating film,
The method for manufacturing a semiconductor device , wherein the substance contained in the conductive layer is in contact with the insulating surface .
絶縁表面を有する基板上に、前記絶縁表面を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第1の導電層を液滴吐出法により形成し、
前記第1の導電層上に、有機材料からなる第1の絶縁を形成し、
前記第1の絶縁上に、無機材料からなる第2の絶縁を形成し、
前記第2の絶縁に第1の半導体層を形成し、
前記第1の半導体層上に、一導電型を有する第2の半導体層を形成し、
前記第2の半導体層上に、前記第2の半導体層を形成する物質のうち、少なくとも一つと同じ物質が含有された第2の導電層を液滴吐出法により形成し、
前記第2の導電層上に、有機材料からなる第3の絶縁を形成し、
前記第3の絶縁上に、無機材料からなる第4の絶縁を形成し、
前記第1の導電層に含有された前記物質は、前記絶縁表面に接しており、
前記第2の導電層に含有された前記物質は、前記第2の半導体層に接していることを特徴とする半導体装置の作製方法。
Forming a first conductive layer containing at least one of the substances forming the insulating surface on a substrate having an insulating surface by a droplet discharge method ;
Said first conductive layer, forming a first insulating film made of an organic material,
On the first insulating film, forming a second insulating film made of an inorganic material,
The first half conductor layer is formed on the second insulating film,
Forming a second semiconductor layer having one conductivity type on the first semiconductor layer;
On the second semiconductor layer, of the material forming said second semiconductor layer, a second conductive layer with the same material as at least one is contained is formed by a droplet discharge method,
Said second conductive layer, forming a third insulating film formed of an organic material,
On the third insulating film, forming a fourth insulating film made of an inorganic material,
The substance contained in the first conductive layer is in contact with the insulating surface;
The method for manufacturing a semiconductor device, wherein the substance contained in the second conductive layer is in contact with the second semiconductor layer .
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