JP2006005998A - リニアアクチュエータ - Google Patents
リニアアクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006005998A JP2006005998A JP2004177761A JP2004177761A JP2006005998A JP 2006005998 A JP2006005998 A JP 2006005998A JP 2004177761 A JP2004177761 A JP 2004177761A JP 2004177761 A JP2004177761 A JP 2004177761A JP 2006005998 A JP2006005998 A JP 2006005998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- slider
- linear actuator
- cap
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアアクチュエータ10は、圧電素子14と、圧電素子14の振動を伝達するロッド16と、ロッド16と摩擦接合し、ロッド16と相対移動するスライダ24およびキャップ26とを備え、スライダ24およびキャップ26において、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さであることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】リニアアクチュエータ10は、圧電素子14と、圧電素子14の振動を伝達するロッド16と、ロッド16と摩擦接合し、ロッド16と相対移動するスライダ24およびキャップ26とを備え、スライダ24およびキャップ26において、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さであることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えばカメラの手ぶれ補正機構やオートフォーカス機構等の駆動部として用いられるリニアアクチュエータに関する。
従来、下記特許文献1には、駆動力を出力する出力部とその駆動力によって移動する被駆動体との接触部に凹凸を設けることで、両者の接触状態を安定にして動力伝達効率を高めるとともに、磨耗粉の溜まりを防止することができるようにした超音波リニアモータが開示されている。
しかしながら、駆動力を出力する部材とその駆動力を受けて移動する部材との接触状態をより具体的に規定しないと、最適な駆動ができないだけでなく、逆に焼き付きなどにより両部材間に固着が発生しやすくなる場合がある。
そこで、本発明は、アクチュエータ駆動時の磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができるリニアアクチュエータを提供することを課題とする。
前記課題を解決するために、本発明のリニアアクチュエータは、圧電素子と、前記圧電素子の振動を伝達する伝達部材と、前記伝達部材と摩擦接合し、前記伝達部材と相対移動する移動部材とを備え、
前記伝達部材および前記移動部材の少なくとも1つにおいて、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さであることを特徴とするものである。
前記伝達部材および前記移動部材の少なくとも1つにおいて、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さであることを特徴とするものである。
本発明のリニアアクチュエータでは、前記伝達部材がロッドからなり、前記移動部材が前記ロッドを挟持するように構成されたスライダおよびキャップであってもよい。
また、本発明のリニアアクチュエータでは、前記伝達部材と前記移動部材との接合面に潤滑剤が塗布されてもよい。
さらに、本発明のリニアアクチュエータでは、前記ロッドがカーボン製であってもよいし、前記スライダおよびキャップが金属製であってもよい。
本発明のリニアアクチュエータによれば、伝達部材と移動部材との摩擦接合部の接触状態を表面粗さに関する最適な具体的条件で規定することで、アクチュエータ駆動時の磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができる。
以下に、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態であるリニアアクチュエータ10の全体斜視図である。リニアアクチュエータ10は、直方体状の錘12と、この錘12に一端が接着連結された円柱状の圧電素子14と、この圧電素子14の他端に接着連結された円柱状のロッド(伝達部材)16とを含む。
図1は、本発明の一実施形態であるリニアアクチュエータ10の全体斜視図である。リニアアクチュエータ10は、直方体状の錘12と、この錘12に一端が接着連結された円柱状の圧電素子14と、この圧電素子14の他端に接着連結された円柱状のロッド(伝達部材)16とを含む。
錘12は、図示しないベース部材上に立設した2つの錘支持腕18に、弾性接着剤20によって接着固定されている。
圧電素子14は、例えばPZTからなり、電圧が印加されることによって軸方向に伸縮するようになっている。
ロッド16は、例えばカーボン製のものであり、前記ベース部材上に立設した2つのロッド支持板22にそれぞれ形成された貫通穴を貫通して延在しており、この状態でロッド16はロッド支持板22に対して摺動可能に嵌合している。
2つのロッド支持板22の間において、ロッド16は、リニアアクチュエータ10によって駆動される移動主負荷であるスライダ(移動部材)24と、キャップ(移動部材)26とによって挟持されている。その挟持力は、スライダ24とキャップ26との間にロッド16を挟んで両側に掛けられた2つのスプリング28によって発生する。これにより、スライダ24およびキャップ26は、ロッド16に対して摩擦接合されている。
ロッド16との径方向位置がずれないように、スライダ24のロッド当接部にはV字溝25が形成されており、キャップ26は側面がV字状をなすように折り曲げられている。また、ロッド16とスライダ24およびキャップ26との間には、潤滑剤である例えばグリスが塗布されている。
スライダ24およびキャップ26は、例えば金属製のものである。より具体的には、スライダ24は、ロッド16に対する移動時の負荷を軽減するためにアルマイト処理を施したアルミニウムからなり、キャップ26はステンレス板からなる。
スプリング28のばね力は、ロッド16に対するスライダ24およびキャップ26の負荷と、スライダ24等の移動速度と、スライダ24等とロッド16との摩擦係数とに基づいて決定されるが、スライダ24およびキャップ26とロッド16との接触部における抗力は磨耗を考慮して所定範囲内(例えば5N以下)になるように調整されている。
