JP2006000809A - めっき処理された被処理基板を洗浄する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 めっき装置の下側には、ウエハ103を保持するとともに上下移動させるウエハホルダ104が設けられている。このウエハホルダ104が上下方向に移動する空間の横に、3つのノズル1A、1B、1Cを上下方向に配置した洗浄装置1が備えられている。中段および最上段のノズル1B、1Cがフラットスプレー式を使用し、最下段のノズル1Aはスリット式を使用している。また、ウエハ表面に対してノズルごとに洗浄液を供給する場所が異なっている。
【選択図】 図1
Description
1A ノズル(スリット式)
1B ノズル(フラットスプレー式)
1C ノズル(フラットスプレー式)
103 ウエハ
104 ウエハホルダ
Claims (5)
- 表面にめっき液が付着している被処理基板を洗浄する方法であって、
前記被処理基板の横側に少なくとも3つの洗浄ノズルを上下方向に高さ位置を変えて設置し、最下段のノズルにスリット式ノズルを使用し、中段と最上段のノズルにフラットスプレー式ノズルを使用する洗浄方法。 - 中段のフラットスプレー式ノズルから噴射した洗浄液を被処理基板表面の中央付近に当て、最上段のフラットスプレー式ノズルから噴射した洗浄液をノズル設置側から見て前記被処理基板の中央付近よりも遠い側の被処理基板表面に当て、最下段のスリット式ノズルから噴射した洗浄液を前記被処理基板の中央付近よりもノズル設置場所に近い側の被処理基板表面に当てる、請求項1に記載の洗浄方法。
- 表面にめっき液が付着している被処理基板を洗浄する装置であって、
上下方向に高さ位置を変えて設置された少なくとも3つの洗浄ノズルを有し、
最下段のノズルがスリット式ノズルであり、中段と最上段のノズルがフラットスプレー式ノズルである、洗浄装置。 - 中段のフラットスプレー式ノズルが、噴射した洗浄液が被処理基板表面の中央付近に当てるよう設定され、最上段のフラットスプレー式ノズルが、噴射した洗浄液がノズル設置側から見て前記被処理基板の中央付近よりも遠い側の被処理基板表面に当たるよう設定され、最下段のスリット式ノズルが、噴射した洗浄液が前記被処理基板の中央付近よりもノズル設置場所に近い側の被処理基板表面に当たるよう設定されている、請求項3に記載の洗浄装置。
- めっき液を収容するめっき槽と、
該めっき槽の底面に形成された開口部と、
該開口部の周縁に設けられたカソードと、
前記めっき槽内に前記カソードに対向するように固定されたアノードと、
前記めっき槽の下側で被処理基板を前記開口部に対して上下方向に移動する移動手段と、
前記移動手段によって前記被処理基板を移動する空間の横側に設置された、請求項3または4に記載の洗浄装置と、を備えためっき装置。
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JP2008060500A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Tousetsu:Kk | ウエハー洗浄方法及びその装置 |
US7858017B2 (en) | 2006-12-18 | 2010-12-28 | Nissei Plastic Industrial Co., Ltd. | Material melting and holding apparatus of metal molding apparatus and rod material melting method |
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