ロッド16に接触するスライダ24およびキャップ26の各表面は、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さになるように形成されている。ここで、「最大高さRz」は、粗さ曲線における最も高い山頂部の高さのことである。また、「負荷長さ率」とは、図2に示すように、粗さ曲線から、その平均線の方向に評価長さlだけ抜き取り、この抜き取り部分の粗さ曲線を山頂線に平行な切断レベルで切断したときに得られる切断長さの和の評価長さに対する比を百分率で表したものである。さらに、「負荷曲線」は、負荷長さ率を横軸にとるとともに、粗さ曲線の山頂部から最深部までの高さの百分率を縦軸にとってその関係を表したものであり、「高さの中点」とは50%の高さ位置を意味する。
ここで、表面粗さの形状の具体例を図3に示す。図3(a)は、Rzが1μmで、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%の場合である。この場合には、表面の突起の山頂部が鋭角に尖っており、突起間の最深部が丸みを帯びた形状になっている。このような表面をもつ部材がロッド16に対して移動しようとするときには、突起の山頂部がひっかかりとなって始動しづらいという現象が発生し易い。図3(b)は、Rzが2μmで負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が50%の場合である。この場合は、微小突起が三角形状をなし、各突起の間隔が比較的広くなっている。また、図3(c)は、Rzが3μmで負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が70%の場合である。この場合には、突起の山頂部が丸みを帯びていて、突起間の最深部が鋭角に切れ込んでいる。これら図3(a),(b)の場合には、上述したような始動しづらいという現象は発生しない。
なお、本実施形態では、スライダ24およびキャップ26の表面粗さの条件を上記のように設定したが、ロッド16の表面粗さも同様に設定してもよいし、ロッド16の表面粗さだけを上記のように設定してもよい。
続いて、前記構成からなるアクチュエータ10の動作について説明する。
駆動電圧が三角波の場合、駆動電圧が圧電素子14に印加されると、駆動電圧の緩やかな立ち上がり部で圧電素子14が比較的ゆっくりと伸びて、駆動電圧の急激な立下り部で圧電素子14が急速に縮む。このような伸縮が繰り返されて、その振動がロッド16に伝達される。一方、駆動電圧が矩形波の場合には、電圧の周波数(フーリエ展開成分)がアクチュエータ10の振動特性に応じて位相がずれることによって、ロッド16の伸縮速度が変化する。
駆動電圧が三角波の場合、駆動電圧が圧電素子14に印加されると、駆動電圧の緩やかな立ち上がり部で圧電素子14が比較的ゆっくりと伸びて、駆動電圧の急激な立下り部で圧電素子14が急速に縮む。このような伸縮が繰り返されて、その振動がロッド16に伝達される。一方、駆動電圧が矩形波の場合には、電圧の周波数(フーリエ展開成分)がアクチュエータ10の振動特性に応じて位相がずれることによって、ロッド16の伸縮速度が変化する。
圧電素子14が伸びるときにロッド16も共に移動し、これに伴ってスライダ24およびキャップ26も移動する。一方、圧電素子14が急速に縮むときには、ロッド16もまた急速に移動する。このとき、スライダ24およびキャップ26の慣性力が静止摩擦力に打ち勝つことにより、スライダ24およびキャップ26がロッド16に対して滑ってその位置にとどまる。このようなロッド16の伸縮による位置移動が繰り返されることにより、スライダ24およびキャップ26がロッド16に対して相対移動する。
一方、圧電素子14が急速な縮みと比較的緩やかな伸びを繰り返すと、上述したのとは逆の動作でスライダ24およびキャップ26がロッド16に対して逆方向に相対移動する。
駆動電圧をリニアアクチュエータ10の共振周波数の50〜70%程度の周波数にすると、圧電素子14は共振周波数に近い周波数であるために通常の駆動電圧以上に伸縮し、これによりスライダ24およびキャップ26が移動する。このときの移動速度を一定にする場合には関係ないが、サーボ機器などで必要となる速度制御は方式によって異なる。矩形波駆動電圧の場合は固定電圧でデューティを30〜50%にしたり、固定デューティ(30%程度)で電圧を変化させたりして速度を制御する。一方、三角波駆動電圧の場合は電圧変化速度を制御したり、電圧自体を変化させたりして速度を制御する。いずれの制御においても、ロッド16の伸び縮みの速度差を利用してスライダ24およびキャップ26をロッド16に対して相対移動させる。
このようなリニアアクチュエータ10において問題となる現象は、始動しづらい現象と、焼き付きに似た現象と、磨耗である。実験したところ、始動しづらい現象は表面粗さが粗い(突起が疎でざらざらした)状態で発生し易かった。具体的には、Rz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%以下の場合であった。この始動しづらい現象は、鋭角に尖った山頂部をもつ突起がひっかかりとなるために発生するものと考えられる。この場合には、矩形波駆動でデューティ50%近傍において高周波の騒音が発生した。また、制御された駆動条件によってはスライダ24が動かない場合も発生した。さらに、スライダ24の磨耗も激しく、サーボ動作の追従性が早期に悪くなった。なお、図4は、高さの中点での負荷長さ率が30%以下となる負荷曲線の例を示す。
一方、焼き付きに似た現象は、Rz≦1μmで負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が50%以上の場合に発生し易かった。これは、スライダ24およびキャップ26の各表面が完全な平面状態に近いものになることで、ロッド16との間で油膜切れが生じることが原因と考えられる。この場合には、しばらく駆動している間にスライダ24の速度が低下した。また、環境温度と制限された駆動条件によっては、スライダ24が動かなくなる場合もあった。
これに対し、ロッド16に接触するスライダ24およびキャップ26の各表面について表面粗さがRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きくなるように形成されている本実施形態のリニアアクチュエータ10では、上記のような始動しづらい現象、焼き付きに似た現象および磨耗といった不都合を実用上問題のない程度に低減できることが確認できた。なお、図5は、ヘアライン処理した金属表面の負荷曲線の例を示す。この負荷曲線では、高さの中点での負荷長さ率が50%となるため、ヘアライン処理はスライダ24およびキャップ26の表面処理に好適に用いることが可能である。また、図6は、上述した不都合な現象を低減するのに理想的な逆S字状の負荷曲線を示し、この場合の負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率は約50%である。
このように、本実施形態のリニアアクチュエータ10によれば、ロッド16とスライダ24およびキャップ26との摩擦接合部の接触状態を表面粗さに関する最適な具体的条件で規定することで、アクチュエータ駆動時の磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができる。
本発明にかかるリニアアクチュエータは、カメラに限らず、種々の技術分野において利用可能である。
10…リニアアクチュエータ
12…錘
14…圧電素子
16…ロッド(伝達部材)
18…錘支持腕
20…弾性接着剤
22…ロッド支持板
24…スライダ(移動部材)
26…キャップ(移動部材)
28…スプリング
12…錘
14…圧電素子
16…ロッド(伝達部材)
18…錘支持腕
20…弾性接着剤
22…ロッド支持板
24…スライダ(移動部材)
26…キャップ(移動部材)
28…スプリング
Claims (5)
- 圧電素子と、
前記圧電素子の振動を伝達する伝達部材と、
前記伝達部材と摩擦接合し、前記伝達部材と相対移動する移動部材とを備え、
前記伝達部材および前記移動部材の少なくとも1つにおいて、最大高さRz>1μmで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が30%より大きい表面粗さであることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 前記伝達部材はロッドからなり、前記移動部材は前記ロッドを挟持するように構成されたスライダおよびキャップであることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記伝達部材と前記移動部材との接合面には潤滑剤が塗布されていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記ロッドはカーボン製であることを特徴とする請求項2に記載のリニアアクチュエータ。
- 前記スライダおよびキャップは金属製であることを特徴とする請求項2に記載のリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004177761A JP2006005998A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | リニアアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004177761A JP2006005998A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | リニアアクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006005998A true JP2006005998A (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=35773926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004177761A Pending JP2006005998A (ja) | 2004-06-16 | 2004-06-16 | リニアアクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006005998A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007306763A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Sharp Corp | 圧電アクチュエータ |
EP1983586A2 (en) | 2007-04-17 | 2008-10-22 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of transferring vibrations generated by an electro-mechanical transducer to a vibration friction portion with a high degree of efficiency |
US7633209B2 (en) | 2007-04-17 | 2009-12-15 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of obtaining a stable frequency characteristic |
US7652407B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-01-26 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of improving a shock and vibration resistance thereof |
US7732982B2 (en) | 2007-04-19 | 2010-06-08 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of reducing height thereof |
US7755252B2 (en) | 2007-04-18 | 2010-07-13 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device having suitable stationary member as material |
US7759634B2 (en) | 2007-04-24 | 2010-07-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Position detecting device capable of improving detection accuracy |
US7956513B2 (en) | 2007-04-20 | 2011-06-07 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Method of driving a driving device |
JP2012143150A (ja) * | 2006-01-17 | 2012-07-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP2021125632A (ja) * | 2020-02-07 | 2021-08-30 | Tdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
2004
- 2004-06-16 JP JP2004177761A patent/JP2006005998A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012143150A (ja) * | 2006-01-17 | 2012-07-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
JP2007306763A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Sharp Corp | 圧電アクチュエータ |
EP1983586A2 (en) | 2007-04-17 | 2008-10-22 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of transferring vibrations generated by an electro-mechanical transducer to a vibration friction portion with a high degree of efficiency |
US7633208B2 (en) | 2007-04-17 | 2009-12-15 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of transferring vibrations generated by an electro-mechanical transducer to a vibration friction portion with a high degree of efficiency |
US7633209B2 (en) | 2007-04-17 | 2009-12-15 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of obtaining a stable frequency characteristic |
US7652407B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-01-26 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of improving a shock and vibration resistance thereof |
US7755252B2 (en) | 2007-04-18 | 2010-07-13 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device having suitable stationary member as material |
US7732982B2 (en) | 2007-04-19 | 2010-06-08 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Driving device capable of reducing height thereof |
US7956513B2 (en) | 2007-04-20 | 2011-06-07 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Method of driving a driving device |
US7759634B2 (en) | 2007-04-24 | 2010-07-20 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Position detecting device capable of improving detection accuracy |
JP2021125632A (ja) * | 2020-02-07 | 2021-08-30 | Tdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
JP7415628B2 (ja) | 2020-02-07 | 2024-01-17 | Tdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006005998A (ja) | リニアアクチュエータ | |
US7952258B2 (en) | Vibration-type actuator | |
US20070120442A1 (en) | Small piezoelectric or electrostrictive linear motor | |
WO2011011355A1 (en) | Methods for controlling velocity of at least partially resonant actuators systems and systems thereof | |
US8049396B2 (en) | Piezoelectric ultrasonic motor and method of manufacturing the same | |
JP2007129795A (ja) | 駆動装置 | |
US20100102674A1 (en) | Piezoelectric linear motor offering enhanced displacement | |
US6362557B1 (en) | Ultrasonic method and actuator for inducing motion of an object | |
US20110280559A1 (en) | Vibrational wave motor, lens barrel and camera | |
US20220416146A1 (en) | Method for operating a drive unit and drive unit | |
JP2005086887A (ja) | 駆動装置 | |
US8536762B2 (en) | Annular vibration wave actuator | |
JP2019097343A5 (ja) | ||
WO2011125719A1 (ja) | モータ装置及び回転子の駆動方法並びにロボット装置 | |
JP6388077B2 (ja) | 駆動装置 | |
US11611294B2 (en) | Vibration driving device, apparatus equipped with vibration driving device, control device and control method for vibration actuator | |
WO2010032624A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JPH11191967A (ja) | 駆動装置 | |
JP6269222B2 (ja) | 圧電モーター | |
JP2011166913A (ja) | 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ | |
JP2009168920A (ja) | レンズモジュール | |
JP5929283B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
JP4590482B2 (ja) | 駆動装置、およびこれを備えた撮像装置、電子機器 | |
WO2012169392A1 (ja) | アクチュエータ | |
JP2009229710A (ja) | 駆動装置 |